JP4377853B2 - 磁気ヘッドスライダ位置決め機構および磁気ヘッドスライダ検査装置 - Google Patents
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磁気ヘッドアッセンブリは、通常、MRヘッドを有する複合ヘッドを形成した磁気ヘッドとしてスライダ単体とこれを支持するサスペンションスプリング等とからなり、磁気ヘッドスライダをサスペンションスプリングを介してボイスコイルモータ等のヘッドアクチュエータに固定する。
ヘッドアッセンブリ組立て前のヘッドスライダ(以下単にスライダ単体)での不良品の検査としては、MRヘッドに対して交流記録磁界を加えかつ外部からも磁界を印加した上でMRヘッドの再生特性を測定する検査装置が公知となっている(特許文献1)。
スライダ単体は、マトリックス状に配置された矩形のポケットを持つ格子型トレー(パレット)に納められ、そこからロボットハンドリング機構により1個、1個スライダ単体が取り出されて検査が行われる。しかし、ポケットに収納されたスライダ単体は、傾きがあり、かつ、それぞれに位置ずれしているので、スライダ単体をパレットからピックアップしてもそのままでは検査ができない。
そこで、検査ステージの検査位置までの間にスライダ単体のプリアライメント位置決め処理が必要となる。しかし、それには時間がかかる問題がある。このプリアライメント処理時間を短縮するために液晶基板等のように直交する2基準側面にスライダ単体の側面を当接させて位置決めすることが考えられるが、せいぜい1mm角のスライダ単体では側面に突き当ててもスライダ単体の角が基準2側面にひっかかってしまい、傾斜したままの状態を保持し、位置決め不良が多く発生する問題がある。それが検査効率を低下させている。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、スライダ単体を短時間で高精度に位置決めすることが可能でかつ検査効率を向上させることができる磁気ヘッドスライダ位置決め機構および磁気ヘッドスライダ検査装置を提供することにある。
ピックアップにより吸着保持されたヘッドスライダ単体を検査ステージの検査位置へと搬送する過程でヘッドスライダ単体の一方の側面を第1の当接面に当接した後に他方の側面を第2の当接面に当接してヘッドスライダ単体に対する吸着位置の位置決めをして検査位置にヘッドスライダ単体が置かれるものである。
その結果、スライダ単体を短時間で高精度に位置決めすることが可能でかつ検査効率を向上させることができる磁気ヘッドスライダ位置決め機構および磁気ヘッドスライダ検査装置を実現することができる。
10は、磁気ヘッドスライダ検査装置であって、1はその検査ステージ、2はハンドリングロボット、3は検査プローブ、4は外部磁界発生装置、5はスライダ単体を多数縦横に配列された収納穴5aにそれぞれ格納するパレット(図3,図4参照)、6はパレット移動ステージ、7は測定部、8は測定装置、そして9はスライダ単体(図3,図4参照)である。
検査ステージ1は、XY移動ステージであって、Xステージ11上に設けられたYステージ12、Yステージ12の上部に設けられた側面突当て位置決め部13(図5,図6参照)、そしてYステージ12の測定部7側に設けられた背面突当て位置決め部14(図5,図6参照)とからなる。
図1,図5,図6に示すように、側面突当て位置決め部13は、平板ブロック131の角に突起形成されていて、平板ブロック131がブラケット132を介して磁気ヘッドスライダ検査装置10のベース15に固定されている。
なお、Xステージ11とYステージ12との直線移動機構は一般的なものであるので、特に図示してはいない。
測定装置8は、内部にマイクロプロセッサとメモリ、制御プログラム等を内蔵する制御コンピュータで構成されている。
図1に示す検査プローブ3は、装置のフレーム16に固定され、測定装置8に接続されていて、その探触子3a(図では鉄心4aに隠れて見えていない。図4参照)が測定部7に突出している。検査プローブ3から得られる測定信号は、A/D変換されて測定装置8に入力される。
吸着ピックアップ23は、スライダ単体9をパレット5から吸着保持して、YZ移動することで、Y軸に平行な線P(図5参照)上においてY方向で前後移動して検査ステージ1へとスライダ単体9を移動させ、逆に検査済みのスライダ単体9を検査ステージ1からパレット5の元の位置へと収納する。
