KR940004102B1 - 고체표면 청정방법 및 그 장치 - Google Patents

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내용 없음.

Description

고체표면 청정방법 및 그 장치

제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 청정장치의 계통설명도.

제2도는 밀폐공간내부의 압력 및 피처리물 온도가 시간경과에 따라 변화되는 상태를 나타낸 그래프.

제3도는 본 발명의 제2실시예에 따른 청정장치의 정면도.

제4도는 제3도의 평면도.

제5도는 본 발명의 제3실시예에 따른 청정장치의 정면도.

제6도는 본 발명의 제4실시예에 따른 청정장치의 정면도.

제7도는 본 발명에 따른 방법에 의한 아연회수율과 잔류아연량을 나타낸 그래프이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 피처리물 2 : 밀폐공간

3 : 밀폐용기 4 : 발열체(가열수단)

5 : 응축기(응축수단) 6 : 감압펌프(감압수단)

7 : 질소가스봄베(가압수단) 21 : 교반기

31 : 예열로(예열수단)

본 발명은 물품의 표면에 부착된 물이나 기름, 아연도금과 같은 액체 및 고체를 제거하기에 적합한 청정방법 및 청정장치에 관한 것으로, 특히 피처리품의 표면에 도금된 도금물이나 혼합물, 부착물 등을 효율적으로 진공분위기속에서 증발(이하 「진공증발」이라 함)시켜 회수하는 진공증발·회수방법을 써서 고체의 표면을 청정하게 하는 고체표면 청정방법 및 그 장치에 관한 것이다.

종래에도 자동차 몸체표면의 아연도금 등을 제거하기 위한 방법으로서, 산(酸)으로 세척하거나 숏트(Short)가공 또는 공기 중에서의 산화가열제거 등과 같은 방법이 알려져 있고 그중 산세척방법이 가장 일반적으로 채용되고 있는 바, 이는 사용된 세척액이 공해를 일으킬 뿐만 아니라, 비용이 많이 들고, 전문기술자가 필요하게 되는 등의 문제가 있었다. 그리고 숏트가공법 역시 운용비가 많이 들고, 아연이 부착된 숏트입자의 처리가 곤란하다고 하는 문제를 안고 있었다.

한편, 산화가열제거법은 피처리품자체에 산화물 등이 생기게 되고, 또 탈아연성능이 나쁘게 되므로, 특히 피처리되는 재질이 철판이어서 이 철판을 재사용하기 위해 용해시킬 경우, 산화철이나 산화아연과 같은 불용해물질 또는 아연이 용해로의 노벽에 침입하게 됨으로써 노(爐)자체의 수명을 짧아지게 하는 결점이 있게 된다.

그리고 자동차몸체의 표면에 도금된 아연이나 납, 니켈, 표면에 묻은 기름 또는 이들의 산화물을 진공가열해서 회수하는 경우, 종래의 진공승온가열방법에서는 대류가열(對流加熱)이 아니기 때문에, 저온기(低溫期)인 0℃에서 500℃정도까지의 승온속도(昇溫速度)가 대단히 늦어져, 예컨대 1개월에 6000톤 정도의 스크랩(Scrap)을 탈아연시킬려면 설비가 대형화되어 초기투자가 크게 됨으로써 처리단가면에서 잇점이 없게 되어 실용상 문제가 있었다.

또, 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 상기 0∼500℃ 사이의 저온기를 산화가열로 하고 증발기를 진공가열로 하는 것도 생각할 수 있으나, 그렇게 되면 저온기동안의 산화가열로 금속산화물이 생기게 되고, 이 금속산화물을 증발시키기 위해서는 진공증발온도를 더욱 높혀야만 하므로, 결국 아연도금을 완전히 제거하기 위해서는 시간이 걸리고 온도를 높혀야만 하게 되어 역시 상기와 마찬가지로 비용면에서 불리하게 된다.

