JP4410780B2 - 磁気ヘッドスライダ検査装置および磁気ヘッドスライダ検査方法 - Google Patents
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Description
なお、この明細書および特許請求の範囲で使用する高周波とは、無線部門における3MHz以上の周波数を意味するものではなく、電力部門における、100Hz〜200Hzの商用電源周波数に対してそれより高い周波数、通常、200Hz以上の周波数帯の周波数を意味するものである。
ハードディスクの記録密度は、数十ギガ/インチと向上の一途を辿っている。しかも、デジタル家電製品へのHDDの搭載がその増加を加速している。そのため、HDDに搭載不可欠な磁気ヘッドアッセンブリの需要も急速に伸びてきている。
磁気ヘッドアッセンブリは、通常、MRヘッドを有する複合ヘッドを搭載するヘッドスライダとこれを支持するサスペンションスプリング等とからなり、ヘッドスライダがサスペンションスプリングを介してボイスコイルモータ等のヘッドアクチュエータに固定される。
ヘッドアッセンブリとして組立てる前のヘッドスライダ(スライダ単体の状態)での不良品の検査としては、MRヘッドに対して外部からDC磁界を印加した上でMRヘッドの再生特性を測定する検査装置が公知となっている(特許文献1)。
また、ヘッドアッセンブリとして組立てた状態の検査としては、MRヘッドに対して交流記録磁界を加えたり、外部からDC磁界を加えて、その出力電圧波形をMRヘッドから得てその特性検査をすることが公知である(特許文献2)。
しかも、外部から磁界を印加した状態でMRヘッドの再生特性を測定する場合には、この種の検査装置は、外部磁界発生装置をヘッドスライダの極めて近傍に配置しなければならない。さらに、測定する項目も、MRヘッドの疑似磁気応答特性検査(QUASI−TEST/クワジー検査)や磁性材料としてのヒステリシス特性検査など多枝に亙る上に、短時間(1秒程度)で1個のヘッドスライダのテストを終了しなければならない。
MRヘッドは、媒体に記録されたデータから発生する磁界を受けて比抵抗を変化させる素子である。そこで、疑似磁気応答特性検査は、MRヘッドが実際にディスクに書込んだデータを読出すのではなく、書込んだデータと同様な高周波磁界を外部からMRヘッドに擬似的に加えてデータ読出時の磁界をMRヘッドがあたかも受けているような状況を作り出してその読出特性を検査するものである。この検査は、同じ条件の測定が数百回程度繰り返される必要がある。しかも、MRヘッドへ加える磁力の大きさと方向とを変える必要がある。すなわち、所定のレベルで0から+側(例えばヘッドスライダに対して下に向かう磁界)、そして0から−側(例えばヘッドスライダに対して上に向かう磁界)へと交互に磁界を振る、高周波磁界を発生する外部磁界発生装置が必要になる。
これら2つの外部磁界発生装置は、それぞれに電源や電流出力回路等が必要になる。しかし、ヘッドスライダの接続端子がプローブに接触する検査領域は、1個所しかなく、そこに磁界を発生する間隙(ギャップ)を持つコアは1つしか設けられない。そのため、この種の検査装置では、細い巻線の高周波磁界発生用と太い巻線のDC磁界発生用とのコイルが1つのコアに巻かれることになる。これらコイルは、コア上において検査領域から離れれば離れるほど磁力発生効率が落ちる。そのためそのインダクタンスを大きくしなければ検査領域(間隙)に目的の磁界強度の磁力を発生することができない。そうすると、その分、周辺への漏洩磁界も大きくなる。
