TWM650910U - 具有翻轉機構的夾持量測裝置 - Google Patents

Abstract

本創作係為一種具有翻轉機構的夾持量測裝置，包括機台及夾持組。機台包含馬達及受馬達帶動的轉軸。夾持組連接轉軸而能夠作翻轉，包含相對設置的一對彈性夾桿及一對移動夾桿。各彈性夾桿包含一對第一夾桿及設置在該對第一夾桿之間的彈性元件。各移動夾桿包含一對第二夾桿及設置在該對第二夾桿之間的致動組件。待測工件插置在彈性夾桿及移動夾桿之間，各致動組件帶動移動夾桿朝彈性夾桿方向移動並壓縮彈性元件。待測工件從而夾持在彈性夾桿及移動夾桿之間，以利進行量測作業。

Description

具有翻轉機構的夾持量測裝置

本創作係有關於自動量測裝置，尤指一種可翻轉量測的裝置。

由於半導體產業對製程精確度和準確性的要求非常高，因此大多利用機械手臂進行自動化量測，藉以對製程元件的尺寸、位置和特性進行精準測量。

再者，電路板是半導體產業中重要的一環。在電路板的製程中需形成銅膜，並在量測過程中需經過多次翻面來進行厚度量測。然而，現有的電路板厚量測裝置大多透過人工作業來進行翻面，或只能對單一板厚進行量測，導致使用上的不便而不符使用需求。

有鑑於此，本創作人遂針對上述現有技術，特潛心研究並配合學理的運用，盡力解決上述之問題點，即成為本創作人改良之目標。

本創作之一目的，在於提供一種具有翻轉機構的夾持量測裝置，其夾持組係隨著馬達的轉軸轉動而產生翻轉，以利進行量測作業。

為了達成上述之目的，本創作係為一種具有翻轉機構的夾持量測裝置，包括機台及夾持組。機台包含馬達及受馬達帶動的轉軸。夾持組連接轉軸而能夠作翻轉，包含相對設置的一對彈性夾桿及一對移動夾桿。各彈性夾桿包含一對第一夾桿及設置在該對第一夾桿之間的彈性元件。各移動夾桿包含一對第二夾桿及設置在該對第二夾桿之間的致動組件。待測工件插置在彈性夾桿及移動夾桿之間，各致動組件帶動移動夾桿朝彈性夾桿方向移動並壓縮彈性元件。待測工件從而夾持在彈性夾桿及移動夾桿之間。

於本創作的一實施例中，機台為一機械手臂。

於本創作的一實施例中，夾持組更包含連接彈性夾桿及移動夾桿的支撐桿，且支撐桿連接轉軸。

於本創作的一實施例中，夾持組呈U形設置。

於本創作的一實施例中，彈性元件的數量為複數，複數彈性元件間隔設置在該對第一夾桿之間。

於本創作的一實施例中，致動組件包含致動器及複數連桿，各連桿的一端樞接該對第二夾桿之其中一者、另一端受致動器帶動而能夠作轉動。

於本創作的一實施例中，致動組件更包含至少一導向桿，該對第二夾桿包含內第二夾桿及外第二夾桿，內第二夾桿面向彈性夾桿並設置有至少一導向孔，至少一導向桿的一端穿設至少一導向孔、另一端固定在外第二夾桿上。

於本創作的一實施例中，致動組更包含複數支撐塊，支撐塊可滑移地設置在外第二夾桿並連接內第二夾桿。

於本創作的一實施例中，夾持量測裝置更包括用以對待測工件進行感測的感測器，感測器設置在夾持組上。

於本創作的一實施例中，感測器為針點式感測器或雷射感測器。

相較於習知技術，本創作之夾持量測裝置的夾持組受馬達的轉軸帶動而作翻轉，此外，夾持組包含彈性夾桿及移動夾桿。又，彈性夾桿包含彈性元件，移動夾桿包含致動組件；據此，致動組件帶動移動夾桿朝彈性夾桿方向移動並壓縮彈性元件，從而令待測工件夾持在彈性夾桿及移動夾桿之間，藉此提供操作方便且可作翻轉的夾持量測裝置，增加本創作的實用性及使用上的便利性。

有關本創作之詳細說明及技術內容，配合圖式說明如下，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本創作加以限制者。

