JPS62135711A - 球状体測定装置 - Google Patents
球状体測定装置Info
- Publication number
- JPS62135711A JPS62135711A JP27755085A JP27755085A JPS62135711A JP S62135711 A JPS62135711 A JP S62135711A JP 27755085 A JP27755085 A JP 27755085A JP 27755085 A JP27755085 A JP 27755085A JP S62135711 A JPS62135711 A JP S62135711A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技Rj分野〕
本発明は、精密球体の真球度を測定する球状体、t!I
I定装買に関する。
I定装買に関する。
〔5で明の技1[・i的背慎〕
従来、ベアリング等の精密球体の真球度を測定する装置
としては第3図および第4図に示す構成のものがある。
としては第3図および第4図に示す構成のものがある。
第3図に示ず装置は、定盤1が形成され90°の傾斜を
持った台2に■ブロック3を配置し、この■ブロック3
に測定しようとする球体4を挟持させてこれに測定子5
を台2の傾斜面に対して直行する方向から接触させて測
定するものである。なお、6は検出器である。一方、第
・1図に示す装置は、第4図(a)に示すように傾斜し
て設けられた2本のシュート1oに、これをまたぐ形で
上部Vブロック11を固定設置し、また第4図(b)に
示すようにこの上部Vブロック11と相対して直行する
ように配置し、かつシリンダ12により上下動可能に下
部Vブロック13を設ける。なお、第4図(b)は第4
図(a)に示すI−I断面図である。そこで、球体14
がシュート10上を転がる時に上下Vブロック11.1
3で位置決めして球体14の直重を上部Vブロック11
のV面を基準面として検出器15により測定するように
したものである。
持った台2に■ブロック3を配置し、この■ブロック3
に測定しようとする球体4を挟持させてこれに測定子5
を台2の傾斜面に対して直行する方向から接触させて測
定するものである。なお、6は検出器である。一方、第
・1図に示す装置は、第4図(a)に示すように傾斜し
て設けられた2本のシュート1oに、これをまたぐ形で
上部Vブロック11を固定設置し、また第4図(b)に
示すようにこの上部Vブロック11と相対して直行する
ように配置し、かつシリンダ12により上下動可能に下
部Vブロック13を設ける。なお、第4図(b)は第4
図(a)に示すI−I断面図である。そこで、球体14
がシュート10上を転がる時に上下Vブロック11.1
3で位置決めして球体14の直重を上部Vブロック11
のV面を基準面として検出器15により測定するように
したものである。
(背倶技術の問題点〕
しかしながら上記各装置では、測定子5.16と対向し
て基準面が配置されるものとなっているので、ごみ等が
挟まりやすく高精度の測定が困難となってしまい、さら
に基準面が摩耗して測定値が不安定となってしまう。ま
た、上記各装置では直径のみの測定しかできない。
て基準面が配置されるものとなっているので、ごみ等が
挟まりやすく高精度の測定が困難となってしまい、さら
に基準面が摩耗して測定値が不安定となってしまう。ま
た、上記各装置では直径のみの測定しかできない。
〔発明の目的)
本発明は上記実情に基づいてなされたもので、その目的
とするところは、直径のみでなく真球度をも測定し得る
高精度な球状外測定装置を提供する口とにある。
とするところは、直径のみでなく真球度をも測定し得る
高精度な球状外測定装置を提供する口とにある。
(弁明の概要)
本発明1よ、?!!l Jl11定球状体を挟持して位
置決めするワーククランプel 4Mにより位置決めさ
れた被測定球状体表面に、測定子により少なくとも2か
所で接触してこの被測定球状体との接触位置の測定信号
から被測定球状体の直径および真球度を測定する球状外
測定装置である。
置決めするワーククランプel 4Mにより位置決めさ
れた被測定球状体表面に、測定子により少なくとも2か
所で接触してこの被測定球状体との接触位置の測定信号
から被測定球状体の直径および真球度を測定する球状外
測定装置である。
〔発明の実施例)
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第1図は球状体測定装置の構成図である。この装置は、
被測定球体20を挟持して位置決めするワーククランプ
典構21と測定系22とから構成されている。具体的に
ワーククランプ+1hl121は、固定設置されセラミ
ックスから形成されたVブロック23と、この■ブロッ
ク23と相対する位置に配置されセラミックスから形成
される真空チャック24と、この真空チャック24を矢
印(イ)方向に回転させる回転モータ25と、真空チャ
ック24および回転モータ25の一体を矢印〈口)方向
に上下移動させるエアーシリンダ26とから構成されて
いる。
被測定球体20を挟持して位置決めするワーククランプ
典構21と測定系22とから構成されている。具体的に
ワーククランプ+1hl121は、固定設置されセラミ
ックスから形成されたVブロック23と、この■ブロッ
