CN220906367U - 具有翻转机构的夹持量测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型为一种具有翻转机构的夹持量测装置，包括机台及夹持组。机台包含马达及受马达带动的转轴。夹持组连接转轴而能够作翻转，包含相对设置的一对弹性夹杆及一对移动夹杆。各弹性夹杆包含一对第一夹杆及设置在该对第一夹杆之间的弹性元件。各移动夹杆包含一对第二夹杆及设置在该对第二夹杆之间的致动组件。待测工件插置在弹性夹杆及移动夹杆之间，各致动组件带动移动夹杆朝弹性夹杆方向移动并压缩弹性元件。待测工件从而夹持在弹性夹杆及移动夹杆之间，以利进行量测作业。

Description

具有翻转机构的夹持量测装置

技术领域

本实用新型有关于自动量测装置，尤指一种可翻转量测的装置。

背景技术

由于半导体产业对制程精确度和准确性的要求非常高，因此大多利用机械手臂进行自动化量测，借以对制程元件的尺寸、位置和特性进行精准测量。

再者，电路板是半导体产业中重要的一环。在电路板的制程中需形成铜膜，并在量测过程中需经过多次翻面来进行厚度量测。然而，现有的电路板厚量测装置大多通过人工作业来进行翻面，或只能对单一板厚进行量测，导致使用上的不便而不符使用需求。

实用新型内容

本实用新型的一目的，在于提供一种具有翻转机构的夹持量测装置，其夹持组能够随着马达的转轴转动而产生翻转，以利进行量测作业。

为了达成上述的目的，本实用新型为一种具有翻转机构的夹持量测装置，包括机台及夹持组。机台包含马达及受马达带动的转轴。夹持组连接转轴而能够作翻转，包含相对设置的一对弹性夹杆及一对移动夹杆。各弹性夹杆包含一对第一夹杆及设置在该对第一夹杆之间的弹性元件。各移动夹杆包含一对第二夹杆及设置在该对第二夹杆之间的致动组件。待测工件插置在弹性夹杆及移动夹杆之间，各致动组件带动移动夹杆朝弹性夹杆方向移动并压缩弹性元件。待测工件从而夹持在弹性夹杆及移动夹杆之间。

于本实用新型的一实施例中，机台为一机械手臂。

于本实用新型的一实施例中，夹持组进一步包含连接弹性夹杆及移动夹杆的支撑杆，且支撑杆连接转轴。

于本实用新型的一实施例中，夹持组呈U形设置。

于本实用新型的一实施例中，弹性元件的数量为复数，复数弹性元件间隔设置在该对第一夹杆之间。

于本实用新型的一实施例中，致动组件包含致动器及复数连杆，各连杆的一端枢接该对第二夹杆的其中一者、另一端受致动器带动而能够作转动。

于本实用新型的一实施例中，致动组件进一步包含至少一导向杆，该对第二夹杆包含内第二夹杆及外第二夹杆，内第二夹杆面向弹性夹杆并设置有至少一导向孔，至少一导向杆的一端穿设至少一导向孔、另一端固定在外第二夹杆上。

于本实用新型的一实施例中，致动组进一步包含复数支撑块，支撑块可滑移地设置在外第二夹杆并连接内第二夹杆。

于本实用新型的一实施例中，夹持量测装置进一步包括用以对待测工件进行感测的感测器，感测器设置在夹持组上。

于本实用新型的一实施例中，感测器为针点式感测器或激光感测器。

相较于习知技术，本实用新型的夹持量测装置的夹持组受马达的转轴带动而作翻转，此外，夹持组包含弹性夹杆及移动夹杆。又，弹性夹杆包含弹性元件，移动夹杆包含致动组件；据此，致动组件带动移动夹杆朝弹性夹杆方向移动并压缩弹性元件，从而令待测工件夹持在弹性夹杆及移动夹杆之间，借此提供操作方便且可作翻转的夹持量测装置，增加本实用新型的实用性及使用上的便利性。

