JP3507368B2 - 磁気ヘッド装置の検査方法及び磁気ヘッド装置の検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、ハードデ
ィスクなどに使用される記録及び再生用の磁気ヘッドを
有する磁気ヘッド装置の製造工程における検査方法及び
検査装置に係り、特に、同時に複数個の磁気ヘッド装置
を検査することによって検査の効率を向上させることの
できる磁気ヘッド装置の検査方法及び検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図９は、磁気ヘッド装置を示す斜視図で
ある。この磁気ヘッド装置Ｈは、ロードビーム（支持部
材）１の先部にフレキシャ２が設けられ、このフレキシ
ャ２を介して磁気ヘッド３が支持されている。ロードビ
ーム１とフレキシャ２は板ばねなどで形成された弾性支
持部材である。ロードビーム１の基端部にはマウント板
４が接合されている。

【０００３】磁気ヘッド３のトレーリング側端部Ｔに
は、記録機能部及び再生機能部５が設けられている。

【０００４】磁気ヘッド３は、記録媒体であるディスク
が回転する時に前記ディスク上の空気流を受けてリーデ
ィング側端部Ｌが前記ディスク面から持ち上がる傾斜姿
勢となって浮上する。また、前記ディスクの停止時に
は、磁気ヘッド３は前記ディスクに着地する。

【０００５】磁気ヘッド装置Ｈの記録機能部及び再生機
能部５は、例えば、再生機能部として磁気抵抗効果を利
用したＭＲ型薄膜再生素子、及び記録機能部としてイン
ダクティブ型の薄膜記録素子が設けられたものである。
磁気ヘッド装置Ｈは、組み立て終了後、記録及び再生特
性に関して検査される。

【０００６】図１０は、磁気ヘッド装置Ｈの従来の検査
方法を説明するための斜視図である。円盤状の記録媒体
１２が、駆動装置１１上に保持され、回転駆動される。
磁気ヘッド装置Ｈは、記録媒体１２上で、磁気ヘッド３
に自己記録再生を行わせることによって、記録再生特性
が検査される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図１０に示された従来
の磁気ヘッド装置の検査方法では、一度に一つの磁気ヘ
ッド装置しか検査することができないという欠点があっ
た。

【０００８】磁気ヘッド装置Ｈの検査を行なうときに
は、磁気ヘッド装置Ｈの記録再生条件を一定にするため
に、記録媒体１２の中心Ｏから磁気ヘッド３の記録機能
部及び再生機能部５の走査領域までの半径方向の位置
を、あらかじめ指定された位置に設定して検査を行な
う。

【０００９】例えば、図１０では、磁気ヘッド３の記録
機能部及び再生機能部５の走査領域が、記録媒体１２上
の半径ｒの円周上に位置づけられている。

【００１０】複数個の磁気ヘッド装置を、記録媒体１２
上の任意の異なる半径方向の位置上に配置させると、そ
れぞれの磁気ヘッド装置の記録媒体１２に対するスキュ
ー角や相対走行速度等の諸条件が変化し、一定条件の下
でそれぞれの磁気ヘッド装置の検査を行うことができな
くなる。

【００１１】また、複数個の磁気ヘッド装置を、それぞ
れの磁気ヘッドの記録機能部及び再生機能部の走査領域
が記録媒体１２上の半径ｒの円周上に位置づけられるよ
うに、配置することも考えられる。しかし、以下に示す
理由によってこの方法を採用することはできない。

【００１２】図１０において磁気ヘッド装置Ｈの記録再
生特性を検査するときには、磁気ヘッド３の記録機能部
によって、記録媒体１２上の半径ｒの円周上を走査し
て、検査用の記録信号を記録し、その後、磁気ヘッド３
の再生機能部によって、前記検査用の記録信号を自己再
生し、再生信号の波形を解析して、磁気ヘッド装置Ｈの
記録再生特性が、製品の品質基準に達しているか否かを
判定する。

【００１３】したがって、ある磁気ヘッド装置が記録媒
体１２上の半径ｒの円周上を走査して、自己記録再生を
行っているとき同時に、他の磁気ヘッド装置に、記録媒
体１２上の半径ｒの円周上を走査させて、自己記録再生
を行わせると、それぞれの磁気ヘッド装置が互いに他の
磁気ヘッド装置によって記録された記録信号を再生して
しまうことや、また、それぞれの磁気ヘッド装置が互い
に他の磁気ヘッド装置によって記録された記録信号を上
書きしてしまうことが発生して、各々の磁気ヘッド装置
に、自己記録再生を確実に行わせることができなくなる
という問題が生じる。

【００１４】本発明は上記従来の課題を解決するための
ものであり、同時に複数個の磁気ヘッド装置を検査する
ことによって検査の効率を向上させることのできる磁気
ヘッド装置の検査方法及び検査装置を提供することを目
的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、支持部材の先
端部に記録機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッドが
支持された磁気ヘッド装置の検査方法において、円盤状
の記録媒体上で、複数個の磁気ヘッド装置を、記録媒体
の中心から前記記録機能部及び再生機能部が記録媒体を
走査する走査領域までの半径方向の位置がずれるよう
に、ただし前記走査領域の半径方向への間隔が、複数の
前記走査領域の半径方向の中間に設定された基準半径に
対して１％以内に収まるように配置し、前記円盤状の記
録媒体を回転させて、前記複数個の磁気ヘッド装置の全
てに、同時に記録動作を行わせた後に、前記磁気ヘッド
装置の全てに、同時に自己記録信号の再生動作を行わ
せ、前記再生された信号により複数個の磁気ヘッド装置
の評価を行うことを特徴とするものである。

【００１６】磁気ヘッド装置を検査するときには、前記
記録媒体の中心から前記走査領域までの半径方向の位置
があらかじめ指定されている。しかし、実際の検査にお
いては、この半径方向の位置には、一定範囲の公差が許
されている。

