JPH11352468A - アライメントマークおよびアライメントマークの認識方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶表示装置に用いられるマイクロレンズア
レイのアライメントのためのアライメントマークを、マ
イクロレンズとは別の材料での形成を必要とすることな
く、その視認性を高めることができるようにする。 【解決手段】 マイクロレンズアレイ１のアライメント
マーク２をレンズ部１３と同一材料により形成するとと
もに、そのマイクロレンズアレイ１の表面と所定角度を
なす平面からなる傾斜面２ａを有するようにアライメン
トマーク２を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に用
いられるマイクロレンズアレイのアライメントマークお
よびそのアライメントマークの認識方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、カメラ一体型ＶＴＲや液晶プロジ
ェクター装置等に用いられる液晶表示装置としては、高
輝度化のために、ＴＦＴ基板にマイクロレンズアレイを
貼り付けたものが広く知られている。

【０００３】マイクロレンズアレイは、ＴＦＴ基板の画
素領域における各画素に対応したマイクロレンズを備え
ているものであり、例えば図３（ａ）〜（ｄ）に示すよ
うに、基ガラス１１の表面に、レンズ形成材料（樹脂）
１２を塗布し、この樹脂１２を型で押圧することにより
半球状のマイクロレンズ１３を形成し、その表面にカバ
ーガラス１４を貼り付けることによって完成されるもの
である。また、このような構成のものの他に、基ガラス
に凹部を形成して、そこにレンズ形成材料を埋め込むこ
とにより形成されたものもある。

【０００４】ところで、マイクロレンズアレイは、ＴＦ
Ｔ基板の画素領域に照明光を集光させて表示画像の明る
さを向上させる必要があることから、ＴＦＴ基板との間
の位置合わせ（アライメント調整）が非常に重要とな
る。また、マイクロレンズアレイを所定の大きさにダイ
シングする際にも、マイクロレンズアレイ自身のアライ
メント調整が必要となる。

【０００５】このようなアライメント調整を行うため
に、通常、マイクロレンズアレイには、アライメント位
置を特定するためのアライメントマーク１５が設けられ
ている。アライメントマーク１５としては、例えば図３
（ｃ），（ｄ）に示すように、ＴＦＴ基板の画素領域外
に相当する位置にマイクロレンズ１３と同様の形状で形
成されたものがある。なお、このアライメントマーク１
５は、製造工程の簡略化のため、マイクロレンズ１３と
同時に、しかもマイクロレンズ１３と同一の樹脂１２に
よって形成される。

【０００６】そして、アライメント調整を行う際には、
マイクロレンズアレイの上方からそのマイクロレンズア
レイに対する照射を行ってアライメントマーク１５を光
学的に検出することにより、マイクロレンズアレイとＴ
ＦＴ基板との相対位置またはマイクロレンズアレイ自身
の位置を認識している。特に、ダイシング時のアライメ
ント調整においては、マイクロレンズアレイ自身の高精
度な位置認識が必要とされる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のアライメントマーク１５は、マイクロレンズ１
３と同様に半球状に形成されているので、光学的に検出
する際の視認性が高いとはいえない。これは、アライメ
ントマーク１５が半球状に形成されていると、その半球
状のエッジ部分を除いては鮮明に識別することができず
（例えば図２におけるマイクロレンズ参照）、アライメ
ントマーク１５全体として十分なコントラストが得られ
ないためである。

【０００８】そのため、マイクロレンズアレイには、視
認性の向上のために、レンズ形成材料とは異なり光を透
過させることのない金属膜（Cr等）で形成されたアライ
メントマークを有するものもある。ところが、このマイ
クロレンズアレイでは、光学的に検出する際の視認性は
高くなるが、基ガラス１１上にマイクロレンズ１３を形
成する工程とは別にアライメントマークの形成工程が必
要となるので、製造工程が非常に手間のかかるものとな
ってしまい、結果としてマイクロレンズアレイのコスト
アップを招いてしまうおそれがある。

【０００９】そこで、本発明は、マイクロレンズとは別
に形成することを必要とせずに視認性を高めることを可
能にし、例えばマイクロレンズアレイのダイシング時で
あっても容易かつ高精度なアライメント調整ができるよ
うにするアライメントマークおよびアライメントマーク
の認識方法を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために案出されたアライメントマークで、液晶表
示装置に用いられるマイクロレンズアレイのアライメン
ト位置を特定するためにそのマイクロレンズアレイに設
けられたものであって、前記マイクロレンズアレイのレ
ンズ部と同一材料により形成されるとともに、前記マイ
クロレンズアレイ表面と所定角度をなす平面状からなる
傾斜面を有していることを特徴とするものである。

