JP5452095B2 - 磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボット，磁気ヘッド検査方法および検査装置 - Google Patents

Description

この発明は、磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボット，磁気ヘッド検査方法および検査装置に関し、詳しくは、磁気ヘッドに配線されたフレキシブル印刷配線基板を具えた磁気ヘッドアッセンブリ（磁気ヘッド＋サスペンションスプリング）を磁気ヘッド検査装置のヘッドクランプ台にセットしたときにフレキシブル印刷配線基板とコンタクトユニットとの電気的な接触を確保することが容易で、磁気ヘッド検査の自動化に適した、磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボットに関するものである。

最近の磁気ヘッドアッセンブリは、１５ｍｍ〜２０ｍｍ程度のサスペンションスプリングの先端に０．数ｍｍ〜１ｍｍ角程度の大きさのスライダが付き、薄膜磁気ヘッドとディスクの間隔は、数ｎｍから十ｎｍの距離までに接近してきている。
このような関係にある、ＨＤＤの情報記録媒体としての磁気ディスクとこの磁気ディスクに対してデータの読み書きを行う磁気ヘッド（磁気ヘッドアッセンブリ）とは、製造段階でそれぞれの検査装置により精密な性能検査が行われている。
磁気ディスクあるいは磁気ヘッドの検査効率を向上するために、複数の検査デッキを設けて検査デッキ間で磁気ヘッドからの信号を分配しあるいは選択的に切換えて検査処理をする検査装置はすでに公知である（特許文献１，２）。

特開２００１−５２３１９号 特開２００６−１７９１０７号

磁気ヘッドは、磁気ヘッド検査装置において磁気ヘッドアッセンブリ単位で検査され、検査終了後に検査対象となる新しい磁気ヘッドアッセンブリと検査済みのものとが交換される。この場合の交換は、現在のところ人手による手作業となっている。
磁気ヘッドの交換中はテストが中止され、磁気ヘッドからの読出信号を受ける測定部はテスト待ち状態に入る。そのため、磁気ヘッドアッセンブリ（磁気ヘッド）の検査効率が落ちる。一方、磁気ヘッドアッセンブリは小さくなり、磁気ヘッド検査のために必要となる、ヘッドキャリッジのヘッドクランプ台への磁気ヘッドアッセンブリの取付（この取付は磁気ヘッドアッセンブリの取付孔（突起孔）を介して行われる。）、そしてそこからの取外は、作業性がよくない。そのため、ヘッド検査のスループットは、この磁気ヘッドアッセンブリの交換作業に左右されてしまうと言っても過言ではない。

そこで、磁気ヘッドアッセンブリの交換作業を自動化することが考えられるが、磁気ヘッドアッセンブリの検査は、現在のところ磁気ヘッドに接続されるフレキシブル印刷配線基板（以下フレキシブルケーブル）の端子パッドにコンタクトプローブユニットのプローブを接触させて検査をしなければならない。
コンタクトプローブユニットには６本程度のプローブ（ポゴピン）が設けられているが、磁気ヘッドアッセンブリを磁気ヘッド検査装置のヘッドクランプ台にセットしたときにフレキシブルケーブルに反りがあったり、曲がっていると、フレキシブルケーブルとコンタクトユニットとの電気的な接触が確保できない。
フレキシブルケーブルは、磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を基準として磁気ヘッド側を前側として磁気ヘッドアッセンブリの取付基部から尾が生えたように後ろに長く延びていて、後ろ端部には端子パッドがある。この端子パッドは、コンタクトユニットの下側にある端子パッド台座に載置されるが、端子パッド台座に載置される以前に回転する磁気ヘッドクランプ台あるいはこの付近に位置付けられたときにディスクが巻き起こす風の影響を受けて上に反り返り易い。また、端子パッド台座に載置された状態であっても端子パッドは、前記の風の影響で浮き上がり、パタパタとはためく問題がある。

磁気ヘッドアッセンブリの交換作業を自動化するためには、ハンドリングロボットを利用して磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台に搬送してヘッドクランプ台に磁気ヘッドアッセンブリを載置しなければならないが、磁気ヘッドアッセンブリが載置されたとしても磁気ディスクが巻き起こす風の影響で端子パッドが上に反り返ってあるいは浮き上がって端子パッドが端子パッド台座に載置されない状態となる。この状態では端子パッド上の端子とコンタクトプローブユニットのプローブとの接触が確保できない。そのためそのようなときには自動的に磁気ヘッドの検査に入れない問題がある。
したがって、この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、磁気ヘッドアッセンブリを磁気ヘッド検査装置のヘッドクランプ台にセットしたときにフレキシブルケーブルとコンタクトユニットとの電気的な接触を確保することが容易な、磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボットを提供することにある。
この発明の他の目的は、磁気ヘッド検査の自動化に適した、磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボットを具えた磁気ヘッド検査方法あるいは検査装置を提供することにある。

