JPS62135711A - 球状体測定装置 - Google Patents
球状体測定装置Info
- Publication number
- JPS62135711A JPS62135711A JP27755085A JP27755085A JPS62135711A JP S62135711 A JPS62135711 A JP S62135711A JP 27755085 A JP27755085 A JP 27755085A JP 27755085 A JP27755085 A JP 27755085A JP S62135711 A JPS62135711 A JP S62135711A
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- Japan
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- measured
- spherical body
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- spherical
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技Ｒｊ分野〕
本発明は、精密球体の真球度を測定する球状体、ｔ！Ｉ
Ｉ定装買に関する。
Ｉ定装買に関する。
〔５で明の技１［・ｉ的背慎〕
従来、ベアリング等の精密球体の真球度を測定する装置
としては第３図および第４図に示す構成のものがある。
としては第３図および第４図に示す構成のものがある。
第３図に示ず装置は、定盤１が形成され９０°の傾斜を
持った台２に■ブロック３を配置し、この■ブロック３
に測定しようとする球体４を挟持させてこれに測定子５
を台２の傾斜面に対して直行する方向から接触させて測
定するものである。なお、６は検出器である。一方、第
・１図に示す装置は、第４図（ａ）に示すように傾斜し
て設けられた２本のシュート１ｏに、これをまたぐ形で
上部Ｖブロック１１を固定設置し、また第４図（ｂ）に
示すようにこの上部Ｖブロック１１と相対して直行する
ように配置し、かつシリンダ１２により上下動可能に下
部Ｖブロック１３を設ける。なお、第４図（ｂ）は第４
図（ａ）に示すＩ−Ｉ断面図である。そこで、球体１４
がシュート１０上を転がる時に上下Ｖブロック１１．１
３で位置決めして球体１４の直重を上部Ｖブロック１１
のＶ面を基準面として検出器１５により測定するように
したものである。
持った台２に■ブロック３を配置し、この■ブロック３
に測定しようとする球体４を挟持させてこれに測定子５
を台２の傾斜面に対して直行する方向から接触させて測
定するものである。なお、６は検出器である。一方、第
・１図に示す装置は、第４図（ａ）に示すように傾斜し
て設けられた２本のシュート１ｏに、これをまたぐ形で
上部Ｖブロック１１を固定設置し、また第４図（ｂ）に
示すようにこの上部Ｖブロック１１と相対して直行する
ように配置し、かつシリンダ１２により上下動可能に下
部Ｖブロック１３を設ける。なお、第４図（ｂ）は第４
図（ａ）に示すＩ−Ｉ断面図である。そこで、球体１４
がシュート１０上を転がる時に上下Ｖブロック１１．１
３で位置決めして球体１４の直重を上部Ｖブロック１１
のＶ面を基準面として検出器１５により測定するように
したものである。
（背倶技術の問題点〕
しかしながら上記各装置では、測定子５．１６と対向し
て基準面が配置されるものとなっているので、ごみ等が
挟まりやすく高精度の測定が困難となってしまい、さら
に基準面が摩耗して測定値が不安定となってしまう。ま
た、上記各装置では直径のみの測定しかできない。
て基準面が配置されるものとなっているので、ごみ等が
挟まりやすく高精度の測定が困難となってしまい、さら
に基準面が摩耗して測定値が不安定となってしまう。ま
た、上記各装置では直径のみの測定しかできない。
〔発明の目的）
本発明は上記実情に基づいてなされたもので、その目的
とするところは、直径のみでなく真球度をも測定し得る
高精度な球状外測定装置を提供する口とにある。
とするところは、直径のみでなく真球度をも測定し得る
高精度な球状外測定装置を提供する口とにある。
（弁明の概要）
本発明１よ、？！！ｌ Ｊｌ１１定球状体を挟持して位
置決めするワーククランプｅｌ ４Ｍにより位置決めさ
れた被測定球状体表面に、測定子により少なくとも２か
所で接触してこの被測定球状体との接触位置の測定信号
から被測定球状体の直径および真球度を測定する球状外
測定装置である。
置決めするワーククランプｅｌ ４Ｍにより位置決めさ
