JPH0727918A - カラーフィルターおよびその製造方法 - Google Patents
カラーフィルターおよびその製造方法Info
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- JPH0727918A JPH0727918A JP19702193A JP19702193A JPH0727918A JP H0727918 A JPH0727918 A JP H0727918A JP 19702193 A JP19702193 A JP 19702193A JP 19702193 A JP19702193 A JP 19702193A JP H0727918 A JPH0727918 A JP H0727918A
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- color
- colored
- color filter
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 表示画像の色むらのないカラーフィルターを
得る。 【構成】 ストライプ状の着色パターンを有するカラー
フィルターにおいて、ストライプ状着色パターン１２に
加えて、他の色の着色樹脂をスピンコーティングにより
塗布する際に樹脂の流動を抑制するレリーフパターン１
３を、ストライプ状着色パターンに垂直な方向にかつス
トライプ状着色パターンの末端に形成することにより着
色樹脂膜の膜厚を均一化し、むらのない着色パターンを
得ることができる。
得る。 【構成】 ストライプ状の着色パターンを有するカラー
フィルターにおいて、ストライプ状着色パターン１２に
加えて、他の色の着色樹脂をスピンコーティングにより
塗布する際に樹脂の流動を抑制するレリーフパターン１
３を、ストライプ状着色パターンに垂直な方向にかつス
トライプ状着色パターンの末端に形成することにより着
色樹脂膜の膜厚を均一化し、むらのない着色パターンを
得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルターに関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】カラー液晶表示装置用カラーフィルター
は、ガラス、プラスチック、薄膜トランジスター等の支
持体の上に、金属クロム薄膜等でブラックマトリックス
を形成し、その上に複数色の着色画素を順次繰り返し形
成し、更にその上に保護膜を設けてなるものである。こ
のカラーフィルターの着色画素の形成法については、現
在主として、顔料を分散させた樹脂をフォトリソグラフ
ィー法でパターニングする顔料分散法が使われている。
は、ガラス、プラスチック、薄膜トランジスター等の支
持体の上に、金属クロム薄膜等でブラックマトリックス
を形成し、その上に複数色の着色画素を順次繰り返し形
成し、更にその上に保護膜を設けてなるものである。こ
のカラーフィルターの着色画素の形成法については、現
在主として、顔料を分散させた樹脂をフォトリソグラフ
ィー法でパターニングする顔料分散法が使われている。
【０００３】顔料分散法はまず、あらかじめ微細な顔料
を分散させた着色樹脂を支持体上に均一に塗布し、着色
樹脂がネガ型の感光性樹脂の場合は、その後着色画素を
形成したい部分だけ光を透過するようなマスクを用いて
露光し、現像により露光されなかった部分を取り除いて
着色画素を形成する。この工程を複数色（通常、赤、
緑、青の３色）の着色画素について繰り返すことにより
カラーフィルターを形成している。この方法は塗布、露
光、現像の繰り返しで耐光性の優れたカラーフィルター
を形成できるために現在最も広く用いられている。
を分散させた着色樹脂を支持体上に均一に塗布し、着色
樹脂がネガ型の感光性樹脂の場合は、その後着色画素を
形成したい部分だけ光を透過するようなマスクを用いて
露光し、現像により露光されなかった部分を取り除いて
着色画素を形成する。この工程を複数色（通常、赤、
緑、青の３色）の着色画素について繰り返すことにより
カラーフィルターを形成している。この方法は塗布、露