【００１７】従って、複数個の前記磁気ヘッド装置の磁
気ヘッドを、同時に前記記録媒体上に配置しても、前記
記録媒体の中心から、各々の前記磁気ヘッドの前記記録
機能部及び再生機能部の走査領域までの半径方向の位置
が、一定範囲の公差内に収まるようにすれば、それぞれ
の磁気ヘッド装置の前記記録媒体に対する、スキュー角
や相対走行速度等の諸条件は、公差の範囲内に収まるこ
とになり、同時に前記記録媒体上に配置された全ての前
記磁気ヘッド装置を、実質上同一の検査条件の下で検査
することができる。従って、同時に複数個の磁気ヘッド
装置を正確に検査することができるようになり、磁気ヘ
ッド装置の検査工程を著しく効率化できる。

【００１８】または、本発明は、 支持部材の先端部に
記録機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッドが支持さ
れた磁気ヘッド装置の検査方法において、円盤状の記録
媒体上で、複数個の磁気ヘッド装置を、記録媒体の中心
から前記記録機能部及び再生機能部が記録媒体を走査す
る走査領域までの半径方向の位置がずれるように、ただ
し前記走査領域の半径方向への間隔が、複数の前記走査
領域の半径方向の中間に設定された基準半径に対して１
％以内に収まるように配置し、前記円盤状の記録媒体を
回転させて、前記複数個の磁気ヘッド装置のうちの、少
なくとも一つの磁気ヘッド装置が前記記録媒体に対して
記録動作を行っているときには、他の磁気ヘッドに、再
生動作を行わせないように待機させ、前記記録動作を行
っている磁気ヘッドの記録動作の終了後、少なくとも一
つの磁気ヘッドに自己記録信号の再生動作を行わせ、前
記再生された信号により複数個の磁気ヘッド装置の評価
を行うことを特徴とするものである。

【００１９】同時に前記記録媒体上に配置された全ての
前記磁気ヘッド装置のそれぞれに、任意のタイミングで
記録及び再生を行うことを許すと、ある磁気ヘッド装置
が記録動作を行っているときに、他の磁気ヘッド装置が
再生動作を行なうという状態が生じる。

【００２０】ある磁気ヘッド装置が記録動作を行ってい
るときに、他の磁気ヘッド装置が再生動作を行なうとい
う状態では、記録動作を行なっている磁気ヘッド装置が
出力する記録信号が、前記記録媒体を媒介として、再生
動作を行なっている磁気ヘッド装置に伝わってノイズの
原因となる。すなわち、前記複数個の磁気ヘッド装置ど
うしでの、クロストークが発生してしまう。

【００２１】本発明では、前記複数個の磁気ヘッド装置
のうちの、少なくとも一つの磁気ヘッド装置が前記記録
媒体に対して記録動作を行っているときには、他の磁気
ヘッド装置に、再生動作を行わせないように待機させる
ことによって、クロストークの発生を防ぎ、同時に複数
個の磁気ヘッド装置を正確に評価することができる。

【００２２】

【００２３】なお、複数個の磁気ヘッド装置を前記記録
媒体上に配置するときには、前記複数個の磁気ヘッド装
置の前記記録機能部及び再生機能部が記録媒体を走査す
る走査領域の半径方向への間隔を、１００μｍ以上開け
て設定すると、前記複数個の磁気ヘッド装置の各々によ
って、前記記録媒体上に形成される記録トラックが互い
に干渉しあうことを防ぐことができるので好ましい。

【００２４】

【００２５】複数個の磁気ヘッド装置を、前記記録媒体
上の異なる半径方向の位置上に配置させると、それぞれ
の磁気ヘッド装置の前記記録媒体に対するスキュー角や
相対走行速度等の諸条件が変化する。

【００２６】しかし、複数個の磁気ヘッド装置の前記記
録機能部及び再生機能部が記録媒体を走査する走査領域
の半径方向への間隔を、複数の前記走査領域の半径方向
の中間に設定された基準半径に対して１％以内に設定す
れば、前記スキュー角や前記相対走行速度等の条件は、
検査の公差範囲内に収まり、実質上、一定条件の下で、
それぞれの磁気ヘッド装置の評価を行うことができる。

【００２７】なお、複数個の磁気ヘッド装置を、それぞ
れの前記記録機能部及び再生機能部が前記記録媒体の中
心を通り半径方向に延びる一本の直線上に位置するよう
に、配置させると、それぞれの磁気ヘッド装置のスキュ
ー角を同一にして検査を行なうことができる。

【００２８】また、前記磁気ヘッド装置の支持部材を取
付ける保持手段を、同時に検査する磁気ヘッド装置の数
の２倍以上の数設けておき、前記記録媒体を回転させて
複数個の磁気ヘッド装置の検査を行っているときに、検
査中の磁気ヘッドを保持していない他の前記保持手段に
対して磁気ヘッド装置の交換を行うようにすると、磁気
ヘッド装置を交換するときに、他の磁気ヘッド装置の検
査を行なわせることができるので、磁気ヘッド装置の検
査を、途切れることなく連続して行なえる。従って、検
査の効率が向上するので好ましい。

【００２９】また、本発明の磁気ヘッド装置の検査装置
は、検査用の円盤状の記録媒体を回転させる駆動手段
と、記録機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッドとこ
れを支持する支持部材とから成る磁気ヘッド装置の前記
支持部材を保持して、前記記録媒体上で、記録媒体の中
心から前記記録機能部及び再生機能部が記録媒体を走査
する走査領域までの半径方向の位置がずれるように、た
だし前記走査領域の半径方向への間隔が、複数の前記走
査領域の半径方向の中間に設定された基準半径に対して
１％以内に収まるように、各磁気ヘッド装置を記録媒体
に対向させる複数個の保持手段と、記録信号を生成して
前記磁気ヘッドの記録機能部に出力する記録信号生成手
段と、前記記録信号生成手段に記録信号の生成を指示
し、また前記磁気ヘッドの再生機能部に記録信号の再生
を指示する制御手段と、記録及び再生の同期を取るため
のタイミング信号を生成するタイミング信号発生手段
と、前記磁気ヘッドの再生機能部から送られてきた再生
信号を解析して前記磁気ヘッド装置の記録及び再生特性
を判定する解析手段とを有し、前記制御手段では、前記
タイミング信号と同期させて、個々の磁気ヘッド装置に
対して、前記記録媒体上に配置された複数個の前記磁気
ヘッド装置の全てに、同時に記録動作を行わせ、前記記
録動作の後に、前記磁気ヘッド装置の全てに、同時に自
己記録信号の再生動作を行わせることを特徴とするもの
である。