れた被測定球状体表面に、測定子により少なくとも２か
所で接触してこの被測定球状体との接触位置の測定信号
から被測定球状体の直径および真球度を測定する球状外
測定装置である。
〔発明の実施例）
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は球状体測定装置の構成図である。この装置は、
被測定球体２０を挟持して位置決めするワーククランプ
典構２１と測定系２２とから構成されている。具体的に
ワーククランプ＋１ｈｌ１２１は、固定設置されセラミ
ックスから形成されたＶブロック２３と、この■ブロッ
ク２３と相対する位置に配置されセラミックスから形成
される真空チャック２４と、この真空チャック２４を矢
印（イ）方向に回転させる回転モータ２５と、真空チャ
ック２４および回転モータ２５の一体を矢印〈口）方向
に上下移動させるエアーシリンダ２６とから構成されて
いる。
被測定球体２０を挟持して位置決めするワーククランプ
典構２１と測定系２２とから構成されている。具体的に
ワーククランプ＋１ｈｌ１２１は、固定設置されセラミ
ックスから形成されたＶブロック２３と、この■ブロッ
ク２３と相対する位置に配置されセラミックスから形成
される真空チャック２４と、この真空チャック２４を矢
印（イ）方向に回転させる回転モータ２５と、真空チャ
ック２４および回転モータ２５の一体を矢印〈口）方向
に上下移動させるエアーシリンダ２６とから構成されて
いる。
一方、測定系２２は被測定球体２０を介して相対する位
置にそれぞれ配置される各第１測定子２７．２８を有す
る橢横から成っており、具体的に第１測定子２７を有す
る機構により説明すると、基台２９上にスライドテーブ
ル３０が設けられ、このスライドテーブル３０がエアー
シリンダ３１によってスライドして前記第１ ＩＩＩ定
子２７が矢印くハ）方向に移動するものとなっている。
置にそれぞれ配置される各第１測定子２７．２８を有す
る橢横から成っており、具体的に第１測定子２７を有す
る機構により説明すると、基台２９上にスライドテーブ
ル３０が設けられ、このスライドテーブル３０がエアー
シリンダ３１によってスライドして前記第１ ＩＩＩ定
子２７が矢印くハ）方向に移動するものとなっている。
さらに、基台２９上には第２図に示すように第１測定子
２７の位置ずれを検出する第２測定子３２が設けられて
いる。前記第１測定子２７には検出器（不図示）が設け
られ、この検出器から被測定球体２０の表面位置の測定
信号Ｓ１が球状情報演算部３３に送出されるようになっ
ている。なお、３４はストッパである。
２７の位置ずれを検出する第２測定子３２が設けられて
いる。前記第１測定子２７には検出器（不図示）が設け
られ、この検出器から被測定球体２０の表面位置の測定
信号Ｓ１が球状情報演算部３３に送出されるようになっ
ている。なお、３４はストッパである。
一方、第１測定子２８を有する機構は、第１測定子２７
を有する機構と全く同一構成であり、すなわち、基台３
５上にスライドテーブル３６が設けられ、このスライド
テーブル３６がエアーシリンダ３７によってスライドし
て前記第１測定子２８が矢印（ハ）方向に移動するもの
となっている。さらに、基台３５上には第２測定子（不
図示）が設けられている。前記第１測定子２８には検出
器がＹｌけられ、この検出器から被測定球体２０の表面
位置の測定信号Ｓ２が球状情報演算部３３に送出される
ようになっている。３８はストッパである。
を有する機構と全く同一構成であり、すなわち、基台３
５上にスライドテーブル３６が設けられ、このスライド
テーブル３６がエアーシリンダ３７によってスライドし
て前記第１測定子２８が矢印（ハ）方向に移動するもの
となっている。さらに、基台３５上には第２測定子（不
図示）が設けられている。前記第１測定子２８には検出
器がＹｌけられ、この検出器から被測定球体２０の表面
位置の測定信号Ｓ２が球状情報演算部３３に送出される
ようになっている。３８はストッパである。
前記球状情報演算部３３は、各測定信号Ｓ１、Ｓ２を受
けて被測定球体２０の直径を演算し求め、これから直径
の最大値、最小値および平均）直等を演算して求めて最
大値と最小値との偏差を真球度として算出し、また平均
値を被測定球体２０の寸法として算出する成能をもった
ものである。
けて被測定球体２０の直径を演算し求め、これから直径
の最大値、最小値および平均）直等を演算して求めて最
大値と最小値との偏差を真球度として算出し、また平均
値を被測定球体２０の寸法として算出する成能をもった
ものである。
次に上記の如く構成された装置の作用について説明する
。
。
ところで、被測定球状体２０は次のような工程を通過す
