JPH0816248B2 - 真空蒸発回収方法 - Google Patents
真空蒸発回収方法Info
- Publication number
- JPH0816248B2 JPH0816248B2 JP34007491A JP34007491A JPH0816248B2 JP H0816248 B2 JPH0816248 B2 JP H0816248B2 JP 34007491 A JP34007491 A JP 34007491A JP 34007491 A JP34007491 A JP 34007491A JP H0816248 B2 JPH0816248 B2 JP H0816248B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- chamber
- heating
- temperature
- furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被処理物表面のメッキ
品や混合物、付着物等を、効率よく真空中で蒸発（以下
「真空蒸発」という）させて回収するようにした真空蒸
発回収方法、及び、装置に関するものである。
品や混合物、付着物等を、効率よく真空中で蒸発（以下
「真空蒸発」という）させて回収するようにした真空蒸
発回収方法、及び、装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、自動車ボディの表面にメッキさ
れた亜鉛、ニッケル、鉛、油あるいはそれらの酸化物を
真空加熱させて回収する場合、従来の真空昇温加熱方法
では対流加熱がないため、低温期の０〜５００゜位まで
の昇温速度が非常に遅い。このため、月産６０００トン
位ものスクラップの脱亜鉛をする場合は、どうしても設
備仕様が大型となり、イニシャルコストも高くなるので
コストメリットがなくなり、実用性がない。また、上記
問題を解決するため、低温期に酸化加熱して蒸発期に真
空加熱することが考えられるが、その場合は金属酸化物
ができてしまうので真空蒸発温度を上げざるを得ず、完
全にメッキを除去するためには時間をかけて温度を上げ
なければならず、やはり上記の場合と同じくコストメリ
ットがない。
れた亜鉛、ニッケル、鉛、油あるいはそれらの酸化物を
真空加熱させて回収する場合、従来の真空昇温加熱方法
では対流加熱がないため、低温期の０〜５００゜位まで
の昇温速度が非常に遅い。このため、月産６０００トン
位ものスクラップの脱亜鉛をする場合は、どうしても設
備仕様が大型となり、イニシャルコストも高くなるので
コストメリットがなくなり、実用性がない。また、上記
問題を解決するため、低温期に酸化加熱して蒸発期に真
空加熱することが考えられるが、その場合は金属酸化物
ができてしまうので真空蒸発温度を上げざるを得ず、完
全にメッキを除去するためには時間をかけて温度を上げ
なければならず、やはり上記の場合と同じくコストメリ
ットがない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の真
空炉における昇温は輻射熱によるために昇温速度が遅
く、チッ素ガスその他の不活性ガスによる対流加熱では
ランニングコストが高くなり、また、酸化加熱では上記
のように蒸発温度を高めなければならないので蒸発速度
が遅くなり、これもランニングコスト等に大きな影響を
与えることになる。そこで本発明は、このような欠点の
ない真空蒸発回収方法及び装置を提供することを課題と
する。
空炉における昇温は輻射熱によるために昇温速度が遅
く、チッ素ガスその他の不活性ガスによる対流加熱では
ランニングコストが高くなり、また、酸化加熱では上記
のように蒸発温度を高めなければならないので蒸発速度
が遅くなり、これもランニングコスト等に大きな影響を
与えることになる。そこで本発明は、このような欠点の
ない真空蒸発回収方法及び装置を提供することを課題と
する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、真空蒸発させ
る被処理物を加熱手段を有する炉内に投入し、酸化雰囲
気にて所定温度まで昇温させた後、前記炉内に還元雰囲
気ガスを流し込んで被処理物の酸化物を還元し、その後
前記炉内を指定蒸発温度の状態に維持しつつ減圧手段に
より真空にし、前記被処理物から蒸発してくる物質を前
記炉に連設された回収装置に導き、前記回収装置におい
て凝縮させて回収することを特徴とする真空蒸発回収方
法、を以て上記課題を解決した。
る被処理物を加熱手段を有する炉内に投入し、酸化雰囲
気にて所定温度まで昇温させた後、前記炉内に還元雰囲
気ガスを流し込んで被処理物の酸化物を還元し、その後
前記炉内を指定蒸発温度の状態に維持しつつ減圧手段に
より真空にし、前記被処理物から蒸発してくる物質を前
記炉に連設された回収装置に導き、前記回収装置におい
て凝縮させて回収することを特徴とする真空蒸発回収方
法、を以て上記課題を解決した。
【０００５】
【作 用】対流加熱を実現させて昇温速度を速めるため
に、低温期において酸化雰囲気にて加熱した後、還元ガ
スを使用し、被処理物の酸化物を除去して真空蒸発させ
るので、本来の金属蒸発温度にて蒸発させることが可能
となり、処理温度を低く抑えられ、しかも蒸発速度が速
くなるので、設備仕様、加熱エネルギー延いてはランニ
ングコストも安くなり、コマーシャルコストに乗るよう
になる。
に、低温期において酸化雰囲気にて加熱した後、還元ガ
スを使用し、被処理物の酸化物を除去して真空蒸発させ
るので、本来の金属蒸発温度にて蒸発させることが可能
となり、処理温度を低く抑えられ、しかも蒸発速度が速
くなるので、設備仕様、加熱エネルギー延いてはランニ
ングコストも安くなり、コマーシャルコストに乗るよう
になる。
【０００６】
【実施例】本発明に係る真空蒸発回収方法をより具体的
に説明すると、被処理品に付着している水、金属メッキ
等の液体及び固体を除去する場合には、被処理品を、初
期の低温期に酸化雰囲気炉で所望の温度まで対流加熱
し、その後この被処理品を、連設された密閉室に順次装
入し、各密閉空間内を減圧手段によって個別に所望圧力
に減圧した後、加熱手段で加熱すると共に真空にし、ま
たは、加圧手段により還元性ガスを供給する。この還元
性ガスによる還元作用で脱酸化後密閉室内を真空にし、
被処理品に付着した金属、メッキ品、油等の沸点以上の
温度まで加熱し、その金属等を蒸発させるようにする。
その後、加熱状態のままで減圧することによって蒸気を
回収し、加熱した回収経路の途中に設けた凝縮手段にお
いて蒸発物を収容し、且つ、凝縮させる。
に説明すると、被処理品に付着している水、金属メッキ
等の液体及び固体を除去する場合には、被処理品を、初
期の低温期に酸化雰囲気炉で所望の温度まで対流加熱
し、その後この被処理品を、連設された密閉室に順次装
入し、各密閉空間内を減圧手段によって個別に所望圧力
に減圧した後、加熱手段で加熱すると共に真空にし、ま
たは、加圧手段により還元性ガスを供給する。この還元
性ガスによる還元作用で脱酸化後密閉室内を真空にし、
被処理品に付着した金属、メッキ品、油等の沸点以上の
温度まで加熱し、その金属等を蒸発させるようにする。
その後、加熱状態のままで減圧することによって蒸気を
回収し、加熱した回収経路の途中に設けた凝縮手段にお
いて蒸発物を収容し、且つ、凝縮させる。
【０００７】なお、還元性ガスとしては水素ガス、ＮＨ
３分解ガス等の還元性ガスが使用され、密閉容器内を加
圧、昇温または均熱化する際、製品が還元されて十分脱
酸素化される。このガスは、予熱室に循環させて被処理
品を還元するために使用することもある。
３分解ガス等の還元性ガスが使用され、密閉容器内を加
圧、昇温または均熱化する際、製品が還元されて十分脱
酸素化される。このガスは、予熱室に循環させて被処理
品を還元するために使用することもある。
【０００８】次に、本発明の真空蒸発回収方法を実施す
るために使用される装置の実施例を図面に依拠して説明
する。加熱炉本体１内は、断熱性の密閉ドアで仕切られ
て１室または複数の密閉可能な室に分けられている。各
室の底部には、被処理品を入れたトレイ６０を搬送する
ための自走ローラー（コロローラー）、並びに、プッシ
ャー用空圧又は油圧装置が設置され、自走ローラーのコ
ロ軸が密閉された室外に出されており、自走ローラー駆
動装置に取り付けられている。各室は、中空形状のレト
ルトの外側に断熱材を配したものである。
るために使用される装置の実施例を図面に依拠して説明
する。加熱炉本体１内は、断熱性の密閉ドアで仕切られ
て１室または複数の密閉可能な室に分けられている。各
室の底部には、被処理品を入れたトレイ６０を搬送する
ための自走ローラー（コロローラー）、並びに、プッシ
ャー用空圧又は油圧装置が設置され、自走ローラーのコ
ロ軸が密閉された室外に出されており、自走ローラー駆
動装置に取り付けられている。各室は、中空形状のレト
ルトの外側に断熱材を配したものである。
【０００９】一番手前（図において左端）の室は前部真
空置換室３であり、その側部及び後面側（次室側）に密
閉ドア４、５が設けられている。６は密閉ドア４を開閉
するドアシリンダー、７は密閉ドア５を開閉するドアシ
リンダーである。
空置換室３であり、その側部及び後面側（次室側）に密
閉ドア４、５が設けられている。６は密閉ドア４を開閉
するドアシリンダー、７は密閉ドア５を開閉するドアシ
リンダーである。
【００１０】また、８は被処理品を入れたトレイ６０を
前部真空置換室３内に搬入するための搬入駆動装置（シ
リンダー）であり（図２参照）、９は前部真空置換室３
内で処理された被処理品を次室に押送するためのシリン
ダーである。前部真空置換室３には更に、攪拌装置３
ａ、室内を真空にするための真空ポンプ１０、及び、被
処理品から除去された金属、水、油等を回収する凝縮手
段１１が設置されると共に、予熱ガスを供給するガス循
環パイプ１２と、ガスを回収する回収パイプ１３が接続
される。
前部真空置換室３内に搬入するための搬入駆動装置（シ
リンダー）であり（図２参照）、９は前部真空置換室３
内で処理された被処理品を次室に押送するためのシリン
ダーである。前部真空置換室３には更に、攪拌装置３
ａ、室内を真空にするための真空ポンプ１０、及び、被
処理品から除去された金属、水、油等を回収する凝縮手
段１１が設置されると共に、予熱ガスを供給するガス循
環パイプ１２と、ガスを回収する回収パイプ１３が接続
される。
【００１１】１４は前部真空置換室３に連設された第１
真空加熱室で、入口側にドアシリンダー１５により開閉
駆動される密閉ドア１６を備える。また、第１真空加熱
室１４には、当該室内を加熱するためのヒーター１７
と、還元性ガス供給手段と、当該室内と連通していて被
処理品より除去された蒸発物類を凝縮させる凝縮手段１
８、１９と、凝縮手段１８、１９を介して当該室内を減
圧する減圧手段たる真空ポンプ２０とを有する。真空ポ
ンプ２０には排気管が取り付けられる。２１は真空バル
ブ、２２はフィルターである。第１真空加熱室１４には
更に、必要に応じて、室内の雰囲気を攪拌する攪拌ファ
ン２３が１または複数設置される。
真空加熱室で、入口側にドアシリンダー１５により開閉
駆動される密閉ドア１６を備える。また、第１真空加熱
室１４には、当該室内を加熱するためのヒーター１７
と、還元性ガス供給手段と、当該室内と連通していて被
処理品より除去された蒸発物類を凝縮させる凝縮手段１
８、１９と、凝縮手段１８、１９を介して当該室内を減
圧する減圧手段たる真空ポンプ２０とを有する。真空ポ
ンプ２０には排気管が取り付けられる。２１は真空バル
ブ、２２はフィルターである。第１真空加熱室１４には
更に、必要に応じて、室内の雰囲気を攪拌する攪拌ファ
ン２３が１または複数設置される。
【００１２】２４は第２真空加熱室で、大体第１真空加
熱室１４と同じ構成とされる。即ち、２５は密閉ドア２
６を開閉するドアシリンダー、２７はヒーター、２８、
２９は凝縮手段である。また、３０は真空ポンプ、３１
は真空バルブ、３２はフィルター、３３は攪拌ファンで
ある。第２真空加熱室２４の場合は、更に後部にも密閉
ドア３４が設けられ、ドアシリンダー３５により開閉駆
動される。３６は第３真空加熱室で、これも上記同様、
密閉ドア３７、密閉ドア３７を開閉駆動するドアシリン
ダー３８、凝縮手段３９、４０、真空ポンプ４１、真空
バルブ４２、フィルター４３並びに冷却ファン４４が設
けられる。また、後部側にも密閉ドア４５とドアシリン
ダー４６が設置される。
熱室１４と同じ構成とされる。即ち、２５は密閉ドア２
６を開閉するドアシリンダー、２７はヒーター、２８、
２９は凝縮手段である。また、３０は真空ポンプ、３１
は真空バルブ、３２はフィルター、３３は攪拌ファンで
ある。第２真空加熱室２４の場合は、更に後部にも密閉
ドア３４が設けられ、ドアシリンダー３５により開閉駆
