JPH08152719A - 非平面基板への露光方法及び装置 - Google Patents
非平面基板への露光方法及び装置Info
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- JPH08152719A JPH08152719A JP6294544A JP29454494A JPH08152719A JP H08152719 A JPH08152719 A JP H08152719A JP 6294544 A JP6294544 A JP 6294544A JP 29454494 A JP29454494 A JP 29454494A JP H08152719 A JPH08152719 A JP H08152719A
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 凹凸や曲面を有する非平面基板に対して配線
回路の露光描画を高速、精密で確実に行う方法及び装置
を提供する。 【構成】 基板表面に凹凸や曲面を有する非平面基板へ
の露光方法において、（１）基板表面の各部分に対して
非感光性光又は超音波を照射し、その回帰反射の強度測
定によって該部分の垂直方向を検出し、（２）検出され
た垂直方向より光が照射されるように密封型伸縮自在プ
リズムを作動させ、（３）基板表面の各部分に配線回路
印刷フィルム面を透過した光を垂直に照射する、ことを
特徴とする非平面基板への露光方法及び装置。
回路の露光描画を高速、精密で確実に行う方法及び装置
を提供する。 【構成】 基板表面に凹凸や曲面を有する非平面基板へ
の露光方法において、（１）基板表面の各部分に対して
非感光性光又は超音波を照射し、その回帰反射の強度測
定によって該部分の垂直方向を検出し、（２）検出され
た垂直方向より光が照射されるように密封型伸縮自在プ
リズムを作動させ、（３）基板表面の各部分に配線回路
印刷フィルム面を透過した光を垂直に照射する、ことを
特徴とする非平面基板への露光方法及び装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は立体成形基板、モールド
基板、反り基板、フレキシブル基板など、表面に凹凸や
曲面を有する非平面基板に対する配線回路露光描画を高
速で精密に確実に行う方法及び装置に関する。
基板、反り基板、フレキシブル基板など、表面に凹凸や
曲面を有する非平面基板に対する配線回路露光描画を高
速で精密に確実に行う方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近のエレクトロニクスの急激な進歩に
伴い、プリント基板は電気製品のみならず、さまざまな
製品の基本コンポーネントとして、その重要性がますま
す高まっている。しかもプリント回路構成も著しく複雑
化、多層化しつつあり、また製品サイクルの短縮化に伴
うプリント基板設計、製作期間の短縮の要求も高まって
きている。プリント基板設計は回路設計に始まりパター
ン設計を行い、製造データ出力となる。回路図作成はＣ
ＡＤ／ＣＡＭにより自動化されるようになった。回路図
にもとづいて、エッチングやコーティングを行ってプリ
ント基板が製造されるが、そのためには基板表面に配線
回路印刷フィルムを用いて、基板表面に設けられた感光
層を露光する工程が必要である。
伴い、プリント基板は電気製品のみならず、さまざまな
製品の基本コンポーネントとして、その重要性がますま
す高まっている。しかもプリント回路構成も著しく複雑
化、多層化しつつあり、また製品サイクルの短縮化に伴
うプリント基板設計、製作期間の短縮の要求も高まって
きている。プリント基板設計は回路設計に始まりパター
ン設計を行い、製造データ出力となる。回路図作成はＣ
ＡＤ／ＣＡＭにより自動化されるようになった。回路図
にもとづいて、エッチングやコーティングを行ってプリ
ント基板が製造されるが、そのためには基板表面に配線
回路印刷フィルムを用いて、基板表面に設けられた感光
層を露光する工程が必要である。
【０００３】次に基板面へ露光で作画するときはフォト
マスク作成の中間工程としての密着作業がある。用途に
より装置は大小あり、大は建物の一階部に光源を設置
し、二階部に操業盤と厚さ１０ｍｍ、縦３ｍ、横３ｍ程
の大きなガラス面を有し、その範囲内の密着反転が可能
なプリンターから微細パターン用のプリンターまであ