このような目的を達成するための第１の発明の、磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボットの構成は、磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を基準として磁気ヘッド側を前側として後ろ側の端部に端子パッドを有していて磁気ヘッドに配線されるフレキシブルケーブルを具えた磁気ヘッドアッセンブリに対して取付基部を吸着ヘッドにより吸着保持して磁気ヘッド検査装置のヘッドクランプ台に磁気ヘッドアッセンブリを載置する磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボットにおいて、
磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台に載置するときには吸着した磁気ヘッドアッセンブリのフレキシブルケーブルを水平になるように保持する吸着ヘッドと、
水平に保持されたフレキシブルケーブルの後ろ側の端部の上方への反りを防止するために吸着ヘッドに設けられた押さえアームとを有し、
押さえアームが、水平に保持されたフレキシブルケーブルの上側面でかつ後ろ側の位置においてフレキシブルケーブルに接触するものである。
また、第２の発明の磁気ヘッド検査方法若しくは検査装置の構成は、吸着ヘッドに押さえアームが設けられた前記のハンドリングロボットと、ヘッドクランプ台に設けられた磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構とを有し、ヘッドクランプ台に載置され前記の吸着ヘッドによる吸着が解除された磁気ヘッドアッセンブリをクランプ機構がヘッドクランプ台にクランプするものである。

前記した第１および第２の発明にあっては、吸着ヘッドにより水平に保持されたフレキシブルケーブルの後ろ側の上側面に押さえアームを接触させることで、フレキシブルケーブルの水平状態から上方への反りを防止できる。これにより、磁気ヘッドアッセンブリがヘッドクランプ台に位置付けられたときに回転する磁気ディスクが巻き起こす風があってもフレキシブルケーブルの後ろ側の端部が上に反り返り難い。後ろ側の端部にある端子パッドが端子パッド台座にセットされても端子パッドは浮き上がり難い。
なお、押さえアームは、少なくとも取付基部から端子パッドまでのフレキシブルケーブルの長さの半分より後ろ側の位置でフレキシブルケーブルの上側面に接触することが好ましい。また、押さえアームは、水平状態のフレキシブルケーブルに単に接触させるばかりでなく、この接触によりフレキシブルケーブルの後ろ側の端部を下方に押し下げた姿勢にするようにしてもよい。

水平に保持されたフレキシブルケーブルの端子パッドは、磁気ヘッドアッセンブリがヘッドクランプ台に載置されたときにこれに対応して端子パッド台座に載置されるが、このとき端子パッドは、押さえアームによりフレキシブルケーブルの後ろ側の上側面が押さえられた状態で端子パッド台座にセットているので、端子パッド上の端子にコンタクトプローブユニットのプローブを確実に接触させることができる。
また、第２の発明は、ヘッドクランプ台にクランプ機構を設けているので、ヘッドクランプ台に載置され吸着が解除された磁気ヘッドアッセンブリを自動的にヘッドクランプ台にクランプすることができる。
さらに、端子パッド台座に吸着機構を設ければ、端子パッドは、端子パッド台座に載置されたときに吸着機構により端子パッド台座に吸着して固定することができる。これにより、吸着ヘッドをクランプ台から退避させてもコンタクトプローブユニットは、そのプローブと端子パッドの端子との接触を吸着固定後のタイミングで確保することができる。
その結果、ヘッド検査装置は、自動的にヘッド検査に入ることが可能になる。

図１（ａ）は、この発明を適用した一実施例の磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボットの側面図、図１（ｂ）はその吸着ヘッドの平面図である。 図２（ａ），図２（ｂ）は、それぞれ吸着された磁気ヘッドアッセンブリの説明図、そして図２（ｃ）は、吸着ヘッドの吸着面の説明図である。 図３（ａ）は、トレイに配置された磁気ヘッドアッセンブリの平面説明図、図３（ｂ）は、トレイのＢ−Ｂ断面図である。 図４（ａ）は、磁気ヘッドアッセンブリクランプ前の状態の、ヘッドクランプ台に設けられたヘッドクランプ機構の一部断面説明図、そして図４（ｂ）は、磁気ヘッドアッセンブリクランプ後の状態の説明図である。 図５（ａ）は、磁気ヘッド検査装置のヘッドクランプ台の平面図、図５（ｂ）は、コンタクトプローブユニットのコンタクト動作の説明図、そして図５（ｃ）は、コンタクト状態の説明図である。

図１（ａ），図１（ｂ）において、１はハンドリングロボット１であり、２は、ハンドリングロボット１に設けられた吸着ヘッド、３は、吸着ヘッド２に設けられたフレキシブルケーブル１４の上方向への曲がりを押さえる押さえアームである。
吸着ヘッド２には吸着円筒コレット（以下円筒コレット）２ａが下向きに設けられていて、吸着ヘッド２は、この円筒コレット２ａによりフレキシブルケーブル１４を水平に保持するように磁気ヘッドアッセンブリ１０を吸着する。

