JPH0345903A - 色分離フィルターの製造方法 - Google Patents
色分離フィルターの製造方法Info
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- JPH0345903A JPH0345903A JP1181228A JP18122889A JPH0345903A JP H0345903 A JPH0345903 A JP H0345903A JP 1181228 A JP1181228 A JP 1181228A JP 18122889 A JP18122889 A JP 18122889A JP H0345903 A JPH0345903 A JP H0345903A
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は色分離フィルターの製造方法に関するものであ
る。
る。
ビデオカメラ用撮像管、固体撮像素子、液晶パネル等に
用いる色分離フィルターは複数の異なる色のモザイク状
あるいはストライプ状のフィルター層を基板上に形成し
たものである。一般にその形成方法は基板上に感光性を
有する透明樹脂膜をスピンナーにより塗布後バターニン
グ及び着色を色回数繰り返し形成する。ここで、前記透
明樹脂の代わりに着色済みの樹脂を用い着色工程を省略
する方法もある。
用いる色分離フィルターは複数の異なる色のモザイク状
あるいはストライプ状のフィルター層を基板上に形成し
たものである。一般にその形成方法は基板上に感光性を
有する透明樹脂膜をスピンナーにより塗布後バターニン
グ及び着色を色回数繰り返し形成する。ここで、前記透
明樹脂の代わりに着色済みの樹脂を用い着色工程を省略
する方法もある。
色分離フィルターの一例である赤、緑、青の３色をモザ
イク状に形成した色分離フィルターの製造方法を工程断
面図第６図（ａ）〜（ｄ）に従い説明する。
イク状に形成した色分離フィルターの製造方法を工程断
面図第６図（ａ）〜（ｄ）に従い説明する。
まず基板２０上に感光性を有する透明樹脂をスピンナー
塗布し第６図（ａ）の塗布膜１を形成する。
塗布し第６図（ａ）の塗布膜１を形成する。
次に第４図に示す遮光部１４を有するフォトマスクを用
いてフォトリソグラフィーを行い第６図（ｂ）のパター
ン２を形成する。次に赤色染料により着色し第６図（Ｃ
）のパターン３を形成する。以上の工程をパターンの位
置をずらし且つ着色剤を緑、青に変えて２回繰り返すこ
とにより第６図（ｄ）に示す緑着色パターン４と青着色
パターン５を加えた色分離フィルターが作製できる。第
７図は第６図（ｄ）の平面図である。
いてフォトリソグラフィーを行い第６図（ｂ）のパター
ン２を形成する。次に赤色染料により着色し第６図（Ｃ
）のパターン３を形成する。以上の工程をパターンの位
置をずらし且つ着色剤を緑、青に変えて２回繰り返すこ
とにより第６図（ｄ）に示す緑着色パターン４と青着色
パターン５を加えた色分離フィルターが作製できる。第
７図は第６図（ｄ）の平面図である。
しかしながら、前記した従来法の欠点として第８図に示
すように基板のスピンナー回転中心Ａからパターン配列
方向に沿った線Ｂで分割されるＣ１Ｄ領域で２色目に形
成する透明樹脂膜の膜厚が異なる。これは、第８図にお
いて丸印をした領域が２色目の塗布液がスピンコードさ
れる領域を示しているがＣ領域では１色目のパターンに
ぶつかり膜厚領域１５が生じるがＤ領域ではこのような
残留部分がないためである。この場合膜厚差が大きい時
には着色後に色むらが生じる。液晶表示装置にこの色分
離フィルターを用いると、前記液晶表示装置の表示品質
を著しく低下させる原因となる。
すように基板のスピンナー回転中心Ａからパターン配列
方向に沿った線Ｂで分割されるＣ１Ｄ領域で２色目に形
成する透明樹脂膜の膜厚が異なる。これは、第８図にお
いて丸印をした領域が２色目の塗布液がスピンコードさ
れる領域を示しているがＣ領域では１色目のパターンに
ぶつかり膜厚領域１５が生じるがＤ領域ではこのような
残留部分がないためである。この場合膜厚差が大きい時
には着色後に色むらが生じる。液晶表示装置にこの色分
離フィルターを用いると、前記液晶表示装置の表示品質
を著しく低下させる原因となる。
本発明の目的は、このような問題点を解決し、膜厚むら
、色むらのない色分離フィルターの製造方法を提供する
ことにある。
、色むらのない色分離フィルターの製造方法を提供する
ことにある。
上記目的を達成するために、本発明では、着色領域を形
成する樹脂を塗布する前に、着色領域の境目となる部分
に、スピンナーにより着色領域に塗布される樹脂が均一
に残留するように樹脂パターンを形成し、しかる後にス
ピンナーにより各色毎に樹脂を塗布するようにした事を
特徴としている。
成する樹脂を塗布する前に、着色領域の境目となる部分
に、スピンナーにより着色領域に塗布される樹脂が均一
に残留するように樹脂パターンを形成し、しかる後にス
ピンナーにより各色毎に樹脂を塗布するようにした事を
特徴としている。
本実施例による色分離フィルターの製造方法を第１図（
ａ）〜（ｆ）により説明する。ガラス基板上にゼラチン
−重クロム酸アンモニウムからなる水溶液を回転数１１
０００ｒｐ、回転時間３０秒でスピン塗布、乾燥し厚さ
０．８μｍの第１図（ａ）の塗布膜６を形成する。次に
第３図に示す遮光部１３を有するフォトマスクを用いて
フォトリソグラフィーを行い第１図（ｂ）のパターン７
を形成する。次Ｋ、前記水溶液を再び前記条件でスピン
塗布、乾燥し厚さ０．８μｍの第１図（Ｃ）の塗布膜８
を形成する。
ａ）〜（ｆ）により説明する。ガラス基板上にゼラチン
−重クロム酸アンモニウムからなる水溶液を回転数１１
０００ｒｐ、回転時間３０秒でスピン塗布、乾燥し厚さ
０．８μｍの第１図（ａ）の塗布膜６を形成する。次に
第３図に示す遮光部１３を有するフォトマスクを用いて
フォトリソグラフィーを行い第１図（ｂ）のパターン７
を形成する。次Ｋ、前記水溶液を再び前記条件でスピン
塗布、乾燥し厚さ０．８μｍの第１図（Ｃ）の塗布膜８
を形成する。
次に第４図に示す遮光部１４を有するフォトマスクを用
いてフォトリソグラフィーを行い第１図（ｄ）のパター
ン９を形成する。次に赤色染料により着色し第１図（ｅ
）のパターン１０を形成する。次に、第１図（Ｃ）以降