矩形フレーム形状のコアを使用すると、この種の磁気ヘッドスライダ検査装置は、検査領域の周辺に設けられる検査ステージや検査プローブなどの配置関係から間隙を持つ、コアの1辺にDC磁界と高周波磁界を発生する2系統のコイルをそれぞれ設けることが難しくなる。そのため、特許文献2の図1に示されるように、検査領域(間隙)を持つ辺に対向する背面部の辺にコイルを設けざるを得ない。そうなると、この種の磁気ヘッドスライダ検査装置は、コイルの位置が間隙(検査位置)から離れてくるのでコイルに対するインダクタンス(その巻き数)が増加し、周辺への漏洩磁界も大きくならざるを得ない。それが検査結果に悪影響を与え、しかも、装置全体が大きくなる問題も生じる。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、DC磁界と高周波磁界の電流出力回路を共通化することができ、コアやコイルから周辺へ漏洩する磁界を抑えることができる磁気ヘッドスライダ検査装置を提供することにある。
この発明の他の目的は、装置の小型化を図ることができる磁気ヘッドスライダ検査装置を提供することにある。
この発明のさらに他の目的は、DC磁界と高周波磁界の電流出力回路を共通化することができ、コアから周辺へ漏洩する磁界を抑えることができる磁気ヘッドスライダ検査方法を提供することにある。
間隙を有するフレーム形状のコアと、前記間隙に所定の強度の磁界を発生するために前記間隙を挟んで設けられた第1および第2のコイルと、前記複数の接続端子に接触させるために設けられたプローブと、前記ヘッドスライダが載置され前記ヘッドスライダを前記間隙に挿入するために前記間隙に対して進退するテーブルとを備えていて、
前記プローブと前記テーブルとが前記コアに対して直交する方向に前記間隙を挟んで配置され、前記テーブルの前進により前記ヘッドスライダが前記間隙に挿入されて前記複数の接続端子が前記プローブと接触するものであって、前記間隙にDC磁界を発生するために前記第1のコイルと前記第2のコイルとが直列に接続されて所定の駆動電流が流され、前記間隙に高周波磁界を発生するために前記第1のコイルあるいは前記第2のコイルの一方のみに200Hz以上の交流駆動電流が流されるものである。
この発明の磁気ヘッドスライダ検査方法の構成は、間隙を挟んで第1のコイルと第2のコイルとが設けられたフレーム形状のコアに対して前記間隙の形成方向に対して直交する方向で前記間隙を挟んで前記プローブと前記テーブルとが配置されていて、
前記テーブルに前記ヘッドスライダを載置するステップと、前記ヘッドスライダが載置されたテーブルを前進させて前記ヘッドスライダを前記間隙に挿入して前記複数の接続端子と前記プローブと接触させるステップと、第1のコイルと第2のコイルとを直列に接続して所定の駆動電流を流して前記間隙にDC磁界を発生するDC磁界発生ステップと、前記第1のコイルあるいは前記第2のコイルの一方のみに200Hz以上の交流駆動電流を流して前記間隙に高周波磁界を発生する高周波磁界発生ステップとを有していて、前記磁気ヘッドの特性を検査するものである。
その結果、コイル全体のインダクタンスを小さくでき、コアへの巻き数が減少し、さらにコイル全体を第1のコイルと第2のコイルとに2分割することで1個のコイルのインダクタンスを全体の半分程度か、それ以下にすることができ、インダクタンスの小さいコイルは、高周波磁界発生用のコイルに割り当てることができる。2分割されたそれぞれのコイルの外形はインダクタンスが小さいので、その分、大きくならないで済む。DC磁界を発生する場合には、第1のコイルと第2のコイルとを直列接続するので、そのインダクタンスが大きく採れる。
コアを矩形形状にした場合には、この発明は、第1のコイルを間隙のある1辺に設け、第2のコイルを第1のコイルがある1辺ではなく、これ以外の辺に設けることができる。後者のときには第2のコイルの巻き数を多くし、第1のコイルの巻き数を少なくすることができる。これにより巻き数の少ない第1のコイルは高周波磁界をより発生させ易くなり、その外形も抑えられる。その結果として第1のコイルは、間隙の近くに設けることが可能となり、磁界発生効率がよくなる。
このようにDC磁界発生用のコイルを2分割すれば、細い巻線の高周波磁界発生用と太い巻線のDC磁界発生用の2系統のコイルを設ける必要がなくなる。
その結果、この発明は、DC磁界と高周波磁界の電流出力回路を共通化することができ、磁気ヘッドスライダ検査装置においてコアやコイルから周辺へ漏洩する磁界を抑えることができる。これにより、磁気ヘッドスライダ検査装置の小型化を図ることができる。