ハンドリングロボット１は、Ｚ移動機構１ａを有し、このＺ移動機構１ａの昇降アーム１ｂの下側に下向きに吸着ヘッド２が取付けられている。ハンドリングロボット１は、吸着ヘッド２が吸着した磁気ヘッドアッセンブリ１０をヘッドクランプ台５０（図５（ａ）参照）へと搬送する。
磁気ヘッドアッセンブリ１０には、先端部に磁気ヘッド１１が設けられ、取付基部１２があるほぼ中央部から後ろにフレキシブルケーブル１４が引き出されている。磁気ヘッドアッセンブリ１０の取付基部１２には取付孔１３が設けられている。取付基部１２に対してフレキシブルケーブル１４の磁気ヘッド１１と反対側の端部には端子パッド１４ａが設けられている。
ここでは、フレキシブルケーブル１４については、取付基部１２を基準として磁気ヘッド１１側を前側とし、磁気ヘッド１１とは反対側の端子パッド１４ａ側を後ろ側とする。
フレキシブルケーブル１４は、磁気ヘッド１１に接続され、磁気ヘッドアッセンブリ１０のサスペンションスプリング１５に沿って配線されてそれが取付基部１２の片側後部から引き出されて後端部に設けられた端子パッド１４ａに至り、磁気ヘッドアッセンブリ１０と一体化されている。
なお、先端にあるサスペンションスプリング１５に設けられた突起１５ａは、磁気ヘッド１１をランプロードするのための係合突起である。

吸着ヘッド２が吸着した磁気ヘッドアッセンブリ１０において、磁気ヘッド１１側を吸着ヘッド２の前面とすると、押さえアーム３は、吸着ヘッド２の背面側に取付られている。押さえアーム３は、吸着ヘッド２から後ろ側に水平に延びた２本のアーム３ａ，３ｂを有している。それぞれのアーム３ａ，３ｂの延びた先端側は、下向きに起立してボスピン３ｃ，３ｄが先端に植設されている。ボスピン３ｃ，３ｄの先端は、水平に保持されたフレキシブルケーブル１４の上側面に接触している。その結果、図１（ａ）の二点鎖線で示すようにフレキシブルケーブル１４の後部が上部へ反った状態になることはない。
図１（ａ）に示すように、この実施例では、ボスピン３ｃ，３ｄの頭は丸く、アーム３ａ，３ｂの長さは、端子パッド部１４ａの手前の位置（フレキシブルケーブル１４において端子パッド部１４ａを頭とするその首の付近）にボスピン３ｃ，３ｄの先端側がそれぞれ位置付けられるような長さである。さらに、図２（ａ）に示すように、垂直方向でのボスピン３ｃ，３ｄの先端の高さ位置は、垂直方向での円筒コレット２ａの吸着面の高さ位置に対応している。磁気ヘッドアッセンブリ１０が円筒コレット２ａに吸着されたときにフレキシブルケーブル１４が水平状態になるような高さにある。

ボスピン３ｃ，３ｄの先端が接触する位置は、取付基部１２から端子パッド部１４ａまでのフレキシブルケーブル１４の長さにおける半分より後ろ側でかつ端子パッド１４ａの手前までの間であることが好ましい。後ろ側におけるフレキシブルケーブル１４の長さの半分より後ろ側にすることでフレキシブルケーブル１４が折れ曲がり易い点よりボスピン３ｃ，３ｄの接触点が後ろになるからである。また、端子に接触させることはまずいので、接触する位置は端子パッド１４ａの手前になる。
アーム３ａは、図３に示すトレイ４にセットされた磁気ヘッドアッセンブリ１０においてフレキシブルケーブル１４の取付基部１２からの引き出され方が中心軸から左側にあるものに対応する押さえアームである。これに対してアーム３ｂは、図３に示すトレイ４にセットされた磁気ヘッドアッセンブリ１０と異なり、フレキシブルケーブル１４の取付基部１２からの引き出され方が磁気ヘッドアッセンブリ１０の長手方向の中心軸に対して対称となる右側に配置される磁気ヘッドアッセンブリに対するフレキシブルケーブルの押さえアームである。
すなわち、図１（ｂ）に二点鎖線で示すように、フレキシブルケーブル１４は、端子パッド１４ａが磁気ヘッドアッセンブリ１０の長手方向の中心軸を含む水平面内で中心軸に直交する方向に所定のオフセットを持って配置されているものとオフセットの方向が前記とは反対方向にあるものの２種類がある。
そこで、２本のアーム３ａ，３ｂは、円筒コレット２ａの吸着面を２分割する中心線（磁気ヘッドアッセンブリ１０の中心線Ｏに対応）に対称となるように配置されている。

図１（ａ）に示すように、ハンドリングロボット１には、Ｘ移動機構１ｃ、Ｙ移動機構１ｄ、そしてＺ移動機構１ａとが設けられている。Ｚ移動機構１ａはＸ移動機構１ｃに搭載され、Ｘ移動機構１ｃはＹ移動機構１ｄに搭載されている。これにより、円筒コレット２ａは、ＸＹＺ方向に移動する。
円筒コレット２ａは、図２（ａ），（ｂ）に示すように、磁気ヘッドアッセンブリ１０の取付基部１２において位置決め用の取付孔１３の周囲Ａを吸着して保持する。図２（ｃ）の吸着部の正面図に示すように、円筒コレット２ａの吸着面は、中心部２１が中空となっていて、円周に沿って円形の細溝２２が肉厚部２３の円周に沿って形成されている。細溝２２の奥には２個の吸着孔２４が設けられ、負圧ポンプに接続されて磁気ヘッドアッセンブリ１０の取付基部１２を真空吸引する。