【００３０】または、本発明の磁気ヘッド装置の検査方
法は、検査用の円盤状の記録媒体を回転させる駆動手段
と、記録機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッドとこ
れを支持する支持部材とから成る磁気ヘッド装置の前記
支持部材を保持して、前記記録媒体上で、記録媒体の中
心から前記記録機能部及び再生機能部が記録媒体を走査
する走査領域までの半径方向の位置がずれるように、た
だし前記走査領域の半径方向への間隔が、複数の前記走
査領域の半径方向の中間に設定された基準半径に対して
１％以内に収まるように、各磁気ヘッド装置を記録媒体
に対向させる複数個の保持手段と、記録信号を生成して
前記磁気ヘッドの記録機能部に出力する記録信号生成手
段と、前記記録信号生成手段に記録信号の生成を指示
し、また前記磁気ヘッドの再生機能部に記録信号の再生
を指示する制御手段と、記録及び再生の同期を取るため
のタイミング信号を生成するタイミング信号発生手段
と、前記磁気ヘッドの再生機能部から送られてきた再生
信号を解析して前記磁気ヘッド装置の記録及び再生特性
を判定する解析手段とを有し、前記記録信号生成手段、
制御手段及び解析手段は、前記記録媒体上に同時に対向
する複数個の磁気ヘッド装置の一個に対して一つずつ配
置され、個々の磁気ヘッド装置に対して、前記制御手段
が互いに他の制御手段を監視しあう通信手段が設けら
れ、前記制御手段は、前記記録媒体上に同時に配置され
た前記複数個の磁気ヘッド装置のうちの、少なくとも一
つの磁気ヘッド装置が前記記録媒体に対して記録動作を
行っていることを感知したときに、他の磁気ヘッド装置
に、再生動作を行わせないように待機させ、前記記録動
作を行っている磁気ヘッドの記録動作の終了後、少なく
とも一つの磁気ヘッドに自己記録信号の再生動作を行わ
せることを特徴とする磁気ヘッド装置の検査装置。

【００３１】

【００３２】

【００３３】なお、前記複数個の磁気ヘッド装置の前記
記録機能部及び再生機能部が記録媒体を走査する走査領
域の半径方向への間隔が、１００μｍ以上開くように、
前記保持手段の位置が設定されていると、前記複数個の
磁気ヘッド装置の各々によって、前記記録媒体上に形成
される記録トラックが互いに干渉しあうことを防ぐこと
ができるので好ましい。

【００３４】

【００３５】複数個の磁気ヘッド装置を、前記記録媒体
上の異なる半径方向の位置に設置させると、それぞれの
磁気ヘッド装置の、前記記録媒体に対するスキュー角や
相対走行速度等の諸条件が変化する。

【００３６】しかし、前記複数個の磁気ヘッド装置の前
記記録機能部及び再生機能部が記録媒体を走査する走査
領域の半径方向への間隔が、複数個の前記走査領域の半
径方向の中間に設定された基準半径に対して１％以内と
なるように、前記保持手段の位置が設定されていると、
前記スキュー角や前記相対走行速度等の条件は、検査の
公差範囲内に収まるので、実質上、一定条件の下で、そ
れぞれの磁気ヘッド装置の検査を行うことができること
になる。

【００３７】なお、複数個の磁気ヘッド装置の、それぞ
れの前記記録機能部及び再生機能部が前記記録媒体の中
心を通り半径方向に延びる一本の直線上に位置するよう
に、前記保持手段の位置が設定されていると、それぞれ
の磁気ヘッド装置のスキュー角を同一にして検査を行な
うことができる。

【００３８】さらに、前記保持手段は、同時に検査する
磁気ヘッド装置の数の２倍以上の数だけ設けられ、前記
記録媒体を回転させて複数個の磁気ヘッド装置の検査を
行っているときに、検査中の磁気ヘッド装置を保持して
いない他の前記保持手段に対して磁気ヘッド装置の交換
を可能とすると、磁気ヘッド装置の交換のために検査装
置を停止させなくてすむので、検査を途切れることなく
連続して行なうことができる。従って、検査の効率が向
上するので好ましい。

【００３９】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の検査方法の実施
の形態を示すための平面図である。検査の対象である磁
気ヘッド装置Ｈ１は、支持部材２１ａの先端部に、記録
機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッド２２ａが支持
されているものである。磁気ヘッド装置Ｈ１は、支持部
材２１ａが保持手段である保持部２３ａに取付けられ、
円盤状の記録媒体２４上に対向させられている。

【００４０】また、磁気ヘッド装置Ｈ１と同時に検査さ
れる磁気ヘッド装置Ｈ２が、保持部２３ｂによって保持
され、記録媒体２４上の、磁気ヘッド装置Ｈ１と中心Ｏ
を挟んだ反対側付近に配置されている。磁気ヘッド装置
Ｈ２では、支持部材２１ｂの先端部に、記録機能部及び
再生機能部を有する磁気ヘッド２２ｂが支持されてい
る。磁気ヘッド２２ａ及び２２ｂの記録機能部及び再生
機能部は、例えば、再生機能部として磁気抵抗効果を利
用したＭＲ型薄膜再生素子、及び記録機能部としてイン
ダクティブ型の薄膜記録素子が設けられたものである。

【００４１】なお、磁気ヘッド装置Ｈ１及び磁気ヘッド
装置Ｈ２は、図９に示された磁気ヘッド装置Ｈと同様の
ものである。

【００４２】また、保持部２３ａ及び２３ｂは、それぞ
れ、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２を、記録媒体２４の半
径方向に移動させることができる。記録媒体２４は、駆
動装置２５によって、矢印方向に回転させられる。

【００４３】図１では、磁気ヘッド装置Ｈ１と磁気ヘッ
ド装置Ｈ２を、それぞれの磁気ヘッド２２ａと２２ｂの
記録機能部及び再生機能部の走査領域が重ならないよう
に配置している。

