JPH0790218B2 - 純水製造装置 - Google Patents
純水製造装置Info
- Publication number
- JPH0790218B2 JPH0790218B2 JP61257528A JP25752886A JPH0790218B2 JP H0790218 B2 JPH0790218 B2 JP H0790218B2 JP 61257528 A JP61257528 A JP 61257528A JP 25752886 A JP25752886 A JP 25752886A JP H0790218 B2 JPH0790218 B2 JP H0790218B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anion
- tower
- cation
- break
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はカチオン交換樹脂およびアニオン交換樹脂を
用いる純水製造装置に関するものである。
用いる純水製造装置に関するものである。
〔従来の技術〕 第５図は特開昭55−34117号に記載された従来の純水製
造装置の系統図である。
造装置の系統図である。
図において１は第１カチオン塔、２は脱ガス塔、３は第
１アニオン塔、４は第２カチオン塔、５は第２アニオン
塔であり、シリーズに連絡されている。第１カチオン塔
１および第２カチオン塔４にはそれぞれ強酸性カチオン
交換樹脂床が形成されており、第１アニオン塔３、第２
アニオン塔５にはそれぞれ強酸基性アニオン交換樹脂床
が形成されている。
１アニオン塔、４は第２カチオン塔、５は第２アニオン
塔であり、シリーズに連絡されている。第１カチオン塔
１および第２カチオン塔４にはそれぞれ強酸性カチオン
交換樹脂床が形成されており、第１アニオン塔３、第２
アニオン塔５にはそれぞれ強酸基性アニオン交換樹脂床
が形成されている。
原水は管６から第１カチオン塔１に入り、ここで脱カチ
オンされ、管７から脱ガス塔２に入り、ここで炭酸ガス
などのガスが除かれる。脱ガス水は管８から第１アニオ
ン塔３に入って脱アニオンされ、管９から第２カチオン
塔４、さらに管10から第２アニオン塔５に入りそれぞれ
脱カチオンおよび脱アニオンされ、管11から純水となっ
て流出する。第２アニオン塔５から１価カチオンが漏出
しはじめる時点で電導度計12の信号により採水工程を終
る。
オンされ、管７から脱ガス塔２に入り、ここで炭酸ガス
などのガスが除かれる。脱ガス水は管８から第１アニオ
ン塔３に入って脱アニオンされ、管９から第２カチオン
塔４、さらに管10から第２アニオン塔５に入りそれぞれ
脱カチオンおよび脱アニオンされ、管11から純水となっ
て流出する。第２アニオン塔５から１価カチオンが漏出
しはじめる時点で電導度計12の信号により採水工程を終
る。
再生工程では管13から第２カチオン塔４に再生剤（塩
酸、硫酸等）を下向流で流した後、管14から第１カチオ
ン塔１に下向流で流して管15から排出し、また管16から
第２アニオン塔５に再生剤（水酸化ナトリウム等）を下
向流で流した後、管17から第１アニオン塔３に下向流で
流し、管18から排出して再生を行う。
酸、硫酸等）を下向流で流した後、管14から第１カチオ
ン塔１に下向流で流して管15から排出し、また管16から
第２アニオン塔５に再生剤（水酸化ナトリウム等）を下
向流で流した後、管17から第１アニオン塔３に下向流で
流し、管18から排出して再生を行う。
上記の装置では、原水の電導度を検出する電導度計19、
第１アニオン塔３出口の電導度を検出する電動度計20、
第１アニオン塔３出口のpHを検出するpH計21、通水流量
を検出する流量計22が設けられており、これらの信号を
解析して次回の再生剤量を演算するようになっている。
第１アニオン塔３出口の電導度を検出する電動度計20、
第１アニオン塔３出口のpHを検出するpH計21、通水流量
を検出する流量計22が設けられており、これらの信号を
解析して次回の再生剤量を演算するようになっている。
しかしながら、このような従来の純水製造装置において
は、第１アニオン塔３からイオンが漏出した後も第２カ