る。これは原理的には太陽を電気光源に置き変えた日光
写真と同じで、厚板と生感材（フィルムもしくはガラス
乾板）を合わせて光を照射するだけである。密着部に透
明ガラスを有し、その上に原板と生感材を密着状態にす
るためのゴムシート部があり、これがガラス面全体を覆
うかたちである。内部の光源は用途によってタングステ
ンランプ、高圧水銀灯、ハロゲンランプなど使われてい
る。密着工程は原板上にクリーンにしたガラス面に膜面
（画像がある乳剤面）を上にセットし、生フィルムをそ
の上に膜面を下にした状態でセットする。前記ゴムシー
トで覆いかぶせ、真空ポンプでガラス面とゴムシートの
間のエアーを抜き取り、同時に真空ムラを発生させない
ためにゴムシートの上からローラー等でしごき、完全真
空にして、露光をかければ、密着工程は終わりで露光工
程に入る。
マスク作成の中間工程としての密着作業がある。用途に
より装置は大小あり、大は建物の一階部に光源を設置
し、二階部に操業盤と厚さ１０ｍｍ、縦３ｍ、横３ｍ程
の大きなガラス面を有し、その範囲内の密着反転が可能
なプリンターから微細パターン用のプリンターまであ
る。これは原理的には太陽を電気光源に置き変えた日光
写真と同じで、厚板と生感材（フィルムもしくはガラス
乾板）を合わせて光を照射するだけである。密着部に透
明ガラスを有し、その上に原板と生感材を密着状態にす
るためのゴムシート部があり、これがガラス面全体を覆
うかたちである。内部の光源は用途によってタングステ
ンランプ、高圧水銀灯、ハロゲンランプなど使われてい
る。密着工程は原板上にクリーンにしたガラス面に膜面
（画像がある乳剤面）を上にセットし、生フィルムをそ
の上に膜面を下にした状態でセットする。前記ゴムシー
トで覆いかぶせ、真空ポンプでガラス面とゴムシートの
間のエアーを抜き取り、同時に真空ムラを発生させない
ためにゴムシートの上からローラー等でしごき、完全真
空にして、露光をかければ、密着工程は終わりで露光工
程に入る。
【０００４】しかしながら、上記の方法は表面に凹凸面
や曲面を有する基板の場合には十分な密着度が得られな
い。基板表面が一方向で、かつ段差が小さい場合は不完
全ながら密着できるが、段差が大きい場合、二方向以上
に段状を有する場合、基板中央に凹凸部がある場合、基
板表面が曲面の場合などは、配線回路印刷フィルムを密
着させることは困難である。凹凸面を有する基板にプリ
ント回路を設けるための従来方法には、基板形状に合わ
せたプレス型を用意し、その間に配線回路を印刷された
フィルムを入れ、プレスする方法があるが、凹又は凸部
に対しては一平面フィルムをプレスすると凹又は凸部の
傾斜面ではフィルムが伸ばされ、配線回路が変形された
り、印刷線幅の伸びや亀裂が発生したりするとともに、
露光が一様でなく、製品不良の原因となる問題があっ
た。又、他の従来技術にフィルム面に配線を印刷し、こ
のフィルムを型の中に入れるとともにその上に透明樹脂
液を流し込み、硬化した樹脂を取り出したあと、再び型
合せし、露光する方法がある。この方法によっても凹凸
部の傾斜面ではフィルムが伸ばされ、配線回路の段切れ
や露光量が不均一となるといった問題の他に工程的にも
複雑であり、これらは非平面基板に対しての配線技術と
して十分なものではなかった。
や曲面を有する基板の場合には十分な密着度が得られな
い。基板表面が一方向で、かつ段差が小さい場合は不完
全ながら密着できるが、段差が大きい場合、二方向以上
に段状を有する場合、基板中央に凹凸部がある場合、基
板表面が曲面の場合などは、配線回路印刷フィルムを密
着させることは困難である。凹凸面を有する基板にプリ
ント回路を設けるための従来方法には、基板形状に合わ
せたプレス型を用意し、その間に配線回路を印刷された
フィルムを入れ、プレスする方法があるが、凹又は凸部
に対しては一平面フィルムをプレスすると凹又は凸部の
傾斜面ではフィルムが伸ばされ、配線回路が変形された
り、印刷線幅の伸びや亀裂が発生したりするとともに、
露光が一様でなく、製品不良の原因となる問題があっ
た。又、他の従来技術にフィルム面に配線を印刷し、こ
のフィルムを型の中に入れるとともにその上に透明樹脂
液を流し込み、硬化した樹脂を取り出したあと、再び型
合せし、露光する方法がある。この方法によっても凹凸
部の傾斜面ではフィルムが伸ばされ、配線回路の段切れ
や露光量が不均一となるといった問題の他に工程的にも