이에 본 발명은 상기와 같은 사정을 감안하여 발명된 것으로, 밀폐공간내에 피처리물을 장입하고서 이 밀폐공간내를 감압시킨 다음, 이 밀폐공간내부를 가열함과 더불어 진공이 되도록 하거나 또는 비산화성가스로 가압해서 가열한 후 감압함으로써, 상기 피처리품에 부착된 액체나 고체를 온도 및 압력의 변화로 제거시켜 고체표면을 청정하게 하는 고체표면 청정방법 및 그 장치를 제공함에 그 목적이 있다.

그리고 이와 같은 청정방법을 실시하기 위한 청정장치는, 피처리물을 장입하기 위한 밀폐공간을 갖춘 노(爐)와 같은 밀폐용기와, 이 노의 밀폐공간내 온도를 높히기 위한 가열수단, 상기 밀폐공간과 연통되어 상기 피처리품으로부터 제거된 금속이나 비금속을 응축시키는 응축수단, 이 응축수단을 매개로 상기 밀폐용기 내부를 감압시키는 감압수단, 상기 밀폐공간내부를 비산화성가스로 가압하는 가압수단 및 이 비산화성가스를 피처리품의 예열에 이용되도록 하는 예열수단을 갖추어 이루어진 것을 특징으로 하는 구조로 되어 있다.

이하 본 발명의 실시예에 대해 첨부도면을 참조로 설명한다.

제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 청정장치를 계통설명도로 도시한 것으로, 피처리품을 밀폐공간내에 장입하고서, 감압수단으로 밀폐공간내를 감압한 다음, 상기 밀폐공간의 내부를 가열수단으로 가열함과 더불어 진공이 되도록 하거나 또는 가압수단으로 비산화성가스를 공급함으로써 이 비산화성가스에 의한 열전달작용으로 가열되도록 한 후 진공이 되도록 하고, 이어 피처리품에 부착된 금속이나 비금속 등을 비등점이상의 온도까지 가열하여 금속 등이 증발되도록 한 다음, 가열상태 그대로의 상태에서 감압시킴으로써 증기를 회수하는 한편, 회수경로의 중간에 설치된 응축수단으로 증발물이 수용되도록 하고서 응축시키도록 되어 있다.

여기서, 상기 비산화성가스로서는 질소나 아르곤과 같은 불활성가스를 사용해서 밀폐공간내를 가압하거나 승온 또는 냉각할때 제품이 산화되지 않도록 하는 바, 이 비산화성가스는 예열로로 순환시켜 피처리품을 예열하는데에도 사용된다.

또, 피처리품의 표면에 부착되어 있는 금속이나 비금속 등은, 단일성분으로 된 것이 아니라 여러가지 물질로 된 합성물인 경우가 있을 것으로 생각하는 것이 타당하기 대문에, 이들의 처리물의 소정온도에서의, 증기압이 어느정도의 폭을 갖고 있다고 생각하여야 하므로, 그에 맞춰 밀폐공간내의 감압(진공)정도나 가열온도, 불활성가스의 가압정도를 선택하는 것이 바람직하다.

다음에는 이와 같은 제1실시예에 청정방법을 실시하기 위해 사용되는 청정장치에 대해 설명한다.

제1도에 도시된 청정장치는 크게 나누어, 피처리품(1)이 장입되는 밀폐공간(2)을 가진 밀폐용기(3)와, 이 밀폐용기(3)에 장입된 피처리품(1)에 부착된 부착물의 온도를 상승시키는 가열수단으로서의 발열체(4), 상기 밀폐용기(3)의 내부와 연통되어 상기 피처리품(1)으로부터 제거된 증발물을 응축시키는 응축기(5), 이 응축기(5)를 매개로 상기 밀폐용기(3)의 내부를 감압하는 감압수단으로서의 감압펌프(6), 상기 밀폐용기(3) 내부를 비산화성가스로 가압하는 가압수단으로서의 질소가스봄베(7) 및 가열된 피처리품(1)을 냉각하기 위한 질소가스를 도입해서 이 질소가스를 피처리품(1)의 예열에 이용되도록 하는 예열로(31)를 갖춘 구조로 되어 있다.