チオン塔４の交換容量いっぱい採水を続け、第２アニオ
ン塔５の出口に設けられた電導度計12により最終処理水
の電導度を検出して採水を停止するようになっているた
め、最終処理水にシリカが漏出するという問題点があっ
た。
は、第１アニオン塔３からイオンが漏出した後も第２カ
チオン塔４の交換容量いっぱい採水を続け、第２アニオ
ン塔５の出口に設けられた電導度計12により最終処理水
の電導度を検出して採水を停止するようになっているた
め、最終処理水にシリカが漏出するという問題点があっ
た。
上記の装置ではこのようなことを防止するために、カチ
オンブレーク（処理水中にアニオンより先にカチオンが
漏出すること）になるように設計されているが、それで
も水質移動、樹脂の劣化、再生不完全などの理由によ
り、アニオンブレークになることがあった。アニオンブ
レークの場合にはシリカが最初に漏出するが、シリカが
漏出しても電導度計ではこれをチェックすることはでき
ず、採水工程終了の判断を誤るとともに、シリカは高圧
ボイラの硬質スケールの原因や半導体製造における不良
品の原因となるため絶対に阻止する必要がある。
オンブレーク（処理水中にアニオンより先にカチオンが
漏出すること）になるように設計されているが、それで
も水質移動、樹脂の劣化、再生不完全などの理由によ
り、アニオンブレークになることがあった。アニオンブ
レークの場合にはシリカが最初に漏出するが、シリカが
漏出しても電導度計ではこれをチェックすることはでき
ず、採水工程終了の判断を誤るとともに、シリカは高圧
ボイラの硬質スケールの原因や半導体製造における不良
品の原因となるため絶対に阻止する必要がある。
この発明は上記問題点を解決するためのもので、シリカ
の漏出を防止することができる純粋製造装置を提供する
ことを目的としている。
の漏出を防止することができる純粋製造装置を提供する
ことを目的としている。
この発明は、原水の脱塩を行う第１のカチオン塔および
第１のアニオン塔と、その処理水に漏出する不純物を除
去するポリッシャとしての第２のカチオン塔および第２
のアニオン塔と、第１のアニオン塔出口の電導度および
pHを検出する検出手段と、これらの検出結果を、漏出イ
オンの種類およびイオン量の変化に伴うpHと電導度の変
化に対応する値と比較することにより、イオンブレーク
がカチオンブレーク領域にあるかまたはアニオンブレー
ク領域にあるかを判定し、カチオンブレーク領域の場合
は所定の電導度で採水を停止し、アニオンブレーク領域
の場合は第１のアニオン塔から許容濃度を越えるシリカ
が漏出する前に採水を停止するように演算制御する演算
制御装置とを含む純水製造装置である。
第１のアニオン塔と、その処理水に漏出する不純物を除
去するポリッシャとしての第２のカチオン塔および第２
のアニオン塔と、第１のアニオン塔出口の電導度および
pHを検出する検出手段と、これらの検出結果を、漏出イ
オンの種類およびイオン量の変化に伴うpHと電導度の変
化に対応する値と比較することにより、イオンブレーク
がカチオンブレーク領域にあるかまたはアニオンブレー
ク領域にあるかを判定し、カチオンブレーク領域の場合
は所定の電導度で採水を停止し、アニオンブレーク領域
の場合は第１のアニオン塔から許容濃度を越えるシリカ
が漏出する前に採水を停止するように演算制御する演算
制御装置とを含む純水製造装置である。
この発明の純水製造装置においては、第１のカチオン塔
および第１のアニオン塔に通水して脱塩を行う。そして
その処理水を第２のカチオン塔および第２のアニオン塔
に通水して、処理水に含まれる微量の不純物を除去す
る。そして検出手段により第１のアニオン塔出口の電導
度およびpHを測定し、その測定結果を演算制御装置にお
いて、漏出イオンの種類およびイオン量の変化に伴うpH
と電導度の変化に対応する値と比較することにより、イ
オンブレーカがカチオンブレーク領域にあるかアニオン
ブレーク領域にあるかを判断する。その結果カチオンブ
レーク領域のときは所定の電導度で採水を停止し、アニ
オンブレーク領域のときは処理水の電導度およびpHから
シリカの漏出量を演算し、その許容範囲を越える前に採
水を停止するように演算制御を行う。再生は第２のカチ
オン塔から第１のカチオン塔へ再生剤を流し、また第２