10は、磁気ヘッドスライダ検査装置であって、1はその検査ステージ、2はハンドリングロボット、3は検査プローブユニット、4は外部磁界発生装置、5はパレット(図3参照)、6はパレット移動ステージ、7は測定部、8は測定装置、そして9はヘッドスライダ(以下スライダという。図3,図4参照)である。パレット5は、多数縦横に配列された収納穴5aにスライダ9をそれぞれ格納する。
検査ステージ1は、XY移動ステージであって、Xステージ11上に設けられたYステージ12、Yステージ12の上部に設けられた側面突当て位置決め部13(図5参照)、そしてYステージ12に隣接して設けられた背面突当て位置決め部14(図4参照)とからなる。
側面突当て位置決め部13は、図5に示すように、平板ブロック131の角に突起形成されて設けられている。これは、突当て側面135を有し、この突当て側面135に2本のピン133,134が設けられ、これらピン133,134の側面がスライダ9の側面に対する当接側面になる。図5の平板ブロック131は、図1に示すように、ブラケット132を介して磁気ヘッドスライダ検査装置10のベース15に固定されている。
背面突当て位置決め部14は、図4,図5に示すように、Yステージ12に段差部14aとして設けられたスライダ9の載置位置にある。段差部14aの背面14b(図5,図4の点線部参照)がスライダ9の前縁に対する当接側面になる。
ところで、Xステージ11とYステージ12との直線移動機構は一般的なものであるので、特に図示してはいない。
測定装置8は、図2に示すように、制御部81とコイル駆動回路82とにより構成される。制御部81は、内部にマイクロプロセッサ(MPU)81aとメモリ81b、このメモリに搭載された制御プログラム等を内蔵する制御コンピュータからなる。
コイル接続切換回路83は、制御部81からの制御信号Sに応じて端子Aを端子Bと端子Cのいずれかに接続する接続切換えをする。
コイル接続切換回路83の端子Aは、第1のコイル4cの他方の端子に接続され、端子Bは、前記したように出力端子87bに接続され、端子Cは、第2のコイル4dの他方の端子に接続されている。
これにより、第1のコイル4cは、第2のコイル4dと直列に接続されて電力増幅回路87の出力に接続される場合と、直接電力増幅回路87の出力に接続される場合とが選択される。
入力信号切換回路86は、高周波駆動信号生成回路84と可変DC磁界駆動信号生成回路85とのいずれか一方の駆動信号(出力信号)を選択して電力増幅回路87の入力端子87aに入力する。電力増幅回路87は、一対の出力端子のうち一方の出力端子87bが第1のコイル4cの一方の端子に接続され、他方の出力端子87cがコイル接続切換回路83の端子Bと第2のコイル4dの一方の端子に接続されている。
高周波駆動信号生成回路84と可変DC磁界駆動信号生成回路85は、それぞれに制御部81に制御されてそれぞれにコイルを電流駆動するための駆動信号を発生する。
なお、フレームコア4aには内側に矩形空間があるので、検査プローブユニット3とYステージ12とは、フレームコア4aの幅方向に直交するY方向(横方向)において間隙4bに対応するように配置されていてもよい。
検査プローブユニット3は、装置のフレーム16に固定され、測定装置8に接続されていて、そのプローブ3aの先端部は、図1ではフレームコア4aに隠れて見えていないが、図4に示すように、測定部7においてYステージ12に対向するように間隙4bに対して反対側から間隙4bに突出している。検査プローブユニット3から得られる測定信号は、図2に示すように、アンプ80a,A/D80bを介してA/D変換されて測定装置8に入力される。
図1,図2に示すように、外部磁界発生装置4は、電磁マグネットであって、測定部7の位置に間隙(ギャップ)4bを有するフレームコア4aとこれに巻かれた第1のコイル4c,第2のコイル4d(図2参照)とで構成され、ブラケット17(図2参照)を介して磁気ヘッドスライダ検査装置10のベース15に固定されている。外部磁界発生装置4は、コイル4c,4dがコイル駆動回路82から電力供給を受けて駆動される。