る。すなわち、ローディングされた＊ ｍ１１定球体２
ｏは洗浄され、この後直径や真球度がＪｉｌｊ定される
。そして、被測定球体２０はアンローディングされて選
別工程に送られる。そこで、この選別工程において前記
測定された直径ψ真球度等が用いられて被測定球体２０
がその精度別等に選別される。
る。すなわち、ローディングされた＊ ｍ１１定球体２
ｏは洗浄され、この後直径や真球度がＪｉｌｊ定される
。そして、被測定球体２０はアンローディングされて選
別工程に送られる。そこで、この選別工程において前記
測定された直径ψ真球度等が用いられて被測定球体２０
がその精度別等に選別される。
さて、本装置では上記の工程において直径や真球度を測
定するもので、先ず、標準となる測定用マスク球体く不
図示）が用意され、この測定用マスタ球体が真空チェッ
ク２４上に匿かれる。そして、エアーシリンダ２６によ
り測定用マスク球体が■ブロック２３と挟持され位置決
めされる。この状態に各エアーシリンダ３１．３７の作
動によって各第１測定子２７．２８をスライド移動させ
て測定用マスク球体の表面に接触させる。このときの各
第１測定子２７．２８による各測定信号Ｓ１、Ｓ２が球
状情報′ａ算部３３に送られて＠調整される。
定するもので、先ず、標準となる測定用マスク球体く不
図示）が用意され、この測定用マスタ球体が真空チェッ
ク２４上に匿かれる。そして、エアーシリンダ２６によ
り測定用マスク球体が■ブロック２３と挟持され位置決
めされる。この状態に各エアーシリンダ３１．３７の作
動によって各第１測定子２７．２８をスライド移動させ
て測定用マスク球体の表面に接触させる。このときの各
第１測定子２７．２８による各測定信号Ｓ１、Ｓ２が球
状情報′ａ算部３３に送られて＠調整される。
この後、各第１測定子２７．２８は共に被測定球体２０
から離れ、さらに真空チャック２４は下降される。これ
により測定用マスク球体はＶブロック２３と真空チャッ
ク２４とによる挟持から外される。
から離れ、さらに真空チャック２４は下降される。これ
により測定用マスク球体はＶブロック２３と真空チャッ
ク２４とによる挟持から外される。
さて、この後から被測定球体２０に対する測定が行なわ
れる。すなわち、被測定球体２０が真空チャック２４上
に置かれ、エアーシリンダ２６により被測定球体２０が
■ブロック２３と挟持され位置決めされる。この状態に
各エアーシリンダ３１．３７の作動によって各第１測定
子２７．２８をスライド移動させてストッパ３４．３８
の位置まで移動して被Ｉ１１定球体２０の表面に接触さ
せる。このとき被測定球体２０の表面位置がずれていれ
ば、このずれ伍に対応した各測定信号Ｓ１、Ｓ２が第１
測定子３２から出力されて球状情報演算部３３に送られ
る。そこで球状情報演算部３３は各測定信号Ｓ１、Ｓ２
を受けて測定用マスク球体での各測定信号と比較してそ
のずれ巳が求められ、これから被測定球体２０の直径等
が演算し求められる。
れる。すなわち、被測定球体２０が真空チャック２４上
に置かれ、エアーシリンダ２６により被測定球体２０が
■ブロック２３と挟持され位置決めされる。この状態に
各エアーシリンダ３１．３７の作動によって各第１測定
子２７．２８をスライド移動させてストッパ３４．３８
の位置まで移動して被Ｉ１１定球体２０の表面に接触さ
せる。このとき被測定球体２０の表面位置がずれていれ
ば、このずれ伍に対応した各測定信号Ｓ１、Ｓ２が第１
測定子３２から出力されて球状情報演算部３３に送られ
る。そこで球状情報演算部３３は各測定信号Ｓ１、Ｓ２
を受けて測定用マスク球体での各測定信号と比較してそ
のずれ巳が求められ、これから被測定球体２０の直径等
が演算し求められる。
次に各測定子２７．２８は被測定球体２０から離れ、そ
してエアーシリンダ２６により被測定球体２０は下降さ
れる。そして、下降したところで回転モータ２５が回転
駆動して？！！！１！定球体２０を所定角度だけ矢印（
イ）方向に回転させる。そして、再び被測定球体２０を
上昇させてＶブロック２３と挟持状態とする。挟持状態
となって位置決めが成されたならば、再び上記と同様に
各第１１１１１定子２７．２８を被測定球体２０の表面
に接触させてその表面位置のずれ量に応じた各測定信号
Ｓ１、Ｓ２を送出させる。このようにして以上と同様の
測定を複数回、例えば３回行なって被測定球体２０にお
ける複数箇所での直径等を求める。そうして、球状情報
演算部３は、各直径値から最大値、最小値および平均値
等を求め、最大値と最小値との偏差から被測定球体２０
の真球度を演算して求め、また平均値を寸法として求め
る。
してエアーシリンダ２６により被測定球体２０は下降さ
れる。そして、下降したところで回転モータ２５が回転