のアニオン塔から第１のアニオン塔へ別の再生剤を流し
て再生する。
および第１のアニオン塔に通水して脱塩を行う。そして
その処理水を第２のカチオン塔および第２のアニオン塔
に通水して、処理水に含まれる微量の不純物を除去す
る。そして検出手段により第１のアニオン塔出口の電導
度およびpHを測定し、その測定結果を演算制御装置にお
いて、漏出イオンの種類およびイオン量の変化に伴うpH
と電導度の変化に対応する値と比較することにより、イ
オンブレーカがカチオンブレーク領域にあるかアニオン
ブレーク領域にあるかを判断する。その結果カチオンブ
レーク領域のときは所定の電導度で採水を停止し、アニ
オンブレーク領域のときは処理水の電導度およびpHから
シリカの漏出量を演算し、その許容範囲を越える前に採
水を停止するように演算制御を行う。再生は第２のカチ
オン塔から第１のカチオン塔へ再生剤を流し、また第２
のアニオン塔から第１のアニオン塔へ別の再生剤を流し
て再生する。
以下、この発明を図面の実施例により説明する。第１図
は実施例の系統図であり、第５図と同一符号は同一また
は相当部分を示す。第１カチオン塔１、脱ガス塔２、第
１アニオン塔３、第２カチオン塔４および第２アニオン
塔５はシリーズに接続されている。第１カチオン塔１に
は強酸性カチオン交換樹脂床、または強酸性カチオン樹
脂層と弱酸性カチオン樹脂層とからなる複層床が形成さ
れている。第２カチオン塔４には強酸性カチオン交換樹
脂床が形成されている。第１アニオン塔３には強塩基性
アニオン交換樹脂床、または強塩基性アニオン交換樹脂
床層と弱塩基性アニオン交換樹脂床層とからなる複層床
が形成されている。第２アニオン塔５には強塩基性アニ
オン交換樹脂床が形成されている。第１カチオン塔１お
よび第１アニオン塔３は主たるイオン交換により脱塩を
行うもので、それぞれ上向流で通水するようになってい
る。第２カチオン塔４および第２アニオン塔５は不純物
を除去するポリッシャとして用いられるもので、それぞ
れSV（空間速度）100hr-1程度の通常の混床型ポリッシ
ャーに充填されるカチオン交換樹脂およびアニオン交換
樹脂と同容量の樹脂が充填され、下向流で通水を行うよ
うになっている。各塔の再生はそれぞれ下向流でシリー
ズに行うようになっている。
は実施例の系統図であり、第５図と同一符号は同一また
は相当部分を示す。第１カチオン塔１、脱ガス塔２、第
１アニオン塔３、第２カチオン塔４および第２アニオン
塔５はシリーズに接続されている。第１カチオン塔１に
は強酸性カチオン交換樹脂床、または強酸性カチオン樹
脂層と弱酸性カチオン樹脂層とからなる複層床が形成さ
れている。第２カチオン塔４には強酸性カチオン交換樹
脂床が形成されている。第１アニオン塔３には強塩基性
アニオン交換樹脂床、または強塩基性アニオン交換樹脂
床層と弱塩基性アニオン交換樹脂床層とからなる複層床
が形成されている。第２アニオン塔５には強塩基性アニ
オン交換樹脂床が形成されている。第１カチオン塔１お
よび第１アニオン塔３は主たるイオン交換により脱塩を
行うもので、それぞれ上向流で通水するようになってい
る。第２カチオン塔４および第２アニオン塔５は不純物
を除去するポリッシャとして用いられるもので、それぞ
れSV（空間速度）100hr-1程度の通常の混床型ポリッシ
ャーに充填されるカチオン交換樹脂およびアニオン交換
樹脂と同容量の樹脂が充填され、下向流で通水を行うよ
うになっている。各塔の再生はそれぞれ下向流でシリー
ズに行うようになっている。
上記の純水製造装置においては、原水は管６から第１カ
チオン塔１に入り、ここで上向流通水により脱カチオン
され、管７から脱ガス塔２に入り、ここで炭酸ガスなど
のガスが除かれる。脱ガス水は管８から第アニオン塔３
に入って、下向流通水により脱アニオンされ脱塩され
る。処理水は管９から第２カチオン塔４、さらに管10か
ら第２アニオン塔５に入り、それぞれ残留する不純物と
してのカチオンおよびアニオンがポリッシングにより除
去され、管11から純水となって流出する。
チオン塔１に入り、ここで上向流通水により脱カチオン
され、管７から脱ガス塔２に入り、ここで炭酸ガスなど
のガスが除かれる。脱ガス水は管８から第アニオン塔３