図4に示すように、検査プローブユニット3のプローブ3aの先端部(針の先端)は、狭い間隙4bの端に達し、その一部がここに侵入している。これに対向するYテーブル12は、間隙4bの間隔より小さい厚さDの先端部12aを有している。そこで、スライダ9が検査されるときには、Yテーブル12が間隙4bの方向に前進してYテーブル12の先端部12aが間隙4bに挿入されて、スライダ9は、間隙4bの空間の実質的に上下の中央部分に収まってプローブ3aと間隙4bの内部で接触する。この状態でスライダ9に磁界がかけられて検査が行われる。
間隙4bに挿入される部分の先端部12aは、非磁性体の導電性樹脂で形成され、その先端部12aの厚さDは、2.8mm〜3.8mmである。先端部12aが非磁性体の導電性樹脂で形成されことにより、磁界を加えるスライダ9の測定に影響を与えずに済み、しかも、スライダ9を疵つけないで済む。
フレームコア4aの外形は、80mm×120mm〜90mm×130mmの範囲にあって、枠幅が20mm〜30mm程度、厚さが3mm〜6mm程度、間隙4bが3mm〜7mm程度のものであって、スライダ9がYテーブル12の進退で挿入可能な幅である。
なお、辺41における第1のコイル4cの位置は、Yテーブル12が間隙4b方向への移動する際に邪魔にならない位置に配置されている。
制御信号Sは、入力信号切換回路86にも入力され、コイル接続切換回路83の端子Aと端子Bが接続されたときに入力信号切換回路86は、制御信号Sに応じて高周波駆動信号生成回路84の出力信号を入力信号として選択してそれを電力増幅回路87に入力する。そこで、電力増幅回路87は、例えば、10kHz程度の高周波の駆動電流(200Hz以上の交流駆動電流)をコイルに供給する。このとき制御部81により高周波駆動信号生成回路84が制御されて駆動電流の大きさが制御されてMRヘッドへ加える磁力の大きさが調整され、間隙4bには、200Oeを超える磁界が発生する。
なお、高周波磁界の周波数としては、5kHz〜20kHz程度の範囲から選択される。
一方、コイル接続切換回路83の端子Aと端子Cが接続されたときに入力信号切換回路86は、制御信号Sに応じて可変DC磁界駆動信号生成回路85の出力信号を入力信号として選択して電力増幅回路87に入力する。そこで、電力増幅回路87は、DCの駆動電流をコイルに供給する。このとき制御部81により可変DC磁界駆動信号生成回路85が制御されて駆動電流の大きさと方向とが制御される。それによりMRヘッドへ加える磁力の大きさと方向とが制御される。
疑似磁気応答特性検査(QUASI−TEST/クワジー検査)をするときには、制御部81は、制御信号Sを発生してコイル接続切換回路83を高周波磁界側に切換える。そこで、電力増幅回路87は、第1のコイル4cを高周波電流で駆動する。
このとき、高周波駆動信号生成回路84は、制御部81により制御されて、例えば、10kHz程度で所定の振幅の正弦波を+側書込信号に対応させて一定期間発生し、その後、正弦波の振幅を一定期間“0”にし、さらにその後に正弦波を−側書込信号に対応させて一定期間発生し、そして正弦波の振幅が一定期間“0”になる信号を順次発生する。この順を1回として、制御部81は、多数回を同じことを繰り返して高周波駆動信号生成回路84に駆動信号を発生させる。制御部81は、高周波駆動信号生成回路84にこれを500回程度繰り返えさせて同時にこのときのMRヘッドの読出信号を制御部81がアンプ80a,A/D80bを介して内部メモリに時系列で測定データとして記憶する。
ここでのDCの駆動電流は、階段状に変換するステップ電流あるいは振幅が順次変化するパルス波形の電流である。パルス波形の電流の立上がり部分は、正弦波で立上げて、立上がり状態でDCとなる波形が好ましい。