一方、磁気ヘッドアッセンブリ１０は、図３に示すようにトレイ４に配列されている。円筒コレット２ａの中心部２１は、中空であり、トレイ４のボスピン４１（図３（ｂ）の側面断面図に示すトレイ４のボスピン４１参照）とクランプ台５０の位置決めピン５２ａ（図４（ａ）参照）の逃げ孔となっている。肉厚部２３の内径は、図２（ｂ）に示す磁気ヘッドアッセンブリ１０の取付基部１２に形成された位置決め用の取付孔１３の外径より少し大きく、取付孔１３の周囲を吸着できる形状になっている。
トレイ４は、図３（ａ）の平面図と図３（ｂ）のそのＢ−Ｂ断面図に示すように、縁の高さが低い矩形の箱であって、その底面にはボスピン４１が所定間隔で上下段に２行１０列で合計２０個配列されている。磁気ヘッドアッセンブリ１０は、合計２０個がトレイ４に収納され、２０個のボスピン４１のそれぞれに取付孔１３が嵌合して上向きとなってトレイ４に配列される。なお、トレイ４における符号４２は、取付基部１２の台座である。

そこで、円筒コレット２ａによりトレイ４から２０個のうちの磁気ヘッドアッセンブリ１０の１つが吸着される。吸着された磁気ヘッドアッセンブリ１０は、図２（ａ），（ｂ）に示すように、取付基部１２の、位置決め用の取付孔１３の突起が下側に配置されている。すなわち、磁気ヘッド１１が上とされて磁気ヘッドアッセンブリ１０は上向きとなって吸着される。その結果、図４（ａ）に示すように、ハンドリングロボット１により搬送された磁気ヘッドアッセンブリ１０は、磁気ディスク９の裏面に対峙するように仰向けにクランプ台５０（後述）に載置される。
図２（ａ）に示すように、取付孔１３は、円筒コレット２ａに吸着される側とは反対側に突起したフランジを持ち、取付基部１２の裏面側（図面上側）で図面表面側から打ち抜かれて孔がへこみ、表面側（図面では裏面側）に突出してそれがカシメられあるいは丸められて下側に出っ張った突起孔になっている。

次にヘッドクランプ台とこれに設けられ制御部の制御に応じて自動クランプを行うヘッドクランプ機構について説明する。
図２（ａ）に示すように、ハンドリングロボット１は、磁気ヘッドアッセンブリ１０をヘッドクランプ台５０に載置するときには吸着した磁気ヘッドアッセンブリ１０のフレキシブルケーブル１４を水平になるように保持する。
図５（ａ）のヘッドクランプ台の平面図に示すように、ヘッドクランプ台５０は、ヘッドキャリッジ５の移動台５ａに取付けられたヘッドアーム（あるいはキャリッジアーム、以下ヘッドアーム）５１の先端側に固定されて設けられている。
図４（ａ），（ｂ）は、このヘッドクランプ台５０に設けられたヘッドクランプ機構の一部断面説明図である。
クランプ台５０には位置決めピン５２ａを前後に首を振らせる首振り位置決め機構５２がクランプ台５０に内蔵されている。なお、ここでの位置決めピン５２ａは、図５（ａ）に示すように、断面が矩形のピンである。
磁気ヘッドアッセンブリ１０を吸着したハンドリングロボット１は、首振り位置決め機構５２の位置決めピン５２ａのＸＹ位置座標を基準にして位置決めピン５２ａの位置に吸着ヘッド２（円筒コレット２ａ）を位置決めした後、Ｚ方向に所定量降下する（図２（ａ）参照）。ハンドリングロボット１は、この降下により位置決めピン５２ａに磁気ヘッドアッセンブリ１０の取付基部１２の取付孔１３を容易に嵌合させることができる。それにより、磁気ヘッドアッセンブリ１０をクランプ台５０に載置する。

図４（ａ）に示すように、クランプ台５０の後部には、突当ヘッド部５３ａを有する突当ブロック５３が設けられている。突当ブロック５３は、クランプ台５０のヘッド台座５０ａの背後から水平に延びたブラケット部５０ｂに載置されてボルトねじ等でこれに固定されている。突当ブロック５３は、ブラケット部５０ｂから起立し、突当ヘッド部５３ａがクランプ台５０に載置された磁気ヘッドアッセンブリ１０の取付基部１２の後部端面に対応するように突当ヘッド部５３ａの先頭部が水平に突出している。
ブラケット部５０ｂは、ヘッドアーム５１にボルト結合されて支持され、このブラケット部５０ｂを介してヘッドキャリッジ５にクランプ台５０が支持される。
ヘッド台座５０ａには取付基部１２が載置される凹部５０ｃが設けられている。ハンドリングロボット１により搬送された磁気ヘッドアッセンブリ１０は、取付基部１２の取付孔１３が位置決めピン５２ａに嵌合してヘッド台座５０ａのこの凹部５０ｃに載置される。

