JPH0812288B2 - カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタの製造方法Info
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- JPH0812288B2 JPH0812288B2 JP61039750A JP3975086A JPH0812288B2 JP H0812288 B2 JPH0812288 B2 JP H0812288B2 JP 61039750 A JP61039750 A JP 61039750A JP 3975086 A JP3975086 A JP 3975086A JP H0812288 B2 JPH0812288 B2 JP H0812288B2
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、液晶ディスプレイあるいは撮像素子など
に用いられるカラーフィルタにおいて、各画素パターン
の色むらを有効に防止する技術、特に、各色の画素パタ
ーン間に保護層を設けない構造のカラーフィルタの製造
技術として好適なものに関する。
に用いられるカラーフィルタにおいて、各画素パターン
の色むらを有効に防止する技術、特に、各色の画素パタ
ーン間に保護層を設けない構造のカラーフィルタの製造
技術として好適なものに関する。
（従来の技術） この種のカラーフィルタは、ガラス板等の基板の一面
に、少なくとも赤、緑、青の３色の画素パターンが周期
性をもって配列されている。たとえば、各色の画素パタ
ーンは市松あるいはストライプ模様状に各々配列されて
いる。こうしたカラーフィルタは、各色の画素パターン
間に保護層があるものとないものとに大別することがで
きる。第１に、ここで問題とするのは、中間の保護層が
ないカラーフィルタであり、そのタイプのものは、表面
の平坦性に優れ、かつ、画素パターン間での混色がな
く、しかもまた、全体の厚さを薄くすることができると
いう利点をもつ。
に、少なくとも赤、緑、青の３色の画素パターンが周期
性をもって配列されている。たとえば、各色の画素パタ
ーンは市松あるいはストライプ模様状に各々配列されて
いる。こうしたカラーフィルタは、各色の画素パターン
間に保護層があるものとないものとに大別することがで
きる。第１に、ここで問題とするのは、中間の保護層が
ないカラーフィルタであり、そのタイプのものは、表面
の平坦性に優れ、かつ、画素パターン間での混色がな
く、しかもまた、全体の厚さを薄くすることができると
いう利点をもつ。
また、カラーフィルタは、赤、緑、青の３色の画素パ
ターンの色間の膜厚をたとえば0.2μｍを超えるように
互いに大きく異ならせることによって、互いに異なる色
の画素パターンにより適正な電圧を印加するようにした
もの（たとえば、特開昭60−159823号公報参照）と、各
色の画素パターン間の膜厚差をたとえば0.1μｍ以下に
することによって、カラーフィルタの表面の平坦化を図
るようにしたものとがある。
ターンの色間の膜厚をたとえば0.2μｍを超えるように
互いに大きく異ならせることによって、互いに異なる色
の画素パターンにより適正な電圧を印加するようにした
もの（たとえば、特開昭60−159823号公報参照）と、各
色の画素パターン間の膜厚差をたとえば0.1μｍ以下に
することによって、カラーフィルタの表面の平坦化を図
るようにしたものとがある。
ここでは、各色の画素パターン間の膜厚差が小さく、
しかも、中間の保護層がないカラーフィルタを前提とし
て話を進める。
しかも、中間の保護層がないカラーフィルタを前提とし
て話を進める。
こうしたカラーフィルタを製造する場合、各色の画素
パターンを各色ごとに順次パターンニングするが、パタ
ーンニング手法の一つとして、まず、着色塗布液を基板
上に回転塗布することによって着色層を形成し、つい
で、加工精度の高いフォトリソグラフィ技術によって画
素パターンをパターンニングする技術が知られている
（たとえば、特開昭60−237403号公報参照）。
パターンを各色ごとに順次パターンニングするが、パタ
ーンニング手法の一つとして、まず、着色塗布液を基板
上に回転塗布することによって着色層を形成し、つい
で、加工精度の高いフォトリソグラフィ技術によって画
素パターンをパターンニングする技術が知られている
（たとえば、特開昭60−237403号公報参照）。
（発明が解決しようとする問題点） ところで、前記保護層を用いないカラーフィルタの利
点を生かすため、従来、各色の画素パターンは各々同じ
厚さになるよう、たとえば、同じ粘度の塗布液では後で
形成するものほど塗布時の回転数を大きくすることが必
要であった。というのは、既に形成済みの既存パターン
が、回転塗布時、塗布液の移動を妨げるからである。
点を生かすため、従来、各色の画素パターンは各々同じ