【００４４】記録媒体２４の中心Ｏから磁気ヘッド２２
ａの記録機能部及び再生機能部の走査領域２６ａまでの
半径方向の距離はｒ１である。また、記録媒体２４の中
心Ｏから磁気ヘッド２２ｂの記録機能部及び再生機能部
の走査領域２６ｂまでの半径方向の距離は、ｒ２であ
る。すなわち、記録媒体２４上に対向された磁気ヘッド
装置Ｈ１及びＨ２の磁気ヘッド２２ａ及び２２ｂが、記
録媒体２４上にそれぞれ半径ｒ１の記録トラック及び半
径ｒ２の記録トラックを形成する。

【００４５】本実施の形態では、ｒ１＝１９．９ｍｍ、
ｒ２＝２０．１ｍｍとしている。したがって、磁気ヘッ
ド２２ａ及び２２ｂの記録機能部及び再生機能部が記録
媒体２４を走査する走査領域２６ａ及び２６ｂの半径方
向への間隔ｒ２−ｒ１は、走査領域２６ａ及び２６ｂの
半径方向の中間２６に設定された基準半径ｒ＝２０ｍｍ
に対して１％以内に設定されている。

【００４６】磁気ヘッド２２ａ及び２２ｂの記録媒体２
４との相対走行速度は、磁気ヘッド２２ａ及び２２ｂが
記録媒体２４を走査する走査領域２６ａ及び２６ｂの半
径と記録媒体２４の角速度との積である。従って、磁気
ヘッド２２ａ及び２２ｂの記録機能部及び再生機能部が
記録媒体２４を走査する走査領域２６ａ及び２６ｂの半
径方向への間隔ｒ２−ｒ１が、走査領域２６ａ及び２６
ｂの半径方向の中間２６に設定された基準半径ｒ＝２０
ｍｍに対して１％以内であれば、磁気ヘッド２２ａ及び
２２ｂが、それぞれ走査領域２６ａ及び２６ｂを走査し
ているときの、磁気ヘッド２２ａ及び２２ｂの記録媒体
２４との相対速度の違いは、磁気ヘッド２２ａ及び２２
ｂが基準半径ｒの円周上を走査した場合の記録媒体２４
との相対速度の１％以内に収まる。従って、相対走行速
度等の条件は、検査の公差範囲内に収まり、磁気ヘッド
装置Ｈ１及びＨ２は、実質上、一定条件の下で検査が行
われることになる。

【００４７】また、走査領域２６ａ及び２６ｂの半径方
向への間隔ｒ２−ｒ１が、走査領域２６ａ及び２６ｂの
半径方向の中間２６に設定された基準半径ｒ＝２０ｍｍ
に対して１％以内であれば、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ
２のスキュー角も、検査の公差範囲内に収まるので、磁
気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２は、実質上、一定条件の下で
検査が行われていることになる。

【００４８】なお、図１では、磁気ヘッド装置Ｈ１及び
Ｈ２を、それぞれの磁気ヘッド２２ａ及び２２ｂの前記
記録機能部及び再生機能部が記録媒体２４の中心Ｏを通
り半径方向に延びる一本の直線ｌ上に位置するように、
保持部２３ａ及び保持部２３ｂによって保持させている
ので、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２のスキュー角は同一
になっている。

【００４９】なお、本実施の形態では、磁気ヘッド２２
ａ及び２２ｂの記録機能部及び再生機能部が記録媒体を
走査する走査領域２６ａ及び２６ｂの半径方向への間隔
が、２００μｍ開くように、保持部２３ａ及び２３ｂの
位置が設定されているので、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ
２の各々によって、記録媒体２４上に形成される記録ト
ラックが互いに干渉しあうことを防ぐことができる。

【００５０】しかし、図１のように、磁気ヘッド装置Ｈ
１及びＨ２を配置しても、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２
それぞれに、記録再生を任意のタイミングで行なわせる
と、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２が互いにノイズ源とな
って、一方が他方の再生検査の邪魔をするという現象が
生じる。

【００５１】図４は、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２それ
ぞれに、記録再生を任意のタイミングで行なわせたとき
の、記録信号Ｗ、再生信号Ｒ、並びに磁気ヘッド装置Ｈ
１及びＨ２に記録又は再生のタイミングを指示するタイ
ミング信号Ｔのタイミング図である。図４においてＨ１
と示されたタイミング図は、磁気ヘッド装置Ｈ１のタイ
ミング図であり、Ｈ２と示されたタイミング図は、磁気
ヘッド装置Ｈ２のタイミング図である。

【００５２】記録及び再生は、タイミング信号Ｔに合わ
せて行われている。タイミング信号Ｔは、同一の発信源
から発信されている。しかし、図４では、片方の磁気ヘ
ッド装置が記録動作を行なっているとき、同時に、他方
の磁気ヘッド装置が再生動作を行なっている状態になっ
てしまっている。磁気ヘッド装置は、記録動作を行なう
ときに、高周波のノイズを発生し、このノイズは、記録
媒体２４を媒介にして、再生動作を行なっている他方の
磁気ヘッド装置に達し、正確な再生検査を妨害する。

【００５３】本発明では、複数個の磁気ヘッド装置が、
互いにノイズ源となることを避けるために、それぞれの
磁気ヘッド装置に、交互または同時に自己記録再生を行
なわせている。

【００５４】図２は、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２を図
１のように配置したとき、それぞれの磁気ヘッド装置
に、交互に自己記録再生を行なわせる方法をしめすフロ
ーチャートである。

【００５５】まず、ステップ１（ＳＴ１）において、磁
気ヘッド装置Ｈ１又はＨ２のいずれかに、記録動作をさ
せることを決め、記録させる記録信号の、周波数や電流
などの、諸条件を設定する。例えば、磁気ヘッド装置Ｈ
１に記録を行なわせるとする。

【００５６】次に他の磁気ヘッド装置が、記録動作を行
なっているか、再生動作を行なっているか、待機中であ
るかを感知する（ＳＴ２）。ここでは、磁気ヘッド装置
Ｈ２の状態を感知する。

【００５７】ＳＴ３において、磁気ヘッド装置Ｈ２が、
再生動作を行なっているか否かを判定し、磁気ヘッド装
置Ｈ２が再生動作を行なっている場合には、磁気ヘッド
装置Ｈ１にウェイトをかけ（ＳＴ４）、磁気ヘッド装置
Ｈ１を待機させる。磁気ヘッド装置Ｈ２の再生動作が終
了するまで、ＳＴ２〜ＳＴ４を繰り返す。