に入って、下向流通水により脱アニオンされ脱塩され
る。処理水は管９から第２カチオン塔４、さらに管10か
ら第２アニオン塔５に入り、それぞれ残留する不純物と
してのカチオンおよびアニオンがポリッシングにより除
去され、管11から純水となって流出する。
再生工程では管13から第２カチオン塔４に再生剤（塩
酸、硫酸等）を下向流で流した後、管14から第１カチオ
ン塔１に下向流で流して管15から排出し、また管16から
第２アニオ塔５に再生剤（水酸化ナトリウム等）を下向
流で流した後、管17から第１アニオン塔３に下向流で流
し、管18から排出して再生を行う。
酸、硫酸等）を下向流で流した後、管14から第１カチオ
ン塔１に下向流で流して管15から排出し、また管16から
第２アニオ塔５に再生剤（水酸化ナトリウム等）を下向
流で流した後、管17から第１アニオン塔３に下向流で流
し、管18から排出して再生を行う。
制御部の詳細は第２図に示されている。電導度計19の電
導度信号C1、電導度計20の電導度信号C2、pH21のpH信号
Ｐ、電導度計12の電導度信号C3および流量計22の流量信
号Ｆはそれぞれ演算制御装置23の入力部24に送られる。
入力部24では各信号がＡ−Ｄ変換されるとともに、必要
な入力信号が選択されて演算部25に入力される。同様に
メモリ26に記憶された信号および設定部27の設定信号が
演算部25に入力されて演算が行われ、結果は出力装置28
に出力され、制御および表示が行われる。
導度信号C1、電導度計20の電導度信号C2、pH21のpH信号
Ｐ、電導度計12の電導度信号C3および流量計22の流量信
号Ｆはそれぞれ演算制御装置23の入力部24に送られる。
入力部24では各信号がＡ−Ｄ変換されるとともに、必要
な入力信号が選択されて演算部25に入力される。同様に
メモリ26に記憶された信号および設定部27の設定信号が
演算部25に入力されて演算が行われ、結果は出力装置28
に出力され、制御および表示が行われる。
次に処理順序に従って制御機構を説明する。まず演算制
御装置23において、電導度計19の電導度信号C1および流
量計22の流量信号Ｆにより予測採水量が演算される。ま
た電導計20の電導度信号C2およびpH計21のpH信号Ｐによ
り第１アニオン塔３のカチオンブレークまたはアニオン
ブレークが検出され、これにより演算制御装置23におい
て第１アニオン塔３を出る処理水への許容濃度を越える
シリカの漏出の時点が演算され、結果が出力装置28に出
力される。
御装置23において、電導度計19の電導度信号C1および流
量計22の流量信号Ｆにより予測採水量が演算される。ま
た電導計20の電導度信号C2およびpH計21のpH信号Ｐによ
り第１アニオン塔３のカチオンブレークまたはアニオン
ブレークが検出され、これにより演算制御装置23におい
て第１アニオン塔３を出る処理水への許容濃度を越える
シリカの漏出の時点が演算され、結果が出力装置28に出
力される。
この場合、第１アニオン塔３から漏出するイオン量と電
導度の関係は第３図に示され、pHと電導度の関係は第４
図に示される。第４図において、NaOH、Na2SiO3、NaCl
およびHClのグラフは、それぞれ純粋試薬を純水に添加
した場合、添加量に応じたpHおよび電導度の変化を示す
ものである。本発明においてカチオンブレーク領域と
は、第４図においてNaOHのグラフおよびNa2SiO3のグラ
フよってはさまれた領域（NaOHの線上を含む）であり、
アニオンブレーク領域とはNa2SiO3のグラフおよびHClの
グラフによってはさまれた領域（HClの線上を含む）で
ある。カチオンブレーク領域でカチオンだけが漏出する
ときはNaOHのグラフに沿って変化し、アニオンブレーク
領域でアニオンだけが漏出するときはHClのグラフに沿
って変化する。カチオンとアニオンが漏出するときは、
Na2SiO3、NaClなどが混在するため、NaOHのグラフとHCl
のグラフではさまれた領域の中で変化する。またアニオ
ンブレーク領域の場合はClイオンに先立ってシリカが漏
出するが、シリカだけが漏出している間は電導度および
pHの変化はない。
導度の関係は第３図に示され、pHと電導度の関係は第４
図に示される。第４図において、NaOH、Na2SiO3、NaCl