動される。３６は第３真空加熱室で、これも上記同様、
密閉ドア３７、密閉ドア３７を開閉駆動するドアシリン
ダー３８、凝縮手段３９、４０、真空ポンプ４１、真空
バルブ４２、フィルター４３並びに冷却ファン４４が設
けられる。また、後部側にも密閉ドア４５とドアシリン
ダー４６が設置される。
【００１３】４７は第３加熱室３６に続く後部真空置換
室で、ドアシリンダー４８によって開閉駆動される密閉
ドア４９と、室内を真空にする真空ポンプ５０と、凝縮
手段５１と、室内に搬送されたトレイ６０を搬出する搬
出駆動装置（エアシリンダー）５２とを備える。また、
上記の外に、図示してないがチッ素、水素等のガスボン
ベが配備され、これが真空バルブ及び圧力計を備えた配
管を介して各真空加熱室１４、２４、３６に接続され
る。
室で、ドアシリンダー４８によって開閉駆動される密閉
ドア４９と、室内を真空にする真空ポンプ５０と、凝縮
手段５１と、室内に搬送されたトレイ６０を搬出する搬
出駆動装置（エアシリンダー）５２とを備える。また、
上記の外に、図示してないがチッ素、水素等のガスボン
ベが配備され、これが真空バルブ及び圧力計を備えた配
管を介して各真空加熱室１４、２４、３６に接続され
る。
【００１４】上記構成において、トレイ６０に入れられ
た被処理品は、チッ素ガスによって冷却された場合搬入
駆動装置８の作用で前部真空置換室３内に搬入される
と、ドアシリンダー６の作用で密閉ドア４が閉じる。そ
の際密閉ドア５は閉じていて、室内は密閉される。そこ
で、真空ポンプ１０が動作して室内が真空にされると共
に、ガス循環パイプ１２を通して供給される後部真空置
換室４７において温められたチッ素ガス、あるいは、加
熱装置により、被処理品が真空置換にて予熱される。ま
た、予熱することなく、単に真空置換する場合もある。
た被処理品は、チッ素ガスによって冷却された場合搬入
駆動装置８の作用で前部真空置換室３内に搬入される
と、ドアシリンダー６の作用で密閉ドア４が閉じる。そ
の際密閉ドア５は閉じていて、室内は密閉される。そこ
で、真空ポンプ１０が動作して室内が真空にされると共
に、ガス循環パイプ１２を通して供給される後部真空置
換室４７において温められたチッ素ガス、あるいは、加
熱装置により、被処理品が真空置換にて予熱される。ま
た、予熱することなく、単に真空置換する場合もある。
【００１５】次いで、ドアシリンダー７の作用で密閉ド
ア５が、また、ドアシリンダー１５の作用で密閉ドア１
６が開き、トレイ６０はシリンダー９の作用で押圧さ
れ、または自走ローラーによって第１真空加熱室１４内
に送り込まれる。そこにおいて密閉ドア１６が閉じる
と、真空ポンプ２０が動作し、室内が真空にされると共
にヒーター１７によって加熱され、以てトレイ６０内の
被処理品より、室温に応じて水、メッキ金属、油等が蒸
発して除去される。除去された蒸発物は、凝縮手段１
８、１９に取り込まれて凝縮される。この第１真空加熱
室１４での加熱は水、油がある場合は比較的低温にて行
ない、主として水、油等の液体の除去回収を行なう。
ア５が、また、ドアシリンダー１５の作用で密閉ドア１
６が開き、トレイ６０はシリンダー９の作用で押圧さ
れ、または自走ローラーによって第１真空加熱室１４内
に送り込まれる。そこにおいて密閉ドア１６が閉じる
と、真空ポンプ２０が動作し、室内が真空にされると共
にヒーター１７によって加熱され、以てトレイ６０内の
被処理品より、室温に応じて水、メッキ金属、油等が蒸
発して除去される。除去された蒸発物は、凝縮手段１
８、１９に取り込まれて凝縮される。この第１真空加熱
室１４での加熱は水、油がある場合は比較的低温にて行
ない、主として水、油等の液体の除去回収を行なう。
【００１６】続いて密閉ドア２６が開扉し、被処理品は
第２真空加熱室２４へ搬送され、密閉ドア２６閉扉後、
酸化雰囲気にての対流加熱、還元性ガスによる還元処
理、減圧、並びに、蒸発物類の凝縮が行なわれる。第２
真空加熱室２４における加熱は第１真空加熱室１４にお
けるよりも高温で行ない、主として亜鉛メッキ等の固体
を真空蒸発させる。
第２真空加熱室２４へ搬送され、密閉ドア２６閉扉後、
酸化雰囲気にての対流加熱、還元性ガスによる還元処
理、減圧、並びに、蒸発物類の凝縮が行なわれる。第２
真空加熱室２４における加熱は第１真空加熱室１４にお