【００５８】磁気ヘッド装置Ｈ２が再生動作を行なって
いないと判定した場合には、タイミング信号を受信し
（ＳＴ５）、このタイミング信号に合わせて磁気ヘッド
装置Ｈ１に記録動作を行なわせて、図１の記録媒体２４
に記録信号を記録させる（ＳＴ６）。

【００５９】次に、記録された記録信号を、磁気ヘッド
装置Ｈ１に自己再生させる。磁気ヘッド装置Ｈ１に再生
動作を行なわせるときには、まず、他の磁気ヘッド装置
が、記録動作を行なっているか、再生動作を行なってい
るか、待機中であるかを感知する（ＳＴ７）。ここで
は、磁気ヘッド装置Ｈ２の状態を感知する。

【００６０】ＳＴ８において、磁気ヘッド装置Ｈ２が、
記録動作を行なっているか否かを判定し、磁気ヘッド装
置Ｈ２が記録動作を行なっている場合には、磁気ヘッド
装置Ｈ１にウェイトをかけ（ＳＴ９）、磁気ヘッド装置
Ｈ１を待機させる。磁気ヘッド装置Ｈ２の記録動作が終
了するまで、ＳＴ７〜ＳＴ９を繰り返す。

【００６１】磁気ヘッド装置Ｈ２が記録動作を行なって
いないと判定した場合には、タイミング信号を受信し
（ＳＴ１０）、このタイミング信号に合わせて磁気ヘッ
ド装置Ｈ１に再生動作を行なわせる（ＳＴ１１）。再生
された信号の、出力の大きさ、波形の乱れ（パルス幅の
ずれ、立上り幅、アシンメトリーなど）を検査し、磁気
ヘッド装置Ｈ１の品質が基準に達しているか否かを判定
する。

【００６２】図５は、図２のフローチャートにしたがっ
て、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２に、自己記録再生を行
なわせたときの、タイミング図の１例である。

【００６３】図５では、まず、磁気ヘッド装置Ｈ１に、
記録させる記録信号を設定し（図２のＳＴ１）、ａのタ
イミングにおいて、磁気ヘッド装置Ｈ２の状態を感知す
る（ＳＴ２）。ａのタイミングでは、磁気ヘッド装置Ｈ
２は、再生動作を行っていないと判定し（ＳＴ３）、次
のタイミング信号Ｔを受信する（ＳＴ５）。このタイミ
ング信号Ｔに合わせて、すなわち、ｂのタイミングにお
いて、記録動作を開始させ、記録信号Ｗ１を出力させ、
記録媒体２４に記録させる（ＳＴ６）。

【００６４】次に、磁気ヘッド装置Ｈ１が記録媒体２４
に記録した信号を、磁気ヘッド装置Ｈ１に自己再生させ
る。まず、ｃのタイミングにおいて、磁気ヘッド装置Ｈ
２の状態を感知する（ＳＴ７）。ｃのタイミングでは、
磁気ヘッド装置Ｈ２は、記録動作を行っていないと判定
し（ＳＴ８）、次のタイミング信号Ｔを受信する（ＳＴ
１０）。このタイミング信号Ｔに合わせて、すなわち、
ｄのタイミングにおいて、再生動作を開始させ、再生信
号Ｒ１を出力させる（ＳＴ１１）。再生信号Ｒ１の、出
力の大きさ、波形の乱れ（パルス幅のずれ、立上り幅、
アシンメトリーなど）を検査し、磁気ヘッド装置Ｈ１の
品質が基準に達しているか否かを判定する。

【００６５】一方、磁気ヘッド装置Ｈ２にも自己記録再
生を行わせる。磁気ヘッド装置Ｈ２に記録させる記録信
号を設定し（図２のＳＴ１）、記録動作の準備ができた
状態で、磁気ヘッド装置Ｈ１の状態を感知したとき（Ｓ
Ｔ２）のタイミングが、例えば、ｃのタイミングであっ
たとする。前述のように、ｃのタイミングでは、磁気ヘ
ッド装置Ｈ１も、磁気ヘッド装置Ｈ２の状態を感知し、
再生動作の準備に入っているので、この場合、磁気ヘッ
ド装置Ｈ１の再生動作を優先させるように判定し（ＳＴ
３）し、磁気ヘッド装置Ｈ２にウェイトをかける（ＳＴ
４）。

【００６６】繰り返し、磁気ヘッド装置Ｈ１の状態を感
知し、例えば、ｅのタイミングで、磁気ヘッド装置Ｈ１
の再生動作が終了したと判定したとき、次のタイミング
信号Ｔを受信する（ＳＴ５）。このタイミング信号Ｔに
合わせて、すなわち、ｆのタイミングにおいて、記録動
作を開始させ、記録信号Ｗ２を出力させ、記録媒体２４
に記録させる（ＳＴ６）。

【００６７】次に、磁気ヘッド装置Ｈ２が記録媒体２４
に記録した信号を、磁気ヘッド装置Ｈ２に自己再生させ
る。まず、ｇのタイミングにおいて、磁気ヘッド装置Ｈ
１の状態を感知する（ＳＴ７）。ｇのタイミングでは、
磁気ヘッド装置Ｈ１は、記録動作を行っていないと判定
し（ＳＴ８）、次のタイミング信号Ｔを受信する（ＳＴ
１０）。このタイミング信号Ｔに合わせて、すなわち、
ｈのタイミングにおいて、再生動作を開始させ、再生信
号Ｒ２を出力させる（ＳＴ１１）。再生信号Ｒ２の、出
力の大きさ、波形の乱れ（パルス幅のずれ、立上り幅、
アシンメトリーなど）を検査し、磁気ヘッド装置Ｈ２の
品質が基準に達しているか否かを判定する。

【００６８】図３は、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２を図
１のように配置したとき、それぞれの磁気ヘッド装置
に、同時に自己記録再生を行なわせる方法をしめすフロ
ーチャートである。

【００６９】まず、ステップ１（ＳＴ１）において、磁
気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２に、記録動作をさせることを
決め、記録させる記録信号の、周波数や電流などの、諸
条件を設定する。

【００７０】次に、タイミング信号を受信し（ＳＴ
２）、このタイミング信号に合わせて磁気ヘッド装置Ｈ
１及びＨ２に同時に記録動作を行なわせて、図１の記録
媒体２４に記録信号を記録させる（ＳＴ３）。