およびHClのグラフは、それぞれ純粋試薬を純水に添加
した場合、添加量に応じたpHおよび電導度の変化を示す
ものである。本発明においてカチオンブレーク領域と
は、第４図においてNaOHのグラフおよびNa2SiO3のグラ
フよってはさまれた領域（NaOHの線上を含む）であり、
アニオンブレーク領域とはNa2SiO3のグラフおよびHClの
グラフによってはさまれた領域（HClの線上を含む）で
ある。カチオンブレーク領域でカチオンだけが漏出する
ときはNaOHのグラフに沿って変化し、アニオンブレーク
領域でアニオンだけが漏出するときはHClのグラフに沿
って変化する。カチオンとアニオンが漏出するときは、
Na2SiO3、NaClなどが混在するため、NaOHのグラフとHCl
のグラフではさまれた領域の中で変化する。またアニオ
ンブレーク領域の場合はClイオンに先立ってシリカが漏
出するが、シリカだけが漏出している間は電導度および
pHの変化はない。
そこで電導度計20の電導度信号C2およびpH計21のpH信号
Ｐの変化を計測し、それらの値を、NaOH、Na2SiO3およ
びHCl等の漏出イオンの種類ならびにそのイオン量の変
化に伴うpHと電導度の変化に対応する値とを比較するこ
とにより、イオンブレークがカチオンブレーク領域であ
るかアニオンブレーク領域であるかが検出される。この
場合、電導度信号C2およびpH信号Ｐの変化が第４図のNa
OHおよびNa2SiO3のグラフによりはさまれた領域（NaOH
の線上を含む）にある場合はカチオンブレークと判定
し、Na2SiO3およびHClのグラフによりはさまれた領域
（HClの線上を含む）にある場合はアニオンブレークと
判定する。ここでカチオンブレーク領域の場合、すなわ
ち第４図のNaOHとNa2SiO3のグラフで挟まれた領域では
所定の電導度Ａ例えば20μS/cmとなったときに採水を停
止する。このときの採水の停止は電導度計20によって行
ってもよいが、流量計22の流量信号Ｆ等により第１アニ
オン塔３の処理水が電導度Ａになる時点を演算制御装置
23で演算し、その時点で採水の停止を行ってもよい。
Ｐの変化を計測し、それらの値を、NaOH、Na2SiO3およ
びHCl等の漏出イオンの種類ならびにそのイオン量の変
化に伴うpHと電導度の変化に対応する値とを比較するこ
とにより、イオンブレークがカチオンブレーク領域であ
るかアニオンブレーク領域であるかが検出される。この
場合、電導度信号C2およびpH信号Ｐの変化が第４図のNa
OHおよびNa2SiO3のグラフによりはさまれた領域（NaOH
の線上を含む）にある場合はカチオンブレークと判定
し、Na2SiO3およびHClのグラフによりはさまれた領域
（HClの線上を含む）にある場合はアニオンブレークと
判定する。ここでカチオンブレーク領域の場合、すなわ
ち第４図のNaOHとNa2SiO3のグラフで挟まれた領域では
所定の電導度Ａ例えば20μS/cmとなったときに採水を停
止する。このときの採水の停止は電導度計20によって行
ってもよいが、流量計22の流量信号Ｆ等により第１アニ
オン塔３の処理水が電導度Ａになる時点を演算制御装置
23で演算し、その時点で採水の停止を行ってもよい。
次にアニオンブレーク領域の場合、すなわち第４図のHC
lとNa2SiO3のグラフで挟まれる領域では、SiO2が先に漏
出し、その後にClイオンまたはNaイオンが漏出する。こ
のうちSiO2のみの漏出では電導度およびpHに変化は現わ
れず、ClイオンまたはNaイオンが漏出して初めて変化が
現われる。従って電導度およびpHが変化した時点では、
すでにシリカが第１アニオン塔３から漏出している。
lとNa2SiO3のグラフで挟まれる領域では、SiO2が先に漏
出し、その後にClイオンまたはNaイオンが漏出する。こ
のうちSiO2のみの漏出では電導度およびpHに変化は現わ
れず、ClイオンまたはNaイオンが漏出して初めて変化が
現われる。従って電導度およびpHが変化した時点では、
すでにシリカが第１アニオン塔３から漏出している。
第１アニオン塔３から許容濃度を越えるシリカが漏出す
る時点の演算は電導度計20の電導度信号C2およびpH計21
のpH信号Ｐにより第１アニオン塔３出口のClイオン等を