光、現像の繰り返しで耐光性の優れたカラーフィルター
を形成できるために現在最も広く用いられている。
【０００４】また、支持体上に樹脂を塗布するにはスピ
ンコーティング法が最も多く用いられている。この方法
は樹脂を支持体中央に滴下し、その後支持体を支持体の
重心を中心に回転させる事により、遠心力を利用して支
持体全面に広げる方法で、均一な膜厚を得ることができ
る。着色画素の形成は、ガラス基板等の支持体上に着色
感光性樹脂等の塗布膜を形成し、所定のパターンを有す
るフォトマスクによって露光しているが、同一色の複数
の着色画素を直線状に配置し、これを連続したストライ
プ状の着色パターンにより形成することが多く行われて
いる。図５にストライプ状の着色パターンを有するカラ
ーフィルターの拡大図の一例を示す。各色の着色パター
ンのＲ（赤）５２、Ｇ（緑）５３、Ｂ（緑）５４がスト
ライプ状に配置されている。
ンコーティング法が最も多く用いられている。この方法
は樹脂を支持体中央に滴下し、その後支持体を支持体の
重心を中心に回転させる事により、遠心力を利用して支
持体全面に広げる方法で、均一な膜厚を得ることができ
る。着色画素の形成は、ガラス基板等の支持体上に着色
感光性樹脂等の塗布膜を形成し、所定のパターンを有す
るフォトマスクによって露光しているが、同一色の複数
の着色画素を直線状に配置し、これを連続したストライ
プ状の着色パターンにより形成することが多く行われて
いる。図５にストライプ状の着色パターンを有するカラ
ーフィルターの拡大図の一例を示す。各色の着色パター
ンのＲ（赤）５２、Ｇ（緑）５３、Ｂ（緑）５４がスト
ライプ状に配置されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】これらの着色パターン
を順次支持体上に形成する工程において、第１色目の着
色樹脂膜を支持体上に最初に形成する際には、支持体が
平坦若しくは、厚みの薄いブラックマトリックスが形成
されているのみであるため、スピンコーティングにより
ほぼ支持体全面で均一の膜厚を形成することが出来る。
ところが、第２色目以降の着色樹脂膜を形成する際に
は、図３で示すように既に塗布した着色樹脂膜の露光、
現像により形成された１色目の着色パターン３２が１〜
２μｍの厚みでストライプ状に形成されている。そのた
め、支持体に滴下された着色樹脂は、遠心力だけでなく
第１色目のストライプ状パターン３２の抵抗も受けなが
ら広がるため、場所によって流動性に差が生じ、部分的
に膜厚が薄い部分と厚い部分が出来てしまう。顔料分散
法では、あらかじめ着色するための顔料が混入されてい
るため、支持体上に樹脂膜を形成する段階での膜厚均一
性が画像の均一性にそのまま反映されることから、結果
として図４の様な色むら４２を生じてしまうのである。
を順次支持体上に形成する工程において、第１色目の着
色樹脂膜を支持体上に最初に形成する際には、支持体が
平坦若しくは、厚みの薄いブラックマトリックスが形成
されているのみであるため、スピンコーティングにより
ほぼ支持体全面で均一の膜厚を形成することが出来る。
ところが、第２色目以降の着色樹脂膜を形成する際に
は、図３で示すように既に塗布した着色樹脂膜の露光、
現像により形成された１色目の着色パターン３２が１〜
２μｍの厚みでストライプ状に形成されている。そのた
め、支持体に滴下された着色樹脂は、遠心力だけでなく
第１色目のストライプ状パターン３２の抵抗も受けなが
ら広がるため、場所によって流動性に差が生じ、部分的
に膜厚が薄い部分と厚い部分が出来てしまう。顔料分散
法では、あらかじめ着色するための顔料が混入されてい
るため、支持体上に樹脂膜を形成する段階での膜厚均一
性が画像の均一性にそのまま反映されることから、結果
として図４の様な色むら４２を生じてしまうのである。
【０００６】また、このような現象は、染料により着色
した樹脂をスピンコーティング法により塗布して着色パ
ターンを形成する方法においても、２色目以降の着色パ
ターン形成時に発生し、さらにあらかじめ感光性樹脂を
塗布して、露光、現像して被染色樹脂パターンを形成
し、これを染色することによって着色画素を形成する、
いわゆる染色法によって形成されるカラーフィルターに