厚さになるよう、たとえば、同じ粘度の塗布液では後で
形成するものほど塗布時の回転数を大きくすることが必
要であった。というのは、既に形成済みの既存パターン
が、回転塗布時、塗布液の移動を妨げるからである。
しかし、本発明者等が検討したところ、２色目および
３色目の画素パターンに色むら（濃度差）が生じる傾向
があり、安定した品質のカラーフィルタを得る上での障
害になるおそれがあることが判った。特に、そのおそれ
は、カラーフィルタの大きさが大になればなるほど大き
くなる。問題の色むらは、カラーフィルタの面上、回転
の中心となる中心部からパターンに沿って生じている。
したがって、回転塗布時、パターンに沿って塗布液の流
れが速くなる個所ができており、それが原因して前記色
むらが生じていると考えられる。
３色目の画素パターンに色むら（濃度差）が生じる傾向
があり、安定した品質のカラーフィルタを得る上での障
害になるおそれがあることが判った。特に、そのおそれ
は、カラーフィルタの大きさが大になればなるほど大き
くなる。問題の色むらは、カラーフィルタの面上、回転
の中心となる中心部からパターンに沿って生じている。
したがって、回転塗布時、パターンに沿って塗布液の流
れが速くなる個所ができており、それが原因して前記色
むらが生じていると考えられる。
（問題点を解決するための手段） この発明では、既存パターンの上に形成する２色目以
降の画素パターンの色むらが、塗布回転数を小さくすれ
ばするほど、あるいはまた、既存パターンの膜厚を薄く
すればするほど出にくくなることに着目し、前記各色の
画素パターンの厚さを、前段よりも次段というように、
後で形成するものほど厚くなるように設定している。
降の画素パターンの色むらが、塗布回転数を小さくすれ
ばするほど、あるいはまた、既存パターンの膜厚を薄く
すればするほど出にくくなることに着目し、前記各色の
画素パターンの厚さを、前段よりも次段というように、
後で形成するものほど厚くなるように設定している。
具体的には、次のような各点を都合良く組み合わせる
ことによって、色むらのない均一なカラーフィルタを形
成する。（ａ）必要とする色濃度を考慮することによっ
て、１色目を一番膜厚の薄いものにし、２色目、３色目
と順次膜厚の厚いものとする、（ｂ）２色目以降、塗布
時の回転数を低速にする、（ｃ）２色目以降の塗布液の
粘度を上げる、などの諸点である。
ことによって、色むらのない均一なカラーフィルタを形
成する。（ａ）必要とする色濃度を考慮することによっ
て、１色目を一番膜厚の薄いものにし、２色目、３色目
と順次膜厚の厚いものとする、（ｂ）２色目以降、塗布
時の回転数を低速にする、（ｃ）２色目以降の塗布液の
粘度を上げる、などの諸点である。
なお、赤、緑、青の互いに異なる色の画素パターン間
の膜厚差は、0.1μｍ以下であり、それによって、各画
素パターンを含むカラーフィルタの全体としての膜厚の
均一性、すなわち表面の平坦性の利点を損なわないよう
にしている。
の膜厚差は、0.1μｍ以下であり、それによって、各画
素パターンを含むカラーフィルタの全体としての膜厚の
均一性、すなわち表面の平坦性の利点を損なわないよう
にしている。
（作 用） 既存パターンはその上に塗布する塗布液の移動を妨げ
ようとするが、既存パターンの膜厚が比較的に薄いこ
と、および塗布する次段のパターンの膜厚が比較的に厚
く、塗布時の回転数を小さくすることができることか
ら、前述したような色むらはほとんど生じない。
ようとするが、既存パターンの膜厚が比較的に薄いこ
と、および塗布する次段のパターンの膜厚が比較的に厚
く、塗布時の回転数を小さくすることができることか
ら、前述したような色むらはほとんど生じない。
また、着色塗布液として、ポリイミド前駆体溶液、希
釈のための溶剤、および着色のための染料を含む溶液か
ら成るものを用いる場合、保護層がないことから既存パ
ターンが塗布液によってわずかながらダメージを受ける
が、塗布回転数が小さくなり塗布液の移動速度が小さく
なるため、そうしたダメージもほとんど無視できる程度
のものとなる。
釈のための溶剤、および着色のための染料を含む溶液か
ら成るものを用いる場合、保護層がないことから既存パ
ターンが塗布液によってわずかながらダメージを受ける
が、塗布回転数が小さくなり塗布液の移動速度が小さく
なるため、そうしたダメージもほとんど無視できる程度
のものとなる。
（実施例） 液晶ディスプレイ用のカラーフィルタとして、第１図
および第２図に示すように、透明なガラス基板10上に赤
のパターンＲ、緑のパターンＧ、青のパターンＢの３色
の画素パターンを各々市松模様状に配置したカラーフィ
ルタ20を製造した。各画素パターンは青、赤、緑の順に
形成し、最後に各画素パターン上を保護層12で被った。
保護層12の膜厚は0.80μｍであり、各画素パターンは保
護層12を含めて、青が2.15μｍ（保護層12を除くと、1.