演算し、その量に所定の係数ｆを乗じ、その値が所定の
値となる時点を漏出の時点とする。Clイオンより先に漏
出するシリカの量は原水水質、樹脂量、通水条件、再生
条件により異なるが、特定の処理系ではほぼ一定であ
り、Clイオン量に一定の係数ｆ（例えば10）を乗じるこ
とにより、シリカの量が算出できる。この値は近似値で
あるが、第２アニオン塔５に若干の余裕を持たせること
により、最終処理水へのシリカの漏出は防止される。こ
うして算出される第１アニオン塔出口のシリカの許容量
はClイオン量と一定関係にあるため電導度、pHとも一定
の関係を有し、その関係は第４図の曲線BDQ表わされ
る。従ってイオンブレークがアニオンブレーク領域の場
合は、電導度、pHが曲線Ｂに一致した時点で採水を停止
することになる。こうして第４図において斜線部分は採
水領域であり、これを外れた部分は採水停止領域とな
る。
る時点の演算は電導度計20の電導度信号C2およびpH計21
のpH信号Ｐにより第１アニオン塔３出口のClイオン等を
演算し、その量に所定の係数ｆを乗じ、その値が所定の
値となる時点を漏出の時点とする。Clイオンより先に漏
出するシリカの量は原水水質、樹脂量、通水条件、再生
条件により異なるが、特定の処理系ではほぼ一定であ
り、Clイオン量に一定の係数ｆ（例えば10）を乗じるこ
とにより、シリカの量が算出できる。この値は近似値で
あるが、第２アニオン塔５に若干の余裕を持たせること
により、最終処理水へのシリカの漏出は防止される。こ
うして算出される第１アニオン塔出口のシリカの許容量
はClイオン量と一定関係にあるため電導度、pHとも一定
の関係を有し、その関係は第４図の曲線BDQ表わされ
る。従ってイオンブレークがアニオンブレーク領域の場
合は、電導度、pHが曲線Ｂに一致した時点で採水を停止
することになる。こうして第４図において斜線部分は採
水領域であり、これを外れた部分は採水停止領域とな
る。
なお上記の説明では主たる純水製造装置として２床３塔
式のものを例示したが、脱ガス塔２を省略し、あるいは
弱カチオン塔を加えて２床式、３床式、３床４塔式な
ど、任意の構成のものとしてもよい。またポリッシャと
しては２床式のものでもよく、さらにカチオン塔を加え
て３床式としてもよい。
式のものを例示したが、脱ガス塔２を省略し、あるいは
弱カチオン塔を加えて２床式、３床式、３床４塔式な
ど、任意の構成のものとしてもよい。またポリッシャと
しては２床式のものでもよく、さらにカチオン塔を加え
て３床式としてもよい。
以上の通り、本発明によれば、第１のアニオン塔出口の
電導度およびpHからイオンブレークがカチオンブレーク
領域にあるかアニオンブレーク領域にあるかを判定し、
アニオンブレーク領域の場合は漏出したシリカの量を演
算して採水を停止するようにしたので、簡単な構成およ
び操作により、カチオンブレーク領域がアニオンブレー
ク領域かの判定を正確かつ迅速に行うことができ、シリ
カの漏出を完全に防止できる効果がある。
電導度およびpHからイオンブレークがカチオンブレーク
領域にあるかアニオンブレーク領域にあるかを判定し、
アニオンブレーク領域の場合は漏出したシリカの量を演
算して採水を停止するようにしたので、簡単な構成およ
び操作により、カチオンブレーク領域がアニオンブレー
ク領域かの判定を正確かつ迅速に行うことができ、シリ
カの漏出を完全に防止できる効果がある。
第１図は実施例の系統図、第２図はその制御装置のブロ
ック図、第３図はイオン量と電導度の関係を示すグラ
フ、第４図はpHと電導度の関係を示すグラフ、第５図は
従来装置の系統図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、１は第
１カチオン塔、２は脱ガス塔、３は第１アニオン塔、４
は第２カチオン塔、５は第２アニオン塔、12,19,20は電
導度計、21はpH計、22は流量計、23は演算制御装置であ
る。
ック図、第３図はイオン量と電導度の関係を示すグラ
フ、第４図はpHと電導度の関係を示すグラフ、第５図は
従来装置の系統図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、１は第
１カチオン塔、２は脱ガス塔、３は第１アニオン塔、４