首振り位置決め機構５２の頭部に設けられた位置決めピン５２ａは、ヘッド台座５０ａから突出して、垂直面内で図面時計方向に回動して後側に首を振る。この首振りは、磁気ヘッドアッセンブリ１０の取付基部１２を後ろへと移動させて、磁気ヘッドアッセンブリ１０の取付基部１２の背面を突当ヘッド部５３ａに突き当てさせる。
その結果、図４（ｂ）に示すように、磁気ヘッドアッセンブリ１０は、傾斜した位置決めピン５２ａと突当ヘッド部５３ａとの間で取付基部１２が挟まれて位置決めされるとともにクランプされる。
突当ヘッド部５３ａは、真中に矩形の切欠き５３ｂが設けられ、側面の２点で磁気ヘッドアッセンブリ１０の取付基部１２を押さえる。これに対して断面矩形の位置決めピン５２ａも２点で突起孔１３と係合し、取付基部１２は、前後４点で押圧される。その結果として磁気ヘッドアッセンブリ１０は、前記したクランプにより精度の高い位置決めがなされる。

図４（ａ），（ｂ）に示すように、ヘッド台座５０ａは、貫通孔５４が設けられ、内部が空洞となっている。首振り位置決め機構５２は、位置決めピン５２ａと、ヘッド台座５０ａの空洞に設けられた揺動レバー５２ｂ、軸ピン５２ｃ、そしてコイルばね５２ｄとからなる。
逆Ｔ字型の揺動レバー５２ｂの下側端部５２ｅは、水平方向に両側に延びていて、後部側は、ブラケット部５０ｂの下面との間に圧縮されたコイルばね５２ｄが装填されている。このコイルばね５２ｄは、位置決めピン５２ａが垂直面内で後側に回動して首を振るように付勢している（図４（ｂ）の側面断面図参照）。
コイルばね５２ｄの位置に対応して揺動レバー５２ｂの下側端部５２ｅの裏面側には、半球状の突起５５が設けられている。エアシリンダの進退ロッド５６が前進してこの突起５５に接触し、コイルばね５２ｄが圧縮された状態に維持されている。この状態で位置決めピン５２ａは、垂直状態に維持され、図４（ａ）の側面断面図に示すように、正規の座標位置に位置決めされて起立する。このときエアシリンダは前進駆動状態にある。

この状態でハンドリングロボット１により搬送された磁気ヘッドアッセンブリ１０の取付基部１２の取付孔１３が円筒コレット２ａの降下により位置決めピン５２ａと嵌合してヘッド台座５０ａの凹部５０ｃ（図４（ａ）参照）に取付基部１２が載置される。続いて円筒コレット２ａの吸着が解除される。
次に、エアシリンダ５６が後退駆動されると、位置決めピン５２ａは、コイルばね５２ｄの付勢により、円筒コレット２ａの吸着面をガイドとして図４（ａ）の側面断面図の状態から図面時計方向に首振り回動をして図４（ｂ）の側面断面図の状態になる。この状態は、磁気ヘッドアッセンブリ１０が首振り位置決め機構５２により位置決めクランプされている状態である。このときのクランプは、従来のヘッドクランプ機構と同様にコイルばね５２ｄの弾性力による。

図５（ａ）は、磁気ヘッド検査装置のヘッドクランプ台の平面図である。
ヘッドキャリッジ５に設けられたヘッドアーム５１は、キャリッジ５の駆動によりＸ軸方向に沿って移動し、それに応じて磁気ヘッド１１（図２（ａ）参照）が磁気ディスク９のトラックにアクセスする。このときには、クランプ台５０には、磁気ヘッドアッセンブリ１０がクランプされて装着され、コンタクトプローブユニット７が端子パッド１４ａに接続されている。Ｘ軸方向は、磁気ディスク９の半径方向に対応している。
ヘッドアーム５１には、端子パッド台座６とコンタクトプローブユニット７とＸＺ移動機構８とが搭載されている。
なお、磁気ディスク９は、スピンドル（図示せず）に装着されていて回転する。ＸＺ移動機構８は、コンタクトプローブユニット７をブラケット７ｂを介して支持し、エアシリンダ８ａを駆動して付勢コイルばね８ｂとの協働によりコンタクトプローブユニット７をＸ軸方向に進退し、さらにエアシリンダ８ｃ（図５（ｂ）参照）を駆動して付勢コイルばね８ｄ（図５（ｂ）参照）との協働によりコンタクトプローブユニット７をＺ軸方向（上下方向）に移動する。
なお、８ｅは、Ｘ軸方向のスライドガイド機構であり、８ｆは、Ｚ軸方向のスライドガイド機構である。

以下、コンタクトプローブユニット７のコンタクト制御について説明する。その制御は制御部（図示せず）により行われるが、図での説明でその制御動作は明かであるので、制御部の制御については割愛する。
図５（ａ）は、コンタクトプローブユニット７がホームポジションに待機した状態にあるときである。
前記したように、ハンドリングロボット１により磁気ヘッドアッセンブリ１０がヘッドクランプ台５０に載置されると、このとき同時にフレキシブルケーブル１４の端子パッド１４ａは端子パッド台座６の上に乗る。そのようになるように端子パッド台座６がヘッドアーム５１上に位置付けられている。
次に、吸着ヘッド２の吸着が解除されて磁気ヘッドアッセンブリ１０がヘッドクランプ台５０にクランプされる。クランプされたときには、フレキシブルケーブル１４の端子パッド１４ａは、端子パッド台座６のガイド穴６ａにセットされる。
なお、磁気ヘッドアッセンブリ１０がヘッドクランプ台５０にクランプされるときには吸着ヘッド２の吸着が解除されている。吸着ヘッド２はヘッドクランプ台５０上に位置決めされたままである。そこで、円筒コレット２ａの吸着面がクランプの際の磁気ヘッドアッセンブリ１０の移動をガイドする。

端子パッド台座６には、フレキシブルケーブル１４の端子パッド１４ａの形状に対応した形状でこれを受けるガイド穴６ａ（図５（ｂ），図５（ｃ）参照）が設けられている。ガイド穴６ａは、磁気ヘッドアッセンブリ１０がヘッドクランプ台５０にクランプされたときにフレキシブルケーブル１４の端子パッド１４ａが上に置かれる位置にある。
ガイド穴６ａの底面には真空吸着孔６ｂ（図５（ｂ），図５（ｃ）参照）が設けられている。そこで、クランプされた後に吸着機構６ｃにより端子パッド台座６に載置された端子パッド１４ａがガイド穴６ａに吸着固定される。
このときにはいまだプローブユニット７はホームポジションにある。

端子パッド１４ａがガイド穴６ａに吸着固定されると制御部の制御によりＸＺ移動機構８が駆動される。ＸＺ移動機構８の駆動によりホームポジションからコンタクトプローブユニット７が上昇して前進し、図５（ｂ）に示す側面図の状態となる。なお、二点鎖線で示すフレキシブルケーブル１４の端子パッド１４ａが上部へ跳ね上がった状態であり、回転する磁気ディスクが巻き起こす風により跳ね上がる従来の状態である。この実施例では、押さえアーム３が吸着されたフレキシブルケーブル１４の上側面に接触していることによりこのような状態にはならない。
コンタクトプローブユニット７が上昇してＸ方向に所定量前進すると、ガイド穴６ａの上部へと移動する。これにより、コンタクトプローブユニット７の先端側に設けられた各ポゴピン（プローブ）７ａがガイド穴６ａにある端子パッド１４ａの上部に配置される。この状態でコンタクトプローブユニット７がＸＺ移動機構８の駆動によりＺ方向に所定量降下すると、コンタクトプローブユニット７の各ポゴピン７ａが端子パッド１４ａに設けられた各端子と接触する（点線で示す各ポゴピン（プローブ）７ａ参照）。このときには、吸着ヘッド２は、吸着が解除された状態でヘッドクランプ台５０上に置かれている。

各ポゴピン７ａが端子パッド１４ａに設けられた各端子と接触すると、図５（ｃ）に示すように、ハンドリングロボット１は、吸着が解除された吸着ヘッド２をヘッドクランプ台５０上から退避する。このときには、各ポゴピン７ａが端子パッド１４ａに設けられた各端子と接触が確保されるので、このときヘッド検査装置は磁気ヘッド１１の検査に入ることができる。
そして、ヘッド検査装置は磁気ヘッド１１の検査に入り、ヘッド検査装置による磁気ヘッド１１の検査が終了した時点であるいは検査終了後に、図５（ｃ）に示すように、プローブユニット７が接触状態のときにプローブユニット７がＺ方向に所定量上昇して図５（ｂ）に示すような状態になる。このときに、ハンドリングロボット１は、吸着が解除された吸着ヘッド２を再びヘッドクランプ台５０上に位置決めする。吸着ヘッド２は、吸着が解除された状態でヘッドクランプ台５０上に置かれる。

吸着ヘッド２がヘッドクランプ台５０上に位置決めされると、吸着機構６ｃによる端子パッド１４ａのガイド穴６ａへの吸着固定が解除されて磁気ヘッドアッセンブリ１０のヘッドクランプ台５０へのクランプが解除される。このときに円筒コレット２ａの吸着面が磁気ヘッドアッセンブリ１０の移動をガイドする。
クランプが解除されると、クランプが解除された磁気ヘッドアッセンブリ１０が吸着ヘッド２により吸着される。一方、プローブユニット７は、ホームポジションに戻り、図５（ａ）の待機した状態になる。
吸着ヘッド２により吸着された磁気ヘッドアッセンブリ１０は、ハンドリングロボット１によりトレイ４へ移送されて、トレイ４の元の位置に戻される。あるいは検査結果に応じて他のトレイに収納される。