ク23と相対する位置に配置されセラミックスから形成
される真空チャック24と、この真空チャック24を矢
印(イ)方向に回転させる回転モータ25と、真空チャ
ック24および回転モータ25の一体を矢印〈口)方向
に上下移動させるエアーシリンダ26とから構成されて
いる。
一方、測定系22は被測定球体20を介して相対する位
置にそれぞれ配置される各第1測定子27.28を有す
る橢横から成っており、具体的に第1測定子27を有す
る機構により説明すると、基台29上にスライドテーブ
ル30が設けられ、このスライドテーブル30がエアー
シリンダ31によってスライドして前記第1 III定
子27が矢印くハ)方向に移動するものとなっている。
置にそれぞれ配置される各第1測定子27.28を有す
る橢横から成っており、具体的に第1測定子27を有す
る機構により説明すると、基台29上にスライドテーブ
ル30が設けられ、このスライドテーブル30がエアー
シリンダ31によってスライドして前記第1 III定
子27が矢印くハ)方向に移動するものとなっている。
さらに、基台29上には第2図に示すように第1測定子
27の位置ずれを検出する第2測定子32が設けられて
いる。前記第1測定子27には検出器(不図示)が設け
られ、この検出器から被測定球体20の表面位置の測定
信号S1が球状情報演算部33に送出されるようになっ
ている。なお、34はストッパである。
27の位置ずれを検出する第2測定子32が設けられて
いる。前記第1測定子27には検出器(不図示)が設け
られ、この検出器から被測定球体20の表面位置の測定
信号S1が球状情報演算部33に送出されるようになっ
ている。なお、34はストッパである。
一方、第1測定子28を有する機構は、第1測定子27
を有する機構と全く同一構成であり、すなわち、基台3
5上にスライドテーブル36が設けられ、このスライド
テーブル36がエアーシリンダ37によってスライドし
て前記第1測定子28が矢印(ハ)方向に移動するもの
となっている。さらに、基台35上には第2測定子(不
図示)が設けられている。前記第1測定子28には検出
器がYlけられ、この検出器から被測定球体20の表面
位置の測定信号S2が球状情報演算部33に送出される
ようになっている。38はストッパである。
を有する機構と全く同一構成であり、すなわち、基台3
5上にスライドテーブル36が設けられ、このスライド
テーブル36がエアーシリンダ37によってスライドし
て前記第1測定子28が矢印(ハ)方向に移動するもの
となっている。さらに、基台35上には第2測定子(不
図示)が設けられている。前記第1測定子28には検出
器がYlけられ、この検出器から被測定球体20の表面
位置の測定信号S2が球状情報演算部33に送出される
ようになっている。38はストッパである。
前記球状情報演算部33は、各測定信号S1、S2を受
けて被測定球体20の直径を演算し求め、これから直径
の最大値、最小値および平均)直等を演算して求めて最
大値と最小値との偏差を真球度として算出し、また平均
値を被測定球体20の寸法として算出する成能をもった
ものである。
けて被測定球体20の直径を演算し求め、これから直径
の最大値、最小値および平均)直等を演算して求めて最
大値と最小値との偏差を真球度として算出し、また平均
値を被測定球体20の寸法として算出する成能をもった
ものである。
次に上記の如く構成された装置の作用について説明する
。
。
ところで、被測定球状体20は次のような工程を通過す
る。すなわち、ローディングされた* m11定球体2
oは洗浄され、この後直径や真球度がJilj定される
。そして、被測定球体20はアンローディングされて選
別工程に送られる。そこで、この選別工程において前記
測定された直径ψ真球度等が用いられて被測定球体20
がその精度別等に選別される。
る。すなわち、ローディングされた* m11定球体2
oは洗浄され、この後直径や真球度がJilj定される
。そして、被測定球体20はアンローディングされて選
別工程に送られる。そこで、この選別工程において前記
測定された直径ψ真球度等が用いられて被測定球体20
がその精度別等に選別される。
さて、本装置では上記の工程において直径や真球度を測
定するもので、先ず、標準となる測定用マスク球体く不
図示)が用意され、この測定用マスタ球体が真空チェッ
ク24上に匿かれる。そして、エアーシリンダ26によ
り測定用マスク球体が■ブロック23と挟持され位置決
めされる。この状態に各エアーシリンダ31.37の作
動によって各第1測定子27.28をスライド移動させ
て測定用マスク球体の表面に接触させる。このときの各
第1測定子27.28による各測定信号S1、S2が球
状情報′a算部33に送られて@調整される。
定するもので、先ず、標準となる測定用マスク球体く不
図示)が用意され、この測定用マスタ球体が真空チェッ
ク24上に匿かれる。そして、エアーシリンダ26によ
り測定用マスク球体が■ブロック23と挟持され位置決
めされる。この状態に各エアーシリンダ31.37の作
動によって各第1測定子27.28をスライド移動させ
て測定用マスク球体の表面に接触させる。このときの各
第1測定子27.28による各測定信号S1、S2が球
状情報′a算部33に送られて@調整される。
この後、各第1測定子27.28は共に被測定球体20
から離れ、さらに真空チャック24は下降される。これ
により測定用マスク球体はVブロック23と真空チャッ
ク24とによる挟持から外される。
から離れ、さらに真空チャック24は下降される。これ
により測定用マスク球体はVブロック23と真空チャッ
ク24とによる挟持から外される。
さて、この後から被測定球体20に対する測定が行なわ
れる。すなわち、被測定球体20が真空チャック24上
に置かれ、エアーシリンダ26により被測定球体20が
■ブロック23と挟持され位置決めされる。この状態に
各エアーシリンダ31.37の作動によって各第1測定
子27.28をスライド移動させてストッパ34.38
の位置まで移動して被I11定球体20の表面に接触さ
せる。このとき被測定球体20の表面位置がずれていれ
ば、このずれ伍に対応した各測定信号S1、S2が第1
測定子32から出力されて球状情報演算部33に送られ
る。そこで球状情報演算部33は各測定信号S1、S2
を受けて測定用マスク球体での各測定信号と比較してそ
のずれ巳が求められ、これから被測定球体20の直径等
が演算し求められる。
れる。すなわち、被測定球体20が真空チャック24上
に置かれ、エアーシリンダ26により被測定球体20が
■ブロック23と挟持され位置決めされる。この状態に
各エアーシリンダ31.37の作動によって各第1測定
子27.28をスライド移動させてストッパ34.38
の位置まで移動して被I11定球体20の表面に接触さ
せる。このとき被測定球体20の表面位置がずれていれ
ば、このずれ伍に対応した各測定信号S1、S2が第1
測定子32から出力されて球状情報演算部33に送られ
る。そこで球状情報演算部33は各測定信号S1、S2
を受けて測定用マスク球体での各測定信号と比較してそ
のずれ巳が求められ、これから被測定球体20の直径等
が演算し求められる。
次に各測定子27.28は被測定球体20から離れ、そ
してエアーシリンダ26により被測定球体20は下降さ
れる。そして、下降したところで回転モータ25が回転
駆動して?!!!1!定球体20を所定角度だけ矢印(
イ)方向に回転させる。そして、再び被測定球体20を
上昇させてVブロック23と挟持状態とする。挟持状態
となって位置決めが成されたならば、再び上記と同様に
各第11111定子27.28を被測定球体20の表面
に接触させてその表面位置のずれ量に応じた各測定信号
S1、S2を送出させる。このようにして以上と同様の
測定を複数回、例えば3回行なって被測定球体20にお
ける複数箇所での直径等を求める。そうして、球状情報
演算部3は、各直径値から最大値、最小値および平均値
等を求め、最大値と最小値との偏差から被測定球体20
の真球度を演算して求め、また平均値を寸法として求め
る。
してエアーシリンダ26により被測定球体20は下降さ
れる。そして、下降したところで回転モータ25が回転
駆動して?!!!1!定球体20を所定角度だけ矢印(
イ)方向に回転させる。そして、再び被測定球体20を
上昇させてVブロック23と挟持状態とする。挟持状態
となって位置決めが成されたならば、再び上記と同様に
各第11111定子27.28を被測定球体20の表面
に接触させてその表面位置のずれ量に応じた各測定信号
S1、S2を送出させる。このようにして以上と同様の
測定を複数回、例えば3回行なって被測定球体20にお
ける複数箇所での直径等を求める。そうして、球状情報
演算部3は、各直径値から最大値、最小値および平均値
等を求め、最大値と最小値との偏差から被測定球体20
の真球度を演算して求め、また平均値を寸法として求め
る。
このように上記一実施例においては、ワーククランプ機
構21により位置決めされた被測定球体20の表面に、
各第1測定子27.28を接触して接触位置のずれ邑に
対応した各測定信号S1、S2から被測定球体20の直
径および真球度を測定する構成としたので、測定の際に
基準となる面が使用されずにごみ等が挟まることがなく
安定した測定埴を得ることができる。また、Vブロック
23および真空チャック24は共にセラミックスにより
形成されているので摩耗はほとんどない。さらに、各第
1測定子27.28は各第2測定子32・・・により位
置ずれが補正されるので、その軸方向の誤差がなくなる
。
構21により位置決めされた被測定球体20の表面に、
各第1測定子27.28を接触して接触位置のずれ邑に
対応した各測定信号S1、S2から被測定球体20の直
径および真球度を測定する構成としたので、測定の際に
基準となる面が使用されずにごみ等が挟まることがなく
安定した測定埴を得ることができる。また、Vブロック
23および真空チャック24は共にセラミックスにより
形成されているので摩耗はほとんどない。さらに、各第
1測定子27.28は各第2測定子32・・・により位
置ずれが補正されるので、その軸方向の誤差がなくなる
。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものではなく
、その主旨を逸脱しない範囲で変形することが可能であ
る。例えば、次のように各変形できる。被測定球体20
を回転せずに1回の測定で直径、真球度を求めるように
する。各第1測定子27.28を移動しないものとする
。また、被測定球体20を上下に移動せずに、■ブロッ
ク23を上下に移動する。さらには各第1測定子27.
28を上下に移動させて■ブロック23を水平方向に移
動させてもよい。
、その主旨を逸脱しない範囲で変形することが可能であ
る。例えば、次のように各変形できる。被測定球体20
を回転せずに1回の測定で直径、真球度を求めるように
する。各第1測定子27.28を移動しないものとする
。また、被測定球体20を上下に移動せずに、■ブロッ
ク23を上下に移動する。さらには各第1測定子27.
28を上下に移動させて■ブロック23を水平方向に移
動させてもよい。
以上詳記したように本発明によれば、直径のみでなく真
球度をも測定し得る高精度な球状体測定装置を提供でき
る。
球度をも測定し得る高精度な球状体測定装置を提供でき
る。
第1図および第2図は本発明に係わる球状体測定装置の
一実施例を示す構成図、第3図および第4図は従来!i
1を示す構成図である。 20・・・被測定球体、21・・・ワーククランプ機構
、22・・・測定系、23・・・Vブロック、24・・
・真空チャック、25・・・回転モータ、26・・・エ
アーシリンダ、27.28・・・第1測定子、30.3
6・・・スライドテーブル、31.37・・・エアーシ
リンダ、32・・・第2測定子、33・・・球状情報演
算部、34゜38・・・ストッパ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第】図 π 2rXJ
一実施例を示す構成図、第3図および第4図は従来!i
1を示す構成図である。 20・・・被測定球体、21・・・ワーククランプ機構
、22・・・測定系、23・・・Vブロック、24・・
・真空チャック、25・・・回転モータ、26・・・エ
アーシリンダ、27.28・・・第1測定子、30.3
6・・・スライドテーブル、31.37・・・エアーシ
リンダ、32・・・第2測定子、33・・・球状情報演
算部、34゜38・・・ストッパ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第】図 π 2rXJ
Claims (2)
- (1)被測定球状体を挟持して位置決めするワーククラ
ンプ機構と、このワーククランプ機構により位置決めさ
れた前記被測定球状体表面に対して少なくとも2か所で
接触して前記被測定球状体との接触位置を示す測定信号
を出力する複数の測定子と、この測定子からの測定信号
に基づいて前記被測定球体の形状を演算する球体情報演
算部とを具備したことを特徴とする球状体測定装置。 - (2)ワーククランプ機構は、被測定球状体における測
定位置を変更する回転モータを備えた特許請求の範囲第
(1)項記載の球状体測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27755085A JPS62135711A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 球状体測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27755085A JPS62135711A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 球状体測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62135711A true JPS62135711A (ja) | 1987-06-18 |
Family
ID=17585094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27755085A Pending JPS62135711A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 球状体測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62135711A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5116234A (en) * | 1990-09-05 | 1992-05-26 | Dr.-Ing. Hofler Messgeratebau Gmbh | Measuring arrangement for rotationally symmetrical workpieces |
JPH0569615U (ja) * | 1992-02-24 | 1993-09-21 | キーパー株式会社 | ベローズ製品の肉厚測定装置 |
JPH11223502A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-08-17 | Nippon Seiko Kk | ボール径寸法自動測定装置 |
JP2007024904A (ja) * | 2006-09-01 | 2007-02-01 | Nsk Ltd | 球面体の表面形状評価方法及び評価装置 |
DE102012104017A1 (de) * | 2012-05-08 | 2013-11-14 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messeinrichtung und Verfahren zur Messung von Kugeln |
CN105004308A (zh) * | 2015-06-05 | 2015-10-28 | 无锡凹凸自动化科技有限公司 | 一种球面滚子圆度测量仪 |
-
1985
- 1985-12-10 JP JP27755085A patent/JPS62135711A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5116234A (en) * | 1990-09-05 | 1992-05-26 | Dr.-Ing. Hofler Messgeratebau Gmbh | Measuring arrangement for rotationally symmetrical workpieces |
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JP2007024904A (ja) * | 2006-09-01 | 2007-02-01 | Nsk Ltd | 球面体の表面形状評価方法及び評価装置 |
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CN105004308B (zh) * | 2015-06-05 | 2017-07-18 | 无锡凹凸自动化科技有限公司 | 一种球面滚子圆度测量仪 |
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