このとき、可変DC磁界駆動信号生成回路85は、制御部81の制御により、間隙4dに対して下に向かう変化する磁界(+側磁界)を発生する出力信号をまず発生する。電力増幅回路87のDC出力電流により間隙4bの磁力は、“0”から次第に大きくして所定値になるまで大きくなり、所定値になったところでこんどは逆に“0”に向かって減少していく。次に可変DC磁界駆動信号生成回路85は、間隙4bの磁力を間隙4dに対して上に向かう逆方向の変化する磁界(−側磁界)を発生する出力信号を発生する。電力増幅回路87のDC出力電流により間隙4bの磁力は、“0”から次第に大きくなり、−側の所定値になるまで逆方向で大きくなり、所定値になったところでこんどは逆に“0”に逆方向の減少していく。そして、同時にこのときのMRヘッドの読出信号を制御部81がA/D80bを介して内部メモリに時系列で測定データとして記憶する。
図1に戻り、ハンドリングロボット2は、YZ移動ステージとなっていて、Yステージ21がZステージ22の側面を支持することで、Zステージ22が上下移動する。Yステージ21は、アーム21aを介してY方向移動機構(図示せず)に接続されている。Zステージ22には、下面に垂下して取付けられた吸着ピックアップ(先端が円錐状をした吸着コレット,図4参照)23が設けられている。
吸着ピックアップ23は、スライダ9をパレット5から吸着保持して、YZ移動することで、Y軸に平行な線上においてY方向で前後移動して検査ステージ1のYテーブル12上へとスライダ9を移動させ、逆に検査済みのスライダ9を検査ステージ1のYテーブル12上からパレット5の元の位置へと収納する。
図1において、パレット移動ステージ6は、パレット5を搭載するX方向移動ステージであって、パレット5をX方向へと移動させてハンドリングロボット2の吸着ピックアップ23のY方向のピックアップ位置の下まで検査対象となるスライダ9(その収納穴5aの位置,図3参照)を移動させる。パレット5の位置は、このパレット移動ステージ6を介して測定装置8により制御される。
図3に示すように、スライダ9は、パレット5の収納穴5aにおいて吸着ピックアップ23により吸着される。収納穴5aは、スライダ9よりも一回り大きい矩形をした穴である。そこで、吸着位置オフセット処理として、パレット5において、まず、収納穴5aのXY方向の直交2側面にスライダ9のXY方向の直交2側面が個々に順次突き当てられて、スライダ9の吸着位置が修正される。これによりスライダ9の吸着位置についてのオフセット位置決めが行われる。これは、スライダ9のX側面9a,Y側面9b(図4参照)が後に突当てられてスライダ9の吸着位置が移動するので、その方向とは逆方向に吸着位置をあらかじめ移動させておき、スライダ9のXYの位置決め位置に対してオフセットを持たせる処理である。言い換えれば、このオフセットは、側面突当て位置決め部13と背面突当て位置決め部14とにおいて吸着ピックアップ23の吸着中心(スライダ9の中心Oに対応,図4参照)の正規の位置座標(Xs,Ys)(図4参照)に修正されるように吸着位置をあらかじめ(Xs+α,Ys+β)にずらしておくものである。ただし、図3に示すα,βは任意のオフセット量である。
次に、Xステージ11の移動によりYステージ12が間隙4b側に移動して間隙4bの内部にYステージ12の先端部12aが挿入されて検査プローブユニット3側にスライダ9の4つの接続端子9d(図4参照)のある側面(スライダの後縁)が押し出される。そこで、スライダ9の端子側面9c(図4参照)に設けられた4つの接続端子が検査プローブユニット3のプローブ3aに接触し、その後、検査が開始される。
このように、段差部14aの底面14cは、スライダ9に対するZ方向、すなわち、ベース15の面を基準とした高さの方向における位置決め面になっている。間隙4bの高さは、Z方向においてこの位置決め位置に対応する位置に設定されている。そこで、Yステージ12の先端部12aの厚さ薄くして間隙4bに先端部12aが容易に挿入できる。