以上説明してきたが、実施例の吸着コレットは、円筒であるが、この発明では、コレットの形状は問うものではない。
実施例では、押さえアームにボスピン（接触ピン）を設けているが、ピンは突起であってもよく、これは必ずしも設ける必要はない。
実施例の押さえアームは、この発明では、その形状が実施例のものに限定されるものではない。押さえアームは、実施例では吸着ヘッドに設けられているが、さらに、押さえアームをＺ移動機構の昇降アームに設けてもこの発明における吸着ヘッドに設けたものに含まれる。コレットに設けても同様である。
また、実施例の押さえアームは、水平なフレキシブルケーブルに単に接触するばかりではなく、フレキシブルケーブルの後ろ側を水平から下側に押し下げるものであってもよい。
さらに、実施例では、ハンドリングロボットがトレイから磁気ヘッドアッセンブリをヘッドクランプ台に搬送して載置するまでフレキシブルケーブルは水平に保持されるように吸着している。しかし、この発明は、クランプ台に載置するときにフレキシブルケーブルの後ろ側の端部の上方への反りを防止するものであるので、少なくとも磁気ヘッドアッセンブリをクランプ台に載置するときにフレキシブルケーブルが水平に保持されていればよい。

１…ハンドリングロボット、２…吸着ヘッド、
２ａ…吸着円筒コレット、３…押さえアーム、
３ａ，３ｂ…アーム、３ｃ，３ｄ…ボスピン、
４…トレイ、５…ヘッドキャリッジ、６…端子パッド台座、
７…コンタクトプローブユニット、８…ＸＺ移動機構、
９…磁気ディスク、１０…磁気ヘッドアッセンブリ、
１１…磁気ヘッド、１２…取付基部、１３…取付孔、
１４…フレキシブルケーブル、１４ａ…端子パッド、
１５…サスペンションスプリング、
２１…中心部、２２…円形の細溝、
２３…肉厚部、２４…吸着孔、
５０…クランプ台、５０ａ…ヘッド台座、５１…ヘッドアーム、
５２…首振り位置決め機構、５２ａ…位置決めピン、
５３…突当ブロック、５４…貫通孔。

Claims (10)