複雑であり、これらは非平面基板に対しての配線技術と
して十分なものではなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は凹凸や曲面を
有する非平面基板に対して配線回路露光描画を高速、精
密で確実に行う方法及び装置を提供せんとするものであ
る。特に露光描画の自動化に役立つ。
有する非平面基板に対して配線回路露光描画を高速、精
密で確実に行う方法及び装置を提供せんとするものであ
る。特に露光描画の自動化に役立つ。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は鋭意検討した
結果、基板表の各部分に対して垂直方向より露光するこ
とにより上記課題が解決されることを見出し本発明に至
った。即ち、本発明は次の（１）〜（５）である。 （１）基板表面に凹凸や曲面を有する非平面基板への露
光方法において、（ｉ）基板表面の各部分に対して非感
光性光又は超音波を照射し、その回帰反射の強度測定に
よって該部分の垂直方向を検出し、（ii）検出された垂
直方向より光が照射されるように密封型伸縮自在プリズ
ムを作動させ、（iii）基板表面の各部分に配線回路印
刷フィルム面を透過した光を垂直に照射する、ことを特
徴とする非平面基板への露光方法。
結果、基板表の各部分に対して垂直方向より露光するこ
とにより上記課題が解決されることを見出し本発明に至
った。即ち、本発明は次の（１）〜（５）である。 （１）基板表面に凹凸や曲面を有する非平面基板への露
光方法において、（ｉ）基板表面の各部分に対して非感
光性光又は超音波を照射し、その回帰反射の強度測定に
よって該部分の垂直方向を検出し、（ii）検出された垂
直方向より光が照射されるように密封型伸縮自在プリズ
ムを作動させ、（iii）基板表面の各部分に配線回路印
刷フィルム面を透過した光を垂直に照射する、ことを特
徴とする非平面基板への露光方法。
【０００７】（２）基板表面に凹凸や曲面を有する非平
面基板への露光方法において、（ｉ）基板表面の各部分
に対して非感光性光又は超音波を照射し、その回帰反射
の強度測定によって該部分の垂直方向を検出し、（ii）
検出された垂直方向より光が照射されるようにカバー付
き球状ガラス先端を有するガラスファイバーの照射方向
を作動させ、（iii）基板表面の各部分に配線回路印刷
フィルム面を透過した光を垂直に照射する、ことを特徴
とする非平面基板への露光方法。 （３）基板表面の各部分に対して非感光性光又は超音波
を照射し、その回帰反射によって該部分の垂直方向を検
出する際に、ＣＣＤカメラによる光量検出又は超音波セ
ンサーによる検出、及び自動フォーカス機構を用い、密
封型伸縮自在プリズム又はカバー付き球状ガラス先端を
有するガラスファイバーの照射方向の制御を行うことを
特徴とする（１）又は（２）記載の非平面基板への露光
方法。
面基板への露光方法において、（ｉ）基板表面の各部分
に対して非感光性光又は超音波を照射し、その回帰反射
の強度測定によって該部分の垂直方向を検出し、（ii）
検出された垂直方向より光が照射されるようにカバー付
き球状ガラス先端を有するガラスファイバーの照射方向
を作動させ、（iii）基板表面の各部分に配線回路印刷
フィルム面を透過した光を垂直に照射する、ことを特徴
とする非平面基板への露光方法。 （３）基板表面の各部分に対して非感光性光又は超音波
を照射し、その回帰反射によって該部分の垂直方向を検
出する際に、ＣＣＤカメラによる光量検出又は超音波セ
ンサーによる検出、及び自動フォーカス機構を用い、密
封型伸縮自在プリズム又はカバー付き球状ガラス先端を
有するガラスファイバーの照射方向の制御を行うことを
特徴とする（１）又は（２）記載の非平面基板への露光
方法。
【０００８】（４）基板表面に凹凸や曲面を有する非平
面基板への露光装置において、（ｉ）基板表面の各部分
に対して非感光性光又は超音波を照射し、その回帰反射
の強度測定によって該部分の垂直方向を検出する垂直方
向検出器、（ii）検出された垂直方向へ光が照射される
ように作動する密封型伸縮自在プリズム、又はカバー付
き球状ガラス先端を有するガラスファイバー、（iii）
自動フォーカス機構、を有することを特徴とする非平面
基板への露光装置。 （５）垂直方向検出器がＣＣＤカメラ又は超音波センサ
ーであることを特徴とする（４）記載の非平面基板への