이를 보다 상세히 설명하면, 상기 밀폐용기(3)는 중공형상의 증류기(11) 외측에 단열재(12)가 설치된 용기 본체부분의 한쪽끝에 역시 단열재(13)가 속에 붙혀진 뒷쪽단열문짝(14)이 부착됨과 더불어, 용기본체부분의 다른쪽 끝에는 단열재(15)가 속에 붙여진 앞쪽단열문짝(16)이 부착되고서, 이 앞쪽단열문짝(16)의 개구부(16a)에 개폐시켜질 수 있는 앞문짝(17)이 배치되어, 내부에 밀폐공간(2)이 형성되도록 되어 있다. 또, 이 밀폐용기(3)의 상부에는 교반기(21)가 설치됨과 더불어, 밀폐공간(2) 내부를 가열해서 온도를 높히기 위한 발열체(4)가 구비되어 있다. 또한 상기 응축기(5)는 배관(25)을 매개로 밀폐공간(2)과 연동시켜짐과 더불어 배관(26)을 매개로 감압펌프(6)와도 연통되어져 있는 바, 이 감압펌프(6)에는 배기관(27)이 설치되어 있다. 그리고 상기 질소가스봄베(7)는 도중에 압력조절밸브(28) 및 압력계(29)를 구비한 배관(30)을 매개로 밀폐용기(3)에 접속되어 있다.

다음에는 이와 같이 구성된 제1실시예 청정장치를 사용해서 물품의 표면에 부착된 물질을 청정하는 방법에 대해 설명한다.

앞문짝(17)을 들어올려 열고 밀폐용기(3)내에다 피처리품(1)을 장입한 후, 앞문짝(17)을 내려 개구부(16a)를 닫고서, 감압(진공)펌프(6)를 작동시켜 밀폐용기(3)의 밀폐공간(2)내부를 10^-2∼10^-÷torr정도까지 감압한 다음, 배관(30)을 통해 질소가스를 공급하여 가압한 상태에서 교반기(21)를 작동시켜 분위기를 교반하면서 발열체(4)로 소정 온도까지 온도를 높힌다. 그러면 피처리품(1)의, 온도가 질소가스에 의한 열전달작용으로 상승하게 되는바, 어느정도의 온도(지나치게 증발되지 않는 온도)까지 가열된 후에 감압시키고 나서 다시 피처리품(1)을 가열해서 부착물을 증발시킨다. 그런 다음에는 질소가스로 가압해서 냉각시키는바, 이때 그만큼 온도가 높혀진 질소가스를 예열로(31)로 도입해서 피처리품(1)의 예열에 사용하게 된다. 제2도는 밀폐공간(2)내의 압력과 피처리품(1)의 온도변화를 시간경과에 따라 도시한 것이다. 한편 증발물은 응축기(5)에 수용해서 응축시키고, 냉각된 피처리품(1)은 앞문짝(17)을 열고 끄집어 내게 된다.

이상과 같은 제1실시예에 따른 청정방법에 의하면, 피처리품의 표면에 부착된 금속이나 비금속류를 종래와 같이 특별한 청정제나 숏트가공시의 연소불꽃 같은 것이 사용되지 않고서도 극히 양호하게 제거될 수가 있게 된다.