おいても、２色目以降の被染色樹脂パターンの厚みに不
均一な部分が生じるために、染色した後に色むらとして
認められるものである。本発明は、染料や顔料等の着色
材により着色した着色樹脂等を塗布し、フォトリソグラ
フィーによって着色画素を形成したカラーフィルター、
および染色法により形成したカラーフィルターにおい
て、後の工程での着色パターンの形成の際に、既に形成
された着色パターンによって生じる着色パターンの色む
らを防止することを課題とするものであり、表示品質の
優れたカラーフィルターを得ることを課題とするもので
ある。
した樹脂をスピンコーティング法により塗布して着色パ
ターンを形成する方法においても、２色目以降の着色パ
ターン形成時に発生し、さらにあらかじめ感光性樹脂を
塗布して、露光、現像して被染色樹脂パターンを形成
し、これを染色することによって着色画素を形成する、
いわゆる染色法によって形成されるカラーフィルターに
おいても、２色目以降の被染色樹脂パターンの厚みに不
均一な部分が生じるために、染色した後に色むらとして
認められるものである。本発明は、染料や顔料等の着色
材により着色した着色樹脂等を塗布し、フォトリソグラ
フィーによって着色画素を形成したカラーフィルター、
および染色法により形成したカラーフィルターにおい
て、後の工程での着色パターンの形成の際に、既に形成
された着色パターンによって生じる着色パターンの色む
らを防止することを課題とするものであり、表示品質の
優れたカラーフィルターを得ることを課題とするもので
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる課題を
解決するために検討の結果、完成に至ったもので、支持
体上に複数色の着色パターンを有し、少なくとも１色目
の着色パターン１２がストライプ状に形成されるカラー
フィルターの製造方法において、前記ストライプ状着色
パターン１２の長手方向（ストライプと平行な方向）に
垂直な方向にレリーフパターン１３を形成することによ
り、２色目以降の着色樹脂または被染色層形成材料が塗
布される際に１色目のストライプ状着色パターン１２か
ら受ける抵抗の支持体方向による差を緩和させることを
特徴とするカラーフィルターの製造方法である。また、
支持体上に少なくとも１色目の着色パターン１２をスト
ライプ状に形成するカラーフィルターの製造方法におい
て、支持体上に着色樹脂または被染色層形成材料をスピ
ンコーティング法により塗布する際の支持体の回転中心
から所定の距離を有して前記ストライプ状着色パターン
１２にほぼ垂直にレリーフパターン１３を形成した後、
２色目の着色樹脂または被染色層形成材料を塗布するこ
とを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。ま
た、支持体上に複数色の着色パターンを有し、少なくと
も１色の着色パターン１２が、ストライプ状に形成され
たカラーフィルターにおいて、前記着色パターン１２が
形成された領域の一端の少なくとも一部に前記着色パタ
ーン１２にほぼ垂直にレリーフパターン１３を有するカ
ラーフィルターである。
解決するために検討の結果、完成に至ったもので、支持
体上に複数色の着色パターンを有し、少なくとも１色目
の着色パターン１２がストライプ状に形成されるカラー
フィルターの製造方法において、前記ストライプ状着色
パターン１２の長手方向（ストライプと平行な方向）に
垂直な方向にレリーフパターン１３を形成することによ
り、２色目以降の着色樹脂または被染色層形成材料が塗
布される際に１色目のストライプ状着色パターン１２か
ら受ける抵抗の支持体方向による差を緩和させることを
特徴とするカラーフィルターの製造方法である。また、
支持体上に少なくとも１色目の着色パターン１２をスト
ライプ状に形成するカラーフィルターの製造方法におい
て、支持体上に着色樹脂または被染色層形成材料をスピ
ンコーティング法により塗布する際の支持体の回転中心
から所定の距離を有して前記ストライプ状着色パターン
１２にほぼ垂直にレリーフパターン１３を形成した後、
２色目の着色樹脂または被染色層形成材料を塗布するこ