露光装置。
面基板への露光装置において、（ｉ）基板表面の各部分
に対して非感光性光又は超音波を照射し、その回帰反射
の強度測定によって該部分の垂直方向を検出する垂直方
向検出器、（ii）検出された垂直方向へ光が照射される
ように作動する密封型伸縮自在プリズム、又はカバー付
き球状ガラス先端を有するガラスファイバー、（iii）
自動フォーカス機構、を有することを特徴とする非平面
基板への露光装置。 （５）垂直方向検出器がＣＣＤカメラ又は超音波センサ
ーであることを特徴とする（４）記載の非平面基板への
露光装置。
【０００９】本発明でいう非平面基板とは、平面基板の
上に導体が配線された通常のプリント基板ではなく、高
密度化、部品の配置、配線パターンの立体化などの種々
の理由によって基板表面に凹凸や曲面を有するもので、
例えば立体成形基板、モールド基板、反り基板、フレキ
シブル基板などが挙げられる。各部分の凹凸や曲面を見
出し、その垂直方向を検出するために、本発明ではスキ
ャンする発光部又は超音波発振部から非感光性光又は超
音波を基板表面に向って照射し、基板表面で回帰反射す
る非感光性光又は超音波の強度がピークとなる点をＣＣ
Ｄカメラなどの受光器又は超音波センサーで求めてデー
タ化することによって行われる。この場合、スキャン中
に基板表面に凹凸部又は曲面が存在すると、この部分で
の反射強度が弱くなったりゼロになることから、このよ
うな部分については、再度、発光部又は超音波発振部を
角度を変えて、いわば首を振りながらスキャンさせて反
射強度のピークをその方向とともにデータ化し、記録す
る。但し、基板表面について設計時のデータが使える時
は該工程は簡略され、設計データより垂直方向に関する
データへ変換することができる。又、後述するように複
数のセンサーを用いることもできる。
上に導体が配線された通常のプリント基板ではなく、高
密度化、部品の配置、配線パターンの立体化などの種々
の理由によって基板表面に凹凸や曲面を有するもので、
例えば立体成形基板、モールド基板、反り基板、フレキ
シブル基板などが挙げられる。各部分の凹凸や曲面を見
出し、その垂直方向を検出するために、本発明ではスキ
ャンする発光部又は超音波発振部から非感光性光又は超
音波を基板表面に向って照射し、基板表面で回帰反射す
る非感光性光又は超音波の強度がピークとなる点をＣＣ
Ｄカメラなどの受光器又は超音波センサーで求めてデー
タ化することによって行われる。この場合、スキャン中
に基板表面に凹凸部又は曲面が存在すると、この部分で
の反射強度が弱くなったりゼロになることから、このよ
うな部分については、再度、発光部又は超音波発振部を
角度を変えて、いわば首を振りながらスキャンさせて反
射強度のピークをその方向とともにデータ化し、記録す
る。但し、基板表面について設計時のデータが使える時
は該工程は簡略され、設計データより垂直方向に関する
データへ変換することができる。又、後述するように複
数のセンサーを用いることもできる。
【００１０】図１及び２は本発明の原理を示す。非平面
基板１は互いに段差を有する平面２，３，４を有してい
る。図１のように、基板全体の表面と平行な平面部分３
においては、非感光性光又は超音波を照射する投射器５
から平面３に照射された非感光性光又は超音波は平面で
反射し露光装置より平面への垂線に対して入射角と反射
角が等しく反射して、その延長線上にある検出器６に入
る。このように検出器に非感光性光又は超音波が検出さ
れたことは平面３に対して垂直に露光が可能である。こ
れに対して非平面基板においては露光される面が、例え
ば図１の平面部分４のように基板全体の表面に対して傾
いている場合がある。図２のように、投射器５から照射
された非感光性光又は超音波は平面４で反射するが、所
定の位置にある検出器６では検出されない。このことか
ら、平面４は傾いた面、あるいは非平面であると判断さ
れる。検出器６及び／又は投射器５と平面４の位置関係
を変化させることにより、検出器６で非感光性光又は超
音波を捉えた位置関係は、結局、傾いた平面４の垂線上
より露光するに必要な情報を教えることになる。この情
報に基づいて傾いた平面部分４に対しても垂直方向から
露光することが可能となる。
基板１は互いに段差を有する平面２，３，４を有してい
る。図１のように、基板全体の表面と平行な平面部分３
においては、非感光性光又は超音波を照射する投射器５