請參照圖1至圖3，係為本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置的立體外觀示意圖、側視圖及前視圖。本創作係為一種具有翻轉機構的夾持量測裝置1，包括一機台10及一夾持組20，且該夾持組20結合在該機台10上。該夾持組20能夠夾持一待測物並作翻轉，以利於進行量測。

該機台10包含一馬達11及受該馬達11帶動的一轉軸12。本實施例中，該機台10為一機械手臂，用以進行自動化量測作業。

該夾持組20連接該轉軸12而能夠作翻轉。該夾持組20包含對應設置的一對彈性夾桿21及一對移動夾桿22。各彈性夾桿21包含一對第一夾桿211、213及設置在該對第一夾桿211、213之間的一彈性元件212。又，各移動夾桿22包含一對第二夾桿221及設置在該對第二夾桿221之間的一致動組件222。本實施例中，該彈性元件212為一彈簧，但不以此為限制。

具體而言，該夾持組20呈U形設置，但不以此為限制。該夾持組20更包含連接該對彈性夾桿21及該對移動夾桿22的一支撐桿23，且該支撐桿23係連接該轉軸12。因此，該馬達11帶動該轉軸12及該支撐桿23作旋轉時，該對彈性夾桿21、該對移動夾桿22與該支撐桿23即隨著該轉軸12作轉動。據此，該馬達11可帶動該夾持組20進行旋轉。

於本創作的一實施例中，該彈性元件212的數量為複數。複數彈性元件212間隔設置在該對第一夾桿211、213之間。

再者，該致動組件222包含一致動器223及複數連桿224。又，各連桿224的一端樞接該對第二夾桿221之其中一者、另一端受該致動器223帶動而能夠作轉動。

更詳細地說，該致動組件222更包含至少一導向桿225。又，該對第二夾桿221包含一內第二夾桿2211及一外第二夾桿2212。該內第二夾桿2211面向該彈性夾桿21並設置有至少一導向孔2210。該至少一導向桿225的一端穿設該至少一導向孔2210、另一端固定在該外第二夾桿2212上。

本實施例中，該致動組件222更包含複數支撐塊226。該些支撐塊226可滑移地設置在該外第二夾桿2212並支撐該致動器223。此外，該導向孔2210及該導向桿225的數量對應設置為複數。

再者，該致動器223帶動該些連桿224移動時，穿插在該導向孔2210中的導向桿225會在該導向孔2210中作軸向移動。據此，該外第二夾桿2212受到該些連桿224的帶動及該導向桿225的限制而在該導向孔2210中作軸向移動。

請續參照圖4及圖5，係為本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置的使用示意圖及動作示意圖。如圖4所示，該夾持量測裝置1係用於對一待測工件2進行量測。使用時，該待測工件2係穿置在該對彈性夾桿21及該對移動夾桿22之間的預留間隙200中。又，如圖5所示，該待測工件2穿入該預留間隙200並移入至適當位置後，該致動組件222會帶動該移動夾桿22朝該彈性夾桿21的方向移動並壓縮該彈性元件212，從而令該待測工件2夾持在該對彈性夾桿21及該對移動夾桿22之間。

具體而言，該致動組件222作動時，該致動器223會產生直線運動。又，該些連桿224的一端會隨著該致動器223而向外移動，且各連桿224會以樞接在該內第二夾桿2211的一端為中心而旋轉，各連桿224的角度會從原來的斜向(如圖2)轉成直向；同時，該內第二夾桿2211透過該導向桿225的導引限制而朝該彈性夾桿21的方向移動，以推抵該待測工件2並貼抵該內第二夾桿2211。據此，該待測工件2會被夾掣在該對彈性夾桿21及該對移動夾桿22之間。

請另參照圖6及圖7，係為本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置的翻轉示意圖及翻轉後的前視圖。本創作之夾持量測裝置1可帶動該待測工件2作翻轉。實際使用時，該馬達11啟動運轉並帶動該轉軸12作轉動，該夾持組20即隨著該轉軸12的轉動而產生翻轉。據此，該待測工件2原本位於下方的量測面會翻轉成上方，以利於進行量測。

請參照圖8，係為本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置設置感測器的示意圖。本實施例相較於前一實施例大致相同，其不同之處在夾持量測裝置1更包括用以對該待測工件2的厚度進行感測的一感測器30。該感測器30可設置為一針點式感測器31或一雷射感測器32，並視實際使用需求加以選用。