제3도 내지 제4도는 본 발명의 제2실시예에 따른 청정장치의 정면도로서, 상기 제1실시예의 청정방법을 약간 변형시켜 적용한 것인 바, 이는 피처리품에 부착되어 있는 물이나 금속도금물과 같은 액체 및 고체를 제거함에 있어 피처리품을 미리 산화분위기의 노내에서 소정온도까지 가열한 후, 이 피처리품을 연속적으로 연결설치된 밀폐공간내부에 순차적으로 장입하여, 각 밀폐공간내를 감압수단으로 개별적으로 폭발한계이하의 소정압력으로 감압한 다음, 가열수단으로 가열함과 더불어 진공이 되도록 하거나 또는 가압수단으로 환원성가스를 공급하여 이 환원성가스에 의한 환원작용으로 탈산화 후 진공으로 되도록 하고서, 피처리품에 부착된 금속이나 도금물, 기름과 같은 부착물의 비등점 이상의 온도까지 가열함으로써 금속 등을 증발시킨 다음, 가열상태 그대로의 상태에서 감압되도록 함으로써 증기를 회수하여 가열된 회수경로도중에 설치된 응축수단에서 증발물을 수용하여 응축시키도록 되어 있다.

그리고, 상기 환원성가스로서는, 수소가스나 NH₃분해가스와 같은 환원성가스가 사용됨으로써, 밀폐공간 내부를 가압하거나 승온 또는 균열화(均熱化)할 때 제품이 환원되어져 충분한 탈산소화가 이루어지게 되는바, 이 환원성가스는 예열실로 순환시켜 피처리품을 환원시키기 위해 사용할 수도 있다.

다음에는 이상과 같은 제2실시예에 따른 청정방법을 실시하기 위해 사용되는 청정장치에 대해 설명한다.

가열로본체(101)내부가 단열성의 밀폐문짝으로 칸막이되어 1개 또는 복수이 밀폐가능한 공간으로 나뉘어져 있는바, 이들 각 밀폐공간의 바닥에는 피처리품이 적재된 트레이(160)를 반송하기 위한 자주롤러(自走 roller)와 푸셔(Pusher)용의 공압장치 또는 유압장치가 설치되면서, 자주롤러의 굴림축이 밀폐된 공간부 밖으로 연장되어 나와 자주롤러 구동장치에 부착되도록 되어 있다.

그리고 상기 각 밀폐공간은 중공형상의 증류기(Retort)바깥쪽에 단열재가 배치된 구조로 되어 있는바, 그중 가장 앞쪽(도면에서는 왼쪽끝) 밀폐공간은 앞쪽진공치환실(103)로서, 그 옆쪽 및 후면부(다음번 밀폐공간)에 밀폐문짝(104,105)이 각각 설치되어 있다.

여기서 진공치환이란 용어는, 밀폐공간(102)내부가 진공상태로 되거나, 또는 이 밀폐공간(102)내에 질소가스와 같은 불활성가스로 채워지는 경우 모두를 뜻하는 것으로 사용된다. 그리고 상기 밀폐문짝(104)은 도아실린더(106)에 의해 개폐시켜지고, 다른 밀폐문짝(105)은 도아실린더(107)에 의해 개폐시켜지도록 되어 있다.

제4도에 도시된 바와같이, 피처리품이 적재된 트레이(160)는 실린더로 된 반입구동장치(108)에 의해 앞쪽진공치환실(103)내로 반입되어 처리된 다음 실린더(109)에 의해 다음 밀폐공간으로 밀려져 이송되게 된다.

그리고 상기 앞쪽진공치환실(103)에는 다시 교반기(103a)와, 내부를 진공으로 만들기 위한 진공펌프(110) 및 피처리품으로부터 제거된 금속이나 물, 기름같은 것을 회수하는 응축수단(111)이 설치됨과 더불어, 예열가스를 공급하는 가스순환파이프(112)와 가스를 회수하는 회수파이프(113)가 각각 접속되어 있다.

또 상기 앞쪽진공치환실(103)에는 제1진공가열실(114)이 연결설치되면서 그 입구쪽에 도아실린더(115)에 의해 개폐구동시켜지는 밀폐문짝(116)이 갖추어져 있는바, 이 제1진공가열실(114)에는 밀폐공간내부를 가열하기 위한 히터(117)와, 밀폐공간과 연통되어 피처리품으로부터 제거된 증발물들을 응축시키는 응축수단(118,119) 및 이들 응축수단(118,119)을 매개로 이 밀폐공간을 감압시키는 감압수단인 진공펌프(120)가 갖추어져 있다. 또 이 진공펌프(120)에는 배기관이 부착되어 있기도 하다. 참조부호 121은 진공밸브이고, 122는 필터이다.