とを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。ま
た、支持体上に複数色の着色パターンを有し、少なくと
も１色の着色パターン１２が、ストライプ状に形成され
たカラーフィルターにおいて、前記着色パターン１２が
形成された領域の一端の少なくとも一部に前記着色パタ
ーン１２にほぼ垂直にレリーフパターン１３を有するカ
ラーフィルターである。
【０００８】図１、および図２に本発明で形成されるレ
リーフパターン形状の例を示す。図１では、支持体の回
転中心から所定の距離を有する第１色目のストライプ状
着色パターン１２の末端全部分に、ストライプ状着色パ
ターン１２に垂直なレリーフパターン１３が支持体上の
それぞれの面で形成されている。図２では、支持体の回
転中心から所定の距離を有する第１色目のストライプ状
着色パターン２２末端の一部分に、ストライプ状着色パ
ターン２２に垂直なレリーフパターン２３が形成されて
いる。また、これらの図は支持体上に２面付けでカラー
フィルターを形成した場合を示しているが、他の多面付
けの場合でも第１色目にストライプ状の着色パターンを
形成することによって２色目以降の着色樹脂膜の形成の
際に、着色樹脂の、１色目のストライプ状着色パターン
の長手方向への流動性と、ストライプ状着色パターンの
長手方向と交わる方向の流動性に差を生じ、部分的な膜
厚の不均一を生じる場合には有効である。着色樹脂の流
動を妨げるレリーフパターン６３は、図６で示すように
基本的にブラックマトリックス６５上に形成することが
できる。図６において、支持体上にブラックマトリック
ス６５が形成されており、ブラックマトリックス６５に
は長方形で囲まれた開口部６４が形成されている。開口
部６４は、第２色目と第３色目の着色パターンに対応す
るものであり、ストライプ状の第１色目の着色パターン
に対応する開口部はストライプ状着色パターン６２と重
なっており、図示していない。また、レリーフパターン
は、着色パターンと同一の厚みのもので良いので、第１
色目の着色パターンを形成するフォトマスクに、レリー
フパターンを形成すべき部分のパターンを描いて、第１
色目の着色パターンと同じ材料で同時に形成することが
できる。さらに、以上のような着色樹脂によって着色パ
ターンを形成したカラーフィルターのみでなく、被染色
性の透明樹脂を塗布して、所定の着色パターンにパター
ニングした後に染色する染色法によって着色画素を形成
したカラーフィルターにおいても、第１色目用の透明樹
脂を形成する際に同時にレリーフパターンを形成し、第
２色目以降の透明樹脂を均一な膜厚とすることができ、
むらの少ないカラーフィルターを得ることができる。
リーフパターン形状の例を示す。図１では、支持体の回
転中心から所定の距離を有する第１色目のストライプ状
着色パターン１２の末端全部分に、ストライプ状着色パ
ターン１２に垂直なレリーフパターン１３が支持体上の
それぞれの面で形成されている。図２では、支持体の回
転中心から所定の距離を有する第１色目のストライプ状
着色パターン２２末端の一部分に、ストライプ状着色パ
ターン２２に垂直なレリーフパターン２３が形成されて
いる。また、これらの図は支持体上に２面付けでカラー
フィルターを形成した場合を示しているが、他の多面付
けの場合でも第１色目にストライプ状の着色パターンを
形成することによって２色目以降の着色樹脂膜の形成の
際に、着色樹脂の、１色目のストライプ状着色パターン
の長手方向への流動性と、ストライプ状着色パターンの
長手方向と交わる方向の流動性に差を生じ、部分的な膜
厚の不均一を生じる場合には有効である。着色樹脂の流
動を妨げるレリーフパターン６３は、図６で示すように
基本的にブラックマトリックス６５上に形成することが
できる。図６において、支持体上にブラックマトリック
ス６５が形成されており、ブラックマトリックス６５に
は長方形で囲まれた開口部６４が形成されている。開口
部６４は、第２色目と第３色目の着色パターンに対応す
るものであり、ストライプ状の第１色目の着色パターン
に対応する開口部はストライプ状着色パターン６２と重
なっており、図示していない。また、レリーフパターン