35μｍ）、赤が2.18μｍ（保護層12を除くと、1.38μ
ｍ）、緑が2.20μｍ（保護層12を除くと、1.40μｍ）と
いうように、後で形成するものほど厚くなるようにし
た。
および第２図に示すように、透明なガラス基板10上に赤
のパターンＲ、緑のパターンＧ、青のパターンＢの３色
の画素パターンを各々市松模様状に配置したカラーフィ
ルタ20を製造した。各画素パターンは青、赤、緑の順に
形成し、最後に各画素パターン上を保護層12で被った。
保護層12の膜厚は0.80μｍであり、各画素パターンは保
護層12を含めて、青が2.15μｍ（保護層12を除くと、1.
35μｍ）、赤が2.18μｍ（保護層12を除くと、1.38μ
ｍ）、緑が2.20μｍ（保護層12を除くと、1.40μｍ）と
いうように、後で形成するものほど厚くなるようにし
た。
まず、ガラス基板10上に、青用の着色塗布液（ポリイ
ミド前駆体溶液5gに対し、ソルベントブルー42を0.32
g、溶剤7.5gを加えたもの）を900rpm、90秒で回転塗布
し、150℃、30分間乾燥後、ポジタイプのフォトレジス
トを回転塗布し、100℃、30分間乾燥した。次に、青用
マスクを使用し、所定の露光の後、水酸化ナトリウム水
溶液で現像、エッチングを行ない、その後、セロソルブ
アセテートによってフォトレジストを剥離した。そし
て、200℃以上で30分間乾燥し、青の画素パターンＢを
形成した。
ミド前駆体溶液5gに対し、ソルベントブルー42を0.32
g、溶剤7.5gを加えたもの）を900rpm、90秒で回転塗布
し、150℃、30分間乾燥後、ポジタイプのフォトレジス
トを回転塗布し、100℃、30分間乾燥した。次に、青用
マスクを使用し、所定の露光の後、水酸化ナトリウム水
溶液で現像、エッチングを行ない、その後、セロソルブ
アセテートによってフォトレジストを剥離した。そし
て、200℃以上で30分間乾燥し、青の画素パターンＢを
形成した。
以下同様の手法によって、赤用の着色塗布液（ポリイ
ミド前駆体溶液5gに対し、アシッドレッド257を0.5g、
溶剤8.5gを加えたもの）を1000rpm、90秒で回転塗布
し、赤の画素パターンＲ、また、緑用の着色塗布液（ポ
リイミド前駆体溶液5gに対し、ソルベントイエロー77を
0.5g、アシッドブルー７を0.16g、溶剤8.5gを加えたも
の）を950rpm、90秒で回転塗布し、緑の画素パターンＧ
を形成した。そして、保護層12は、ポリイミド前駆体溶
液5gに対して溶剤7.5gを加えたものを1000rpm、90秒で
回転塗布することによって形成した。
ミド前駆体溶液5gに対し、アシッドレッド257を0.5g、
溶剤8.5gを加えたもの）を1000rpm、90秒で回転塗布
し、赤の画素パターンＲ、また、緑用の着色塗布液（ポ
リイミド前駆体溶液5gに対し、ソルベントイエロー77を
0.5g、アシッドブルー７を0.16g、溶剤8.5gを加えたも
の）を950rpm、90秒で回転塗布し、緑の画素パターンＧ
を形成した。そして、保護層12は、ポリイミド前駆体溶
液5gに対して溶剤7.5gを加えたものを1000rpm、90秒で
回転塗布することによって形成した。
こうして得たカラーフィルタ20には、各画素パター
ン、特に２色目、３色目の赤および緑の各画素パターン
に目視できるような色むらは観察されなかった。
ン、特に２色目、３色目の赤および緑の各画素パターン
に目視できるような色むらは観察されなかった。
なお、３色の各画素パターンＲ、Ｇ、Ｂに加えて、格
子状の遮光パターンを設けることができるし、あるい
は、保護層12を省略することもできる。
子状の遮光パターンを設けることができるし、あるい
は、保護層12を省略することもできる。
また、被膜の形成方法として、スピンナーを利用した
回転塗布のみならず、ロールコータあるいはカーテンコ
ータを用いて予備的な被膜を形成し、ついで、スピンナ
ーによって余分なものを除去する方法を用いることがで
きる。
回転塗布のみならず、ロールコータあるいはカーテンコ
ータを用いて予備的な被膜を形成し、ついで、スピンナ
ーによって余分なものを除去する方法を用いることがで
きる。
（発明の効果） この発明にあっては、基板10上に複数ある各色の画素
パターンを色ごとに順次パターンニングするに際し、各
色の画素パターンの厚さを、前段よりも次段というよう
に、後で形成するものほど厚くなるように設定している
ため、色むらの発生を防止することができ、カラーフィ
ルタの製造歩留まりを高めることができるのは勿論のこ
と、品質の安定化を図ることができる。
パターンを色ごとに順次パターンニングするに際し、各
色の画素パターンの厚さを、前段よりも次段というよう
に、後で形成するものほど厚くなるように設定している
ため、色むらの発生を防止することができ、カラーフィ
ルタの製造歩留まりを高めることができるのは勿論のこ
と、品質の安定化を図ることができる。
第１図は画素パターンの配列を示すレイアウト図、第２
図は第１図のII−II線に沿った部分の拡大断面図であ