또한 상기 제1진공가열실(114)에는 다시 필요에 따라 밀폐공간내의 분위기를 교반하기 위한 교반팬(123)이 1개 또는 복수개 설치되게 된다.

참조부호 124는 상기 제1진공가열실(114)에 연속하도록 배치된 제2진공가열실로서, 이는 대체로 제1진공가열실(114)가 마찬가지로 구성되어 있는바, 즉 밀폐문짝(126)를 개폐하는 도아실린더(125)와, 히터(127), 응축수단(128,129), 진공펌프(130), 진공밸브(131), 필터(132), 교반팬(133)등을 구비하고 있다. 이와 같은 제2진공가열실(124)의 경우에는 뒷쪽에도 밀폐문짝(134)이 설치되어 도아실린더(135)에 의해 개폐구동되도록 되어 있다.

한편, 상기 제2진공가열실(124)에는 제3진공가열실(136)이 연속해서 배치되어 있는 바, 이 또한 상기 제2진공가열실(124)가 마찬가지로 밀폐문짝(137)과 이 밀폐문짝(137)을 개폐시키는 도아실린더(138), 응축수단(139,140), 진공펌프(141), 진공밸브(142), 필터(143) 및 냉각팬(144)이 설치되고, 뒷쪽에도 밀폐문짝(145)과 도아실린더(146)가 설치되어 있다.

그리고 상기 제3진공가열실(136)에는 뒷쪽진공치환실(147)이 연속배치되어 있는데, 이는 도아실린더(148)에 의해 개폐구동되는 밀폐문짝(149)과 실내를 진공으로 만드는 진공펌프(150), 응축수단(115) 및 실내로 이송된 트레이(160)를 반출하는 에어실린더로 된 반출구동장치(152)를 구비하고 있다.

또, 상기 이외에도 도시되지는 않았지만, 질소나 수소 등의 가스봄베가 배치되어, 이들이 진공밸브 및 압력계를 갖춘 배관을 매개로 각 진공가열실(114,124,136)에 접속되어 있다.

다음에는 이상과 같이 구성된 본 제2실시예에 청정장치의 작용에 대해 설명한다.

트레이(160)에 적재된 피처리품이 질소가스에 의해 냉각되어 반입구동장치(108)의 작용으로 앞쪽진공치환실(103)내로 반입되면, 도아실린더(106)의 작용으로 밀폐문짝(104)이 닫혀져 실내가 밀폐시켜지게 된다. 이어 그곳에서 진공펌프(110)가 동작해서 실내가 진공으로 됨과 더불어, 가스순환파이프(112)를 통해 공급되는 뒷쪽진공치환실(147)에서 온도가 올라간 질소가스 또는 가열장치에 의해 피처리품이 진공치환되면서 예열되게 된다. 또 예열시키지 않고 단순히 진공치환시키는 경우도 있다.

이어, 도아실린더(107)의 작용으로 밀폐문짝(105)이 열림과 더불어 도아실린더(115)의 작용으로 밀폐문짝(116)이 열려, 트레이(160)가 실린더(109)의 작동으로 밀려지거나 또는 자주롤러에 의해 제1진공가열실(114)내로 들어가게 되는바, 그곳에서 밀폐문짝(116)이 닫히면, 진공펌프(120)가 동작해서 실내가 진공으로됨과 더불어 히터(117)에 의해 가열되어져, 트레이(160)내의 피처리품으로부터 실내의 온도에 대응해서 물이나 도금금속, 기름 등이 증발해서 제거되게 된다. 이렇게 해서 제거된 증발물은 응축수단(118,119)으로 이송되어 응축되게 되는데, 이 제1진공가열실(114)에서의 가열은, 물이나 기름이 묻어있는 경우에 비교적 저온으로 가열되어, 주로 물, 기름과 같은 액체의 제거·회수가 이루어지게 한다.