は、着色パターンと同一の厚みのもので良いので、第１
色目の着色パターンを形成するフォトマスクに、レリー
フパターンを形成すべき部分のパターンを描いて、第１
色目の着色パターンと同じ材料で同時に形成することが
できる。さらに、以上のような着色樹脂によって着色パ
ターンを形成したカラーフィルターのみでなく、被染色
性の透明樹脂を塗布して、所定の着色パターンにパター
ニングした後に染色する染色法によって着色画素を形成
したカラーフィルターにおいても、第１色目用の透明樹
脂を形成する際に同時にレリーフパターンを形成し、第
２色目以降の透明樹脂を均一な膜厚とすることができ、
むらの少ないカラーフィルターを得ることができる。
【０００９】
【作用】本発明は、既に支持体上に１色目のストライプ
状の着色パターン１２が形成されている状態では、２色
目以降の着色樹脂をスピンコーティングした場合に、遠
心力による着色樹脂の流動が、ストライプ状着色パター
ン１２と平行な方向に対しては良いが、ストライプ状着
色パターン１２と交わる方向ではストライプ状着色パタ
ーン１２が抵抗となって妨げられていることに着目し、
このストライプ状着色パターン１２の両末端のうち、支
持体の回転中心に近い側の一端に、着色樹脂の流動を抑
制するストライプの長手方向と垂直な方向のレリーフパ
ターン１３を形成することにより、２色目以降に塗布さ
れる着色樹脂の、既に塗布されたストライプ状着色パタ
ーン１２の長手方向への流動性と、ストライプ状着色パ
ターン１２の長手方向と交わる方向の流動性の差を緩和
して、部分的な膜厚の不均一が生じることを防止するも
のである。
状の着色パターン１２が形成されている状態では、２色
目以降の着色樹脂をスピンコーティングした場合に、遠
心力による着色樹脂の流動が、ストライプ状着色パター
ン１２と平行な方向に対しては良いが、ストライプ状着
色パターン１２と交わる方向ではストライプ状着色パタ
ーン１２が抵抗となって妨げられていることに着目し、
このストライプ状着色パターン１２の両末端のうち、支
持体の回転中心に近い側の一端に、着色樹脂の流動を抑
制するストライプの長手方向と垂直な方向のレリーフパ
ターン１３を形成することにより、２色目以降に塗布さ
れる着色樹脂の、既に塗布されたストライプ状着色パタ
ーン１２の長手方向への流動性と、ストライプ状着色パ
ターン１２の長手方向と交わる方向の流動性の差を緩和
して、部分的な膜厚の不均一が生じることを防止するも
のである。
【００１０】
【実施例】以下に、実施例により本発明をさらに詳細に
説明する。 実施例１ 図１は本発明の実施例を説明する図である。１０インチ
のラップトップパソコン用カラーフィルターを基板１１
上に２面付けで形成するため、金属クロムからなるブラ
ックマトリクスを形成した３００ｍｍ×４００ｍｍのガ
ラス基板１１上に赤色の顔料分散カラーレジストＣＲ−
２０００（富士ハントエレクトロニクステクノロジー社
製）を滴下し、スピンコーティング法により基板を６５
０ｒｐｍに回転させることにより、基板上に均一に２．
０μｍ膜厚で塗布した。その後、下地のブラックマトリ
ックスパターンに対して位置合わせを行い、１色目の着
色パターン用のストライプとレリーフパターンを形成す
べき部分のパターンが描かれたマスクを用いてプロキシ
ミティーアライナーで紫外線露光した。次いで、基板を
現像することにより未露光部のレジストを取り除き、オ
ーブンにより熱硬化させることにより１色目のパターン
を形成した。得られた着色パターン１２のストライプの
幅は１００μｍ、ストライプ間の距離を２６０μｍで、
ストライプに垂直なレリーフパターン１３は５０μｍの
幅で２面とも着色パターン形成領域の基板の回転中心寄
りの一端全部分に形成した。
説明する。 実施例１ 図１は本発明の実施例を説明する図である。１０インチ
のラップトップパソコン用カラーフィルターを基板１１
上に２面付けで形成するため、金属クロムからなるブラ
ックマトリクスを形成した３００ｍｍ×４００ｍｍのガ
ラス基板１１上に赤色の顔料分散カラーレジストＣＲ−
２０００（富士ハントエレクトロニクステクノロジー社
製）を滴下し、スピンコーティング法により基板を６５