【００７１】次に、記録された記録信号を、磁気ヘッド
装置Ｈ１及びＨ２に、それぞれ自己再生させる。

【００７２】再生動作も、まず、タイミング信号を受信
し（ＳＴ４）、このタイミング信号に合わせて磁気ヘッ
ド装置Ｈ１及び磁気ヘッド装置Ｈ２に同時に行わせる
（ＳＴ５）。再生された信号の、出力の大きさ、波形の
乱れ（パルス幅のずれ、立上り幅、アシンメトリーな
ど）を検査し、磁気ヘッド装置Ｈ１及び磁気ヘッド装置
Ｈ２の品質が基準に達しているか否かを判定する。

【００７３】図６は、図３のフローチャートにしたがっ
て、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２に、同時に自己記録再
生を行なわせたときの、タイミング図の１例である。

【００７４】図６では、まず、磁気ヘッド装置Ｈ１及び
Ｈ２に、記録させる記録信号を設定し（図３のＳＴ
１）、次のタイミング信号Ｔを受信する（ＳＴ２）。こ
のタイミング信号Ｔに合わせて、すなわち、ｉのタイミ
ングにおいて、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２に、同時に
記録動作を開始させ、それぞれ、記録信号Ｗ１及びＷ２
を出力させ、記録媒体２４に記録させる（ＳＴ３）。

【００７５】次に、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２が、記
録媒体２４に記録した信号を、磁気ヘッド装置Ｈ１及び
Ｈ２に、それぞれ自己再生させる。

【００７６】記録動作終了後、次のタイミング信号Ｔを
受信する（ＳＴ４）。このタイミング信号Ｔに合わせ
て、すなわち、ｊのタイミングにおいて、磁気ヘッド装
置Ｈ１及びＨ２に、同時に再生動作を開始させ、それぞ
れ、再生信号Ｒ１及びＲ２を出力させる（ＳＴ５）。再
生信号Ｒ１及びＲ２の、出力の大きさ、波形の乱れ（パ
ルス幅のずれ、立上り幅、アシンメトリーなど）を検査
し、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２の品質が基準に達して
いるか否かを判定する。

【００７７】図６では、自己記録再生が１サイクル終了
した後に、記録信号の周波数を変更して検査を繰り返し
ている。

【００７８】図３のフローチャートにしたがって、磁気
ヘッド装置Ｈ１及びＨ２に同時に、自己記録再生を行わ
せると、図２のフローチャートにしたがって交互に自己
記録再生させる方法に比べて、ウェイトをかける必要が
ないので、検査時間が短縮される。

【００７９】図７は、本発明の磁気ヘッド装置の検査方
法の実施の形態を示すブロック図である。図７では、検
査用の円盤状の記録媒体２４を、回転させる駆動装置２
５が設けられ、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２が、それぞ
れ保持部２３ａ及び２３ｂによって保持されている。

【００８０】磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２は、それぞ
れ、保持部２３ａ及び保持部２３ｂによって、記録媒体
２４上に、図１に示されたように配置されている。

【００８１】すなわち、磁気ヘッド２２ａ及び２２ｂの
記録機能部及び再生機能部が記録媒体２４を走査する走
査領域２６ａ及び２６ｂの半径方向への間隔Ｒ２−Ｒ１
が、走査領域２６ａ及び２６ｂの半径方向の中間２６に
設定された基準半径ｒに対して１％以内であり、相対走
行速度やスキュー角等の条件は、検査の公差範囲内に収
まっている。従って、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２は、
実質上、一定条件の下で検査が行われることになる。

【００８２】また、磁気ヘッド２２ａ及び２２ｂの記録
機能部及び再生機能部が記録媒体２４を走査する走査領
域２６ａ及び２６ｂの半径方向への間隔が、２００μｍ
開くように、保持部２３ａ及び２３ｂの位置が設定され
ているので、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２の各々によっ
て、記録媒体２４上に形成される記録トラックが互いに
干渉しあうことを防ぐことができる。

【００８３】図７の検査装置では、再生／記録アンプ
（Ｒ／Ｗアンプ）３１ａ，３１ｂが記録信号を生成して
磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２の磁気ヘッド２２ａ及び２
２ｂの記録機能部に出力する記録信号生成手段として機
能している。

【００８４】また、制御装置３５ａ及び３５ｂは、Ｒ／
Ｗアンプ３１ａ及び３１ｂに、記録信号の生成を指示
し、また前記磁気ヘッドの再生機能部に記録信号の再生
を指示する。

【００８５】記録再生の指示は、駆動装置に設けられた
スピンドルモータの回転にあわせてタイミング信号発生
装置３７から一定の間隔で発信されるタイミング信号Ｔ
にあわせて出される。

【００８６】また、磁気ヘッド２２ａ及び２２ｂの再生
機能部から送られてきた再生信号は、Ｒ／Ｗアンプ３１
ａ及び３１ｂ、バッファーアンプ３２ａ及び３２ｂ、Ｌ
ＰＦ（ローパスフィルター）３３ａ及び３３ｂを通っ
て、解析装置３４ａ及び３４ｂに送られ、解析される。
解析装置３４ａ及び３４ｂは、再生信号の、出力の大き
さ、波形の乱れ（パルス幅のずれ、立上り幅、アシンメ
トリーなど）を検査し、磁気ヘッド装置Ｈ１及び磁気ヘ
ッド装置Ｈ２の品質が基準に達しているか否かを判定す
る。

【００８７】なお、バッファーアンプ３２ａ及び３２ｂ
は、Ｒ／Ｗアンプ３１ａ及び３１ｂを補助するアンプで
あり、ＬＰＦ（ローパスフィルター）３３ａ及び３３ｂ
は、解析装置３４ａ及び３４ｂ並びに制御装置３５ａ及
び３５ｂが送受信する信号のノイズを除去するためのも
のである。

【００８８】図７では、Ｒ／Ｗアンプ３１ａ及び３１
ｂ、バッファーアンプ３２ａ及び３２ｂ、ＬＰＦ３３ａ
及び３３ｂ、解析装置３４ａ及び３４ｂ並びに制御装置
３５ａ及び３５ｂは、記録媒体２４上に同時に対向する
磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２に対して一つずつ配置され
ている。