けるよりも高温で行ない、主として亜鉛メッキ等の固体
を真空蒸発させる。
【００１７】被処理物は更に第３真空加熱室３６に送ら
れ、そこで更に高温に晒されて鉛等の除去が行なわれ
る。次いで被処理物は後部真空置換室４７に送られ、そ
こにおいて製品を無酸化で取出す場合は、チッ素ガスで
加圧されて冷却された後搬出される。その際温められた
チッ素ガスは、ガス循環パイプ１２を経て前部真空置換
室３に導かれる。なお、前部真空置換室３と後部真空置
換室４７は、共に各真空加熱室内への空気の流入を阻止
し、被処理物の酸化を防止する役目を果たす。また、処
理品の回収条件によっては、図３に示すように前後に真
空置換室を置き、中間に真空蒸発を置いた合計３室のも
のや、真空置換室のない一室のみの真空蒸発回収装置で
あってもよく、それらの場合の有効性も実験により確認
されている。
れ、そこで更に高温に晒されて鉛等の除去が行なわれ
る。次いで被処理物は後部真空置換室４７に送られ、そ
こにおいて製品を無酸化で取出す場合は、チッ素ガスで
加圧されて冷却された後搬出される。その際温められた
チッ素ガスは、ガス循環パイプ１２を経て前部真空置換
室３に導かれる。なお、前部真空置換室３と後部真空置
換室４７は、共に各真空加熱室内への空気の流入を阻止
し、被処理物の酸化を防止する役目を果たす。また、処
理品の回収条件によっては、図３に示すように前後に真
空置換室を置き、中間に真空蒸発を置いた合計３室のも
のや、真空置換室のない一室のみの真空蒸発回収装置で
あってもよく、それらの場合の有効性も実験により確認
されている。
【００１８】図５に示すグラフは、本発明に係る方法に
よる亜鉛除去試験の結果得られた亜鉛回収率と残留亜鉛
量を示すものである。この試験は次のような条件下で行
なわれた。 被処理品 １個３００ｋｇ（シュレッダー品） 温 度 ３００℃、５００℃、７００℃、９００℃の各温度 真空度 ５〜６×１０−３ Ｔｏｒｒ 時 間 ６０分還元、６００分真空蒸発回収（酸化昇温各２時間） グラフ中白丸は、本発明によって酸化昇温後水素ガス還
元して真空蒸発回収した場合の亜鉛回収率を示し、白三
角は酸化昇温後水素ガス還元を行うことなく真空蒸発回
収した場合の亜鉛回収率を示している。また、黒丸は、
本発明によって酸化昇温後水素ガス還元して真空蒸発回
収した場合の残留亜鉛量を示し、黒三角は酸化昇温後水
素ガス還元を行うことなく真空蒸発回収した場合の残留
亜鉛量を示している。このグラフから、本発明によった
場合は酸化昇温を行う比較的低温期（５００℃以下）に
おいて、残留亜鉛量が０となり且つ亜鉛回収率が１００
％に近い値となることが分かり、本発明に係る方法の有
効性が確認できた。
よる亜鉛除去試験の結果得られた亜鉛回収率と残留亜鉛
量を示すものである。この試験は次のような条件下で行
なわれた。 被処理品 １個３００ｋｇ（シュレッダー品） 温 度 ３００℃、５００℃、７００℃、９００℃の各温度 真空度 ５〜６×１０−３ Ｔｏｒｒ 時 間 ６０分還元、６００分真空蒸発回収（酸化昇温各２時間） グラフ中白丸は、本発明によって酸化昇温後水素ガス還
元して真空蒸発回収した場合の亜鉛回収率を示し、白三
角は酸化昇温後水素ガス還元を行うことなく真空蒸発回
収した場合の亜鉛回収率を示している。また、黒丸は、
本発明によって酸化昇温後水素ガス還元して真空蒸発回
収した場合の残留亜鉛量を示し、黒三角は酸化昇温後水
素ガス還元を行うことなく真空蒸発回収した場合の残留
亜鉛量を示している。このグラフから、本発明によった
場合は酸化昇温を行う比較的低温期（５００℃以下）に
おいて、残留亜鉛量が０となり且つ亜鉛回収率が１００
％に近い値となることが分かり、本発明に係る方法の有
効性が確認できた。
【００１９】
【発明の効果】本発明は上述した通り、対流加熱が可能
な酸化雰囲気中にて短時間の内に昇温させ、酸化昇温加
熱後還元性ガスにより金属酸化物を取り除き、その後真
空にして真空蒸発させることにより被処理品の表面に付
着した亜鉛その他のメッキ品、油、金属等の液体や固体
を除去回収するものであり、従来の酸化加熱、真空蒸発
回収法に比較して回収率が格段に向上し、極めて良好に
しかも低温で完全除去することができ、また、密閉空間
内で清浄処理するために、公害や作業環境の汚染等の心
配が全くなく、ランニングコストは安くて自動化も容易
であり、しかも付着物は真空蒸発によって回収するため
に純粋に近いものが得られ、回収物自身の再利用も可能
なる特徴のある極めて有用な技術である。
な酸化雰囲気中にて短時間の内に昇温させ、酸化昇温加
熱後還元性ガスにより金属酸化物を取り除き、その後真
空にして真空蒸発させることにより被処理品の表面に付
着した亜鉛その他のメッキ品、油、金属等の液体や固体
を除去回収するものであり、従来の酸化加熱、真空蒸発
回収法に比較して回収率が格段に向上し、極めて良好に
しかも低温で完全除去することができ、また、密閉空間
内で清浄処理するために、公害や作業環境の汚染等の心
配が全くなく、ランニングコストは安くて自動化も容易
であり、しかも付着物は真空蒸発によって回収するため
に純粋に近いものが得られ、回収物自身の再利用も可能
なる特徴のある極めて有用な技術である。
【図１】 本発明に係る装置の実施例の正面図である。
【図２】 本発明に係る装置の実施例の平面図である。
【図３】 他の実施例の正面図である。
【図４】 更に他の実施例の正面図である。
【図５】 本発明に係る方法による亜鉛回収率と残留亜
鉛量を示すグラフである。
鉛量を示すグラフである。
１ 加熱炉本体 ３ 前部真空置換室 １０ 真空ポンプ １１ 凝縮手段 １２ ガス循環パイプ １４ 第１真空加熱室 １７ ヒーター １８ 凝縮手段 １９ 凝縮手段 ２０ 真空ポンプ ２４ 第２真空加熱室 ２７ ヒーター ２８ 凝縮手段 ２９ 凝縮手段 ３０ 真空ポンプ ３６ 第３真空加熱室 ３９ 凝縮手段 ４０ 凝縮手段 ４７ 後部真空置換室 ５０ 真空ポンプ ５１ 凝縮手段
Claims (1)
- 【請求項１】 真空蒸発させる被処理物を加熱手段を有
する炉内に投入し、酸化雰囲気にて所定温度まで昇温さ
せた後、前記炉内に還元雰囲気ガスを流し込んで被処理
物の酸化物を還元し、その後前記炉内を指定蒸発温度の
状態に維持しつつ減圧手段により真空にし、前記被処理
物から蒸発してくる物質を前記炉に連設された回収装置
に導き、前記回収装置において凝縮させて回収すること
を特徴とする真空蒸発回収方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34007491A JPH0816248B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 真空蒸発回収方法 |
| EP19910312040 EP0493122A3 (en) | 1990-12-27 | 1991-12-24 | Method and apparatus for recovering substance adhered to object to be processed |
| KR1019910024965A KR940004102B1 (ko) | 1990-12-27 | 1991-12-27 | 고체표면 청정방법 및 그 장치 |
| CA002058508A CA2058508C (en) | 1990-12-27 | 1991-12-27 | Method and apparatus for recovering substance adhered to object to be processed |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34007491A JPH0816248B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 真空蒸発回収方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH073343A JPH073343A (ja) | 1995-01-06 |
| JPH0816248B2 true JPH0816248B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=18333477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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