０ｒｐｍに回転させることにより、基板上に均一に２．
０μｍ膜厚で塗布した。その後、下地のブラックマトリ
ックスパターンに対して位置合わせを行い、１色目の着
色パターン用のストライプとレリーフパターンを形成す
べき部分のパターンが描かれたマスクを用いてプロキシ
ミティーアライナーで紫外線露光した。次いで、基板を
現像することにより未露光部のレジストを取り除き、オ
ーブンにより熱硬化させることにより１色目のパターン
を形成した。得られた着色パターン１２のストライプの
幅は１００μｍ、ストライプ間の距離を２６０μｍで、
ストライプに垂直なレリーフパターン１３は５０μｍの
幅で２面とも着色パターン形成領域の基板の回転中心寄
りの一端全部分に形成した。
【００１１】同様に、緑色の顔料分散カラーレジストＣ
Ｇ−２０７０（富士ハントエレクトロニクステクノロジ
ー社製）を滴下し、スピンコーティング法により基板を
７５０ｒｐｍに回転させることにより、基板上に均一に
２．０μｍ膜厚で塗布した。その後、フォトマスクを用
いてプロキシミティーアライナーで紫外線露光した後
に、現像することにより未露光部のレジストを取り除
き、オーブンにより熱硬化させることにより２色目の着
色パターンを形成した。
Ｇ−２０７０（富士ハントエレクトロニクステクノロジ
ー社製）を滴下し、スピンコーティング法により基板を
７５０ｒｐｍに回転させることにより、基板上に均一に
２．０μｍ膜厚で塗布した。その後、フォトマスクを用
いてプロキシミティーアライナーで紫外線露光した後
に、現像することにより未露光部のレジストを取り除
き、オーブンにより熱硬化させることにより２色目の着
色パターンを形成した。
【００１２】また、青色の顔料分散カラーレジストＣＢ
−２０００（富士ハントエレクトロニクステクノロジー
社製）を用いて３色目の着色パターンを形成した。次い
で、３色の着色パターンを形成した基板上に透明保護膜
を形成した後に、ＩＴＯ膜を成膜して基板上に２面のカ
ラーフィルターを作成した。その後、作成した基板を切
断することにより、着色画素が形成された領域の一端
に、ストライプパターンに垂直にレリーフパターンを有
するカラーフィルターが２枚得られた。得られたカラー
フィルターの各色の着色パターンには、部分的な色むら
は生じなかった。
−２０００（富士ハントエレクトロニクステクノロジー
社製）を用いて３色目の着色パターンを形成した。次い
で、３色の着色パターンを形成した基板上に透明保護膜
を形成した後に、ＩＴＯ膜を成膜して基板上に２面のカ
ラーフィルターを作成した。その後、作成した基板を切
断することにより、着色画素が形成された領域の一端
に、ストライプパターンに垂直にレリーフパターンを有
するカラーフィルターが２枚得られた。得られたカラー
フィルターの各色の着色パターンには、部分的な色むら
は生じなかった。
【００１３】実施例２ 図２は本発明の第２の実施例を説明する図である。基板
２１上に着色樹脂膜をスピンコーティングにより形成す
る際、むらを生じやすい部分は、遠心力による着色樹脂
の流動方向とストライプ状着色パターンの長手方向が重
なり、着色樹脂の流動性が高くなる基板センターライン
上を含む一部分（図３黒矢印部分）であるので、第１色
目の着色パターン２２の形成とともに、着色樹脂の流動
性を妨げるレリーフパターン２３をそれぞれのストライ
プ状着色パターン形成領域の基板の回転中心寄りの一端
の中心を含む一部分に形成した以外は、実施例１と同様
にして基板上に２面のカラーフィルターを形成した。得
られたカラーフィルターの着色パターンには、部分的な
色むらは生じなかった。
２１上に着色樹脂膜をスピンコーティングにより形成す
る際、むらを生じやすい部分は、遠心力による着色樹脂
の流動方向とストライプ状着色パターンの長手方向が重
なり、着色樹脂の流動性が高くなる基板センターライン
上を含む一部分（図３黒矢印部分）であるので、第１色
目の着色パターン２２の形成とともに、着色樹脂の流動
性を妨げるレリーフパターン２３をそれぞれのストライ
プ状着色パターン形成領域の基板の回転中心寄りの一端
の中心を含む一部分に形成した以外は、実施例１と同様
にして基板上に２面のカラーフィルターを形成した。得