實際使用時，該待測工件2受該夾持組20夾持並平穩地呈現在一水平狀態後，可依使用需求使用該針點式感測器31或該雷射感測器32進行該待測工件2的厚度量測。後續，可啟動該馬達11並帶動該轉軸12作轉動，該夾持組20隨著該轉軸12的轉動而產生翻轉，並再一次對該待測工件2進行厚度量測作業，藉此完成對該待測工件2的二側進行厚度量測作業。

以上所述僅為本創作之較佳實施例，非用以定本創作之專利範圍，其他運用本創作之專利精神之等效變化，均應俱屬本創作之專利範圍。

1:夾持量測裝置 2:待測工件 10:機台 11:馬達 12:轉軸 20:夾持組 200:預留間隙 21:彈性夾桿 211、213:第一夾桿 212:彈性元件 22:移動夾桿 221:第二夾桿 2210:導向孔 2211:內第二夾桿 2212:外第二夾桿 222:致動組件 223:致動器 224:連桿 225:導向桿 226:支撐塊 23:支撐桿 30:感測器 31:針點式感測器 32:雷射感測器

圖1係本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置的立體外觀示意圖。

圖2係本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置的側視圖。

圖3係本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置的前視圖。

圖4係本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置的使用示意圖。

圖5係本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置的動作示意圖。

圖6係本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置的翻轉示意圖。

圖7係本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置的翻轉後的前視圖。

圖8係本創作之具有翻轉機構的夾持量測裝置設置感測器的示意圖。

1:夾持量測裝置

2:待測工件

10:機台

11:馬達

12:轉軸

20:夾持組

21:彈性夾桿

211、213:第一夾桿

212:彈性元件

22:移動夾桿

221:第二夾桿

2210:導向孔

2211:內第二夾桿

2212:外第二夾桿

222:致動組件

223:致動器

224:連桿

225:導向桿

226:支撐塊

23:支撐桿

Claims (10)

1. 一種具有翻轉機構的夾持量測裝置，包括: 一機台，包含一馬達及受該馬達帶動的一轉軸；以及 一夾持組，連接該轉軸而能夠作翻轉，該夾持組包含相對設置的一對彈性夾桿及一對移動夾桿，各彈性夾桿包含一對第一夾桿及設置在該對第一夾桿之間的一彈性元件，各移動夾桿包含一對第二夾桿及設置在該對第二夾桿之間的一致動組件； 其中，一待測工件穿置在該對彈性夾桿及該對移動夾桿之間，各致動組件帶動各該移動夾桿朝各該彈性夾桿方向移動並壓縮該彈性元件，從而令該待測工件夾持在該對彈性夾桿及該對移動夾桿之間。
2. 如請求項1所述之具有翻轉機構的夾持量測裝置，其中該機台為一機械手臂。
3. 如請求項1所述之具有翻轉機構的夾持量測裝置，其中該夾持組更包含連接該對彈性夾桿及該對移動夾桿的一支撐桿，且該支撐桿係連接該轉軸。
4. 如請求項3所述之具有翻轉機構的夾持量測裝置，其中該夾持組呈U形設置。
5. 如請求項1所述之具有翻轉機構的夾持量測裝置，其中該彈性元件的數量為複數，複數彈性元件間隔設置在該對第一夾桿之間。
6. 如請求項1所述之具有翻轉機構的夾持量測裝置，其中各該致動組件包含一致動器及複數連桿，各連桿的一端樞接該對第二夾桿之其中一者、另一端受各該致動器帶動而能夠作轉動。
7. 如請求項6所述之具有翻轉機構的夾持量測裝置，其中該致動組件更包含至少一導向桿，該對第二夾桿包含一內第二夾桿及一外第二夾桿，該內第二夾桿面向該彈性夾桿並設置有至少一導向孔，該至少一導向桿的一端穿設該至少一導向孔、另一端固定在該外第二夾桿上。
8. 如請求項7所述之具有翻轉機構的夾持量測裝置，其中該致動組件更包含複數支撐塊，該些支撐塊可滑移地設置在該外第二夾桿並支撐該致動器。
9. 如請求項1所述之具有翻轉機構的夾持量測裝置，其更包括用以對所述待測工件進行感測的一感測器，該感測器設置在該夾持組上。
10. 如請求項9所述之具有翻轉機構的夾持量測裝置，其中該感測器為一針點式感測器或一雷射感測器。

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