JPH0792227A - 回路基板の検査装置及び検査方法 - Google Patents
回路基板の検査装置及び検査方法Info
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- JPH0792227A JPH0792227A JP5238136A JP23813693A JPH0792227A JP H0792227 A JPH0792227 A JP H0792227A JP 5238136 A JP5238136 A JP 5238136A JP 23813693 A JP23813693 A JP 23813693A JP H0792227 A JPH0792227 A JP H0792227A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 検査用のプローブピンを検査対象部品の周囲
の部品等に干渉されることなく検査位置に接触させるこ
とのできる回路基板の検査装置及び検査方法を提供する
ことを目的とする。 【構成】 プローブピン1を入力される最適接近角度情
報によって駆動するプローブピン傾斜機構と、最適接近
方向情報によって駆動するプローブピン回動機構とによ
って回路基板の部品の実装状態に応じた最適な角度と最
適な方向から部品の検査位置に接近・接触させて検査を
行う。
の部品等に干渉されることなく検査位置に接触させるこ
とのできる回路基板の検査装置及び検査方法を提供する
ことを目的とする。 【構成】 プローブピン1を入力される最適接近角度情
報によって駆動するプローブピン傾斜機構と、最適接近
方向情報によって駆動するプローブピン回動機構とによ
って回路基板の部品の実装状態に応じた最適な角度と最
適な方向から部品の検査位置に接近・接触させて検査を
行う。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は回路基板の検査装置及び
検査方法、特に検査対象に対して検査ピンを最適姿勢で
接触させて電気的検査を行う回路基板の検査装置及び検
査方法に関する。
検査方法、特に検査対象に対して検査ピンを最適姿勢で
接触させて電気的検査を行う回路基板の検査装置及び検
査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】基板実装技術の飛躍的な進歩に伴い、回
路基板の高密度実装、多層実装が広く行われている。高
密度実装、多層実装が行われた場合、実装後の回路基板
のオープン/クローズ検査や実装後の部品検査は重要度
を増す反面、複雑化している。従来、回路基板の電気的
検査は図5に示すように回路基板50に対して所定角度
θだけ傾けて固定された検査用のプローブピン51を検
査位置50aに接触させることによって所望の検査を行
っている。
路基板の高密度実装、多層実装が広く行われている。高
密度実装、多層実装が行われた場合、実装後の回路基板
のオープン/クローズ検査や実装後の部品検査は重要度
を増す反面、複雑化している。従来、回路基板の電気的
検査は図5に示すように回路基板50に対して所定角度
θだけ傾けて固定された検査用のプローブピン51を検
査位置50aに接触させることによって所望の検査を行
っている。
【0003】前記プローブピン51は回路基板50に平
行に配置されている図示しないX−Y移動テーブルによ
って回路基板50のX−Y平面上の所望の位置の検査位
置50aに移動することが可能である。また、プローブ
ピン51は検査位置50a上に移動した後、X−Y平面
に垂直なZ軸方向に摺動可能な図示しないZ軸摺動機構
によって上下に摺動してプローブピン51の先端部を検
査位置50aに接触した後、所定の検査プログラムに従
って順次検査を行っている。
行に配置されている図示しないX−Y移動テーブルによ
って回路基板50のX−Y平面上の所望の位置の検査位
置50aに移動することが可能である。また、プローブ
ピン51は検査位置50a上に移動した後、X−Y平面
に垂直なZ軸方向に摺動可能な図示しないZ軸摺動機構
によって上下に摺動してプローブピン51の先端部を検
査位置50aに接触した後、所定の検査プログラムに従
って順次検査を行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の回路基
板の検査装置は、図5に示すように実装された部品52
aと部品52bが接近している場合や部品52cのよう
に部品高さが高い場合、プローブピン51が所定角度θ
で固定されているため該プローブピン51をそれぞれの
検査位置50aに接触させることができないという問題