の工程をパターンの位置をずらし且つ着色剤を緑、青に
変えて２回繰り返すことにより第１図（ｆ）に示す緑着
色パターン１１と青着色パターン１２を加えた色分離フ
ィルターを作製した。
いてフォトリソグラフィーを行い第１図（ｄ）のパター
ン９を形成する。次に赤色染料により着色し第１図（ｅ
）のパターン１０を形成する。次に、第１図（Ｃ）以降
の工程をパターンの位置をずらし且つ着色剤を緑、青に
変えて２回繰り返すことにより第１図（ｆ）に示す緑着
色パターン１１と青着色パターン１２を加えた色分離フ
ィルターを作製した。
第２図は第１図（ｆ）の平面図であり、各部の番号は第
１図と対応している。
１図と対応している。
このような製造方法では、第５図に示すように、丸印で
示した２回目に塗布した部分の樹脂の残留量がＣ領域も
着色領域に設けられた樹脂パターン７により、膜厚領域
１５が残るのでＤ領域と同じになり、膜厚むら、色むら
のない色分離フィルターが得られる。尚、樹脂のスピン
コード時に、樹脂粘度を調節し、回転数１５０Ｏｒｐｍ
以下、回転時間３０秒以内で塗布することでさらに膜厚
均一化が計れる。
示した２回目に塗布した部分の樹脂の残留量がＣ領域も
着色領域に設けられた樹脂パターン７により、膜厚領域
１５が残るのでＤ領域と同じになり、膜厚むら、色むら
のない色分離フィルターが得られる。尚、樹脂のスピン
コード時に、樹脂粘度を調節し、回転数１５０Ｏｒｐｍ
以下、回転時間３０秒以内で塗布することでさらに膜厚
均一化が計れる。
本発明により、２色目以降の塗布において生じる膜厚む
ら、色むらのない色分離フィルターの作製が可能となり
、液晶表示装置にこれを適用することにより表示品質を
著しく改善することができた。
ら、色むらのない色分離フィルターの作製が可能となり
、液晶表示装置にこれを適用することにより表示品質を
著しく改善することができた。
第１図（ａ）〜（ｆ）は、本発明による色分離フィルタ
ーの製造工程順を示す断面図、第２図は本発明により作
製した色分離フィルターの平面図、第３図、第４図、は
フォトマスクの遮光部を示す平面図、第５図は本発明の
方法により塗布した樹脂の残留状態図、第６図（ａ）〜
（ｄ）は従来法による色分離フィルターの製造工程順を
示す断面図、第７図は従来法により作製した色分離フィ
ルターの平面図、第８図は従来法により塗布した樹脂の
残留状態図である。 １．６．８・・・・・・透明樹脂塗布膜、３．１０・・
・・・・赤着色パターン、４．１１・・・・・・緑着色
パターン、５．１２・・・・・・青着色パターン、７・
・・・・・樹脂パターン、 １３．１４・・・・・・フォトマスク遮光部。 第２図 第４図 第７図
ーの製造工程順を示す断面図、第２図は本発明により作
製した色分離フィルターの平面図、第３図、第４図、は
フォトマスクの遮光部を示す平面図、第５図は本発明の
方法により塗布した樹脂の残留状態図、第６図（ａ）〜
（ｄ）は従来法による色分離フィルターの製造工程順を
示す断面図、第７図は従来法により作製した色分離フィ
ルターの平面図、第８図は従来法により塗布した樹脂の
残留状態図である。 １．６．８・・・・・・透明樹脂塗布膜、３．１０・・
・・・・赤着色パターン、４．１１・・・・・・緑着色
パターン、５．１２・・・・・・青着色パターン、７・
・・・・・樹脂パターン、 １３．１４・・・・・・フォトマスク遮光部。 第２図 第４図 第７図
Claims (1)
- 色分離フィルターの着色領域を形成する樹脂を透明基板
上にスピンナーにより塗布して複数の着色領域を有する
色分離フィルターを製造する方法において、前記樹脂を
塗布する前に、前記着色領域の境目となる部分に、前記
スピンナーにより塗布される樹脂を着色領域に均一に残
留させるための樹脂パターンを形成し、しかる後に前記
着色領域を形成する樹脂を塗布する事を特徴とする色分
離フィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1181228A JPH0345903A (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | 色分離フィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1181228A JPH0345903A (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | 色分離フィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0345903A true JPH0345903A (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=16097050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1181228A Pending JPH0345903A (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | 色分離フィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0345903A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6126232A (en) * | 1994-05-02 | 2000-10-03 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Rear body structure of a vehicle |
-
1989
- 1989-07-13 JP JP1181228A patent/JPH0345903A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6126232A (en) * | 1994-05-02 | 2000-10-03 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Rear body structure of a vehicle |
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