【００１１】このように構成されたアライメントマーク
によれば、レンズ部と同一材料によって形成されている
ことから、マイクロレンズアレイに対する照射光がアラ
イメントマークを透過することとなる。ただし、このと
き、その透過光は、傾斜面の部分において屈折される。
つまり、その透過光を光学的に検出すれば、傾斜面の部
分は、他の部分と透過光の光量が異なることとなる。し
たがって、傾斜面が形成された範囲は、他の部分と鮮明
に識別できるようになる。

【００１２】また、本発明は、上記目的を達成するため
に案出されたアライメントマークの認識方法で、液晶表
示装置に用いられるマイクロレンズアレイのダイシング
を行うのにあたって前記マイクロレンズアレイのアライ
メント位置を特定するために前記マイクロレンズアレイ
に設けられたアライメントマークを認識する際に用いら
れる方法であって、前記アライメントマークを前記マイ
クロレンズアレイのレンズ部と同一材料により形成し、
かつ、前記アライメントマークが前記マイクロレンズア
レイの表面と所定角度をなす平面からなる傾斜面を有す
るように形成し、前記マイクロレンズアレイに光透過性
を有するダイシングテープに貼付するとともに、前記ダ
イシングテープを貼付した後のマイクロレンズアレイを
略鏡面状の載置面を有するダイシングテーブル上に載置
し、前記ダイシングテーブル上に載置されたマイクロレ
ンズアレイの上方から光を照射して、前記マイクロレン
ズアレイおよび前記ダイシングテープを透過した光が前
記載置面で反射されるとその反射光を受光し、受光した
反射光の光量の少ない部分が前記傾斜面であるものとし
て前記アライメントマークの位置を認識することを特徴
とする。

【００１３】このような手順によるアライメントマーク
の認識方法によれば、アライメントマークがレンズ部と
同一材料によって形成され、しかも傾斜面を有している
ことから、マイクロレンズアレイに対する照射光は、ア
ライメントマークを透過するとともに、傾斜面の部分に
おいて屈折される。さらに、その照射光は、マイクロレ
ンズアレイに貼付されたダイシングテープを透過した後
に、略鏡面状の載置面で反射される。そのため、その反
射光を光学的に検出すれば、傾斜面の部分は他の部分と
その光量が異なることとなる。したがって、マイクロレ
ンズアレイがダイシングテープに貼付された状態でダイ
シングテーブル上に載置された場合であっても、傾斜面
が形成された範囲は他の部分と鮮明に識別できるように
なる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明に係わ
るアライメントマークおよびアライメントマークの認識
方法について説明する。

【００１５】図１は、本発明に係るアライメントマーク
の一例を備えて構成されたマイクロレンズアレイに対し
てダイシングを行うために、そのマイクロレンズアレイ
をダイシングテーブル上に載置した場合における断面構
造を示す説明図である。ただし、図中において、上述し
た従来のもの（図３参照）と同一の構成要素について
は、同一の符号を付している。

【００１６】ここで、先ず、本実施の形態におけるアラ
イメントマークを備えて構成されたマイクロレンズアレ
イ１について説明する。このマイクロレンズアレイ１
は、ＴＦＴ基板の対向基板として用いられるもので、図
例のように、基ガラス１１の表面に樹脂１２を塗布し、
この樹脂１２を型で押圧することにより半球状のマイク
ロレンズ１３を形成し、その表面にカバーガラス１４を
貼り付け、さらにマイクロレンズ１３とカバーガラス１
４との間を封止樹脂１６で封止することによって完成さ
れるものである。なお、基ガラス１１、樹脂１２、カバ
ーガラス１４および封止樹脂１６は、それぞれ光透過性
を備えているものとする。

【００１７】また、このマイクロレンズアレイ１には、
ＴＦＴ基板の画素領域外に相当する位置に、アライメン
トマーク２が設けられている。

【００１８】アライメントマーク２は、マイクロレンズ
１３と同一材料、すなわちレンズ形成材料（樹脂）１２
によって形成されており、しかも製造工程の簡略化のた
めマイクロレンズ１３と同時に形成されるようになって
いる。

【００１９】また、アライメントマーク２は、その断面
が、マイクロレンズアレイ１の表面側（カバーガラス１
４側）に向けて突出する二つの台形形状に形成されてい
る。つまり、アライメントマーク２は、マイクロレンズ
アレイ１の表面と所定角度をなす平面からなる傾斜面２
ａと、この傾斜面２ａに連続し、かつ、マイクロレンズ
アレイ１の表面と略平行に形成された平行面２ｂと、を
有するように構成されている。

【００２０】次に、以上のように構成されたマイクロレ
ンズアレイ１に対して、所定の大きさに分割するための
ダイシングを行う場合の処理について説明する。マイク
ロレンズアレイ１をダイシングするのにあたって、マイ
クロレンズアレイ１には、先ず、ダイシングテープ３が
貼付される。