附图说明

图1为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置的立体外观示意图。

图2为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置的侧视图。

图3为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置的前视图。

图4为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置的使用示意图。

图5为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置的动作示意图。

图6为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置的翻转示意图。

图7为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置的翻转后的前视图。

图8为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置设置感测器的示意图。

图中：

1:夹持量测装置

2:待测工件

10:机台

11:马达

12:转轴

20:夹持组

200:预留间隙

21:弹性夹杆

211、213:第一夹杆

212:弹性元件

22:移动夹杆

221:第二夹杆

2210:导向孔

2211:内第二夹杆

2212:外第二夹杆

222:致动组件

223:致动器

224:连杆

225:导向杆

226:支撑块

23:支撑杆

30:感测器

31:针点式感测器

32:激光感测器。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

请参照图1至图3，为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置的立体外观示意图、侧视图及前视图。本实用新型为一种具有翻转机构的夹持量测装置1，包括一机台10及一夹持组20，且该夹持组20结合在该机台10上。该夹持组20能够夹持一待测物并作翻转，以利于进行量测。

该机台10包含一马达11及受该马达11带动的一转轴12。本实施例中，该机台10为一机械手臂，用以进行自动化量测作业。

该夹持组20连接该转轴12而能够作翻转。该夹持组20包含对应设置的一对弹性夹杆21及一对移动夹杆22。各弹性夹杆21包含一对第一夹杆211、213及设置在该对第一夹杆211、213之间的一弹性元件212。又，各移动夹杆22包含一对第二夹杆221及设置在该对第二夹杆221之间的一致动组件222。本实施例中，该弹性元件212为一弹簧，但不以此为限制。

具体而言，该夹持组20呈U形设置，但不以此为限制。该夹持组20进一步包含连接该对弹性夹杆21及该对移动夹杆22的一支撑杆23，且该支撑杆23连接该转轴12。因此，该马达11带动该转轴12及该支撑杆23作旋转时，该对弹性夹杆21、该对移动夹杆22与该支撑杆23即随着该转轴12作转动。据此，该马达11可带动该夹持组20进行旋转。

于本实用新型的一实施例中，该弹性元件212的数量为复数。复数弹性元件212间隔设置在该对第一夹杆211、213之间。

再者，该致动组件222包含一致动器223及复数连杆224。又，各连杆224的一端枢接该对第二夹杆221的其中一者、另一端受该致动器223带动而能够作转动。

更详细地说，该致动组件222进一步包含至少一导向杆225。又，该对第二夹杆221包含一内第二夹杆2211及一外第二夹杆2212。该内第二夹杆2211面向该弹性夹杆21并设置有至少一导向孔2210。该至少一导向杆225的一端穿设该至少一导向孔2210、另一端固定在该外第二夹杆2212上。

本实施例中，该致动组件222进一步包含复数支撑块226。该各所述支撑块226可滑移地设置在该外第二夹杆2212并支撑该致动器223。此外，该导向孔2210及该导向杆225的数量对应设置为复数。

再者，该致动器223带动该各所述连杆224移动时，穿插在该导向孔2210中的导向杆225会在该导向孔2210中作轴向移动。据此，该外第二夹杆2212受到该各所述连杆224的带动及该导向杆225的限制而在该导向孔2210中作轴向移动。

请续参照图4及图5，为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置的使用示意图及动作示意图。如图4所示，该夹持量测装置1用于对一待测工件2进行量测。使用时，该待测工件2穿置在该对弹性夹杆21及该对移动夹杆22之间的预留间隙200中。又，如图5所示，该待测工件2穿入该预留间隙200并移入至适当位置后，该致动组件222会带动该移动夹杆22朝该弹性夹杆21的方向移动并压缩该弹性元件212，从而令该待测工件2夹持在该对弹性夹杆21及该对移动夹杆22之间。

具体而言，该致动组件222作动时，该致动器223会产生直线运动。又，该各所述连杆224的一端会随着该致动器223而向外移动，且各连杆224会以枢接在该内第二夹杆2211的一端为中心而旋转，各连杆224的角度会从原来的斜向(如图2)转成直向；同时，该内第二夹杆2211通过该导向杆225的导引限制而朝该弹性夹杆21的方向移动，以推抵该待测工件2并贴抵该内第二夹杆2211。据此，该待测工件2会被夹掣在该对弹性夹杆21及该对移动夹杆22之间。

请另参照图6及图7，为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置的翻转示意图及翻转后的前视图。本实用新型的夹持量测装置1可带动该待测工件2作翻转。实际使用时，该马达11启动运转并带动该转轴12作转动，该夹持组20即随着该转轴12的转动而产生翻转。据此，该待测工件2原本位于下方的量测面会翻转成上方，以利于进行量测。

请参照图8，为本实用新型的具有翻转机构的夹持量测装置设置感测器的示意图。本实施例相较于前一实施例大致相同，其不同之处在夹持量测装置1进一步包括用以对该待测工件2的厚度进行感测的一感测器30。该感测器30可设置为一针点式感测器31或一激光感测器32，并视实际使用需求加以选用。

实际使用时，该待测工件2受该夹持组20夹持并平稳地呈现在一水平状态后，可依使用需求使用该针点式感测器31或该激光感测器32进行该待测工件2的厚度量测。后续，可启动该马达11并带动该转轴12作转动，该夹持组20随着该转轴12的转动而产生翻转，并再一次对该待测工件2进行厚度量测作业，借此完成对该待测工件2的二侧进行厚度量测作业。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种具有翻转机构的夹持量测装置，其特征在于，包括:

一机台，包含一马达及受该马达带动的一转轴；以及

一夹持组，连接该转轴而能够作翻转，该夹持组包含相对设置的一对弹性夹杆及一对移动夹杆，各弹性夹杆包含一对第一夹杆及设置在该对第一夹杆之间的一弹性元件，各移动夹杆包含一对第二夹杆及设置在该对第二夹杆之间的一致动组件；

其中，一待测工件穿置在该对弹性夹杆及该对移动夹杆之间，各致动组件带动各该移动夹杆朝各该弹性夹杆方向移动并压缩该弹性元件，从而令该待测工件夹持在该对弹性夹杆及该对移动夹杆之间。

2.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置，其特征在于，该机台为一机械手臂。

3.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置，其特征在于，该夹持组进一步包含连接该对弹性夹杆及该对移动夹杆的一支撑杆，且该支撑杆连接该转轴。

4.如权利要求3所述的具有翻转机构的夹持量测装置，其特征在于，该夹持组呈U形设置。

5.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置，其特征在于，该弹性元件的数量为复数，复数弹性元件是间隔设置在该对第一夹杆之间。

6.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置，其特征在于，各该致动组件包含一致动器及复数连杆，各连杆的一端枢接该对第二夹杆的其中一者、另一端受各该致动器带动而能够作转动。

7.如权利要求6所述的具有翻转机构的夹持量测装置，其特征在于，该致动组件进一步包含至少一导向杆，该对第二夹杆包含一内第二夹杆及一外第二夹杆，该内第二夹杆面向该弹性夹杆并设置有至少一导向孔，该至少一导向杆的一端穿设该至少一导向孔、另一端固定在该外第二夹杆上。

8.如权利要求7所述的具有翻转机构的夹持量测装置，其特征在于，该致动组件进一步包含复数支撑块，该各所述支撑块可滑移地设置在该外第二夹杆并支撑该致动器。

9.如权利要求1所述的具有翻转机构的夹持量测装置，其特征在于，进一步包括用以对所述待测工件进行感测的一感测器，该感测器设置在该夹持组上。

10.如权利要求9所述的具有翻转机构的夹持量测装置，其特征在于，该感测器为一针点式感测器或一激光感测器。