【００８９】さらに、制御装置３５ａ及び３５ｂによっ
て、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２に対して交互又は同時
に自己記録再生を行わせるように指示が出されるように
するために、制御手段３５ａ及び３５ｂには、互いに他
を監視しあう通信手段としてネットワーク用のコンピュ
ータ（ＮＣ）３６ａ及び３６ｂが接続されている。

【００９０】制御装置３５ａ及び３５ｂは、例えば、記
録媒体２４上に同時に配置された、磁気ヘッド装置Ｈ１
及びＨ２のうちの、片方の磁気ヘッド装置が記録媒体２
４に対して記録動作を行っているときには、他の磁気ヘ
ッド装置に再生動作を行わせないように待機させること
によって、各々の磁気ヘッド装置に、交互に自己記録再
生させることができる。

【００９１】あるいは、制御装置３５ａ及び３５ｂは、
記録媒体２４上に同時に配置された、磁気ヘッド装置Ｈ
１及びＨ２に、同一のタイミング信号Ｔに合わせて、同
時に記録動作を行わせて、記録信号を前記記録媒体に記
録させた後に、磁気ヘッド装置Ｈ１及びＨ２に、同一の
タイミング信号に合わせて、同時に再生動作を行わせる
ことによって、各々の磁気ヘッド装置に、同時に自己記
録再生させることができる。

【００９２】図８は、本発明の磁気ヘッド装置の検査方
法の他の実施の形態を示すブロック図である。

【００９３】図８では、記録媒体２４上で、同時に検査
できる磁気ヘッド装置の総数は２個までであるが、磁気
ヘッド装置の保持部は、保持部２３ａ、２３ｂ、２３ｃ
及び２３ｄと４個設けられている。

【００９４】したがって、例えば、まず、磁気ヘッド装
置Ｈ１及びＨ２を同時に記録媒体２４上に配置し、同時
に検査しているときに、検査中でない磁気ヘッド装置Ｈ
３及びＨ４を保持している保持部２３ｃ及び２３ｄか
ら、磁気ヘッド装置Ｈ３及びＨ４を取り外し、次の検査
対象の磁気ヘッド装置と交換するようにすると、磁気ヘ
ッド装置の交換のために検査装置を停止させなくてすむ
ので、検査を途切れることなく連続して行なうことがで
きる。従って、検査の効率が向上させることができる。

【００９５】なお、図８では、Ｒ／Ｗアンプ３１ａ、３
１ｂ、３１ｃ、及び３１ｄ並びにバッファーアンプ３２
ａ、３２ｂ、３２ｃ、及び３２ｄを、磁気ヘッド装置Ｈ
１、Ｈ２、Ｈ３及びＨ４に対して一つずつ配置している
が、Ｒ／Ｗアンプ３１ａと３１ｃを同一の装置にして、
磁気ヘッド装置Ｈ１とＨ３との間で切り替えて使用する
ようにしてもよい。同様に、Ｒ／Ｗアンプ３１ｂと３１
ｄを同一の装置にしてもよい。

【００９６】さらに、バッファーアンプ３２ａと３２
ｃ、並びに３２ｂと３２ｄを同一の装置にしてもよい。

【００９７】

【発明の効果】以上詳述した本発明の磁気ヘッド装置の
検査方法及び検査装置によれば、複数個の前記磁気ヘッ
ド装置の磁気ヘッドを、同時に前記記録媒体上に配置
し、さらに、前記記録媒体の中心から、各々の前記磁気
ヘッド装置の前記記録機能部及び再生機能部の走査領域
までの半径方向の位置が、一定範囲の交差内に収まるよ
うにすることにより、それぞれの磁気ヘッド装置の前記
記録媒体に対する、スキュー角や相対走行速度等の諸条
件を、実質上同一にして検査することができる。

【００９８】さらに、前記複数個の磁気ヘッド装置に、
交互又は同時に自己記録再生を行わせることによって、
ある磁気ヘッド装置が記録動作を行っているときに、他
の磁気ヘッド装置が再生動作を行なうという状態が生じ
ることを防ぐことができる。

【００９９】従って、同時に複数個の磁気ヘッド装置を
正確に検査することができるようになり、磁気ヘッド装
置の検査工程を著しく効率化できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査方法の実施の形態を示すための平
面図