があった。つまり、所定角度θで固定されたプローブピ
ン51をX−Y移動テーブル及びZ軸摺動機構によって
移動して、検査位置50aに接触させようとすると検査
対象部品の周囲の部品の干渉を受けてプローブピン51
を接近させることができなかった。そのため、検査可能
部品が限られ、効率のよい回路基板の検査を行うことが
できなかった。
板の検査装置は、図5に示すように実装された部品52
aと部品52bが接近している場合や部品52cのよう
に部品高さが高い場合、プローブピン51が所定角度θ
で固定されているため該プローブピン51をそれぞれの
検査位置50aに接触させることができないという問題
があった。つまり、所定角度θで固定されたプローブピ
ン51をX−Y移動テーブル及びZ軸摺動機構によって
移動して、検査位置50aに接触させようとすると検査
対象部品の周囲の部品の干渉を受けてプローブピン51
を接近させることができなかった。そのため、検査可能
部品が限られ、効率のよい回路基板の検査を行うことが
できなかった。
【0005】そこで本発明は、回路基板に高さの高い部
品や大型の部品が高密度に実装されている場合でも検査
用のプローブピンを検査対象部品の周囲の部品に干渉さ
れることなく接触させて効率よく検査を行うことのでき
る回路基板の検査装置及び検査方法を提供することを目
的とする。
品や大型の部品が高密度に実装されている場合でも検査
用のプローブピンを検査対象部品の周囲の部品に干渉さ
れることなく接触させて効率よく検査を行うことのでき
る回路基板の検査装置及び検査方法を提供することを目
的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記問題点を
解決するため、第1として、回路基板の検査位置に接触
するプローブピンと、前記プローブピンを回路基板に平
行なX−Y平面上で移動させるX−Y移動テーブルと、
前記プローブピンを前記X−Y平面に垂直なZ軸方向に
摺動させるプローブピン摺動機構と、を含み回路基板の
所望の検査位置にプローブピンを接触させて電気的検査
を行う回路基板の検査装置において、前記プローブピン
を前記Z軸に対する角度が調整可能なプローブピン傾斜
機構と、前記プローブピンの先端方向を前記Z軸の周囲
を所望の角度だけ回動させるプローブピン回動機構と、
を有することを特徴とするものである。
解決するため、第1として、回路基板の検査位置に接触
するプローブピンと、前記プローブピンを回路基板に平
行なX−Y平面上で移動させるX−Y移動テーブルと、
前記プローブピンを前記X−Y平面に垂直なZ軸方向に
摺動させるプローブピン摺動機構と、を含み回路基板の
所望の検査位置にプローブピンを接触させて電気的検査
を行う回路基板の検査装置において、前記プローブピン
を前記Z軸に対する角度が調整可能なプローブピン傾斜
機構と、前記プローブピンの先端方向を前記Z軸の周囲
を所望の角度だけ回動させるプローブピン回動機構と、
を有することを特徴とするものである。
【0007】また、第2として、回路基板の検査対象位
置に接触するプローブピンを前記回路基板に平行なX−
Y平面上で移動させると共に、該プローブピンを前記X
−Y平面に垂直なZ軸方向に摺動させて、回路基板の所
望の検査位置にプローブピンを接触させて電気的検査を
行う回路基板の検査方法において、検査対象にプローブ
ピンを所望の角度から接触させるための最適接近角度情
報によって、該プローブピンを前記Z軸に対して所望角
度だけ傾けると共に、検査対象にプローブピンを所望の
方向から接触させるための最適接近方向情報によって、
該プローブピンを前記Z軸の周囲を所望の角度だけ回動
させて、検査対象に対してプローブピンを最適姿勢で接
触させて電気的検査を行うことを特徴とするものであ
る。
置に接触するプローブピンを前記回路基板に平行なX−
Y平面上で移動させると共に、該プローブピンを前記X
−Y平面に垂直なZ軸方向に摺動させて、回路基板の所
望の検査位置にプローブピンを接触させて電気的検査を
行う回路基板の検査方法において、検査対象にプローブ
ピンを所望の角度から接触させるための最適接近角度情
報によって、該プローブピンを前記Z軸に対して所望角
度だけ傾けると共に、検査対象にプローブピンを所望の
方向から接触させるための最適接近方向情報によって、
該プローブピンを前記Z軸の周囲を所望の角度だけ回動
させて、検査対象に対してプローブピンを最適姿勢で接
触させて電気的検査を行うことを特徴とするものであ
る。
【0008】
【作用】本発明の回路基板の検査装置においては、プロ
ーブピンが部品の実装状態に適した最適接近角度情報に
よって駆動するプローブピン傾斜機構によって回路基板
と平行なX−Y平面に垂直なZ軸に対する角度を調整す
ることができる。また、プローブピンの先端方向を最適
接近方向情報によって駆動するプローブピン回動機構に
よって前記Z軸の周りを所望の角度だけ回動させること
ができる。
ーブピンが部品の実装状態に適した最適接近角度情報に
よって駆動するプローブピン傾斜機構によって回路基板
と平行なX−Y平面に垂直なZ軸に対する角度を調整す
ることができる。また、プローブピンの先端方向を最適
接近方向情報によって駆動するプローブピン回動機構に
よって前記Z軸の周りを所望の角度だけ回動させること
ができる。
【0009】従って、部品の実装状態に応じて部品の検
査位置に対してプローブピンを最適な角度かつ最適方向
から効率よく接近・接触させることができる。
査位置に対してプローブピンを最適な角度かつ最適方向
から効率よく接近・接触させることができる。
【0010】
【実施例】本発明の実施例を図面を利用して説明する。
【0011】図1は本発明の回路基板の検査装置の検査
用のプローブピン駆動機構の一例を説明する略概念図で
ある。
用のプローブピン駆動機構の一例を説明する略概念図で
ある。
【0012】プローブピン1は保持ブロック2に保持さ
れ、図示しない検査機器やオシロスコープに電気的に接
続されている。保持ブロック2は回転軸3aを中心に回
動するスライドテーブル3に固定されてる。スライドテ
ーブル3はスライドベース3bと該スライドベース3b
のレール3c上を摺動するスライドベッド3dとから構
成され、プローブピン1を保持している保持ブロック2
がスライドベッド3dの摺動(上下方向)に伴って移動
する。また、プローブピン1はスプリング2aによって
下方向に付勢され、回路基板の検査位置にプローブピン
1が接触した時に適正な接触圧力を発生するように成っ
ている。
れ、図示しない検査機器やオシロスコープに電気的に接
続されている。保持ブロック2は回転軸3aを中心に回
動するスライドテーブル3に固定されてる。スライドテ
ーブル3はスライドベース3bと該スライドベース3b
のレール3c上を摺動するスライドベッド3dとから構
成され、プローブピン1を保持している保持ブロック2
がスライドベッド3dの摺動(上下方向)に伴って移動
する。また、プローブピン1はスプリング2aによって
下方向に付勢され、回路基板の検査位置にプローブピン
1が接触した時に適正な接触圧力を発生するように成っ
ている。
【0013】スライドベッド3dには該スライドベッド
3dを略上下に摺動させるためのリンク機構4(本実施
例では3節のリンク機構)が接続されている。また、リ
ンク機構4の他端にはリンク駆動用モータ5が接続され
ている。このリンク駆動用モータ5はベース6から突出
したモータブラケット6aに固定されている。そして、
リンク機構4によってリンク駆動用モータ5の回転運動
はベース6に固定されたガイドブロック7に沿って略上
下方向に摺動する往復運動に変換される。従って、リン
ク駆動用モータ5にパルスモータ等を用いた場合、リン
ク駆動用モータ5に供給するパルス量を制御することに
よってスライドベッド3dの移動に伴うプローブピン1
の移動量を正確にコントロールすることができる。
3dを略上下に摺動させるためのリンク機構4(本実施
例では3節のリンク機構)が接続されている。また、リ
ンク機構4の他端にはリンク駆動用モータ5が接続され
ている。このリンク駆動用モータ5はベース6から突出
したモータブラケット6aに固定されている。そして、
リンク機構4によってリンク駆動用モータ5の回転運動
はベース6に固定されたガイドブロック7に沿って略上
下方向に摺動する往復運動に変換される。従って、リン
ク駆動用モータ5にパルスモータ等を用いた場合、リン
ク駆動用モータ5に供給するパルス量を制御することに
よってスライドベッド3dの移動に伴うプローブピン1
の移動量を正確にコントロールすることができる。
【0014】本実施例の特徴とするところは、検査対象
である部品の実装状態に応じて検査位置に対するプロー
ブピン1の接近方向と接近角度を調整できるところであ
る。つまり、検査対象部品の周囲に高さの高い部品が存
在したり、部品が密集して存在している場合、プローブ
ピン1の検査対象部品に対する接近方向と接近角度位置
を随時変更させ、先端部が確実にかつスムーズに検査位
置に接触できるように他の部品による干渉を避けて、プ
ローブピン1を検査位置に接近させていく。図1を用い
て、プローブピン傾斜機構について説明する。ベース6
のテーブルブラケット6bの回転軸3aを中心に回動可
能に設けられたスライドテーブル3は図示しないスプリ
ングによって常にベース6方向に付勢されている。そし
て、スライドテーブル3は必要に応じてベース6に備え
られたテーブル傾斜機構8のロッド8aによってスプリ
ングの付勢方向とは逆方向に起こされ、プローブピン1
を所望の角度にセットする。前記テーブル傾斜機構8
は、例えば、パルスモータによって制御されるラック&
ピニオンやリンク機構によってロッド8aを摺動させ
て、ロッド8aの突出量を調整することが望ましい。図
1はロッド8aがテーブル傾斜機構8から突出しプロー
ブピン1が垂直に起きている状態状態を示し、図2はロ
ッド8aがテーブル傾斜機構8に収納されプローブピン
1が角度θ傾いた状態を示している。この時、リンク機
構4はスライドベッド3dに対して接合部分4aで回転
自在に接合されているので、テーブル傾斜機構8によっ
てスライドベッド3dが傾けられた場合でも、リンク機
構4はスムーズにスライドベッド3dを摺動させること
ができる。
である部品の実装状態に応じて検査位置に対するプロー
ブピン1の接近方向と接近角度を調整できるところであ
る。つまり、検査対象部品の周囲に高さの高い部品が存
在したり、部品が密集して存在している場合、プローブ
ピン1の検査対象部品に対する接近方向と接近角度位置
を随時変更させ、先端部が確実にかつスムーズに検査位
置に接触できるように他の部品による干渉を避けて、プ
ローブピン1を検査位置に接近させていく。図1を用い
て、プローブピン傾斜機構について説明する。ベース6
のテーブルブラケット6bの回転軸3aを中心に回動可
能に設けられたスライドテーブル3は図示しないスプリ
ングによって常にベース6方向に付勢されている。そし
て、スライドテーブル3は必要に応じてベース6に備え
られたテーブル傾斜機構8のロッド8aによってスプリ
ングの付勢方向とは逆方向に起こされ、プローブピン1
を所望の角度にセットする。前記テーブル傾斜機構8
は、例えば、パルスモータによって制御されるラック&
ピニオンやリンク機構によってロッド8aを摺動させ
て、ロッド8aの突出量を調整することが望ましい。図
1はロッド8aがテーブル傾斜機構8から突出しプロー
ブピン1が垂直に起きている状態状態を示し、図2はロ
ッド8aがテーブル傾斜機構8に収納されプローブピン
1が角度θ傾いた状態を示している。この時、リンク機
構4はスライドベッド3dに対して接合部分4aで回転
自在に接合されているので、テーブル傾斜機構8によっ
てスライドベッド3dが傾けられた場合でも、リンク機
構4はスムーズにスライドベッド3dを摺動させること
ができる。
【0015】図1に示すように、ベース6にはプローブ
ピン1を保持してスライドテーブル3、スライドベッド
3dを摺動させるリンク機構4、ガイドブロック7、リ
ンク駆動用モータ5等が組み付けられている。この部分
をヘッド部9と総称し、ヘッド部9、すなわちプローブ
ピン1を回動させるプローブピン回動機構について、下
に説明する。ヘッド部9はその一部であるモータブラケ
ット6aに設けられた旋回軸6cを支点として、後述す
るヘッド旋回ベース10の平面上で旋回可能に固定され
ている。前記旋回軸6cにはタイミングプーリ6dが固
定され、このタイミングプーリ6dをヘッド旋回モータ
11によって駆動するタイミングベルト12が回転させ
る。従って、ヘッド旋回モータ11を所定量回転させる
ことによってヘッド部9を図中矢印100方向にヘッド
旋回ベース10の平面上で旋回させて、プローブピン1
の方向を変えることができる。
ピン1を保持してスライドテーブル3、スライドベッド
3dを摺動させるリンク機構4、ガイドブロック7、リ
ンク駆動用モータ5等が組み付けられている。この部分
をヘッド部9と総称し、ヘッド部9、すなわちプローブ
ピン1を回動させるプローブピン回動機構について、下
に説明する。ヘッド部9はその一部であるモータブラケ
ット6aに設けられた旋回軸6cを支点として、後述す
るヘッド旋回ベース10の平面上で旋回可能に固定され
ている。前記旋回軸6cにはタイミングプーリ6dが固
定され、このタイミングプーリ6dをヘッド旋回モータ
11によって駆動するタイミングベルト12が回転させ
る。従って、ヘッド旋回モータ11を所定量回転させる
ことによってヘッド部9を図中矢印100方向にヘッド
旋回ベース10の平面上で旋回させて、プローブピン1
の方向を変えることができる。
【0016】本実施例ではタイミングベルト12を用い
てヘッド部9を回動させる構造を説明したがリンク機構
やラック&ピニオン等の他の機構を用いてもよい。
てヘッド部9を回動させる構造を説明したがリンク機構
やラック&ピニオン等の他の機構を用いてもよい。
【0017】次に、ヘッド部9を有するプローブピン駆
動機構を複数個搭載する回路基板の検査装置の概念図を
図3に示す。
動機構を複数個搭載する回路基板の検査装置の概念図を
図3に示す。
【0018】検査装置は、レール30上を検査対象であ
る回路基板31と平行なX−Y平面で独立して図中矢印
方向に移動可能なヘッドアーム32を複数(本実施例で
は回路基板の上面及び下面にそれぞれ4体ずつ)備えて
いる。ヘッドアーム32の先端部にプローブピン駆動機
構(図1全体)を備えている(図3において各プローブ
ピン駆動機構は太矢印で示している)。
る回路基板31と平行なX−Y平面で独立して図中矢印
方向に移動可能なヘッドアーム32を複数(本実施例で
は回路基板の上面及び下面にそれぞれ4体ずつ)備えて
いる。ヘッドアーム32の先端部にプローブピン駆動機
構(図1全体)を備えている(図3において各プローブ
ピン駆動機構は太矢印で示している)。
【0019】回路基板の検査を行う場合、該回路基板は
図示しない基板供給手段によって検査装置の所定の位置
に供給され固定される。検査装置は図示しない制御装置
に入力されている検査プログラムに従ってヘッドアーム
32を所定の検査位置上方まで移動させる。
図示しない基板供給手段によって検査装置の所定の位置
に供給され固定される。検査装置は図示しない制御装置
に入力されている検査プログラムに従ってヘッドアーム
32を所定の検査位置上方まで移動させる。
【0020】回路基板31の上面には、例えば図4に示
すように電子部品41a,41b,41c,41dが実
装されている。例えば、部品41bの検査位置41b-1
と部品41dの検査位置41d-1との間で導通検査を行
う場合、部品41aと部品41bは接近しているので、
プローブピン1aが傾斜している場合は部品41bの検
査位置41b-1には部品41aが邪魔になり接近するこ
とができない。この場合、プローブピン1aは図示しな
い検査装置の制御装置から入力される最適接近角度情報
によってプローブピン傾斜機構を駆動して、プローブピ
ン1aを図中θ1 方向に起こす。この場合、プローブピ
ン1aは、ほぼ垂直に成るまで起こされる。プローブピ
ン1aが接触可能状態になった後、リンク駆動モータ
(図1参照)を駆動してプローブピン1aを降下させて
先端部を検査位置41b-1に接触させる。この場合、プ
ローブピン1aはスプリング2aによって適正な接触圧
力を得られるように成っている。
すように電子部品41a,41b,41c,41dが実
装されている。例えば、部品41bの検査位置41b-1
と部品41dの検査位置41d-1との間で導通検査を行
う場合、部品41aと部品41bは接近しているので、
プローブピン1aが傾斜している場合は部品41bの検
査位置41b-1には部品41aが邪魔になり接近するこ
とができない。この場合、プローブピン1aは図示しな
い検査装置の制御装置から入力される最適接近角度情報
によってプローブピン傾斜機構を駆動して、プローブピ
ン1aを図中θ1 方向に起こす。この場合、プローブピ
ン1aは、ほぼ垂直に成るまで起こされる。プローブピ
ン1aが接触可能状態になった後、リンク駆動モータ
(図1参照)を駆動してプローブピン1aを降下させて
先端部を検査位置41b-1に接触させる。この場合、プ
ローブピン1aはスプリング2aによって適正な接触圧
力を得られるように成っている。
【0021】また、高さの高い部品41dの検査位置に
プローブピン1dを接近させる時は、部品41d自らが
プローブピン1dの接近を邪魔するため、部品41bの
場合と同様にプローブピン傾斜機構を駆動して、プロー
ブピン1dを図中θ2 方向に起こして接近させて、2点
間の導通検査を行う。
プローブピン1dを接近させる時は、部品41d自らが
プローブピン1dの接近を邪魔するため、部品41bの
場合と同様にプローブピン傾斜機構を駆動して、プロー
ブピン1dを図中θ2 方向に起こして接近させて、2点
間の導通検査を行う。
【0022】さらに、複数のプローブピンによって同時
に回路基板の複数の検査位置の検査を行う場合、隣接す
る部品を検査するプローブピン同志が干渉して部品に接
近することができない場合が生じる。例えば、部品41
cにプローブピン1cを接近させる場合、部品41dと
の間隔が広いため、プローブピン1cは部品41d側に
傾斜すれば接触させることが可能であるが、部品41d
との接触のために起き上がってきたプローブピン1dと
干渉してしまう。この場合、プローブピン1cは図示し
ない検査装置の制御装置から入力される最適接近方向情
報によってプローブピン回動機構を駆動して、プローブ
ピン1cを90°回動させて図面奥行き方向から検査位
置に接近させる。
に回路基板の複数の検査位置の検査を行う場合、隣接す
る部品を検査するプローブピン同志が干渉して部品に接
近することができない場合が生じる。例えば、部品41
cにプローブピン1cを接近させる場合、部品41dと
の間隔が広いため、プローブピン1cは部品41d側に
傾斜すれば接触させることが可能であるが、部品41d
との接触のために起き上がってきたプローブピン1dと
干渉してしまう。この場合、プローブピン1cは図示し
ない検査装置の制御装置から入力される最適接近方向情
報によってプローブピン回動機構を駆動して、プローブ
ピン1cを90°回動させて図面奥行き方向から検査位
置に接近させる。
【0023】この様に、各プローブピンは部品による干
渉及びプローブピン同志による干渉をプローブピン傾斜
機構とプローブピン回動機構とによって避けながら所望
の検査位置に接近することができる。
渉及びプローブピン同志による干渉をプローブピン傾斜
機構とプローブピン回動機構とによって避けながら所望
の検査位置に接近することができる。
【0024】本実施例においては回路基板の上面側の検
査を行う場合を例にとって説明したが図3に示すように
回路基板の裏側にもプローブピンを配置して同時に回路
基板の表裏を検査することもできる。さらに、所定の電
圧を印加して実装部品の性能検査を行う場合、電圧印加
プローブの他に電流が他の回路に流れ込まないようにす
るガード用のプローブピンも本実施例と同様にプローブ
ピン傾斜機構とプローブピン回動機構とによって所望の
角度と方向から目的位置に接近させることが可能であ
り、精度の良い検査を行うことができる。
査を行う場合を例にとって説明したが図3に示すように
回路基板の裏側にもプローブピンを配置して同時に回路
基板の表裏を検査することもできる。さらに、所定の電
圧を印加して実装部品の性能検査を行う場合、電圧印加
プローブの他に電流が他の回路に流れ込まないようにす
るガード用のプローブピンも本実施例と同様にプローブ
ピン傾斜機構とプローブピン回動機構とによって所望の
角度と方向から目的位置に接近させることが可能であ
り、精度の良い検査を行うことができる。
【0025】また、本実施例ではプローブピンを回路基
板の表裏各4本備えた場合を例にとって説明したが、プ
イローブピン同志の干渉を減少させることができるの
で、必要に応じてプローブピンの数を増やすことができ
る。
板の表裏各4本備えた場合を例にとって説明したが、プ
イローブピン同志の干渉を減少させることができるの
で、必要に応じてプローブピンの数を増やすことができ
る。
【0026】
【発明の効果】本発明に基づく回路基板の検査装置にお
いては、プローブピンが最適接近角度情報によって駆動
するプローブピン傾斜機構と、最適接近方向情報によっ
て駆動するプローブピン回動機構とによって回路基板の
部品の実装状態に応じた最適な角度と最適方向からプロ
ーブピンを部品の検査位置に接近・接触させることがで
きる。
いては、プローブピンが最適接近角度情報によって駆動
するプローブピン傾斜機構と、最適接近方向情報によっ
て駆動するプローブピン回動機構とによって回路基板の
部品の実装状態に応じた最適な角度と最適方向からプロ
ーブピンを部品の検査位置に接近・接触させることがで
きる。
【0027】従って、回路基板に高さの高い部品や大型
の部品が高密度に実装されている場合でも検査用のプロ
ーブピンを検査対象部品の周囲の部品に干渉されること
なく接触させて効率よく検査を行うことのできる。ま
た、プローブピン同志の干渉も緩和することができるの
で、複数のプローブピンを同時に操作することが可能で
あり、一つの検査に複数のプローブピンを用いることが
可能であり、検査精度を向上させることが可能である。
の部品が高密度に実装されている場合でも検査用のプロ
ーブピンを検査対象部品の周囲の部品に干渉されること
なく接触させて効率よく検査を行うことのできる。ま
た、プローブピン同志の干渉も緩和することができるの
で、複数のプローブピンを同時に操作することが可能で
あり、一つの検査に複数のプローブピンを用いることが
可能であり、検査精度を向上させることが可能である。
【図1】本発明に基づく回路基板の検査装置のプローブ
ピン駆動機構を説明する斜視図である。
ピン駆動機構を説明する斜視図である。
【図2】本発明に基づく回路基板の検査装置のプローブ
ピン駆動機構を説明する側面図である。
ピン駆動機構を説明する側面図である。
【図3】本発明に基づく回路基板の検査装置のプローブ
ピン駆動機構を複数個搭載した状態を示す説明図であ
る。
ピン駆動機構を複数個搭載した状態を示す説明図であ
る。
【図4】本発明に基づく回路基板の検査装置のプローブ
ピン動作を説明する説明図である。
ピン動作を説明する説明図である。
【図5】従来の回路基板の検査装置にプローブピン動作
を説明する説明図である。
を説明する説明図である。
1 プローブピン 3 スライドテーブル 4 リンク機構 5 リンク駆動用モータ 6 ベース 7 ガイドブロック 8 テーブル傾斜機構 9 ヘッド部 10 ヘッド旋回ベース 11 ヘッド旋回モータ 12 タイミングベルト
Claims (2)
- 【請求項1】 回路基板の検査位置に接触するプローブ
ピンと、前記プローブピンを回路基板に平行なX−Y平
面上で移動させるX−Y移動テーブルと、前記プローブ
ピンを前記X−Y平面に垂直なZ軸方向に摺動させるプ
ローブピン摺動機構と、を含み回路基板の所望の検査位
置にプローブピンを接触させて電気的検査を行う回路基
板の検査装置において、 前記プローブピンを前記Z軸に対する角度が調整可能な
プローブピン傾斜機構と、 前記プローブピンの先端方向を前記Z軸の周囲を所望の
角度だけ回動させるプローブピン回動機構と、 を有することを特徴とする回路基板の検査装置。 - 【請求項2】 回路基板の検査対象位置に接触するプロ
ーブピンを前記回路基板に平行なX−Y平面上で移動さ
せると共に、該プローブピンを前記X−Y平面に垂直な
Z軸方向に摺動させて、回路基板の所望の検査位置にプ
ローブピンを接触させて電気的検査を行う回路基板の検
査方法において、 検査対象にプローブピンを所望の角度から接触させるた
めの最適接近角度情報によって、該プローブピンを前記
Z軸に対して所望角度だけ傾けると共に、検査対象にプ
ローブピンを所望の方向から接触させるための最適接近
方向情報によって、該プローブピンを前記Z軸の周囲を
所望の角度だけ回動させて、検査対象に対してプローブ
ピンを最適姿勢で接触させて電気的検査を行うことを特
徴とする回路基板の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5238136A JPH0792227A (ja) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | 回路基板の検査装置及び検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5238136A JPH0792227A (ja) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | 回路基板の検査装置及び検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0792227A true JPH0792227A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=17025732
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5238136A Pending JPH0792227A (ja) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | 回路基板の検査装置及び検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0792227A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000097985A (ja) * | 1998-09-23 | 2000-04-07 | Delaware Capital Formation Inc | 間隔が密な試験場所用走査試験機 |
US6268719B1 (en) | 1998-09-23 | 2001-07-31 | Delaware Capital Formation, Inc. | Printed circuit board test apparatus |
US6788078B2 (en) | 2001-11-16 | 2004-09-07 | Delaware Capital Formation, Inc. | Apparatus for scan testing printed circuit boards |
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-
1993
- 1993-09-24 JP JP5238136A patent/JPH0792227A/ja active Pending
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