から平面３に照射された非感光性光又は超音波は平面で
反射し露光装置より平面への垂線に対して入射角と反射
角が等しく反射して、その延長線上にある検出器６に入
る。このように検出器に非感光性光又は超音波が検出さ
れたことは平面３に対して垂直に露光が可能である。こ
れに対して非平面基板においては露光される面が、例え
ば図１の平面部分４のように基板全体の表面に対して傾
いている場合がある。図２のように、投射器５から照射
された非感光性光又は超音波は平面４で反射するが、所
定の位置にある検出器６では検出されない。このことか
ら、平面４は傾いた面、あるいは非平面であると判断さ
れる。検出器６及び／又は投射器５と平面４の位置関係
を変化させることにより、検出器６で非感光性光又は超
音波を捉えた位置関係は、結局、傾いた平面４の垂線上
より露光するに必要な情報を教えることになる。この情
報に基づいて傾いた平面部分４に対しても垂直方向から
露光することが可能となる。
【００１１】なお、上記垂直方向を検出する具体的方法
の一つを赤外線を例にとって説明する。一つの赤外線発
光素子からなる投射器、及び照射された赤外線が基板平
面で反射したものを入射角と反射角を等しくされた、換
言すれば露光方向が正しく基板平面に対して垂直方向に
向けられた場合に、反射赤外線を感知する位置、方向に
設けられた赤外線センサーからなる１個の検出器の組み
合せの他に、上記赤外線センサーの近傍に１個又は２個
以上のコントラスト比較用の赤外線センサーを配置す
る。主となる赤外線センサーとコントラスト比較用赤外
線センサーの受光量を比較し、その差が強くなる方向に
探りながら垂直方向検出器を作動させることにより、最
終的には主となる赤外線センサーのみが赤外線を検知す
る位置関係となった時が垂直方向検出器が基板表面と平
行になったことを示す。非感光性光とは、基板表面に感
光性樹脂が塗布された感光層を反応させない光のことで
あり、感光性樹脂が感度を有しない波長の光、赤外線、
紫外線などから選ばれて用いられる。発光源としてはフ
ィルター付きの各種ランプ、発光ダイオード、レーザな
どが用いられる。
の一つを赤外線を例にとって説明する。一つの赤外線発
光素子からなる投射器、及び照射された赤外線が基板平
面で反射したものを入射角と反射角を等しくされた、換
言すれば露光方向が正しく基板平面に対して垂直方向に
向けられた場合に、反射赤外線を感知する位置、方向に
設けられた赤外線センサーからなる１個の検出器の組み
合せの他に、上記赤外線センサーの近傍に１個又は２個
以上のコントラスト比較用の赤外線センサーを配置す
る。主となる赤外線センサーとコントラスト比較用赤外
線センサーの受光量を比較し、その差が強くなる方向に
探りながら垂直方向検出器を作動させることにより、最
終的には主となる赤外線センサーのみが赤外線を検知す
る位置関係となった時が垂直方向検出器が基板表面と平
行になったことを示す。非感光性光とは、基板表面に感
光性樹脂が塗布された感光層を反応させない光のことで
あり、感光性樹脂が感度を有しない波長の光、赤外線、
紫外線などから選ばれて用いられる。発光源としてはフ
ィルター付きの各種ランプ、発光ダイオード、レーザな
どが用いられる。
【００１２】これら光又は超音波を用いた回帰反射型検
知器によって、基板表面の各部分の垂直方向が検出され
る。基板表面の各部分の垂直方向が検出されると、次に
そのデータに基づいて、検出された垂直方向より基板に
向って光が照射される。この光は非感光性光とは違って
感光性樹脂を反応させるものであり、用いる感光性樹脂
によって波長が定まる。照射する光の方向を変化させる
ために、本発明では密封型伸縮自在プリズムやカバー付
き球状ガラス先端を有するガラスフアイバーが用いられ
る。密封型伸縮自在プリズムとはじゃばら状の伸縮自在
の側面を有する容器に透明液体、透明樹脂液が封入され
たものであって、光が入る入射面と光が出ていく投写面
が平行である時光は直線的に進むが、入射面と投写面が
平行でない時はプリズムとして作用して光は屈折して進
んでいく。本発明の密封型伸縮自在プリズムでは、先の
工程で得られた垂直方向のデータによってアクチュエー
ターが入射面と投写面を変化させ、基板の各部分の所望
の垂直方向に光を照射させることができる。
知器によって、基板表面の各部分の垂直方向が検出され
る。基板表面の各部分の垂直方向が検出されると、次に