【図２】本発明の実施の形態を示すフローチャート

【図３】本発明の他の実施の形態を示すフローチャート

【図４】２個の磁気ヘッド装置に任意のタイミングで記
録再生を行わせたときのタイミング図

【図５】２個の磁気ヘッド装置に、図２のフローチャー
トに従わせて、記録再生を行わせたときのタイミング図

【図６】２個の磁気ヘッド装置に、図３のフローチャー
トに従わせて、記録再生を行わせたときのタイミング図

【図７】本発明の磁気ヘッド装置の検査装置の実施の形
態を示すブロック図

【図８】本発明の磁気ヘッド装置の検査装置の他の実施
の形態を示すブロック図

【図９】磁気ヘッド装置の斜視図

【図１０】従来の検査方法を示すための斜視図

【符号の説明】

Ｈ１、Ｈ２ 磁気ヘッド装置 ２３ａ，２３ｂ 保持部 ２４ 記録媒体 ２５ 駆動装置

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持部材の先端部に記録機能部及び再生
   機能部を有する磁気ヘッドが支持された磁気ヘッド装置
   の検査方法において、 円盤状の記録媒体上で、複数個の磁気ヘッド装置を、記
   録媒体の中心から前記記録機能部及び再生機能部が記録
   媒体を走査する走査領域までの半径方向の位置がずれる
   ように、ただし前記走査領域の半径方向への間隔が、複
   数の前記走査領域の半径方向の中間に設定された基準半
   径に対して１％以内に収まるように配置し、 前記円盤状の記録媒体を回転させて、前記複数個の磁気
   ヘッド装置の全てに、同時に記録動作を行わせた後に、
   前記磁気ヘッド装置の全てに、同時に自己記録信号の再
   生動作を行わせ、前記再生された信号により複数個の磁
   気ヘッド装置の評価を行うことを特徴とする磁気ヘッド
   装置の検査方法。
2. 【請求項２】 支持部材の先端部に記録機能部及び再生
   機能部を有する磁気ヘッドが支持された磁気ヘッド装置
   の検査方法において、 円盤状の記録媒体上で、複数個の磁気ヘッド装置を、記
   録媒体の中心から前記記録機能部及び再生機能部が記録
   媒体を走査する走査領域までの半径方向の位置がずれる
   ように、ただし前記走査領域の半径方向への間隔が、複
   数の前記走査領域の半径方向の中間に設定された基準半
   径に対して１％以内に収まるように配置し、 前記円盤状の記録媒体を回転させて、前記複数個の磁気
   ヘッド装置のうちの、少なくとも一つの磁気ヘッド装置
   が前記記録媒体に対して記録動作を行っているときに
   は、他の磁気ヘッドに、再生動作を行わせないように待
   機させ、前記記録動作を行っている磁気ヘッドの記録動
   作の終了後、少なくとも一つの磁気ヘッドに自己記録信
   号の再生動作を行わせ、前記再生された信号により複数
   個の磁気ヘッド装置の評価を行うことを特徴とする磁気
   ヘッド装置の検査方法。
3. 【請求項３】 前記複数個の磁気ヘッド装置の前記記録
   機能部及び再生機能部が記録媒体を走査する走査領域の
   半径方向への間隔を、１００μｍ以上開けて設定する請
   求項１または２に記載の磁気ヘッド装置の検査方法。
4. 【請求項４】 前記磁気ヘッド装置の支持部材を取付け
   る保持手段を、同時に検査する磁気ヘッド装置の数の２
   倍以上の数設けておき、前記記録媒体を回転させて複数
   個の磁気ヘッド装置の検査を行っているときに、検査中
   の磁気ヘッドを保持していない他の前記保持手段に対し
   て磁気ヘッド装置の交換を行う請求項１ないし３のいず
   れかに記載の磁気ヘッド装置の検査方法。
5. 【請求項５】 検査用の円盤状の記録媒体を回転させる
   駆動手段と、 記録機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッドとこれを
   支持する支持部材とから成る磁気ヘッド装置の前記支持
   部材を保持して、前記記録媒体上で、記録媒体の中心か
   ら前記記録機能部及び再生機能部が記録媒体を走査する
   走査領域までの半径方向の位置がずれるように、ただし
   前記走査領域の半径方向への間隔が、複数の前記走査領
   域の半径方向の中間に設定された基準半径に対して１％
   以内に収まるように、各磁気ヘッド装置を記録媒体に対
   向させる複数個の保持手段と、 記録信号を生成して前記磁気ヘッドの記録機能部に出力
   する記録信号生成手段と、 前記記録信号生成手段に記録信号の生成を指示し、また
   前記磁気ヘッドの再生機能部に記録信号の再生を指示す
   る制御手段と、 記録及び再生の同期を取るためのタイミング信号を生成
   するタイミング信号発生手段と、 前記磁気ヘッドの再生機能部から送られてきた再生信号
   を解析して前記磁気ヘッド装置の記録及び再生特性を判
   定する解析手段とを有し、 前記制御手段では、前記タイミング信号と同期させて、
   個々の磁気ヘッド装置に対して、前記記録媒体上に配置
   された複数個の前記磁気ヘッド装置の全てに、同時に記
   録動作を行わせ、前記記録動作の後に、前記磁気ヘッド
   装置の全てに、同時に自己記録信号の再生動作を行わせ
   ることを特徴とする磁気ヘッド装置の検査装置。
6. 【請求項６】 検査用の円盤状の記録媒体を回転させる
   駆動手段と、 記録機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッドとこれを
   支持する支持部材とから成る磁気ヘッド装置の前記支持
   部材を保持して、前記記録媒体上で、記録媒体の中心か
   ら前記記録機能部及び再生機能部が記録媒体を走査する
   走査領域までの半径方向の位置がずれるように、ただし
   前記走査領域の半径方向への間隔が、複 数の前記走査領
   域の半径方向の中間に設定された基準半径に対して１％
   以内に収まるように、各磁気ヘッド装置を記録媒体に対
   向させる複数個の保持手段と、 記録信号を生成して前記磁気ヘッドの記録機能部に出力
   する記録信号生成手段と、 前記記録信号生成手段に記録信号の生成を指示し、また
   前記磁気ヘッドの再生機能部に記録信号の再生を指示す
   る制御手段と、 記録及び再生の同期を取るためのタイミング信号を生成
   するタイミング信号発生手段と、 前記磁気ヘッドの再生機能部から送られてきた再生信号
   を解析して前記磁気ヘッド装置の記録及び再生特性を判
   定する解析手段とを有し、 前記記録信号生成手段、制御手段及び解析手段は、前記
   記録媒体上に同時に対向する複数個の磁気ヘッド装置の
   一個に対して一つずつ配置され、個々の磁気ヘッド装置
   に対して、前記制御手段が互いに他の制御手段を監視し
   あう通信手段が設けられ、 前記制御手段は、前記記録媒体上に同時に配置された前
   記複数個の磁気ヘッド装置のうちの、少なくとも一つの
   磁気ヘッド装置が前記記録媒体に対して記録動作を行っ
   ていることを感知したときに、他の磁気ヘッド装置に、
   再生動作を行わせないように待機させ、前記記録動作を
   行っている磁気ヘッドの記録動作の終了後、少なくとも
   一つの磁気ヘッドに自己記録信号の再生動作を行わせる
   ことを特徴とする磁気ヘッド装置の検査装置。
7. 【請求項７】 前記複数個の磁気ヘッド装置の前記記録
   機能部及び再生機能部が記録媒体を走査する走査領域の
   半径方向への間隔が、１００μｍ以上開くように、前記
   保持手段の位置が設定されている請求項５または６に記
   載の磁気ヘッド装置の検査装置。
8. 【請求項８】 前記保持手段は、同時に検査する磁気ヘ
   ッド装置の数の２倍以上の数だけ設けられ、前記記録媒
   体を回転させて複数個の磁気ヘッド装置の検査を行って
   いるときに、検査中の磁気ヘッド装置を保持していない
   他の前記保持手段に対して磁気ヘッド装置の交換を可能
   とした請求項５ないし７のいずれかに記載の磁気ヘッド
   装置の検査装置。