られたカラーフィルターの着色パターンには、部分的な
色むらは生じなかった。
【００１４】比較例１ 図３は比較例を説明する図である。基板３１上にストラ
イプカラーフィルターを２面付けで形成するために、金
属クロムからなるブラックマトリクスを形成した３００
ｍｍ×４００ｍｍのガラス基板上に赤色の顔料分散カラ
ーレジストＣＲ−２０００（富士ハントエレクトロニク
ステクノロジー社製）を滴下し、スピンコーティング法
により基板を６５０ｒｐｍに回転させることにより、基
板上に均一に２．０μｍ膜厚で塗布した。その後、下地
のブラックマトリックスパターンに対して位置合わせを
行い、マスクを用いてプロキシミティーアライナーで紫
外線露光し、次いで、基板を現像することにより未露光
部のレジストを取り除き、オーブンにより熱硬化させる
ことにより１色目の着色パターン３２のみを形成し、レ
リーフパターンは形成しなかった。得られた着色パター
ンのストライプの幅は１００μｍ、ストライプ間の距離
を２６０μｍで形成した。以降、実施例１と同様に緑、
青の着色パターンを形成し、その上から保護膜、ＩＴＯ
膜を成膜して基板上に２面のカラーフィルターを作成し
た。得られたカラーフィルターの着色パターンには、図
４に示すように光を透過させて見ると色むら４２が認め
られた。
イプカラーフィルターを２面付けで形成するために、金
属クロムからなるブラックマトリクスを形成した３００
ｍｍ×４００ｍｍのガラス基板上に赤色の顔料分散カラ
ーレジストＣＲ−２０００（富士ハントエレクトロニク
ステクノロジー社製）を滴下し、スピンコーティング法
により基板を６５０ｒｐｍに回転させることにより、基
板上に均一に２．０μｍ膜厚で塗布した。その後、下地
のブラックマトリックスパターンに対して位置合わせを
行い、マスクを用いてプロキシミティーアライナーで紫
外線露光し、次いで、基板を現像することにより未露光
部のレジストを取り除き、オーブンにより熱硬化させる
ことにより１色目の着色パターン３２のみを形成し、レ
リーフパターンは形成しなかった。得られた着色パター
ンのストライプの幅は１００μｍ、ストライプ間の距離
を２６０μｍで形成した。以降、実施例１と同様に緑、
青の着色パターンを形成し、その上から保護膜、ＩＴＯ
膜を成膜して基板上に２面のカラーフィルターを作成し
た。得られたカラーフィルターの着色パターンには、図
４に示すように光を透過させて見ると色むら４２が認め
られた。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、第１色目のストライプ状着色
パターンに加えて、ストライプ状着色パターンに垂直
で、ストライプ状着色パターン末端のうち、支持体に着
色樹脂をスピンコーティングにより塗布する際の回転中
心に近い方の末端全部分、あるいは少なくとも一部分
に、着色用樹脂の流動性の方向による差を緩和するレリ
ーフパターンを設けたので、第２色目以降の着色パター
ンにおいて、膜厚の不均一が生じることがなく、むらの
ない着色パターンを得ることができる。
パターンに加えて、ストライプ状着色パターンに垂直
で、ストライプ状着色パターン末端のうち、支持体に着
色樹脂をスピンコーティングにより塗布する際の回転中
心に近い方の末端全部分、あるいは少なくとも一部分
に、着色用樹脂の流動性の方向による差を緩和するレリ
ーフパターンを設けたので、第２色目以降の着色パター
ンにおいて、膜厚の不均一が生じることがなく、むらの
ない着色パターンを得ることができる。
【図１】本発明の１実施例を説明する図である。
【図２】本発明の他の実施例を説明する図である。
【図３】比較例および着色樹脂の流動性の良い部分を説
明する部分である。
明する部分である。
【図４】従来のストライプカラーフィルターにおけるむ
らの出方を説明する図である。
らの出方を説明する図である。
【図５】ストライプ状のカラーフィルターを説明する図
である。
である。
【図６】レリーフパターンが形成される部分を説明する
図である。
図である。
１１、２１、３１、４１、５１・・・支持体 １２、２２、３２、６２・・・ストライプ状着色パター