1. 磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を基準として磁気ヘッド側を前側として後ろ側の端部に端子パッドを有していて前記磁気ヘッドに配線されるフレキシブル印刷配線基板を具えた前記磁気ヘッドアッセンブリに対して前記取付基部を吸着ヘッドにより吸着保持して磁気ヘッド検査装置のヘッドクランプ台に前記磁気ヘッドアッセンブリを載置する磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボットにおいて、
   前記磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台に載置するときには吸着した前記磁気ヘッドアッセンブリの前記フレキシブル印刷配線基板を水平になるように保持する前記吸着ヘッドと、
   水平に保持された前記フレキシブル印刷配線基板の前記後ろ側の端部の上方への反りを防止するために前記吸着ヘッドに設けられた押さえアームと、
   前記端子パッドが載置される端子パッド台座と、プローブを有するコンタクトプローブユニットとを有し、
   前記押さえアームは、前記水平に保持された前記フレキシブル印刷配線基板の上側面でかつ前記後ろ側の位置において前記フレキシブル印刷配線基板に接触し、前記フレキシブル印刷配線基板との接触により前記フレキシブル印刷配線基板を水平状態か、前記後ろ側の端部を下方に押し下げた姿勢にし、
   前記端子パッドは、前記磁気ヘッドアッセンブリが前記ヘッドクランプ台に載置されたときに前記端子パッド台座に載置され、
   前記プローブは、前記端子パッド台座に載置された前記端子パッドの端子に接触し、
   前記端子パッド台座には、前記端子パッドを吸着する吸着装置が設けられている磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボット。
2. 前記押さえアームは、前記フレキシブル印刷配線基板に接触する部分に接触ピンを有し、少なくとも前記取付基部から前記端子パッドまでの前記フレキシブル印刷配線基板の長さの半分より後ろ側の位置に前記接触ピンが配置され、前記押さえアームからの前記接触ピンの接触位置の高さが前記吸着ヘッドの吸着面の高さに対応している請求項１記載の磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボット。
3. 前記フレキシブル印刷配線基板は、前記端子パッドが前記磁気ヘッドアッセンブリの長手方向の中心軸を含む水平面内で前記中心軸に直交する方向に所定のオフセットを持って配置されているものである請求項２記載の磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボット。
4. 前記磁気ヘッドアッセンブリは、前記フレキシブル印刷配線基板の前記端子パッドが前記長手方向の中心軸を含む水平面内で前記中心軸に直交する方向に所定のオフセットを持って配置されているものと前記オフセットの方向が前記とは反対方向にあるものの２種類があって、これら２種類の磁気ヘッドアッセンブリに対応して前記中心線に対称となるように前記押さえアームが２本設けられている請求項３記載の磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボット。
5. 前記磁気ヘッドアッセンブリはトレイに配列されて複数個設けられたものであり、複数個の前記磁気ヘッドアッセンブリの１つを前記吸着ヘッドにより前記トレイから吸着して前記磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台に搬送する請求項４記載の磁気ヘッドアッセンブリのハンドリングロボット。
6. 磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を基準として磁気ヘッド側を前側として後ろ側の端部に端子パッドを有していて前記磁気ヘッドに配線されるフレキシブル印刷配線基板を具えた前記磁気ヘッドアッセンブリに対して前記取付基部をハンドリングロボットの吸着ヘッドにより吸着保持して磁気ヘッド検査装置のヘッドクランプ台に載置して前記磁気ヘッドの検査をする磁気ヘッド検査方法において、
   前記磁気ヘッド検査装置は、前記ハンドリングロボットと前記吸着ヘッドに設けられた押さえアームと前記ヘッドクランプ台に設けられた前記磁気ヘッドアッセンブリのクランプ機構と、前記端子パッドが載置される端子パッド台座と、プローブを有するコンタクトプローブユニットとを有するものであって、
   前記磁気ヘッドアッセンブリを前記ハンドリングロボットの吸着ヘッドが吸着保持して前記磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台に搬送し、前記ヘッドクランプ台に載置しかつ前記磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台に載置するときには吸着した前記磁気ヘッドアッセンブリの前記フレキシブル印刷配線基板を水平になるように保持し、水平に保持された前記フレキシブル印刷配線基板の上側面でかつ前記後ろ側の位置において前記押さえアームを前記フレキシブル印刷配線基板に接触させて、前記押さえアームが前記フレキシブル印刷配線基板との接触により前記フレキシブル印刷配線基板を水平状態か、前記後ろ側の端部を下方に押し下げた姿勢にし、前記後ろ側の端部の上方への反りを防止し、
   前記ヘッドクランプ台に載置され前記吸着ヘッドによる吸着が解除された前記磁気ヘッドアッセンブリを前記クランプ機構がクランプし、
   前記磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台に載置したときに前記端子パッド台座に前記端子パッドが載置され、前記端子パッドが吸着装置により前記吸着パッドに吸着固定され、
   前記端子パッド台座に載置された前記端子パッドの端子に前記プローブが接触する磁気ヘッド検査方法。
7. 前記押さえアームの接触により前記フレキシブル印刷配線基板を水平状態か、前記後ろ側の端部を下方に押し下げた姿勢にし、前記コンタクトプローブユニットを前記端子パッドに設けられた端子に接触させた後に前記吸着ヘッドを前記クランプ台から退避させる請求項６記載の磁気ヘッド検査方法。
8. 磁気ヘッドアッセンブリの取付基部を基準として磁気ヘッド側を前側として後ろ側の端部に端子パッドを有していて前記磁気ヘッドに配線されるフレキシブル印刷配線基板を具えた前記磁気ヘッドアッセンブリに対して前記取付基部をハンドリングロボットの吸着ヘッドにより吸着保持して磁気ヘッド検査装置のヘッドクランプ台に載置して前記磁気ヘッドの検査をする磁気ヘッド検査装置において、
   前記ハンドリングロボットが前記磁気ヘッドアッセンブリを前記ヘッドクランプ台に載置するときには吸着した前記磁気ヘッドアッセンブリの前記フレキシブル印刷配線基板を水平になるように保持する前記吸着ヘッドと、水平に保持された前記フレキシブル印刷配線基板の前記後ろ側の端部の上方への反りを防止するために前記吸着ヘッドに設けられた押さえアームと、前記ヘッドクランプ台に載置された前記クランプ機構と、
   前記端子パッドが載置される端子パッド台座と、プローブを有するコンタクトプローブユニットとを備え、
   前記押さえアームは、前記水平に保持された前記フレキシブル印刷配線基板の上側面でかつ前記後ろ側の位置において前記フレキシブル印刷配線基板に接触し、前記フレキシブル印刷配線基板との接触により前記フレキシブル印刷配線基板を水平状態か、前記後ろ側の端部を下方に押し下げた姿勢にし、
   前記端子パッドは、前記磁気ヘッドアッセンブリが前記ヘッドクランプ台に載置されたときに前記端子パッド台座に載置され、
   前記プローブは、前記端子パッド台座に載置された前記端子パッドの端子に接触し、
   前記端子パッド台座には、前記端子パッドを吸着する吸着装置が設けられ、
   前記クランプ機構は、前記吸着ヘッドによる吸着が解除された前記磁気ヘッドアッセンブリをクランプする磁気ヘッド検査装置。
9. 前記押さえアームは、前記フレキシブル印刷配線基板に接触する部分に接触ピンを有し、少なくとも前記取付基部から前記端子パッドまでの前記フレキシブル印刷配線基板の長さの半分より後ろ側の位置に前記接触ピンが配置され、前記フレキシブル印刷配線基板に対する前記接触ピンの接触高さが前記吸着ヘッドの吸着面の高さに対応している請求項８記載の磁気ヘッド検査装置。
10. さらにヘッドアームを有するヘッドキャリッジとを具え、前記ヘッドアームに前記端子パッド台座と前記コンタクトプローブユニットと前記ヘッドクランプ台とが設けられた請求項９記載の磁気ヘッド検査装置。

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