이어 밀폐문짝(126)이 열려 피처리품이 제2진공가열실(124)로 반송되면, 밀폐문짝(126)이 닫힌 후 상기 제1진공가열실(114)과 마찬가지로 감압·가열이 이루어지고, 증발물 등의 응축이 이루어지게 된다. 이 제2진공가열실(124)에서의 가열은 상기 제1진공가열실(114)에서의 가열보다 고온에서 이루어져, 주로 아연도금 등과 같은 고체를 진공증발시키게 된다. 다음에는 피처리품이 다시 제3진공가열실(136)로 보내져 그곳에서 더 고온으로 증발되어 납과 같은 것이 제거되게 된다.

이어 피처리품이 뒷쪽진공치환실(147)로 보내지게 되는데, 그곳에서 제품을 무산화상태(霧散化狀態)로 끄집어낼려면, 질소가스로 가압해서 냉각시킨 다음 반출하게 되는바, 이때 온도가 높아진 질소가스는 가스순환파이프(112)를 거쳐 앞쪽진공치환실(103)로 유도되게 된다. 또 여기서 상기 앞쪽진공치환실(103)과 뒷쪽 진공치환실(147)은, 모두 진공가열실(114,124,136)내로 공기가 유입되는 것을 저지해서 피처리품이 산회되는 것을 방지하는 역할을 하게 된다.

또, 처리물의 회수조건에 따라서는, 제5도에 도시된 것과 같이 전·후에 진공치환실이 위치하고 중간에 진공증발실이 위치하는 합계 3개의 밀폐공간으로 되거나, 제6도에 도시된 것과 같이 진공치환실이 없는 1개의 밀폐공간만으로 된 것이어도 좋은바, 이와 같은 경우에도 유효성이 있음을 실험으로 확인할 수 있었다.

제7도에 도시된 그래프는, 본 발명에 따른 청정방법으로 아연제거실험을 한 결과 얻어진 아연회수율과 잔류아연량을 나타낸 것인바, 이 실험은 다음과 같은 조건하에서 이루어졌다.

피처리품 : 1개 300㎏(짜리 파편조각)

온 도 : 300℃, 500℃, 700℃, 900℃ 각 온도

진 공 도 : 5∼6×10^-3Torr

시 간 : 60분간 환원, 600분 진공증발회수(산화승온을 상거 온도에서 2시간씩)

이 그래프 중 횐원으로 이어진 것은 산화승온 후 수소가스로 환원시켜 진공증발회수한 경우의 아연회수율을 나타내고, 흰삼각으로 이어진 것은 산화승온 후 진공증발회수한 경우의 아연회수율을 나타내며, 검은원으로 이어진 것은 산화승온 후 수소가스로 환완시켜 진공증발회수한 경우의 잔류아연량을 나타내고, 검은 삼각은 산화승온 후 진공증발회수한 경우의 잔류아연량을 나타낸다.

이상 설명한 바와같이, 본 발명에 의하면, 산화승온 후 수소가스로 환원해서 금속산화물을 제거한 후 진공이 되도록 하여 진공증발시킴으로써, 피처리품의 표면에 부착된 아연이나 기타의 도금물, 기름, 금속과 같은 액체 및 고체를 제거·회수하게 됨으로써, 종래의 산화가열·진공증발회수법에 비해 회수율이 훨씬 좋아짐은 물론, 산화승온하여 아연을 회수하는 종래의 방법에 비해 저온에서도 완전히 제거할 수 있고, 또 밀폐공간내에서 청정처리되기 때문에 공해나 작업환경의 오염과 같은 걱정이 전혀 없으며, 운용비가 싸고 자동화하기도 쉬우며, 게다가 부착물이 진공증발에 의해 회수되기 때문에 순수에 가까운 것을 얻을 수가 있어서 회수물 자체의 재이용도 가능하게 되는 등의 효과가 있게 된다.