図5に示すように、側面突当て位置決め部13の当接側面13aは、平板ブロック131の角の垂直側面の壁面135に所定間隔で固定され垂直(Z軸に平行)に設けられた2本の円筒ピン133,134で構成される。これらピンの間隔は、スライダ単体9のX側面9aの横幅よりも狭くなっている。この間隔によりスライダ単体9の角が円筒ピン133,134に当たらないようになっている。スライダ単体9のX側面9a(図4参照)が接触する円筒ピン133,134で形成される当接側面13aは、XZ軸面に平行なY方向の基準面である。
一方、背面突当て位置決め部14の当接側面14aは、図5および図6に示すように、段差14bにおける垂直方向の壁面となっている。この当接側面14aは、それぞれYZ軸面に平行に形成され、X方向の基準面になっている。また、段差14bの水平面14cは、XY軸面に平行に形成され、これが検査ステージ1のスライダ単体9に対するZ方向の基準面となっている。そのスライダ単体9の位置決め決め位置には、吸着孔14dが設けられている。
なお、Yステージ21とZステージ22との直線移動機構も一般的なものであるので、ここでは特に図示していない。
図3に示すように、スライダ単体9は、パレット5の収納穴5aにおいて吸着ピックアップ23により吸着され、吸着位置オフセット処理として、パレット5において、まず、収納穴5aのXY方向の直交2側面にスライダ単体9のXY方向の直交2側面が個々に突き当てられて、後のX側面9a,Y側面9b(図4参照)の突当て方向とは逆方向に吸着位置にオフセットが加えられる。
なお、収納穴5aは、スライダ単体9よりも一回り大きい矩形をした穴となっている。
以下、図2のフローチャートに従って、その吸着位置位置決め処理動作について説明する。
測定装置8は、まず、パレット移動ステージ6を駆動してパレット5を移動し、検査対象となるスライダ単体9を収納した収納穴5aの位置をX座標のピックアップ位置Oxに設定する(ステップ101)。
なお、X座標のピックアップ位置Ox(図3,図5の座標(Ox,Yi)参照,ただしYiは任意値)は側面突当て位置決め部13の当接側面13aの位置を通るY軸に平行な線PのX座標に対応している。ステップ101の処理とほぼ同時に、測定装置8は、Yステージ12を駆動してハンドリングロボット2をY方向に線Pに沿って前進駆動して収納穴5aの上部に吸着ピックアップ23を位置決めする(ステップ102)。
これにより収納穴5aのXYの直交2側面にスライダ単体9のXYの直交2側面が当てられてスライダ単体9に対する吸着ピックアップ23の吸着位置の調整が図られる。
すなわち、吸着ピックアップ23をY方向において前進方向に微小移動させると、スライダ単体9の前側の側面が当たる。この当接により吸着ピックアップ23の吸着位置は、スライダ単体9において前にずれる。このように前に移動すると、吸着ピックアップ23の吸着中心(スライダ単体9の中心Oに対応,図4参照)の正規の位置座標(Xs,Ys)(図4参照)は、(Xs+α,Ys+β)となる。ただし、α,βは任意のオフセット量である。
このとき、スライダ単体9のX側面9aは、図5に示すように、円筒ピン133,134の側面に押し当てられて、スライダ単体9のX側面9aがX軸になるように平行にされ、X側面9aと吸着ピックアップ23の吸着中心Oとの距離がYsに設定される。
その後、測定装置8は、Yステージ21を前進駆動して吸着ピックアップ23をY方向に線P上を前進移動させて検査ステージ1のYステージ12の吸着孔14dの上部の測定位置Oyにスライダ単体9(吸着中心O)の位置決めする(ステップ107)。そして、Zステージ22を駆動してZ方向においてそのまま吸着ピックアップ23を降下させてスライダ単体9を段差14bに載置して検査位置に位置決めする(ステップ108)。
これにより、スライダ単体9のY側面9bと吸着ピックアップ23の吸着中心Oとの距離はXsに設定される。
そして、吸着孔14dを負圧にしてスライダ単体9を検査位置に固定する(ステップ110)。次に、検査ステージ1のXステージ11がX軸方向に所定量ΔX分移動して、スライダ単体9の端子を検査プローブ3に接触させて(ステップ111)、外部磁界発生装置4を駆動して(ステップ112)、検査を開始する(ステップ113)。そして、検査終了か否かの判定に入り(ステップ114)、検査が終了した時点で、Xステージ11をX軸方向に所定量ΔX分戻して、吸着ピックアップ23で検査終了後のスライダ単体9をピックアップする(ステップ115)。次に、測定結果が良品であるときには、パレット5の元の収納穴5aに戻す処理をし、不良品であるときには別の不良品収納パレット(図示せず)に収納する処理をする(ステップ116)。そして、検査処理全体が終了か、否かを判定して(ステップ117)、検査処理全体が終了していないときには、ステップ101へと戻り、同様な処理を続ける。
また、実施例では、側面突当て位置決め部13を固定側にして、これに対して吸着ピックアップ23側を移動して吸着位置の位置決めをしている。また、吸着ピックアップ23側を固定にして背面突当て位置決め部14としてXステージ11を移動して吸着位置の位置決めをしている。しかし、これら吸着位置の位置決めは、それぞれ固定側と移動側とが入れ替わってもよい。
さらに、実施例では、MRヘッド複合ヘッドのスライダについての検査の実施例を挙げているが、同様な大きさのスライダであれば、この発明は、MRヘッド複合ヘッドに限定されないことはもちろんである。
3…検査プローブ、4…外部磁界発生装置、
5…パレット、6…パレット移動ステージ、
7…測定部、8…測定装置、9…スライダ単体、
10…磁気ヘッドスライダ検査装置、
11…Xステージ、12,21…Yステージ、
13…側面突当て位置決め部、14…背面突当て位置決め部、
22…Zステージ、23…吸着ピックアップ(吸着コレット)、
131…平板ブロック、133,134…円筒ピン,135…壁面。
Claims (5)
- 磁気ヘッドとこれの接続端子が形成された側面とを有するヘッドスライダ単体において前記磁気ヘッドの特性検査をするために前記ヘッドスライダ単体を検査ステージに位置決めする磁気ヘッドスライダ位置決め機構において、
前記ヘッドスライダ単体を吸着保持するピックアップと、
前記磁気ヘッドの接続端子と接触する探触子と、
前記ヘッドスライダ単体の直交するいずれか一方の側面が当接されて前記ヘッドスライダのX方向およびY方向のいずれかの吸着位置の位置決めをするための第1の当接面と、
前記側面と直交する前記ヘッドスライダ単体の他方の側面が当接されて前記ヘッドスライダのX方向およびY方向のいずれかの前記吸着位置の位置決めをするための第2の当接面とを備え、
前記ピックアップにより吸着保持された前記ヘッドスライダ単体を前記検査ステージの検査位置へと搬送する過程で前記ヘッドスライダ単体の前記一方の側面を前記第1の当接面に当接した後に前記他方の側面を前記第2の当接面に当接して前記ヘッドスライダ単体の前記吸着位置の位置決めをして前記検査位置に前記ヘッドスライダ単体が置かれる磁気ヘッドスライダ位置決め機構。 - 前記ピックアップは、円錐状のものであって、その先端部の径は、前記ヘッドスライダ単体の矩形の外周形状よりも小さい形状をしていて、前記第2の当接面は、段差となっている垂直壁面が割当てられ、前記段差の水平面が前記ヘッドスライダ単体に対するZ方向の位置決め面になっている請求項1記載の磁気ヘッドスライダ位置決め機構。
- 前記ヘッドスライダ単体を1つ1つ収納する配列された多数の収納穴を有するパレットをさらに有し、前記収納穴は、前記ヘッドスライダ単体よりも一回り大きい矩形をした穴であって、前記収納穴に収納された前記ヘッドスライダ単体が前記ピックアップに吸着された状態で前記収納穴の直交する2側面にそれぞれ当接されることで前記ヘッドスライダ単体に対する吸着位置にオフセットを持たせる請求項2記載の磁気ヘッドスライダ位置決め機構。
- 前記第1の当接面は、垂直に所定間隔で設けられた2本の円筒ピンで形成され、前記所定間隔が当接される前記ヘッドスライダ単体の側面の横方向の幅より小さく、前記第2の当接面は前記前記検査位置に設けられ前記ヘッドスライダ単体がこれに当接された状態で前記前記検査位置に前記ヘッドスライダ単体が配置される請求項3記載の磁気ヘッドスライダ位置決め機構。
- 磁気ヘッドとこれの接続端子が形成された側面とを有するヘッドスライダ単体において前記磁気ヘッドの特性検査をする磁気ヘッドスライダ検査装置において、
前記ヘッドスライダ単体を吸着保持するピックアップと、
前記磁気ヘッドの接続端子と接触する探触子と、
前記ヘッドスライダ単体の直交するいずれか一方の側面が当接されて前記ヘッドスライダのX方向およびY方向のいずれかの吸着位置の位置決めをするための第1の当接面と、
前記側面と直交する前記ヘッドスライダ単体の他方の側面が当接されて前記ヘッドスライダのX方向およびY方向のいずれかの前記吸着位置の位置決めをするための第2の当接面とを備え、
前記ピックアップにより吸着保持された前記ヘッドスライダ単体を前記検査ステージの検査位置へと搬送する過程で前記ヘッドスライダ単体の前記一方の側面を前記第1の当接面に当接した後に前記他方の側面を前記第2の当接面に当接して前記ヘッドスライダ単体に対する吸着位置の位置決めをして前記検査位置に前記ヘッドスライダ単体が置かれて前記探触子と前記接続端子とを接触させる磁気ヘッドスライダ検査装置。
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