制御部81は、4つの接続端子9dを検査プローブユニット3のプローブ3aに接触させた後に、所定の制御信号Sを発生して高周波駆動信号生成回路84を駆動して疑似磁気応答特性検査(QUASI−TEST/クワジー検査)を開始し、その後に、また、別の所定の制御信号Sを発生して前記したヒステリシス特性検査をして、内部のメモリ81bに採取した測定データをそれぞれに記憶する。そして、内部のメモリ81bに記憶されたMRヘッドの読出信号の測定データに基づいてスライダ9(MRヘッド)の良否を判定する。
外部磁界発生装置40は、間隙4bを挟んで第1のコイル4cと第2のコイル4dとを矩形フレーム形状のコア4aの辺41の上下に設けられている。図1の第2のコイル4dを辺42から辺41の間隙4bの下側に配置したものである。
第1のコイル4cと第2のコイル4dとの間隔Dは、15mm〜20mmであり、第1のコイル4cと第2のコイル4dの巻き数は、等しく90ターンから100ターンである。フレームコア4aに対するコイルの巻き厚さは、6mm程度である。
Yテーブル12の先端部12aの厚さが2.8mm〜3.8mmであるので、Yステージ12の先端部12aが前進移動して間隙4bに挿入される際にこれらコイルが邪魔になることはない。
第1のコイル4cと第2のコイル4dとの接続リード線は、邪魔になるので、それぞれのリード配線43a,43bとリード配線44a,44bとをガイドチャネルケース内に沿わせて辺41に対向する後ろ側へと引き出している。リード配線43bと44bは、フレームコア4a外部の接続端子Nで接続されている。
スイッチ回路88は、第1のコイル4cと第2のコイル4dとを接続する接続端子Nと電力増幅回路87の出力端子87cとの間に設けられている。これは、制御部81の制御信号SによりON/OFFされる。スイッチ回路88がOFFのときには、電力増幅回路87から直列接続状態にある第1のコイル4cと第2のコイル4dにDCの駆動電流が供給され、間隙4bにDC磁界が発生する。一方、スイッチ回路88がONのときには電力増幅回路87から第1のコイル4cに高周波電流(200Hz以上の交流駆動電流)が流されて高周波磁界が間隙4b発生する。
なお、スイッチ回路88は、接続端子Nと電力増幅回路87の出力端子87bとの間に設ければ、第1のコイル4cではなく、第2のコイル4dが選択される。
図7に示す90は、細長いロウバー(Row Bar)と呼ばれる、スライダ配列ブロックである。これは、スライダが40個〜60個程度ウエハの行方向に一列に形成された状態でウエハから切出されたものである。
このようなスライダ配列ブロックの検査では、点線で辺41を示すように、図2,図6に示す実施例におけるフレームコア4aの枠幅がスライダ配列ブロックの長手方向の長さよりも大きい。その分、フレームコア4aの内側にある矩形空間が小さくなる。Yステージ12に段差部14aは、間隙4bの空間の枠幅方向に沿って長く、大きな幅になる。プローブ3aの幅も同様である。これ以外の関係は、実質的に図1の場合と同様である。
したがって、この明細書および特許請求の範囲におけるヘッドスライダには、このような個別にスライダを単体として切出す以前のスライダ配列ブロックも含まれるものである。
また、実施例では、外部磁界発生装置4のフレームコア4aは、矩形となっているが、この発明は、この矩形に限定されるものではなく、図6に示すように間隙を介して2つのコイルを配置する場合にはコアは、間隙を持つループ形状のものであればよい。
さらに、実施例では、MRヘッド複合ヘッドのスライダについての検査の実施例を挙げているが、この発明は、MRヘッド複合ヘッドに限定されないことはもちろんである。
3…検査プローブユニット、3a…プローブ、
4,40…外部磁界発生装置、
5…パレット、6…パレット移動ステージ、
7…測定部、8…測定装置、9…スライダ(ヘッドスライダ)、
10…磁気ヘッドスライダ検査装置、
11…Xステージ、12,21…Yステージ、
13…側面突当て位置決め部、14…背面突当て位置決め部、
22…Zステージ、23…吸着ピックアップ(吸着コレット)、
81…制御部、82…コイル駆動回路、
83…コイル接続切換回路、84…高周波駆動信号生成回路、
85…可変DC磁界駆動信号生成回路、86…入力信号切換回路、
87…電力増幅回路。