ン １３、２３、６３・・・レリーフパターン ４２・・・色むら ５２・・・ストライプ状着色パターン（赤） ５３・・・ストライプ状着色パターン（緑） ５４・・・ストライプ状着色パターン（青） ６４・・・ブラックマトリックス開口部 ６５・・・ブラックマトリックス
ン １３、２３、６３・・・レリーフパターン ４２・・・色むら ５２・・・ストライプ状着色パターン（赤） ５３・・・ストライプ状着色パターン（緑） ５４・・・ストライプ状着色パターン（青） ６４・・・ブラックマトリックス開口部 ６５・・・ブラックマトリックス
Claims (3)
- 【請求項１】 支持体上に複数色の着色パターンを有
し、少なくとも１色の着色パターンが、ストライプ状に
形成されたカラーフィルターにおいて、前記着色パター
ンが形成された領域の一端の少なくとも一部に前記スト
ライプ状着色パターンにほぼ垂直にレリーフパターンを
有するカラーフィルター。 - 【請求項２】 支持体上に少なくとも１色目の着色パタ
ーンをストライプ状に形成するカラーフィルターの製造
方法において、２色目以降の着色樹脂または被染色層形
成材料が塗布される際に１色目パターンから受ける抵抗
の支持体方向による差を緩和するようなレリーフパター
ンを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造
方法。 - 【請求項３】 支持体上に少なくとも１色目の着色パタ
ーンをストライプ状に形成するカラーフィルターの製造
方法において、支持体上に着色樹脂または被染色層形成
材料をスピンコーティングにより塗布する際の支持体の
回転中心から所定の距離を有して前記ストライプ状着色
パターンにほぼ垂直にレリーフパターンを形成した後、
２色目の着色樹脂または被染色層形成材料を塗布するこ
とを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19702193A JPH0727918A (ja) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | カラーフィルターおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19702193A JPH0727918A (ja) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | カラーフィルターおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727918A true JPH0727918A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=16367449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19702193A Withdrawn JPH0727918A (ja) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | カラーフィルターおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727918A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012063779A (ja) * | 2004-11-17 | 2012-03-29 | Dainippon Printing Co Ltd | ブラックマトリックス基板およびカラーフィルタの製造方法 |
-
1993
- 1993-07-14 JP JP19702193A patent/JPH0727918A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012063779A (ja) * | 2004-11-17 | 2012-03-29 | Dainippon Printing Co Ltd | ブラックマトリックス基板およびカラーフィルタの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |