JP2002237001A

JP2002237001A - ディスク特性評価装置

Info

Publication number: JP2002237001A
Application number: JP2001030762A
Authority: JP
Inventors: Shoichi Haga; 正一芳賀
Original assignee: KYODO DENSHI SYSTEM KK
Current assignee: KYODO DENSHI SYSTEM KK
Priority date: 2001-02-07
Filing date: 2001-02-07
Publication date: 2002-08-23

Abstract

(57)【要約】【課題】サスペンションの基準に合った固定方法で容
易に取り付けることを可能とし、ヘッドアンプ基板と磁
気ヘッドとの距離を近づけてノイズを少なくしてＦＰＣ
をヘッドアンプ基板に容易に接続できる。【解決手段】ディスク特性評価装置１には、先端部に
磁気ヘッド２３を備えたサスペンション４９をヘッドク
ランプ７３に着脱自在であり、ヘッドクランプ７３は磁
気ヘッド２３を磁気ディスク９に位置決めする。サスペ
ンション７３の下面に突起部を設け、この突起部の外径
を位置決めする位置決め用穴がヘッドクランプ７３に設
けられる。位置決め用穴に装着されたサスペンション４
９の上面を押さえるべく後方よりスライド自在なクラン
プ部材を設ける。ヘッドクランプ本体にヘッドアンプ基
板を内蔵し、このヘッドアンプ基板に磁気ヘッド２３の
ＦＰＣ端子部をヘッドアンプ基板の接点に直接的にクラ
ンプして接続するＦＰＣコネクタを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ヘッドクランプ装
置、スピンスタンド装置、ヘッドロード装置を備えたデ
ィスク特性評価装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年のハードディスク装置の特性向上に
つれて、基幹部品である磁気ディスク、磁気ヘッドの電
磁変換特性を測定する評価装置の性能向上を図る必要が
ある。

【０００３】特に、トラック密度の増大に連れて、磁気
ヘッドのコア幅が狭くなる傾向にあるため、正確な測定
を行うためには、評価装置自体のトラック位置決め精度
の向上が不可欠であり、従来パルスモータ駆動あるいは
超音波モータなどで駆動される粗動ステージ上に、ピエ
ゾ素子による微動ステージを組み合わせることにより、
磁気ヘッドの位置決め精度の向上が図られている。

【０００４】例えば、この種のディスク特性評価装置の
従来例として、図１０，図１１に示されているような従
来のディスク特性評価装置２０１がある。

【０００５】従来のディスク特性評価装置２０１は、内
部にスピンドルモータ２０３（エアスピンドル）を備え
たスピンドルモータハウジング２０５が定盤状のベース
２０７の上面の取付面に設けられている。スピンドルモ
ータハウジング２０５の上部にはスピンドルモータ２０
３により回転駆動されるディスククランプ２０９が設け
られ、このディスククランプ２０９の上端部に磁気ディ
スク２１１がクランプ・アンクランプされるように構成
されている。

【０００６】また、上記のベース２０７の上面には、デ
ィスククランプ２０９に対して図１０において上方に隣
接した位置に、磁気ヘッド２１３，２１５をＸ軸方向
（図１０において左右方向）に位置決めするための粗動
ステージ２１７（Ｘステージ）が設けられており、この
粗動ステージ２１７はＸステージ駆動用の超音波モータ
２１９によりＸ軸ボールねじ２２１を介してＸ軸方向に
駆動される。

【０００７】さらに、粗動ステージ２１７の上面には磁
気ディスク２１１と平行して平滑に固定されたセグメン
トギヤ２２３が設けられており、このセグメントギヤ２
２３は半円弧状に形成され外周端縁にラック２２５が設
けられている。

【０００８】また、ダウンフェースとアップフェースか
らなる一対の磁気ヘッド２１３，２１５を備えたヘッド
クランプ装置２２７を設けたヘッドローダ２２９が上記
のセグメントギヤ２２３の上を半円弧状に移動自在に設
けられており、前記ヘッドローダ２２９にはセグメント
ギヤ２２３のラック２２５に噛合するピニオン２３１が
設けられている。このピニオン２３１はヘッドローダ装
置としての例えばヘッドローダ２２９に設けられたスキ
ュー角用モータにより減速機（図示省略）を経て回転伝
達・駆動されて、セグメントギヤ２２３のラック２２５
と噛み合い、その外周面に沿って回転角を９０°とする
回転移動が行われることにより、ヘッドローダ２２９が
回転して、磁気ヘッド２１３，２１５の位置決めが行わ
れる。なお、図１０において磁気ヘッド２１３，２１５
の位置と磁気ディスク２１１の回転中心の位置はＸ軸方
向に同一線上にある。

【０００９】ヘッドローダ２２９の基部側には、図１０
に示されているようにヘッドローダ２２９の上部をＸ軸
方向に微小移動せしめるためのピエゾアクチュエータ２
３３が設けられている。

【００１０】上記のヘッドクランプ装置２２７は上ヘッ
ドクランプ２３５と下ヘッドクランプ２３７とからな
り、上ヘッドクランプ２３５は上取付用ベース２３９を
介して上下動自在に設けられており、下ヘッドクランプ
２３７は下取付用ベース２４１を介して上下動自在に設
けられている。しかも、上ヘッドクランプ２３５、下ヘ
ッドクランプ２３７は上取付用ベース２３９、下取付用
ベース２４１に対して着脱可能に設けられている。上ヘ
ッドクランプ２３５の前方端にはクランプ部２４３を介
して磁気ヘッド２１３（ダウンフェース）を先端に備え
たサスペンション２４５がクランプされており、下ヘッ
ドクランプ２３７の前方端にはクランプ部２４７を介し
て磁気ヘッド２１５（アップフェース）を先端に備えた
サスペンション２４９がクランプされている。

【００１１】なお、ヘッドクランプ装置２２７の上下動
装置がヘッドローダ２２９に内蔵されており、各上、下
ヘッドクランプ２３５，２３７はそれぞれ独立して上下
動制御され、磁気ヘッド２１３，２１５が磁気ディスク
２１１を上下方向から挟むように進退移動可能である。

【００１２】以上のような従来のディスク特性評価装置
２０１においては、磁気ヘッド２１３，２１５の特性を
評価する場合、磁気ディスク２１１がスピンドルモータ
２０３により所定の回転数に設定された後、粗動ステー
ジ２１７が例えばトラック幅方向のＸ軸方向に送られ
て、磁気ヘッド２１３，２１５が所定位置に位置決めさ
れる。

【００１３】さらに、トラック方向の接線に対するオフ
セット角であるスキュー角が設定された後、ＨＧＡ先端
部の磁気ヘッド２１３，２１５が、所定の浮上量になる
ようにヘッドローダ２２９によりロードされる。つま
り、上ヘッドクランプ２３５と下ヘッドクランプ２３７
がそれぞれ上下動調整される。

【００１４】次に、磁気ヘッド２１３，２１５のトラッ
ク位置をトラック幅方向に微動させながら特性評価が行
われるトラックプロファイル特性評価や、エラーレート
特性評価（バスタブ特性）においては、ピエゾアクチュ
エータ２３３によって磁気ヘッド２１３，２１５を微小
量だけオフセットさせながら測定することにより磁気ヘ
ッド２１３，２１５の位置決め分解能を向上させてい
る。

【００１５】図１２（Ａ），（Ｂ）を参照するに、ヘッ
ドクランプ装置２２７としては、例えば下ヘッドクラン
プ２３７がアリ溝により前述したヘッドローダ２２９に
着脱可能に設けられており、ヘッドクランプ本体２５１
には磁気ヘッド２１５を先端部に備えたサスペンション
２４９が着脱可能にクランプされる。このサスペンショ
ン２４９はベースプレート２５３に一体的に設けられて
おり、ベースプレート２５３の基部には基準穴２５５が
設けられている。

【００１６】また、ヘッドクランプ本体２５１の図１２
（Ｂ）において左側には作動用シャフト２５７が上下動
自在に貫通されており、作動用シャフト２５７の中間に
は細径部２５９が備えられており、作動用シャフト２５
７の下端にはボス部２６１が設けられている。そして、
上記の作動用シャフト２５７はスプリング２６３により
細径部２５９を所定位置に位置せしめる方向に常時付勢
されている。

【００１７】さらに、ヘッドクランプ本体２５１の図１
２（Ｂ）において右側にはマウントベース部２６５が突
設されており、このマウントベース部２６５にはガイド
穴部２６７が上記の作動用シャフト２５７の細径部２５
９に連通するように設けられている。このガイド穴部２
６７内にスライドシャフト２６９がスライド自在に設け
られており、スライドシャフト２６９の後端と作動用シ
ャフト２５７の細径部２５９との間にはローラ２７１が
設けられている。マウントベース部２６５の上部にはガ
イド穴部２６７内に連通する長孔２７３が設けられてお
り、この長孔２７３に挿通されるクランプシャフト２７
５がスライドシャフト２６９の先端側の上部に突出され
ている。なお、スライドシャフト２６９はその後端が常
時ローラ２７１を後方へ向けて押圧する方向に付勢され
ている。

【００１８】また、マウントベース部２６５の上部には
長孔２７３の両側に位置してフィクスチャーベース２７
７が設けられており、このフィクスチャーベース２７７
の上面にはガイド溝部２７９並びに後端側に突当て面２
８１が設けられている。なお、上記のクランプシャフト
２７５はフィクスチャーベース２７７の上面より上方へ
突き出している。

【００１９】したがって、ボス部２６１をスプリング２
６３の付勢力に抗して押し上げると、スライドシャフト
２６９と共にクランプシャフト２７５が右へ移動する。
クランプシャフト２７５の先端にサスペンション２４９
の基準穴２５５を挿入してから上記のボス部２６１を離
すとスライドシャフト２６９と共にクランプシャフト２
７５が左へ移動するので、サスペンション２４９のベー
スプレート２５３が突当て面２８１に圧着されて所定位
置に位置決めされる。

【００２０】また、図１２（Ａ）を参照するに、ヘッド
アンプ基板２８３はヘッドロード機構側に固定されてお
り、ヘッドクランプ装置２２７がヘッドロード機構とし
てのヘッドローダ２２９に取り付けられることによりヘ
ッドアンプ基板２８３と接続される構造となっている。
しかも、磁気ヘッド２１５から出ているＦＰＣ２８５に
細いリード線２８７がハンダ付けで接続され、このリー
ド線２８７の先端にパドルボード２８９（コネクタＰＢ
Ｃ）をハンダ付けしてこのパドルボード２８９を用いて
上記のヘッドアンプ基板２８３の溝部２９１へ差し込
み、接点Ａ〜Ｃに接触せしめて接続されている。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のディ
スク特性評価装置２０１においては、スピンドルモータ
２０３（エアスピンドル）を備えたスピンドルモータハ
ウジング２０５が定盤状のベース２０７の取付面に設け
られており、ヘッドクランプ装置２２７を設けたヘッド
ローダ２２９はベース２０７の別の場所に取り付けた粗
動ステージ２１７に設けられ、しかもこの粗動ステージ
２１７上のセグメントギヤ２２３の上を半円弧状に移動
自在に設けられているので、ヘッドクランプ装置２２７
に装着したサスペンション２４９の磁気ヘッド２１５は
磁気ディスク２１１の中心線上の位置から変えることな
く、ヘッドローダ２２９が上記のセグメントギヤ２２３
の上を半円弧状に移動することによりスキュー角を変え
るものであるので、複雑な構造であるという問題点があ
った。

【００２２】なお、上記のセグメントギヤ２２３のよう
な構造に換えてロータリポジッショナ（図示省略）を用
いるとしても、この場合、ロータリポジッショナはスピ
ンドルモータハウジング２０５とは独立したベース２０
７の別の場所に立設したスタンド（図示省略）に天地を
逆にして支持されて上記の磁気ディスク２１１の上側に
対向した状態で取り付けられている。したがって、ステ
ージ構成が複雑でロータリポジショナ自体も非常に大型
であるという問題点があった。

【００２３】また、従来のヘッドクランプ装置２２７に
おいては、細径付の作動用シャフト２５７、マウントベ
ース部２６５、スライドシャフト２６９及び長孔２７
３、クランプシャフト２７５、フィクスチャーベース２
７７、ガイド溝部２７９、突当て面２８１などの構造が
複雑であり、また基準穴２５５がないサスペンションに
対してはクランプできないという問題点があった。

【００２４】また、従来のヘッドアンプ基板２８３はヘ
ッドローダ２２９側に固定されているので、磁気ヘッド
２１５とヘッドアンプ基板２８３との距離が遠いため、
ＦＰＣ２８５とヘッドアンプ基板２８３とは細いリード
線２８７を介して接続される。したがって、リード線２
８７で長くしたことによりノイズの影響を受けやすいと
いう問題点があった。また、リード線２８７の先端に付
けたパドルボード２８９を用いてヘッドアンプ基板２８
３に接続するので、この接続作業に手間が掛かるという
問題点があった。

【００２５】また、従来のヘッドローダ装置では、ヘッ
ドクランプ装置２２７の上下動装置がヘッドローダ２２
９に内蔵されているので、機構が複雑であり、また重量
が重くなるという問題点があった。

【００２６】この発明は上述の課題を解決するためにな
されたもので、その目的は、サスペンションの基準に合
った固定方法で容易に取り付けることを可能とし、ヘッ
ドアンプ基板と磁気ヘッドとの距離を近づけてノイズを
少なくしてＦＰＣをヘッドアンプ基板に容易に接続でき
るようにし、また、ロータリポジッショナの取付位置を
低くして剛性を向上し、エアスピンドルとロータリポジ
ッショナとの距離を最小限まで近づけられるように、さ
らに、磁気ディスクに対して磁気ヘッドを簡単な機構で
容易に上下動せしめ、測定中は退避位置へ後退せしめる
ようにしたディスク特性評価装置を提供することにあ
る。

【００２７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明のディスク特性評価装置は、
同心円の複数のトラックを備えた磁気ディスクを着脱自
在にクランプ、アンクランプせしめるディスククランプ
装置を備え、このディスククランプ装置により磁気ディ
スクを回転させながら、磁気ディスク、磁気ヘッドの少
なくとも一方の電磁変換特性の評価を行うべく所定のト
ラック位置に磁気ヘッドを位置決めするヘッドクランプ
を備えたロータリポジショナを設け、前記磁気ヘッドを
先端部に備えたサスペンションを前記ヘッドクランプに
設けてなるディスク特性評価装置において、前記サスペ
ンションの下面に突起部を設け、このサスペンションの
突起部の外径を位置決めする位置決め用穴を前記ヘッド
クランプに設け、前記位置決め用穴に装着されたサスペ
ンションの突起部の反対側上面を押さえるべく後方より
スライド自在なクランプ部材を設け、前記ヘッドクラン
プの本体にヘッドアンプ基板を内蔵し、このヘッドアン
プ基板に前記磁気ヘッドのＦＰＣ端子部を前記ヘッドア
ンプ基板の接点に直接的にクランプして接続するＦＰＣ
コネクタを設けてなることを特徴とするものである。

【００２８】したがって、クランプ部材が後方へ押され
てヘッドクランプの位置決め用穴が開放される。この位
置決め用穴にサスペンションの突起部が装着されてか
ら、クランプ部材を前進せしめると、サスペンションが
突起部の反対側上面から押さえられて浮き上がることな
く容易に且つ正確に位置決めされる。サスペンションの
基準に合った実機の取付け基準と同じ固定方法で取付ら
れる。

【００２９】また、ヘッドアンプ基板がヘッドクランプ
の本体に内蔵されているので、磁気ヘッドのＦＰＣ端子
部とヘッドアンプ基板が近くなりノイズの影響が受けに
くい状態となる。また、ＦＰＣコネクタによりＦＰＣ端
子部がヘッドアンプ基板の接点に容易に直接的に接続さ
れる。

【００３０】請求項２によるこの発明のディスク特性評
価装置は、同心円の複数のトラックを備えた磁気ディス
クを着脱自在にクランプ、アンクランプせしめるディス
ククランプ装置を備え、このディスククランプ装置によ
り磁気ディスクを回転させながら、磁気ディスク、磁気
ヘッドの少なくとも一方の電磁変換特性の評価を行うべ
く所定のトラック位置に磁気ヘッドを位置決めするヘッ
ドクランプを備えたロータリポジショナを設け、前記磁
気ヘッドを先端部に備えたサスペンションを前記ヘッド
クランプに設けてなるディスク特性評価装置において、
前記サスペンションの基部に基準穴を設け、この基準穴
を位置決めするフィクスチャーベースを前記ヘッドクラ
ンプに設け、前記サスペンションの基準穴に挿通可能で
三方に突出した三方爪部を備え且つこの三方爪部により
前記サスペンションの基部を前記フィクスチャーベース
へ押圧すべく上下動自在なクランプシャフトを設け、前
記ヘッドクランプの本体にヘッドアンプ基板を内蔵し、
このヘッドアンプ基板に前記磁気ヘッドのＦＰＣ端子部
を前記ヘッドアンプ基板の接点に直接的にクランプして
接続するＦＰＣコネクタを設けてなることを特徴とする
ものである。

【００３１】したがって、クランプシャフトを付勢力に
抗して押し上げて三方爪部にベースプレートの基準穴を
通過せしめてから前記クランプシャフトを離すことによ
り、サスペンションの基部はクランプシャフトの三方爪
部でフィクスチャーベースの所定の位置に確実に位置決
めされる。クランプシャフトを外すことなくサスペンシ
ョンの着脱作業が行われる。

【００３２】また、ヘッドアンプ基板がヘッドクランプ
の本体に内蔵されているので、磁気ヘッドのＦＰＣ端子
部とヘッドアンプ基板が近くなりノイズの影響が受けに
くい状態となる。また、ＦＰＣコネクタによりＦＰＣ端
子部がヘッドアンプ基板の接点に容易に直接的に接続さ
れる。

【００３３】請求項３によるこの発明のディスク特性評
価装置は、同心円の複数のトラックを備えた磁気ディス
クを着脱自在にクランプ、アンクランプせしめるディス
ククランプ装置を備え、このディスククランプ装置によ
り磁気ディスクを回転させながら、磁気ディスク、磁気
ヘッドの少なくとも一方の電磁変換特性の評価を行うべ
く所定のトラック位置に磁気ヘッドを位置決めするヘッ
ドクランプを備えたロータリポジショナを設け、前記磁
気ヘッドを先端部に備えたサスペンションを前記ヘッド
クランプに設けてなるディスク特性評価装置において、
前記ロータリポジショナを一方向に移動せしめる送りス
テージを設け、この送りステージによる前記ロータリポ
ジショナの移動軌跡上に前記ディスククランプ装置を並
設してなることを特徴とするものである。

【００３４】したがって、ディスククランプ装置が送り
ステージにおいてロータリポジッショナの移動軌跡上に
設けられているので、エアスピンドルとロータリポジッ
ショナの距離を最小限まで近づけることができる。

【００３５】しかも、磁気ディスク、磁気ヘッドの上に
は邪魔になるものがないので、磁気ディスクや磁気ヘッ
ドは容易に着脱される。また、磁気ディスクや磁気ヘッ
ドの取付け位置を低くできるので、剛性が向上する。

【００３６】請求項４によるこの発明のディスク特性評
価装置は、請求項３記載のディスク特性評価装置におい
て、前記送りステージに、前記ロータリポジショナをデ
ィスククランプ装置に接近せしめるべく連結穴を設けて
なることを特徴とするものである。

【００３７】したがって、送りステージに連結穴を設け
たので、ロータリポジショナの磁気ヘッドがディスクク
ランプ装置に装着された磁気ディスクに容易に接近する
ことになる。

【００３８】請求項５によるこの発明のディスク特性評
価装置は、同心円の複数のトラックを備えた磁気ディス
クを着脱自在にクランプ、アンクランプせしめるディス
ククランプ装置を備え、このディスククランプ装置によ
り磁気ディスクを回転させながら、磁気ディスク、磁気
ヘッドの少なくとも一方の電磁変換特性の評価を行うべ
く所定のトラック位置に磁気ヘッドを位置決めするヘッ
ドクランプを備えたロータリポジショナを設け、前記磁
気ヘッドを先端部に備えたサスペンションを前記ヘッド
クランプに設けてなるディスク特性評価装置において、
前記ディスククランプ装置の周辺外部に、ヘッドロード
装置本体を設け、このヘッドロード装置本体に、前記磁
気ヘッドを磁気ディスクから離反せしめる方向に前記サ
スペンションを撓ませる爪部を昇降自在に備えたスライ
ダを設け、前記爪部を前記サスペンションに係合離脱可
能に前記スライダをほぼ水平方向に進退移動自在に設け
てなることを特徴とするものである。

【００３９】したがって、磁気ヘッドを備えたサスペン
ションが爪部により磁気ディスクの外周近辺の特定位置
で磁気ヘッドを磁気ディスクから離反せしめる方向に撓
ませることができるので、ランプロード方式であっても
なくても磁気ヘッドは所定の浮上量になるようにヘッド
ロードされる。

【００４０】また、ヘッドクランプが固定でサスペンシ
ョンの一部が爪部にて垂直動作により移動されるので、
ＨＧＡの折曲がり支点に合わせることなく、各ＨＧＡと
も同量だけ持ち上げることができる。

【００４１】しかも、磁気ヘッドが磁気ディスクにロー
ドした後は、爪部が磁気ディスクの外に退避される。

【００４２】請求項６によるこの発明のディスク特性評
価装置は、請求項５記載のディスク特性評価装置におい
て、前記ロータリポジショナを一方向に移動せしめる送
りステージを設け、この送りステージに前記ヘッドロー
ド装置本体を一体的に設けてなることを特徴とする。

【００４３】したがって、ヘッドカード装置本体が送り
ステージに一体的であるので送りステージに設けられた
ロータリポジショナのディスククランプ装置に取り付け
られたサスペンションと、ヘッドロード装置本体に備え
られた爪部との位置関係は常時一定の安定した状態にな
るのでローディング動作が安定する。

【００４４】

【発明の実施の形態】以下、この発明のディスク特性評
価装置における下記の各装置の実施の形態について図面
を参照して詳細に説明する。

【００４５】図１を参照するに、本実施の形態に係わる
ディスク特性評価装置１は、実機の磁気ヘッドと同じ位
置関係にてメディアと磁気記録用の磁気ヘッドの試験装
置が定盤状のベース３の上に設けられている。

【００４６】本発明の実施の形態の主要部構成するスピ
ンスタンド装置５としては、本実施の形態では平面で長
方形の矩形状を成すもので中空を有する枠体で構成され
たステージフレーム７が上記のベース３の上面に固定さ
れている。そして、ステージフレーム７の前記中空のほ
ぼ中央部には磁気ディスク９を装着するためのディスク
クランプ装置１１が設けられている。

【００４７】このディスククランプ装置１１は、図２に
示されているように本実施の形態ではスピンドルモータ
１３（エアスピンドル）を備えたスピンドルモータハウ
ジング１５が上記のステージフレーム７に支持されてい
る。上記のスピンドルモータ１３により回転駆動される
ディスククランプ１７がスピンドルモータ１３の上端に
設けられ、ディスククランプ１７の上端部はステージフ
レーム７の中空から上面より上方に突出された状態に位
置している。ディスククランプ１７の上端部には磁気デ
ィスク９がクランプ・アンクランプされるように構成さ
れている。

【００４８】また、ステージフレーム７には上記のディ
スククランプ１７に対して図１において右側と左側にＸ
軸方向に移動自在な右Ｘステージ１９と左Ｘステージ２
１が設けられている。この右Ｘステージ１９と左Ｘステ
ージ２１のいずれか一方あるいは両方には、磁気ヘッド
２３を装着するヘッドクランプ装置２５を支持し且つロ
ーディングするためのヘッドロード装置としての例えば
ロータリポジッショナ２７をＸ軸方向に移動自在に設け
るための送りステージを構成するものである。

【００４９】なお、右Ｘステージ１９と左Ｘステージ２
１は同様の構造であり、右、左Ｘステージ１９、２１
は、ステージフレーム７の内側にガイド部材としての例
えば図１において上下に対向する２本のガイドレール２
９がＸ軸方向に延伸されている。この２本のガイドレー
ル２９にリニアガイドを介してガイドされる右ステージ
テーブル３１Ｒ，３１ＬがＸ軸方向に往復移動自在に設
けられている。

【００５０】ステージフレーム７の図１において右、左
側には右ステージテーブル３１Ｒ、３１Ｌを駆動するた
めの超音波モータ３３が設けられており、２本のガイド
レール２９の間には左、右の各Ｘ軸ボールねじ３５がス
テージフレーム７に設けた軸受３７により軸承されてお
り、Ｘ軸ボールねじ３５に螺合するナット部材（図示省
略）が右、左ステージテーブル３１Ｒ、３１Ｌの下部に
図１において上下方向のほぼ中央に設けられている。各
Ｘ軸ボールねじ３５はフレキシブルカップリング３９を
介して上記の超音波モータ３３に連結されている。

【００５１】右、左ステージテーブル３１Ｒ、３１Ｌの
上面には、磁気ヘッド２３を位置決めするヘッドクラン
プ装置２５を設けたロータリポジッショナ２７が設けら
れている。この左側のロータリポジッショナ２７は図２
に示されているようにポジッショナ本体を構成するアク
チュエータ４１の駆動軸４３を備えており、アクチュエ
ータ４１が左ステージテーブル３１Ｌの図１において左
端側に設けた取付穴（図示省略）に取り付けられてい
る。なお、上記のヘッドクランプ装置２５のヘッドクラ
ンプ本体４７はロータリポジッショナ２７の駆動軸４３
に取り付けられて回転自在となっている。

【００５２】また、ステージフレーム７には、スピンド
ルモータ１３とロータリポジッショナ２７との間隔を少
なくするために、ディスククランプ装置１１と右、左ス
テージテーブル３１Ｒ、３１Ｌとの間に連結穴４５が設
けられている。

【００５３】上記構成により、ディスククランプ装置１
１とロータリポジッショナ２７はステージフレーム７に
並置されているので、右、左ステージテーブル３１Ｒ、
３１Ｌが超音波モータ３３によりＸ軸ボールねじ３５を
介してＸ軸方向に駆動されると、ロータリポジッショナ
２７に備えたヘッドクランプ装置２５を介して磁気ヘッ
ド２３が、ディスククランプ装置１１にクランプされた
磁気ディスク９に対してＸ軸方向に移動位置決めされ
る。

【００５４】以上のように磁気ディスク９、磁気ヘッド
２３の上には邪魔になるものがないので、磁気ディスク
９や磁気ヘッド２３は容易に着脱される。また、磁気デ
ィスク９や磁気ヘッド２３の取付け位置を低くすること
ができるので、剛性が向上する。

【００５５】ディスククランプ装置１１がロータリポジ
ッショナ２７の送りステージであるＸステージのロータ
リポジッショナ２７の移動軌跡上に設けられており、し
かも連結穴４５が設けられているので、スピンドルモー
タ１３とロータリポジッショナ２７の距離を最小限まで
近づけることができる。

【００５６】次に、本発明の実施の形態の主要部構成す
るヘッドクランプ装置２５について図面を参照して説明
する。

【００５７】なお、右側の磁気ヘッド２３を備えたヘッ
ドクランプ装置２５は実機そのものが取り付けられ、左
側の磁気ヘッド２３を備えたヘッドクランプ装置２５は
試験用のものである。

【００５８】このヘッドクランプ装置２５は図１におい
て左側の左Ｘステージ２１に設けたロータリポジッショ
ナ２７に取り付けられたものである。

【００５９】図３（Ａ），（Ｂ）を参照するに、ヘッド
クランプ部２５Ａはアリ溝により前述したヘッドクラン
プ本体４７に着脱可能に設けられており、ヘッドクラン
プ部２５Ａには磁気ヘッド２３を先端部に備えたアーム
型のサスペンション４９が着脱可能にクランプされてい
る。このアーム型のサスペンション４９はベースプレー
ト５１に一体的に設けられており、ベースプレート５１
の基部には基準穴５３が設けられている。

【００６０】また、ヘッドクランプ部２５Ａのほぼ中央
部の上面には円筒形状をなすフィクスチャーベース５５
が一体的に取り付けられており、このフィクスチャーベ
ース５５の穴部５７を挿通するクランプシャフト５９が
ヘッドクランプ部２５Ａを上下動自在に貫通されてお
り、クランプシャフト５９の一端にはベースプレート５
１の基準穴５３に挿通可能で三方に突出した三方爪部６
１が備えられており、クランプシャフト５９の他端には
押しボタン部６３が設けられている。なお、三方爪部６
１は下面側がテーパ６５になっており、上記のクランプ
シャフト５９は三方爪部６１がサスペンション４９のベ
ースプレート５１をフィクスチャーベース５５の上面に
クランプして常時押圧する方向にスプリングＳＰにより
付勢されている。

【００６１】また、アーム型サスペンション４９には他
の位置決め穴６７が設けられており、この位置決め穴６
７を挿入可能な位置決めピン６９がヘッドクランプ部２
５Ａの図３（Ａ），（Ｂ）において右側上面に突設され
ている。

【００６２】上記構成により、押しボタン部６３をスプ
リングＳＰの付勢力に抗して押し上げて三方爪部６１に
ベースプレート５１の基準穴５３を通過せしめてからア
ーム型サスペンション４９の位置決め穴６７を位置決め
ピン６９に挿入し、その後押しボタン部６３を離すこと
により、アーム型サスペンション４９のベースプレート
５１はスプリングＳＰの付勢力によりクランプシャフト
５９の三方爪部６１で所定の位置に確実に位置決めされ
る。したがって、クランプシャフト５９を外すことなく
アーム型サスペンション４９の着脱作業が行われる。

【００６３】他の実施の形態のヘッドクランプ装置２５
としては、図４（Ａ），（Ｂ）を参照するに、箱形形状
をなすヘッドクランプ本体７１が前述したロータリポジ
ッショナ２７の駆動軸（図示省略）に設けられており、
ヘッドクランプ本体７１の図４（Ａ）において左側面に
はヘッドクランプ部７３が突設されており、このヘッド
クランプ部７３の前方端上面にはフィクスチャーベース
７５が備えられている。

【００６４】なお、先端に磁気ヘッド２３を備えたサス
ペンション４９の基部の下面には、図５（Ｃ）に示され
ているように突起部としての例えばバーリング部７７が
突出されている。

【００６５】また、上記のフィクスチャーベース７５の
上面にはサスペンション４９の基部のバーリング部７７
の外径を位置決めするための位置決め用穴７９が設けら
れており、図５（Ａ）において上下にはサスペンション
４９の基部の幅方向の側面を嵌合せしめるガイド溝８１
が設けられている。

【００６６】ヘッドクランプ部７３の後方側上面にはク
ランプ部材としての例えばクランプブロック８３がヘッ
ドクランプ部７３の長手方向の前後方向にスライド自在
に設けられており、クランプブロック８３の先端部の下
面は後方より前方に向けて薄くなるテーパ面８５が設け
られており、クランプブロック８３の後端上面にはノブ
８７が突設されている。クランプブロック８３はその後
端面がスプリング８９により常時前方へ押し出されるよ
うに付勢されている。

【００６７】上記構成により、クランプブロック８３の
ノブ８７が手で後方へ押されることにより、クランプブ
ロック８３の先端部が後退してフィクスチャーべ一ス７
５の位置決め用穴７９が開放される。サスペンション４
９の基部のバーリング部７７を位置決め用穴７９に装着
してから、クランプブロック８３のノブ８７が離される
と、スプリング８９の付勢力によりクランプブロック８
３と共にその先端部のテーパ面８５がサスペンション４
９の基部の上面に乗り上げるように前進する。

【００６８】その結果、サスペンション４９の基部がク
ランプブロック８３で上方から押さえられながら前進せ
しめられるので、バーリング部７７の前方端が位置決め
用穴７９に突当てられて係合すると同時にクランプブロ
ック８３の基部がガイド溝８１に落とし込まれて容易に
且つ正確に位置決めが行われる。

【００６９】以上のように、サスペンション４９の基準
に合った、換言すれば実機の取付け基準と同じ固定方法
で取付ることが可能である。

【００７０】また、クランプブロック８３にテーパ面８
５を設けたことにより、クランプブロック８３の下面は
フィクスチャーベース５５のサスペンション４９取付け
面（基準面）にスライドしても、サスペンション４９を
クランプ可能となるので、サスペンション４９をフィク
スチャーベース５５の基準面に押し付ける効果が得ら
れ、浮き上がることなく確実に固定される。

【００７１】また、フィクスチャーベース５５とクラン
プブロック８３が分けられたことにより、各部材の加工
が容易になり且つ各部材の加工精度が向上した。

【００７２】図４（Ａ）を参照するに、ヘッドクランプ
本体７１にはヘッドアンプ基板９１が内蔵されているこ
とから、ヘッドアンプ基板９１と磁気ヘッド２３との距
離が近くなるので、ノイズの影響が受けにくい状態とな
る。

【００７３】また、上記のヘッドアンプ基板９１の図４
（Ａ）において左側にはＦＰＣクリップ９３が設けられ
ている。このＦＰＣクリップ９３は、図６（Ａ）〜
（Ｄ）に示されているようにクリップ本体９５の内部に
磁気ヘッド２３への配線（ＦＰＣ；フレキシブルプリン
ト板）の端子部９７を挿入するための端子差し込み口９
９と端子導入路１０１が設けられており、この端子導入
路１０１の下面には本実施の形態では４つの接点１０３
が設けられ、各接点１０３にはコンタクトプローブ１０
５が接続されたものである。

【００７４】また、端子導入路１０１の上方には上記の
ＦＰＣ端子部９７を各接点１０３に押圧するための押圧
部材１０７がクリップ本体９５の内部を上下動可能に設
けられており、前記押圧部材１０７の上部にはヘッド付
きシャフト１０９が連結されており、ヘッド付きシャフ
ト１０９の上端側はクリップ本体９５の上面より上方へ
突出しており、押圧部材１０７はスプリング１１１によ
り常時下方の端子導入路１０１の下面へ押圧されるよう
に付勢されている。

【００７５】さらに、クリップ本体９５の図６（Ｂ）に
おいて左側には断面Ｌ形状のセットレバー１１３が軸支
されており、セットレバー１１３の右端がヘッド付きシ
ャフト１０９のヘッド部１１５に係合されている。

【００７６】上記構成により、セットレバー１１３が図
６（Ｂ）に示されているように矢印側に押されると、ス
プリング１１１の付勢力に抗してヘッド付きシャフト１
０９を介して押圧部材１０７が上昇してアンクランプ状
態となるので端子導入路１０１が開放される。ＦＰＣ端
子部９７が図６（Ｃ），（Ｄ）に示されているように端
子差し込み口９９から上記の開放された端子導入路１０
１へ挿入されてからセットレバー１１３が離されると、
スプリング１１１の付勢力により押圧部材１０７が下降
して上記のＦＰＣ端子部９７が４つの接点１０３に押圧
されるので、ＦＰＣ端子部９７が容易にコンタクトプロ
ーブ１０５に電気接続される。

【００７７】次に、本発明の実施の形態の主要部を構成
するヘッドロード装置１１７について図面を参照して説
明する。

【００７８】図１及び図７を参照するに、ヘッドロード
装置１１７は前述したステージフレーム７の右Ｘステー
ジ１９側と左Ｘステージ２１側のいずれか一方あるいは
両方の側に設けられている。例えば、左Ｘステージ２１
側のステージフレーム７に取り付けられたヘッドロード
装置１１７について説明する。

【００７９】ヘッドロード装置本体１１９がステージフ
レーム７の図１において右上側に取り付けられている。
しかし、左Ｘステージ２１側のようにヘッドロード装置
本体１１９が左ステージテーブル３１Ｌに一体的に取付
けられることの方が、サスペンション４９と、ヘッドロ
ード装置１１７との位置関係が常に一定の安定した状態
になるので磁気ヘッド２３のローディング動作が安定す
るという点で望ましいが、この限りでない。また、ヘッ
ドロード装置本体１１９の図７において左側面には、ス
ライダ支持部材１２１が図７において略斜め上下方向に
延伸されたガイドレール１２３を介して略斜め上下方向
に移動自在に設けられている。

【００８０】また、ヘッドロード装置本体１１９の上面
には上記のガイドレール１２３とほぼ平行な長孔１２５
が設けられており、この長孔１２５に沿って走行される
タイミングベルト１２７がヘッドロード装置本体１１９
の内部に設けられている。タイミングベルト１２７は、
上記の長孔１２５の両端側に位置する２つのタイミング
ベルトプーリ１２９と、ヘッドロード装置本体１１９の
下部に設けた駆動モータ１３１の駆動軸１３３の駆動プ
ーリ１３５に巻回されている。

【００８１】スライダ支持部材１２１はリテーナ１３７
を介して長孔１２５に沿った範囲のタイミングベルト１
２７に保持固定されているので、駆動モータ１３１の正
逆回転により駆動されて上記のガイドレール１２３に沿
って図７において略斜め上下方向に走行駆動されること
となる。

【００８２】上記のスライダ支持部材１２１の図７にお
いて左側面には、後方側（図７において上方側）にカム
支持部材１３９が固定されており、このカム支持部材１
３９には先端が両面先細りテーパ部１４１（図８参照）
を備えたカム１４３が前方（図７において下方）に向け
て突設されている。

【００８３】また、スライダ支持部材１２１の図７にお
いて左側面には、スライダ１４５が前後方向（図７にお
いて上下方向）に移動自在に設けられており、このスラ
イダ１４５の後端面のほぼ中央部には上記のカム１４３
が挿通可能な挿孔１４７が貫通している。前記スライダ
１４５はスライダ支持部材１２１に対してスプリング１
４９により常時前方へ付勢されており、この状態で、挿
孔１４７に挿入されているカム１４３の先端はスライダ
１４５の前方端面付近に位置している。

【００８４】また、スライダ１４５の前方端面には上下
に２つの上爪保持部１５１と下爪保持部１５３がそれぞ
れ上記の挿孔１４７の左右両側に上下に延伸したガイド
部材１５５を介して上下方向に移動自在に設けられてお
り、上爪保持部１５１と下爪保持部１５３には図８に示
されているように上記のカム１４３の先端が入り込める
ほどの隙間１５７が設けられている。

【００８５】また、上爪保持部１５１の先端には板バネ
材からなる上爪部１５９が突出されており、下爪保持部
１５３の先端には板バネ材からなる下爪部１６１が突出
されている。

【００８６】また、ヘッドロード装置本体１１９の図７
において下方側面には、上記のスライダ１４５の前方端
面に当接してスライダ１４５の前進を停止せしめるスラ
イダストッパ１６３が設けられている。また、ヘッドロ
ード装置本体１１９の上面には、スライダ支持部材１２
１の前進移動を停止せしめるカムストッパ１６５が設け
られている。

【００８７】また、ヘッドロード装置本体１１９の上面
には、上記のスライダ支持部材１２１の位置を検出する
３つの位置検出器、つまり退避位置センサ１６７と爪部
移動開始位置センサ１６９と爪部移動終了位置センサ１
７１が長孔１２５に沿った範囲に設けられている。

【００８８】以上のディスク特性評価装置１において
は、磁気ヘッド２３の特性を評価する場合、磁気ディス
ク９がスピンドルモータ１３により所定の回転数に設定
された後、例えば右、左Ｘステージ１９、２１が例えば
トラック幅方向のＸ軸方向に送られて、上下の磁気ヘッ
ド２３が所定位置に位置決めされる。

【００８９】このとき、駆動モータ１３１が図７におい
て時計回り方向に回転することにより、スライダ支持部
材１２１は図９（Ａ）に示されているように通常退避位
置に待機している。

【００９０】駆動モータ１３１が図７において反時計回
り方向に回転することにより、スライダ支持部材１２１
は図９（Ｂ）に示されているように前進してスライダ１
４５の前方端面がスライダストッパ１６３に当接するの
で、スライダ１４５の前進動作が停止される。このと
き、上爪部１５９と下爪部１６１は上下のサスペンショ
ン４９の間に入り込んだ状態となる。上方のサスペンシ
ョン４９だけの場合は上爪部１５９が上記のサスペンシ
ョン４９の下方に位置することになる。

【００９１】スライダ支持部材１２１がさらに前進する
と、図９（Ｃ）に示されているようにスライダ１４５は
スライダストッパ１６３によりそのままの位置に留まる
が、カム支持部材１３９と共にカム１４３がスプリング
１４９の付勢力に抗して前進するので、カム１４３の先
端端の両面先細りテーパ部１４１が図８の２点鎖線で示
されているように上爪保持部１５１と下爪保持部１５３
の隙間１５７へ入り込むために、上爪保持部１５１に伴
って上爪部１５９は上方へ移動され、下爪保持部１５３
に伴って下爪部１６１は下方へ移動される。したがっ
て、例えば上方のサスペンション４９は上爪部１５９に
より上方へ持ち上げられ、つまり磁気ヘッド２３が磁気
ディスク９面より離される方向に撓ませられた状態で支
持される。

【００９２】次いで、ＨＧＡが磁気ディスク９にロード
されてしまえば、ディスク特性を測定中は磁気ヘッド２
３がエアギャップにより所定の浮上量となるので、ヘッ
ドロード装置１１７は磁気ディスク９の外に退避され
る。すなわち、駆動モータ１３１が時計回り方向に回転
されることによりスライダ支持部材１２１が後退する
が、スライダ１４５はスプリング１４９の付勢力により
スライダストッパ１６３に当接したままの位置であり、
スライダ支持部材１２１の後退に伴ってカム１４３が上
爪保持部１５１と下爪保持部１５３の間から後退し、上
爪保持部１５１と下爪保持部１５３、つまり上爪部１５
９と下爪部１６１がサスペンション４９から解除されて
サスペンション４９を撓ませない原位置へ復帰されるこ
とになる。その後、スライダ１４５はスライダ支持部材
１２１の後退と共にガイドレール１２３に沿って後退し
て上爪部１５９と下爪部１６１がサスペンション４９か
ら外れ、磁気ディスク９より外側の退避位置へ後退す
る。

【００９３】なお、磁気ヘッド２３のトラック方向の接
線に対するオフセット角であるスキュー角はロータリポ
ジッショナ２７によるヘッドクランプ装置２５の旋回に
より図１の矢印に示されているように変化する。

【００９４】以上のことから、磁気ヘッド２３を備えた
サスペンション４９が爪部により磁気ディスク９の外周
近辺の特定位置で磁気ヘッド２３が磁気ディスク９から
離れる方向に撓ませることができるので、ランプロード
方式であってもなくても磁気ヘッド２３は所定の浮上量
になるようにヘッドロードされる。

【００９５】また、ヘッドクランプ部７３が固定でサス
ペンション４９の一部が爪部１５９，１６１にて垂直動
作により持ち上げられるので、ＨＧＡの折曲がり支点に
合わせることなく、各ＨＧＡとも同量だけ持ち上げるこ
とができる。

【００９６】しかも、ＨＧＡが磁気ディスク９にロード
された後は、ディスク特性を測定中ではヘッドロード作
用が不要となるので、ヘッドロード装置１１７が磁気デ
ィスク９の外に退避される。

【００９７】なお、この発明は前述した実施の形態に限
定されることなく、適宜な変更を行うことによりその他
の態様で実施し得るものである。

【００９８】

【発明の効果】以上のごとき発明の実施の形態の説明か
ら理解されるように、請求項１の発明によれば、クラン
プ部材を後方へ押してヘッドクランプの位置決め用穴を
開放せしめ、この位置決め用穴にサスペンションの突起
部を装着してから、クランプ部材を前進せしめることに
より、突起部の反対側上面からサスペンションを押さえ
るので浮き上がることなく容易に且つ正確に位置決めで
きる。サスペンションの基準に合った実機の取付け基準
と同じ固定方法で取付ることができる。

【００９９】また、ヘッドクランプの本体にヘッドアン
プ基板を内蔵したことによって、磁気ヘッドのＦＰＣ端
子部とヘッドアンプ基板が近くなるので、ノイズの影響
を受けにくい状態にできる。また、ＦＰＣコネクタによ
りＦＰＣ端子部をヘッドアンプ基板の接点に容易に直接
的に接続できる。

【０１００】請求項２の発明によれば、クランプシャフ
トを付勢力に抗して押し上げて三方爪部にベースプレー
トの基準穴を通過せしめてから前記クランプシャフトを
離すことにより、クランプシャフトの三方爪部でサスペ
ンションの基部をフィクスチャーベースの所定の位置に
確実に位置決めできる。クランプシャフトを外すことな
くサスペンションの着脱作業を行うことができる。

【０１０１】また、ヘッドクランプの本体にヘッドアン
プ基板を内蔵したことによって、磁気ヘッドのＦＰＣ端
子部とヘッドアンプ基板が近くなるので、ノイズの影響
を受けにくい状態にできる。また、ＦＰＣコネクタによ
りＦＰＣ端子部をヘッドアンプ基板の接点に容易に直接
的に接続できる。

【０１０２】請求項３の発明によれば、送りステージに
おいてロータリポジッショナの移動軌跡上にディスクク
ランプ装置を設けたので、ディスククランプ装置とロー
タリポジッショナの距離を最小限まで近づけることがで
きる。

【０１０３】しかも、磁気ディスク、磁気ヘッドの上に
は邪魔になるものがないので、磁気ディスクや磁気ヘッ
ドを容易に着脱できる。また、磁気ディスクや磁気ヘッ
ドの取付け位置を低くできるので、剛性を向上できる。

【０１０４】請求項４の発明によれば、送りステージに
連結穴を設けたので、ロータリポジショナの磁気ヘッド
をディスククランプ装置に装着された磁気ディスクに容
易に接近させることができる。

【０１０５】請求項５の発明によれば、磁気ヘッドを備
えたサスペンションを爪部により磁気ディスクの外周近
辺の特定位置で磁気ヘッドが磁気ディスクから離反され
る方向に撓ませることができるので、ランプロード方式
であってもなくても磁気ヘッドを所定の浮上量になるよ
うにヘッドロードできる。

【０１０６】また、ヘッドクランプを固定してサスペン
ションの一部を爪部にて垂直動作により移動できるの
で、ＨＧＡの折曲がり支点に合わせることなく、各ＨＧ
Ａとも同量だけ持ち上げることができる。

【０１０７】しかも、磁気ヘッドが磁気ディスクにロー
ドした後は、爪部を磁気ディスクの外に退避できる。

【０１０８】請求項６の発明によれば、ヘッドロード装
置本体が送りステージに一体的であるので送りステージ
に設けられたロータリポジショナのディスククランプ装
置に取り付けられたサスペンションと、ヘッドロード装
置本体に備えられた爪部との位置関係を常時一定の安定
した状態にできるので磁気ヘッドのローディング動作を
安定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示すもので、ディスク特
性評価装置の平面図である。

【図２】本発明の実施の形態を示すもので、ロータリポ
ジッショナの側面図である。

【図３】本発明の実施の形態のヘッドクランプ装置を示
すもので、（Ａ）は平面図で、（Ｂ）は（Ａ）の矢視Ｉ
ＩＩ−ＩＩＩ線の断面図である。

【図４】本発明の他の実施の形態のヘッドクランプ装置
を示すもので、（Ａ）は平面図で、（Ｂ）は側面図であ
る。

【図５】（Ａ）は図４（Ａ）におけるヘッドクランプ部
の拡大平面図で、（Ｂ）は（Ａ）の側面図で、（Ｃ）は
フィクスチャーベースの部分的な拡大断面図である。

【図６】本発明の実施の形態のＦＰＣクリップを示すも
ので、（Ａ）は側面図で、（Ｂ）はアンクランプ状態を
示すもので（Ａ）における矢視ＶＩ−ＶＩ線の断面図
で、（Ｃ）はクランプ状態を示すもので（Ａ）における
矢視ＶＩ−ＶＩ線の断面図で、（Ｄ）は（Ｂ）における
平面図である。

【図７】本発明の実施の形態ヘッドロード装置を示すも
ので、平面図である。

【図８】図７における矢視ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線の断面
図である。

【図９】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施の形態のヘッ
ドロード装置の動作状態を示すもので、図である。

【図１０】従来のヘッドクランプ装置の平面図である。

【図１１】従来のヘッドクランプ装置の側面図である。

【図１２】従来の他のヘッドクランプ装置で、（Ａ）は
平面図で、（Ｂ）は（Ａ）における矢視ＸＩＩ−ＸＩＩ
線の断面図である。

【符号の説明】

１ディスク特性評価装置５スピンスタンド装置７ステージフレーム９磁気ディスク１１ディスククランプ装置１３スピンドルモータ１９右Ｘステージ（送りステージ）２１左Ｘステージ（送りステージ）２３磁気ヘッド２５ヘッドクランプ装置２７ロータリポジッショナ４５連通穴５１ベースプレート５３基準穴５９クランプシャフト６１三方爪部７１ヘッドクランプ本体７３ヘッドクランプ部７７バーリング部７９位置決め用穴（突起部）８３クランプブロック（クランプ部材）９１ヘッドアンプ基板９３ＦＰＣクリップ１０１端子導入路１１７ヘッドロード装置１４１両面先細りテーパ部１４３カム１４５スライダ１４９スプリング１５１上爪保持部１５３下爪保持部１５５ガイド部材１５７隙間１５９上爪部１６１下爪部１６３スライダストッパ１６５カムストッパ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】同心円の複数のトラックを備えた磁気デ
ィスクを着脱自在にクランプ、アンクランプせしめるデ
ィスククランプ装置を備え、このディスククランプ装置
により磁気ディスクを回転させながら、磁気ディスク、
磁気ヘッドの少なくとも一方の電磁変換特性の評価を行
うべく所定のトラック位置に磁気ヘッドを位置決めする
ヘッドクランプを備えたロータリポジショナを設け、前
記磁気ヘッドを先端部に備えたサスペンションを前記ヘ
ッドクランプに設けてなるディスク特性評価装置におい
て、前記サスペンションの下面に突起部を設け、このサスペ
ンションの突起部の外径を位置決めする位置決め用穴を
前記ヘッドクランプに設け、前記位置決め用穴に装着さ
れたサスペンションの突起部の反対側上面を押さえるべ
く後方よりスライド自在なクランプ部材を設け、前記ヘッドクランプの本体にヘッドアンプ基板を内蔵
し、このヘッドアンプ基板に前記磁気ヘッドのＦＰＣ端
子部を前記ヘッドアンプ基板の接点に直接的にクランプ
して接続するＦＰＣコネクタを設けてなることを特徴と
するディスク特性評価装置。
【請求項２】同心円の複数のトラックを備えた磁気デ
ィスクを着脱自在にクランプ、アンクランプせしめるデ
ィスククランプ装置を備え、このディスククランプ装置
により磁気ディスクを回転させながら、磁気ディスク、
磁気ヘッドの少なくとも一方の電磁変換特性の評価を行
うべく所定のトラック位置に磁気ヘッドを位置決めする
ヘッドクランプを備えたロータリポジショナを設け、前
記磁気ヘッドを先端部に備えたサスペンションを前記ヘ
ッドクランプに設けてなるディスク特性評価装置におい
て、前記サスペンションの基部に基準穴を設け、この基準穴
を位置決めするフィクスチャーベースを前記ヘッドクラ
ンプに設け、前記サスペンションの基準穴に挿通可能で
三方に突出した三方爪部を備え且つこの三方爪部により
前記サスペンションの基部を前記フィクスチャーベース
へ押圧すべく上下動自在なクランプシャフトを設け、前記ヘッドクランプの本体にヘッドアンプ基板を内蔵
し、このヘッドアンプ基板に前記磁気ヘッドのＦＰＣ端
子部を前記ヘッドアンプ基板の接点に直接的にクランプ
して接続するＦＰＣコネクタを設けてなることを特徴と
するディスク特性評価装置。
【請求項３】同心円の複数のトラックを備えた磁気デ
ィスクを着脱自在にクランプ、アンクランプせしめるデ
ィスククランプ装置を備え、このディスククランプ装置
により磁気ディスクを回転させながら、磁気ディスク、
磁気ヘッドの少なくとも一方の電磁変換特性の評価を行
うべく所定のトラック位置に磁気ヘッドを位置決めする
ヘッドクランプを備えたロータリポジショナを設け、前
記磁気ヘッドを先端部に備えたサスペンションを前記ヘ
ッドクランプに設けてなるディスク特性評価装置におい
て、前記ロータリポジショナを一方向に移動せしめる送りス
テージを設け、この送りステージによる前記ロータリポ
ジショナの移動軌跡上に前記ディスククランプ装置を並
設してなることを特徴とするディスク特性評価装置。
【請求項４】前記送りステージに、前記ロータリポジ
ショナをディスククランプ装置に接近せしめるべく連結
穴を設けてなることを特徴とする請求項３記載のディス
ク特性評価装置。
【請求項５】同心円の複数のトラックを備えた磁気デ
ィスクを着脱自在にクランプ、アンクランプせしめるデ
ィスククランプ装置を備え、このディスククランプ装置
により磁気ディスクを回転させながら、磁気ディスク、
磁気ヘッドの少なくとも一方の電磁変換特性の評価を行
うべく所定のトラック位置に磁気ヘッドを位置決めする
ヘッドクランプを備えたロータリポジショナを設け、前
記磁気ヘッドを先端部に備えたサスペンションを前記ヘ
ッドクランプに設けてなるディスク特性評価装置におい
て、前記ディスククランプ装置の周辺外部に、ヘッドロード
装置本体を設け、このヘッドロード装置本体に、前記磁
気ヘッドを磁気ディスクから離反せしめる方向に前記サ
スペンションを撓ませる爪部を昇降自在に備えたスライ
ダを設け、前記爪部を前記サスペンションに係合離脱可
能に前記スライダをほぼ水平方向に進退移動自在に設け
てなることを特徴とするディスク特性評価装置。
【請求項６】前記ロータリポジショナを一方向に移動
せしめる送りステージを設け、この送りステージに前記
ヘッドロード装置本体を一体的に設けてなることを特徴
とする請求項５記載のディスク特性評価装置。