る。 10……基板、12……保護層、20……カラーフィルタ、Ｒ
……赤の画素パターン、Ｇ……緑の画素パターン、Ｂ…
…青の画素パターン。
図は第１図のII−II線に沿った部分の拡大断面図であ
る。 10……基板、12……保護層、20……カラーフィルタ、Ｒ
……赤の画素パターン、Ｇ……緑の画素パターン、Ｂ…
…青の画素パターン。
Claims (2)
- 【請求項１】基板の一面に、少なくとも赤、緑、青の３
色の画素パターンが周期性をもって配列され、しかも、
互いに異なる色の画素パターン間の膜厚差が0.1μｍ以
下である、カラーフィルタを製造する方法であって、各
色の画素パターンを色ごとに順次パターンニングするに
際し、ある色についての前段の画素パターンのパターン
ニング後、保護層を介することなく、他の色についての
次段の画素パターンを得るための着色塗布液を回転塗布
するカラーフィルタの製造方法において、前記各色の画
素パターンの厚さを、前段よりも次段というように、後
で形成するものほど厚くなるように設定したことを特徴
とする、カラーフィルタの製造方法。 - 【請求項２】前記着色塗布液は、ポリイミド前駆体溶
液、希釈のための溶剤、および着色のための染料を含む
溶液から成る、特許請求の範囲第１項記載のカラーフィ
ルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61039750A JPH0812288B2 (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61039750A JPH0812288B2 (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62196603A JPS62196603A (ja) | 1987-08-31 |
| JPH0812288B2 true JPH0812288B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=12561635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61039750A Expired - Fee Related JPH0812288B2 (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0812288B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5330119B2 (ja) * | 2009-06-25 | 2013-10-30 | 富士フイルム株式会社 | 撮像素子の製造方法及び撮像素子 |
| JP2012234197A (ja) * | 2012-07-20 | 2012-11-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 着色層形成用感光性樹脂組成物、着色層形成用感光性樹脂組成物セットおよびそれらの製造方法 |
| JP6186698B2 (ja) * | 2012-10-29 | 2017-08-30 | セイコーエプソン株式会社 | 有機ｅｌ装置、電子機器 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60159823A (ja) * | 1984-01-31 | 1985-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−液晶表示装置 |
| JPS6269234A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶カラ−表示装置 |
| JPS62153903A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示体用カラ−フイルタの製造法 |
-
1986
- 1986-02-25 JP JP61039750A patent/JPH0812288B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60159823A (ja) * | 1984-01-31 | 1985-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−液晶表示装置 |
| JPS6269234A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶カラ−表示装置 |
| JPS62153903A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示体用カラ−フイルタの製造法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62196603A (ja) | 1987-08-31 |
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