Claims (8)

1. 밀폐공간(2)내에 피처리품(1)을 장입하고서 밀폐공간(2)내부를 감압시킨 다음, 이 밀폐공간(2)내부를 가열함과 더불어 진공이 되도록 하거나 비산화성가스로 가압하고서 가열한 후 감압함으로써, 피처리품(1)에 부착된 액체나 고체를 밀폐공간내의 온도 및 압력의 변화에 의거하여 제거하도록 된 것을 특징으로 하는 고체표면 청정방법.
2. 피처리품(1)이 장입되는 밀폐공간(2)을 갖춘 밀폐용기(3)와, 이 밀폐용기(3)내부의 온도를 높히는 가열수단으로서의 발열체(4), 상기 밀폐공간(2)의, 내부와 연통되고서 상기 피처리품(1)으로부터 제거된 금속이나 비금속을 응축시키는 응축수단으로서의 응축기(5), 이 응축기(5)를 매개로 상기 밀폐용기(3)의 내부를 감압시키는 감압수단으로서의 감압펌프(6), 상기 밀폐공간(2)의 내부를 비산화성가스로 가압하기 위한 가압 수단인 질소가스봄베(7), 상기 비산화성가스로 피처리품(1)을 예열하는데 사용되는 예열수단으로서의 예열로(31)를 갖추어 이루어진 것을 특징으로 하는 고체표면 청정장치.
3. 진공증발시킬 피처리물을 가열수단을 갖춘 노의 내부에 장입하고서, 노의 내부를 산화가스분위기에서 소정온도까지 승온시킨 다음, 산화가스가 폭발한계 이하가 되도록 압력을 강하시킨 상태에서 상기 노의 내부로 환원분위기가스를 유입시켜 피처리품의 산화물을 환원시키고, 이어 상기 노의 내부를 지정된 증발온도 이상의 상태로 유지시키면서 감압수단으로 진공이 되도록 하여, 상기 피처리품으로부터 증발되어 나오는 물질을 상기 노에 연결설치된 회수장치로 유도해서 그곳에서 응축시켜 회수하도록 된 것을 특징으로 하는 고체표면 청정방법.
4. 진공증발시킬 피처리품이 장입된 노의 내부를 환원가스로 승온시켜, 상기 피처리품이 지정된 증발온도에 도달했을 때에 상기 노의 내부를 진공이 되도록 하는 한편, 발생하는 진공증발물을 상기 노에 연결설치된 회수장치로 유도해서, 그곳에서 응축시켜 회수하도록 된 것을 특징으로 하는 고체표면 청정방법.
5. 노의 내부온도를 상승시키는 가열수단과, 기체 및 액체를 응축시키는 응축수단, 이 응축수단을 매개로 상기 노의 내부를 감압시키는 감압수단 및 상기 노의 내부를 환원성가스로 가압하는 가압수단을 구비한 밀폐공간부를 갖추어 이루어진 것을 특징으로 하는 고체표면 청정장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 밀폐공간부가 다수개 연속적으로 배열설치되고서, 이들 각 밀폐공간부(114,124,136)에 부착된 밀폐문짝의 개폐에 따라 피처리품(1)이 상기 밀폐공간부(114,124,136)사이를 이동하도록 된 것을 특징으로 하는 고체표면 청정장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 각 밀폐공간부(114,124,136)에 설치된 가열수단과 응축수단, 감압수단 및 가압수단이 각각 단독으로 제어될 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 고체표면 청정장치.
8. 제6항에 있어서, 상기 연속배열된 밀폐공간부의 입구쪽 및 출구쪽에 진공치환실(103,147)이 각각 배치된 것을 특징으로 하는 고체표면 청정장치.