駆動して？！！！１！定球体２０を所定角度だけ矢印（
イ）方向に回転させる。そして、再び被測定球体２０を
上昇させてＶブロック２３と挟持状態とする。挟持状態
となって位置決めが成されたならば、再び上記と同様に
各第１１１１１定子２７．２８を被測定球体２０の表面
に接触させてその表面位置のずれ量に応じた各測定信号
Ｓ１、Ｓ２を送出させる。このようにして以上と同様の
測定を複数回、例えば３回行なって被測定球体２０にお
ける複数箇所での直径等を求める。そうして、球状情報
演算部３は、各直径値から最大値、最小値および平均値
等を求め、最大値と最小値との偏差から被測定球体２０
の真球度を演算して求め、また平均値を寸法として求め
る。
このように上記一実施例においては、ワーククランプ機
構２１により位置決めされた被測定球体２０の表面に、
各第１測定子２７．２８を接触して接触位置のずれ邑に
対応した各測定信号Ｓ１、Ｓ２から被測定球体２０の直
径および真球度を測定する構成としたので、測定の際に
基準となる面が使用されずにごみ等が挟まることがなく
安定した測定埴を得ることができる。また、Ｖブロック
２３および真空チャック２４は共にセラミックスにより
形成されているので摩耗はほとんどない。さらに、各第
１測定子２７．２８は各第２測定子３２・・・により位
置ずれが補正されるので、その軸方向の誤差がなくなる
。
構２１により位置決めされた被測定球体２０の表面に、
各第１測定子２７．２８を接触して接触位置のずれ邑に
対応した各測定信号Ｓ１、Ｓ２から被測定球体２０の直
径および真球度を測定する構成としたので、測定の際に
基準となる面が使用されずにごみ等が挟まることがなく
安定した測定埴を得ることができる。また、Ｖブロック
２３および真空チャック２４は共にセラミックスにより
形成されているので摩耗はほとんどない。さらに、各第
１測定子２７．２８は各第２測定子３２・・・により位
置ずれが補正されるので、その軸方向の誤差がなくなる
。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものではなく
、その主旨を逸脱しない範囲で変形することが可能であ
る。例えば、次のように各変形できる。被測定球体２０
を回転せずに１回の測定で直径、真球度を求めるように
する。各第１測定子２７．２８を移動しないものとする
。また、被測定球体２０を上下に移動せずに、■ブロッ
ク２３を上下に移動する。さらには各第１測定子２７．
２８を上下に移動させて■ブロック２３を水平方向に移
動させてもよい。
、その主旨を逸脱しない範囲で変形することが可能であ
る。例えば、次のように各変形できる。被測定球体２０
を回転せずに１回の測定で直径、真球度を求めるように
する。各第１測定子２７．２８を移動しないものとする
。また、被測定球体２０を上下に移動せずに、■ブロッ
ク２３を上下に移動する。さらには各第１測定子２７．
２８を上下に移動させて■ブロック２３を水平方向に移
動させてもよい。
以上詳記したように本発明によれば、直径のみでなく真
球度をも測定し得る高精度な球状体測定装置を提供でき
る。
球度をも測定し得る高精度な球状体測定装置を提供でき
る。
第１図および第２図は本発明に係わる球状体測定装置の
一実施例を示す構成図、第３図および第４図は従来！ｉ
１を示す構成図である。 ２０・・・被測定球体、２１・・・ワーククランプ機構
、２２・・・測定系、２３・・・Ｖブロック、２４・・
・真空チャック、２５・・・回転モータ、２６・・・エ
アーシリンダ、２７．２８・・・第１測定子、３０．３
６・・・スライドテーブル、３１．３７・・・エアーシ
リンダ、３２・・・第２測定子、３３・・・球状情報演
算部、３４゜３８・・・ストッパ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第】図 π ２ｒＸＪ
一実施例を示す構成図、第３図および第４図は従来！ｉ
１を示す構成図である。 ２０・・・被測定球体、２１・・・ワーククランプ機構
、２２・・・測定系、２３・・・Ｖブロック、２４・・
・真空チャック、２５・・・回転モータ、２６・・・エ
アーシリンダ、２７．２８・・・第１測定子、３０．３
６・・・スライドテーブル、３１．３７・・・エアーシ
リンダ、３２・・・第２測定子、３３・・・球状情報演
算部、３４゜３８・・・ストッパ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第】図 π ２ｒＸＪ
Claims (2)
- （１）被測定球状体を挟持して位置決めするワーククラ
ンプ機構と、このワーククランプ機構により位置決めさ
れた前記被測定球状体表面に対して少なくとも２か所で
接触して前記被測定球状体との接触位置を示す測定信号
を出力する複数の測定子と、この測定子からの測定信号
に基づいて前記被測定球体の形状を演算する球体情報演
算部とを具備したことを特徴とする球状体測定装置。 - （２）ワーククランプ機構は、被測定球状体における測
定位置を変更する回転モータを備えた特許請求の範囲第
（１）項記載の球状体測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27755085A JPS62135711A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 球状体測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27755085A JPS62135711A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 球状体測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62135711A true JPS62135711A (ja) | 1987-06-18 |
Family
ID=17585094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27755085A Pending JPS62135711A (ja) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | 球状体測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62135711A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5116234A (en) * | 1990-09-05 | 1992-05-26 | Dr.-Ing. Hofler Messgeratebau Gmbh | Measuring arrangement for rotationally symmetrical workpieces |
| JPH0569615U (ja) * | 1992-02-24 | 1993-09-21 | キーパー株式会社 | ベローズ製品の肉厚測定装置 |
| JPH11223502A (ja) * | 1998-02-04 | 1999-08-17 | Nippon Seiko Kk | ボール径寸法自動測定装置 |
| JP2007024904A (ja) * | 2006-09-01 | 2007-02-01 | Nsk Ltd | 球面体の表面形状評価方法及び評価装置 |
| DE102012104017A1 (de) * | 2012-05-08 | 2013-11-14 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messeinrichtung und Verfahren zur Messung von Kugeln |
| CN105004308A (zh) * | 2015-06-05 | 2015-10-28 | 无锡凹凸自动化科技有限公司 | 一种球面滚子圆度测量仪 |
-
1985
- 1985-12-10 JP JP27755085A patent/JPS62135711A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5116234A (en) * | 1990-09-05 | 1992-05-26 | Dr.-Ing. Hofler Messgeratebau Gmbh | Measuring arrangement for rotationally symmetrical workpieces |
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| JP2007024904A (ja) * | 2006-09-01 | 2007-02-01 | Nsk Ltd | 球面体の表面形状評価方法及び評価装置 |
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| CN105004308B (zh) * | 2015-06-05 | 2017-07-18 | 无锡凹凸自动化科技有限公司 | 一种球面滚子圆度测量仪 |
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