そのデータに基づいて、検出された垂直方向より基板に
向って光が照射される。この光は非感光性光とは違って
感光性樹脂を反応させるものであり、用いる感光性樹脂
によって波長が定まる。照射する光の方向を変化させる
ために、本発明では密封型伸縮自在プリズムやカバー付
き球状ガラス先端を有するガラスフアイバーが用いられ
る。密封型伸縮自在プリズムとはじゃばら状の伸縮自在
の側面を有する容器に透明液体、透明樹脂液が封入され
たものであって、光が入る入射面と光が出ていく投写面
が平行である時光は直線的に進むが、入射面と投写面が
平行でない時はプリズムとして作用して光は屈折して進
んでいく。本発明の密封型伸縮自在プリズムでは、先の
工程で得られた垂直方向のデータによってアクチュエー
ターが入射面と投写面を変化させ、基板の各部分の所望
の垂直方向に光を照射させることができる。
【００１３】一方、カバー付き球状ガラス先端を有する
ガラスファイバーとは、胃カメラなどの内視鏡と同じ原
理であって、図４に示される。ガラスファイバー１４の
先端が球状１５になっており、しかも光を特定方向のみ
に照射するための反射器又は覆い１６が球状部分を囲ん
でいる構造を有するものである。図４の場合は覆い１６
に投射口１７が開孔している。この反射器又は覆いはガ
ラスファイバーと並設されている一本又は２本以上の制
御棒１８によって方向を自由に変えることができ、それ
によって投光方向を自由に変えることができる。基板へ
の露光は、光源より上記の密封型伸縮自在プリズム又は
ガラスファイバーより基板の各部分へ垂直方向より照射
され、配線回路印刷回路フィルムを透過して感光樹脂層
を光化学反応させる。この際、光源は先の垂直方向のデ
ータにもとづいて、オートフォーカス機構によって正確
に基板表面に露光させることができる。上記のような方
法又は装置によって、基板の立体面にも精密で正確な配
線を描くことが可能となる。本発明の露光工程のあと、
エッチング及び／又はコーティング等の通常の手段によ
って配線基板が完成される。
ガラスファイバーとは、胃カメラなどの内視鏡と同じ原
理であって、図４に示される。ガラスファイバー１４の
先端が球状１５になっており、しかも光を特定方向のみ
に照射するための反射器又は覆い１６が球状部分を囲ん
でいる構造を有するものである。図４の場合は覆い１６
に投射口１７が開孔している。この反射器又は覆いはガ
ラスファイバーと並設されている一本又は２本以上の制
御棒１８によって方向を自由に変えることができ、それ
によって投光方向を自由に変えることができる。基板へ
の露光は、光源より上記の密封型伸縮自在プリズム又は
ガラスファイバーより基板の各部分へ垂直方向より照射
され、配線回路印刷回路フィルムを透過して感光樹脂層
を光化学反応させる。この際、光源は先の垂直方向のデ
ータにもとづいて、オートフォーカス機構によって正確
に基板表面に露光させることができる。上記のような方
法又は装置によって、基板の立体面にも精密で正確な配
線を描くことが可能となる。本発明の露光工程のあと、
エッチング及び／又はコーティング等の通常の手段によ
って配線基板が完成される。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて以下に説明す
る。図３は本発明の露光方法及び装置を示している。非
平面基板１のある部分に対して露光する際、投射器５よ
り非感光性光又は超音波が基板に向って照射され、その
反射光又は超音波が検出器６で感知される。両者５，６
を有する垂直方向検出器７が基板面と平行な位置にあれ
ば、検出器６で完全に感知されるが、もし垂直方向検出
器７が基板面と平行な位置でなければ反射光又は超音波
は感知されないか、弱く感知されるので、最も強く感知
される位置関係が得られるように垂直方向検出器７を作
動させる。このようにして、垂直方向検出器７を基板表
面と平行した後、露光を行なった。
る。図３は本発明の露光方法及び装置を示している。非
平面基板１のある部分に対して露光する際、投射器５よ
り非感光性光又は超音波が基板に向って照射され、その
反射光又は超音波が検出器６で感知される。両者５，６
を有する垂直方向検出器７が基板面と平行な位置にあれ
ば、検出器６で完全に感知されるが、もし垂直方向検出
器７が基板面と平行な位置でなければ反射光又は超音波
は感知されないか、弱く感知されるので、最も強く感知
される位置関係が得られるように垂直方向検出器７を作
動させる。このようにして、垂直方向検出器７を基板表
面と平行した後、露光を行なった。
【００１５】露光はランプ８より投射された光が配線パ
ターンが描かれたフィルム９（図３においてはロールツ
ーロールになっている）及び平板ガラス１０を透過し、
密封型伸縮自在プリズム１２に入る。密封型伸縮自在プ
リズムの両端には適宜レンズ１１，１３が設けられ、投
射された光配線パターンフィルムを透過したあと、基板
表面において所望の縮尺となるように設計されている。
投射された光は密封型伸線自在プリズム中の媒体が有す
る屈折率によって、その進行方向が曲げられ、プリズム
を出る時には垂直位置検出器７によって、基板表面に垂
直方向に投射される。以上の操作は、基板全体の表面と
非平行な平面又は曲面についても実行される結果、非平
面基板の全ての面に対して、垂直方向から露光が行なわ
れることになって、凹凸や曲線を有する非平面基板に対
して配線パターンを正確かつ高速で露光、描画すること
ができた。これらの操作及び装置は自動化することがで
きる。本発明の他の実施例として、図３で示される密封
型伸縮自在プリズムにかえて、図４で示されるカバー付
き球状ガラス先端を有するガラスファイバーを用いた。
カバーに設けられた投射口１７の操作は、垂直方向検出
器によって得られたデータに基づいて、制御棒１８によ
り非感光性光が常に基板表面に垂直に照射されるように
行なった。
ターンが描かれたフィルム９（図３においてはロールツ
ーロールになっている）及び平板ガラス１０を透過し、
密封型伸縮自在プリズム１２に入る。密封型伸縮自在プ
リズムの両端には適宜レンズ１１，１３が設けられ、投
射された光配線パターンフィルムを透過したあと、基板
表面において所望の縮尺となるように設計されている。
投射された光は密封型伸線自在プリズム中の媒体が有す
る屈折率によって、その進行方向が曲げられ、プリズム
を出る時には垂直位置検出器７によって、基板表面に垂
直方向に投射される。以上の操作は、基板全体の表面と
非平行な平面又は曲面についても実行される結果、非平
面基板の全ての面に対して、垂直方向から露光が行なわ
れることになって、凹凸や曲線を有する非平面基板に対
して配線パターンを正確かつ高速で露光、描画すること
ができた。これらの操作及び装置は自動化することがで
きる。本発明の他の実施例として、図３で示される密封
型伸縮自在プリズムにかえて、図４で示されるカバー付
き球状ガラス先端を有するガラスファイバーを用いた。
カバーに設けられた投射口１７の操作は、垂直方向検出
器によって得られたデータに基づいて、制御棒１８によ
り非感光性光が常に基板表面に垂直に照射されるように
行なった。
【００１６】
【発明の効果】上記のとおり、本発明によれば、凹凸や
曲面を有する非平面基板に対して配線回路の露光描画を
高速、精密で確実に行う方法及び装置を提供する。
曲面を有する非平面基板に対して配線回路の露光描画を
高速、精密で確実に行う方法及び装置を提供する。
【図１】本発明の原理を示す図、
【図２】本発明の原理を示す図、
【図３】本発明の一実施例、
【図４】本発明に用いられるカバー付き球状ガラス先端
を有するガラスファイバー。
を有するガラスファイバー。
【符号の説明】 １ 非平面基板 ２ 基板の表面の部分 ３ 基板の表面の別の部分 ４ 基板の表面の別の部分 ５ 投射器 ６ 垂直方向検出器 ８ ランプ ９ 配線パターンフィルム １０ 平板ガラス １１ レンズ １２ 密封型伸縮自在プリズム １３ レンズ １４ ガラスファイバー １５ ガラスファイバーの球状先端部 １６ カバー １７ カバーに開けられた投射口 １８ 制御棒
Claims (5)
- 【請求項１】 基板表面に凹凸や曲面を有する非平面基
板への露光方法において、 （１）基板表面の各部分に対して非感光性光又は超音波
を照射し、その回帰反射の強度測定によって該部分の垂
直方向を検出し、 （２）検出された垂直方向より光が照射されるように密
封型伸縮自在プリズムを作動させ、 （３）基板表面の各部分に配線回路印刷フィルム面を透
過した光を垂直に照射する、ことを特徴とする非平面基
板への露光方法。 - 【請求項２】 基板表面に凹凸や曲面を有する非平面基
板への露光方法において、 （１）基板表面の各部分に対して非感光性光又は超音波
を照射し、その回帰反射の強度測定によって該部分の垂
直方向を検出し、 （２）検出された垂直方向より光が照射されるようにカ
バー付き球状ガラス先端を有するガラスファイバーの照
射方向を作動させ、 （３）基板表面の各部分に配線回路印刷フィルム面を透
過した光を垂直に照射する、ことを特徴とする非平面基
板への露光方法。 - 【請求項３】 基板表面の各部分に対して非感光性光又
は超音波を照射し、その回帰反射によって該部分の垂直
方向を検出する際に、ＣＣＤカメラによる光量検出又は
超音波センサーによる検出、及び自動フォーカス機構を
用い、密封型伸縮自在プリズム又はカバー付き球状ガラ
ス先端を有するガラスファイバーの照射方向の制御を行
うことを特徴とする請求項１又は２記載の非平面基板へ
の露光方法。 - 【請求項４】 基板表面に凹凸や曲面を有する非平面基
板への露光装置において、 （１）基板表面の各部分に対して非感光性光又は超音波
を照射し、その回帰反射の強度測定によって該部分の垂
直方向を検出する垂直方向検出器、 （２）検出された垂直方向へ光が照射されるように作動
する密封型伸縮自在プリズム、又はカバー付き球状ガラ
ス先端を有するガラスファイバー、 （３）自動フォーカス機構、を有することを特徴とする
非平面基板への露光装置。 - 【請求項５】 垂直方向検出器がＣＣＤカメラ又は超音
波センサーであることを特徴とする請求項４記載の非平
面基板への露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6294544A JP2614701B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 非平面基板への露光方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6294544A JP2614701B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 非平面基板への露光方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08152719A true JPH08152719A (ja) | 1996-06-11 |
| JP2614701B2 JP2614701B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=17809165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6294544A Expired - Lifetime JP2614701B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 非平面基板への露光方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2614701B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006179902A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Asml Netherlands Bv | 超音波距離センサ |
-
1994
- 1994-11-29 JP JP6294544A patent/JP2614701B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006179902A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Asml Netherlands Bv | 超音波距離センサ |
| JP4485463B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2010-06-23 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | リソグラフィ装置および素子製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2614701B2 (ja) | 1997-05-28 |
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