【００２１】ダイシングテープ３は、粘着性樹脂シート
等からなるものであり、例えばマイクロレンズアレイ１
のフルカットダイシング後に延伸されることによって、
そのマイクロレンズアレイ１を個々に分割するためのも
のである。ただし、このダイシングテープ３は、透明樹
脂材料等によって形成されており、光透過性を備えてい
るものとする。

【００２２】そして、ダイシングテープ３が貼付された
マイクロレンズアレイ１は、ダイシングを行うダイシン
グ装置が有しているダイシングテーブル４上に載置され
る。

【００２３】ダイシングテーブル４は、例えばアルミ材
等の金属材料により形成されているもので、ダイシング
テープ３が貼付されたマイクロレンズアレイ１を載置す
るために、その上面に平滑に形成された載置面４ａを有
している。ただし、この載置面４ａは、光の反射率を向
上させるために、その表面が略鏡面状に仕上げられてい
る。

【００２４】ダイシングテーブル４の載置面４ａ上にマ
イクロレンズアレイ１およびダイシングテープ３が載置
されると、その後、マイクロレンズアレイ１に対するダ
イシングが行われる。ただし、このとき、高精度なダイ
シングを行うためには、マイクロレンズアレイ１自身の
アライメント調整が必要となる。

【００２５】そこで、ダイシングテープ３が貼付された
マイクロレンズアレイ１が載置面４ａ上に載置される
と、そのマイクロレンズアレイ１に対するダイシングに
先立ち、そのマイクロレンズアレイ１に設けられている
アライメントマーク２を光学的に検出して、マイクロレ
ンズアレイ１の位置認識を行う。

【００２６】具体的には、先ず、例えばダイシングテー
ブル４の上方に設けられた図示しない光源を用いて、載
置面４ａ上に載置されたマイクロレンズアレイ１および
ダイシングテープ３に対して光を照射する。このとき、
照射する光は、平行光が望ましい。

【００２７】マイクロレンズアレイ１およびダイシング
テープ３に対する照射を行うと、その照射光は、マイク
ロレンズアレイ１のカバーガラス１４、封止樹脂１６、
樹脂１２および基ガラス１１と、ダイシングテープ３と
を透過した後に、ダイシングテーブル４の載置面４ａに
よって反射される。そして、その反射方向に設けられて
いるＣＣＤ（Charge Coupled Device)等の受光手段（た
だし不図示）によって受光される。

【００２８】このとき、マイクロレンズアレイ１に設け
られたアライメントマーク２は、傾斜面２ａを有してい
る。そのため、マイクロレンズアレイ１に対する照射光
のうち、傾斜面２ａを透過する透過光は、その傾斜面２
ａの角度に応じた方向に屈折されることとなる。すなわ
ち、傾斜面２ａの透過光は、ＣＣＤ等の受光手段の方向
には反射されない。

【００２９】したがって、ＣＣＤ等の受光手段において
は、例えば図２に示すように、傾斜面２ａの部分（ある
一定領域の部分）の受光量が、他の部分の受光量と異な
るようになる。しかも、傾斜面２ａが平面状に形成され
ているため、受光量の相違は、ある一定の範囲にわたっ
て均一に現れる。これにより、ＣＣＤ等の受光手段で
は、受光量の多い部分と少ない部分とで十分なコントラ
ストが得られるようになり、その検出結果に従って受光
量の少ない部分がアライメントマーク２の傾斜面２ａで
あるとすることにより、アライメントマーク２の位置を
認識することができるようになる。

【００３０】以上のように、本実施の形態におけるアラ
イメントマーク２によれば、これを光学的に検出するの
にあたって、傾斜面２ａが透過光を屈折するので、その
傾斜面２ａの部分の受光量が他の部分と異なることとな
る。しかも、傾斜面２ａが平面状に形成されているた
め、受光量の相違は、ある一定の範囲にわたって均一に
現れる。そのために、傾斜面２ａの部分（ある一定領域
の部分）と他の部分とは、例えば金属膜でアライメント
マークを形成した場合と同様に、十分なコントラストが
得られることとなり、結果としてこれを鮮明に識別する
ことができるようになる。さらに、このアライメントマ
ーク２は、マイクロレンズ１３と同時に、かつ、同一材
料（樹脂１２）によって形成することができるので、製
造工程に手間がかかってしまうこともなく、結果として
マイクロレンズアレイ１のコストアップを招いてしまう
こともない。つまり、このアライメントマーク２を用い
れば、アライメントマーク２をマイクロレンズ１３とは
別に形成することを必要とせずに、その視認性を高める
ことができるようになる。

【００３１】また、本実施の形態におけるアライメント
マークの認識方法によれば、傾斜面２ａを有するアライ
メントマーク２を、光透過性のあるダイシングテープ３
が貼付され略鏡面状の載置面４ａ上に載置された状態で
光学的に検出するようになっているので、マイクロレン
ズアレイ１に対するダイシングを行う場合であっても、
そのアライメントマーク２を鮮明に識別することができ
るようになる。すなわち、マイクロレンズアレイ１のダ
イシング時において、そのマイクロレンズアレイ１自身
の位置を容易かつ正確に認識することが可能となる。し
たがって、従来は金属膜等によるアライメントマークを
形成しなければ困難であったダイシング時におけるアラ
イメント調整を、マイクロレンズ１３と同一材料による
アライメントマーク２により高精度に行うことが実現可
能となる。

【００３２】なお、本実施の形態では、アライメントマ
ーク２が二つの台形形状からなる場合を例に挙げて説明
したが、本発明はこれに限定されるものではない。例え
ば、アライメントマーク２は、傾斜面２ａを有している
ものであれば、一つの台形形状からなるものであって
も、また三つ以上の台形形状からなるものであってもよ
く、さらには平行面２ｂを有していないものであっても
よい。

【００３３】また、本実施の形態では、ダイシング時に
おけるアライメントマーク２の検出を例に挙げて説明し
たが、例えばダイシング時ではなくＴＦＴ基板との間の
位置合わせを行う場合であっても同様に適用可能である
ことはいうまでもない。

【００３４】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のアライ
メントマークおよびアライメントマークの認識方法で
は、アライメントマークが傾斜面を有していることか
ら、これを光学的に検出することによって、例えば金属
膜でアライメントマークを形成した場合と同様に十分な
コントラストを得ることが可能となり、これを鮮明に識
別することができるようになる。しかも、アライメント
マークはレンズ部と同一材料によって形成されているの
で、製造工程に手間がかかることなく、マイクロレンズ
アレイのコストアップ等を招いてしまうこともない。つ
まり、本発明のアライメントマークおよびアライメント
マークの認識方法によれば、アライメントマークをレン
ズ部と別に形成することを必要とせずに、その視認性を
高めることができるようになるので、高精度なマイクロ
レンズアレイのアライメント調整を容易かつ確実に実現
することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるアライメントマークの一例を備
えて構成されたマイクロレンズアレイに対してダイシン
グを行うために、そのマイクロレンズアレイをダイシン
グテーブル上に載置した場合における断面構造を示す説
明図である。

【図２】図１に示すマイクロレンズアレイが備えるアラ
イメントマークおよびマイクロレンズを光学的に検出し
た場合における検出結果の一例を示す概念図である。

【図３】従来のアライメントマークの一例を備えて構成
されたマイクロレンズアレイの断面構造を示す説明図で
あり、（ａ）〜（ｄ）はマイクロレンズアレイの製法順
にその断面構造を示した図である。

【符号の説明】

１…マイクロレンズアレイ、２…アライメントマーク、
２ａ…傾斜面、３…ダイシングテープ、４…ダイシング
テーブル、４ａ…載置面、１２…レンズ形成材料（樹
脂）、１３…マイクロレンズ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶表示装置に用いられるマイクロレン
   ズアレイのアライメント位置を特定するために該マイク
   ロレンズアレイに設けられたアライメントマークであっ
   て、 前記マイクロレンズアレイのレンズ部と同一材料により
   形成されるとともに、 前記マイクロレンズアレイ表面と所定角度をなす平面か
   らなる傾斜面を有していることを特徴とするアライメン
   トマーク。
2. 【請求項２】 液晶表示装置に用いられるマイクロレン
   ズアレイのダイシングを行うのにあたって前記マイクロ
   レンズアレイのアライメント位置を特定するために前記
   マイクロレンズアレイに設けられたアライメントマーク
   を認識する際に用いられるアライメントマークの認識方
   法であって、 前記アライメントマークを前記マイクロレンズアレイの
   レンズ部と同一材料により形成し、かつ、前記アライメ
   ントマークが前記マイクロレンズアレイの表面と所定角
   度をなす平面からなる傾斜面を有するように形成し、 前記マイクロレンズアレイに光透過性を有するダイシン
   グテープを貼付するとともに、前記ダイシングテープを
   貼付した後のマイクロレンズアレイを略鏡面状の載置面
   を有するダイシングテーブル上に載置し、 前記ダイシングテーブル上に載置されたマイクロレンズ
   アレイの上方から光を照射し、前記マイクロレンズアレ
   イおよび前記ダイシングテープを透過した光が前記載置
   面で反射されるとその反射光を受光し、 受光した反射光の光量の少ない部分が前記傾斜面である
   ものとして前記アライメントマークの位置を認識するこ
   とを特徴とするアライメントマークの認識方法。