は第２カチオン塔、５は第２アニオン塔、12,19,20は電
導度計、21はpH計、22は流量計、23は演算制御装置であ
る。
Claims (3)
- 【請求項１】原水の脱塩を行う第１のカチオン塔および
第１のアニオン塔と、 その処理水に漏出する不純物を除去するポリッシャとし
ての第２のカチオン塔および第２のアニオン塔と、 第１のアニオン塔出口の電導度およびpHを検出する検出
手段と、 これらの検出結果を、漏出イオンの種類およびイオン量
の変化に伴うpHと電導度の変化に対応する値と比較する
ことにより、イオンブレークがカチオンブレーク領域に
あるかまたはアニオンブレーク領域にあるかを判定し、
カチオンブレーク領域の場合は所定の電導度で採水を停
止し、アニオンブレーク領域の場合は第１のアニオン塔
から許容濃度を越えるシリカが漏出する前に採水を停止
するように演算制御する演算制御装置と を含む純水製造装置。 - 【請求項２】演算制御装置はイオンブレークがカチオン
ブレーク領域の場合において、許容電導度を演算し、採
水を停止するものである特許請求の範囲第１項記載の純
水製造装置。 - 【請求項３】演算制御装置はイオンブレークがアニオン
ブレーク領域の場合において、許容シリカの漏出量に対
応するClイオン量を演算し、採水を停止するものである
特許請求の範囲第１項または第２項記載の純水製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61257528A JPH0790218B2 (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61257528A JPH0790218B2 (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 純水製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63111994A JPS63111994A (ja) | 1988-05-17 |
| JPH0790218B2 true JPH0790218B2 (ja) | 1995-10-04 |
Family
ID=17307543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61257528A Expired - Fee Related JPH0790218B2 (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 純水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0790218B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101017918B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2011-03-04 | 박병호 | 이온교환수지를 이용한 이온 환원수 제조방법 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5518433B2 (ja) * | 2009-11-04 | 2014-06-11 | オルガノ株式会社 | 純水製造システムおよび純水製造方法 |
| JP6205865B2 (ja) * | 2013-06-04 | 2017-10-04 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置の運転管理方法 |
| JP6221842B2 (ja) * | 2014-03-05 | 2017-11-01 | 三浦工業株式会社 | 処理水製造装置 |
| JP6387637B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2018-09-12 | 栗田工業株式会社 | イオン交換装置及びイオン交換処理方法 |
| JP6303959B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2018-04-04 | 三浦工業株式会社 | 水処理システム |