Claims (15)
- 磁気ヘッドと側面に前記磁気ヘッドに接続される複数の接続端子とを有するヘッドスライダの状態でこのヘッドスライダの前記磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッドスライダ検査装置において、
間隙を有するフレーム形状のコアと、
前記間隙に所定の強度の磁界を発生するために前記間隙を挟んで設けられた第1および第2のコイルと、
前記複数の接続端子に接触させるために設けられたプローブと、
前記ヘッドスライダが載置され前記ヘッドスライダを前記間隙に挿入するために前記間隙に対して進退するテーブルとを備え、
前記プローブと前記テーブルとが前記コアに対して直交する方向に前記間隙を挟んで配置され、
前記テーブルの前進により前記ヘッドスライダが前記間隙に挿入されて前記複数の接続端子が前記プローブと接触するものであって、
前記間隙にDC磁界を発生するために前記第1のコイルと前記第2のコイルとが直列に接続されて所定の駆動電流が流され、前記間隙に高周波磁界を発生するために前記第1のコイルあるいは前記第2のコイルの一方のみに200Hz以上の交流駆動電流が流される磁気ヘッドスライダ検査装置。 - 前記コアは、1辺に前記間隙を有する矩形形状のものであり、前記第1のコイルは、前記1辺に設けられ、前記第2のコイルは、前記1辺あるいは残りの辺のいずれかに設けられている請求項1記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- 前記磁気ヘッドはMRヘッドを有し、前記プローブは、その先端部が前記間隙の端に位置するか、前記間隙の内部に侵入した状態に配置され、前記テーブルは前記ヘッドスライダを前記テーブルの先端部に保持する請求項2記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- 前記先端部は、段差部を有しこの段差部に前記ヘッドスライダが載置され、前記先端部の厚さが間隙の間隔より小さく、前記テーブルが前進したときに前記先端部が前記間隙の中に入る請求項3記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- 前記ヘッドスライダは、前記段差部において吸着して保持され、前記段差部の底面は、ベース面を基準とした高さ方向における前記ヘッドスライダの位置決め面になっていて、前記間隙の前記ベース面からの高さがこの位置決め面に対応して設定されている請求項4記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- 前記間隙の間隔は、3mm〜7mmの範囲にあって、前記高さ方向はこの装置におけるZ方向であって、前記ヘッドスライダは、X方向とY方向との位置決めがなされてされて前記段差部に載置され、前記第2のコイルは、前記第1のコイルよりも巻き数が多く、前記残りの辺のいずれかに配置され、前記第1のコイルに前記交流駆動電流が流される請求項5記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- 前記間隙の間隔は、3mm〜7mmの範囲にあって、前記高さ方向はこの装置におけるZ方向であって、前記ヘッドスライダは、X方向とY方向との位置決めがなされてされて前記段差部に載置され、前記第1のコイルと前記第2のコイルは、前記間隙を挟んで前記1辺に配置されている請求項5記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- さらに、前記DC磁界を発生するための第1の駆動信号を生成するDC磁界駆動信号生成回路と、前記高周波磁界を発生するための第2の駆動信号を生成する高周波駆動信号生成回路と、電力出力回路と、切換回路とを有し、前記電流出力回路は、前記第1の駆動信号と前記第2の駆動信号のいずれか一方を選択的に受け、前記第1の駆動信号を受けたときに前記所定の駆動電流を発生し、前記第2の駆動信号を受けたときに前記交流駆動電流を発生し、前記所定の駆動電流を流すときに前記切換回路は、前記第1のコイルと前記第2のコイルとを直列接続し、前記交流駆動電流を流すときに前記第1のコイルと前記第2のコイルのいずれか一方を選択する請求項5記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- 前記切換回路は、第1,第2および第3の端子を有し、前記電流出力回路の一対の出力端子のうちの1つが前記第1のコイルの一端に接続され、前記第1のコイルの他端が前記第1の端子に接続され、前記電流出力回路の残りの出力端子が前記第2のコイルの一端と前記第2の端子に接続され、前記第2のコイルの他端が前記第3の端子に接続され、前記切換回路は、前記第1の端子を前記第2の端子および前記第3の端子のいずれかに接続する接続切換えをする請求項8記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- 前記切換回路はスイッチ回路であって、前記第1のコイルと前記第2のコイルとは、直列接続されているものであって、前記電流出力回路の一対の出力端子のうちの1つが前記直列接続されたコイルの一端に接続され、前記電流出力回路の残りの出力端子が前記直列接続されたコイルの他端に接続されるとともに前記スイッチ回路を介して前記第1のコイルと前記第2のコイルの直列接続の接続点に接続されている請求項8記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- 前記交流駆動電流の周波数は、5kHz〜20kHzの範囲にある所定の周波数であり、前記高周波磁界は、前記MRヘッドの疑似磁気応答特性の検査をするために前記間隙内において前記MRヘッドに加えられ、前記DC磁界駆動信号生成回路は、前記所定の駆動電流値を可変にできるものであって、前記DC磁界は、前記MRヘッドのヒステリシス検査をするために前記間隙内において前記MRヘッドに加えられる請求項3記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- 前記ヘッドスライダは、スライダが多数一列に配列形成されたスライダ配列ブロックである請求項2記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
- 磁気ヘッドと側面に前記磁気ヘッドに接続される複数の接続端子とを有するヘッドスライダの状態でこのヘッドスライダの前記磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッドスライダ検査方法において、
間隙を挟んで第1のコイルと第2のコイルとが設けられたフレーム形状のコアに対して前記間隙の形成方向に対して直交する方向で前記間隙を挟んで前記プローブと前記テーブルとが配置されていて、
前記テーブルに前記ヘッドスライダを載置するステップと、
前記ヘッドスライダが載置されたテーブルを前進させて前記ヘッドスライダを前記間隙に挿入して前記複数の接続端子と前記プローブと接触させるステップと、
第1のコイルと第2のコイルとを直列に接続して所定の駆動電流を流して前記間隙にDC磁界を発生するDC磁界発生ステップと、
前記第1のコイルあるいは前記第2のコイルの一方のみに200Hz以上の交流駆動電流を流して前記間隙に高周波磁界を発生する高周波磁界発生ステップとを有する前記磁気ヘッドの特性を検査する磁気ヘッドスライダ検査方法。 - 前記磁気ヘッドはMRヘッドを有し、前記プローブは、その先端部が前記間隙の端に位置するか、前記間隙の内部に侵入した状態に配置され、前記テーブルは前記ヘッドスライダを前記テーブルの先端部に保持する請求項13記載の磁気ヘッドスライダ検査方法。
- 前記ヘッドスライダは、スライダが多数一列に配列形成されたスライダ配列ブロックである請求項14記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
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