| JP7018325B2 (ja) * | 2018-02-01 | 2022-02-10 | 株式会社神鋼環境ソリューション | 排水処理設備及び排水処理方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56108588A (en) * | 1980-02-01 | 1981-08-28 | Kurita Water Ind Ltd | Desalinator |
| JPS60166081A (ja) * | 1984-02-03 | 1985-08-29 | Kurita Water Ind Ltd | 純水製造装置のシリカブレ−ク検出装置 |
-
1986
- 1986-10-29 JP JP61257528A patent/JPH0790218B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101017918B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2011-03-04 | 박병호 | 이온교환수지를 이용한 이온 환원수 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63111994A (ja) | 1988-05-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2951418B2 (ja) | 試料液成分分析装置 | |
| JP4600617B2 (ja) | 陰イオン交換樹脂の性能評価方法及び装置並びに復水脱塩装置 | |
| JPH0790218B2 (ja) | 純水製造装置 | |
| US3676336A (en) | Method and apparatus for water softening | |
| EP0777120B1 (en) | Apparatus for detecting anions in water | |
| JP7217590B2 (ja) | 純水製造装置及び純水製造方法 | |
| JP4864671B2 (ja) | 水質異常検出装置、水質異常検出方法及び水処理装置 | |
| CN107561127A (zh) | 一种集成自再生氢电导率阴电导率和总电导率的测量装置 | |
| JPH0142750B2 (ja) | ||
| JPS6153116B2 (ja) | ||
| JPS60172391A (ja) | 純水製造装置 | |
| JPH09271770A (ja) | カートリッジ式純水製造装置 | |
| RU2738692C1 (ru) | Способ идентификации блока, служащего причиной утечки неочищенной воды в конденсаторе тепловой электростанции | |
| JP4204712B2 (ja) | カチオン検出装置、カチオン検出方法、水処理装置、及び超純水製造装置 | |
| JPH08117744A (ja) | イオン交換装置のブレーク検知方法 | |
| JPH055998Y2 (ja) | ||
| JPH07270212A (ja) | 塩水タンクの水位および塩水濃度検知装置 | |
| JP7193921B2 (ja) | 純水製造装置 | |
| JP2002018434A (ja) | 純水製造装置の運転方法 | |
| JPH0318930Y2 (ja) | ||
| JP2851442B2 (ja) | イオン交換装置で使用されるイオン交換樹脂の性能評価方法及び装置 | |
| JPH0980007A (ja) | イオン交換樹脂のイオン組成測定装置 | |
| JP3974732B2 (ja) | 海水漏洩検出装置 | |
| JPH09107999A (ja) | イオン交換樹脂を用いたショ糖液の脱塩方法 | |
| JPH0656379B2 (ja) | 硬水検知装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |