JP4204712B2

JP4204712B2 - カチオン検出装置、カチオン検出方法、水処理装置、及び超純水製造装置

Info

Publication number: JP4204712B2
Application number: JP23169399A
Authority: JP
Inventors: 利彦中村; 一規正木
Original assignee: Nomura Micro Science Co Ltd
Current assignee: Nomura Micro Science Co Ltd
Priority date: 1999-08-18
Filing date: 1999-08-18
Publication date: 2009-01-07
Anticipated expiration: 2019-08-18
Also published as: JP2001056323A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は水処理装置に係り、更に詳細にはイオン交換カラムなどの水処理ユニットを通過して流下するカチオンを高精度に検出することのできるカチオン検出装置、カチオン検出方法、水処理装置、及び超純水製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より市水や工業用水から水の純度を上げる純水製造技術が研究されている。特に先端技術の分野では、半導体を製造する際に超純水が必要となるので、市水や工業用水から超純水を製造する技術が求められている。この超純水を製造するには水中の不純物を除去する必要がある。具体的には水に含まれる陽イオン、炭酸ガス、陰イオンなどを除去する。一般に、純水製造装置では、陽イオンを水処理ユニットのイオン交換樹脂でイオン交換したのち、脱気処理して炭酸ガスを除去し、しかる後に逆浸透膜で陰イオンを除去する。
【０００３】
ここで、水に含まれる陽イオンには、ナトリウムイオン（Ｎａ⁺）やカリウムイオン（Ｋ⁺）などの一価のものから、カルシウムイオン（Ｃａ²⁺）や、マグネシウムイオン（Ｍｇ²⁺）などの二価以上のものまで存在し、これらの陽イオンはまとめて「カチオン」と呼ばれる。
【０００４】
これらのカチオンは原子量及び価数の大きいものほどイオン交換樹脂との結合力が大きい。また、水処理ユニットのイオン交換樹脂が新しく、イオン交換能力が大きい間はカチオンの殆どはイオン交換されるため、カチオンのリーク量は小さいが、イオン交換樹脂が古くなるにつれてイオン交換能力が低下し、カチオンのリーク量が増大する。
【０００５】
ここで、価数の小さいナトリウムイオン（Ｎａ⁺）やカリウムイオン（Ｋ⁺）はイオン交換樹脂を通しても完全に除去することは困難であり、若干量のリークは避けられない反面、水に溶解しやすいので水処理装置の各ユニットに目詰まりなどのトラブルを引き起こすことも少ない。
【０００６】
これに対して、カルシウムイオン（Ｃａ²⁺）や、マグネシウムイオン（Ｍｇ²⁺）などの二価以上の、いわゆる硬水を構成する硬度成分は固形化合物になりやすく、これらが各ユニットを通過すると目詰まりを起こしやすい。具体的にはイオン交換カラムから二価以上のカチオンがリークすると純水製造装置の下流側の逆浸透膜を目詰まりさせてしまい、純水製造装置の機能を停止させてしまう。
【０００７】
そのため純水製造装置の運転を安定して行うためには、イオン交換カラムからのカチオンリーク量を常にモニタリングする必要がある。
【０００８】
このため従来の純水製造装置ではイオン交換カラムの処理水出口側にカチオン検出装置を配設して処理水中のカルシウムイオン（Ｃａ²⁺）やマグネシウムイオン（Ｍｇ²⁺）などの二価以上の硬度成分の有無を分析してイオン交換樹脂のイオン交換能力をモニタリングしている。この従来のカチオン検出装置ではカルマガイド比色法を利用しており、処理水にカルマガイド指示薬を添加し、その発色を波長５２０ｎｍの光で測定し、カルシウムイオンやマグネシウムイオンの量を測定する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに、この方法では、定量純水装置、恒温装置、定量注入装置、試薬貯留装置、攪拌装置、定光源発光装置、定電流変換装置、演算装置、といった複雑な分析装置を必要とする。これらの装置からなる分析装置は分析精度は高いものの、高価な上に複雑かつ繊細で故障がおきやすい。特に工場などの製造現場では振動や熱、ガス、電磁波などの外乱因子が多く、精密な分析装置の機能を維持するのは容易ではないという問題がある。
【００１０】
本発明はこれら従来の問題を解決するためになされた発明である。
【００１１】
即ち、本発明は構造が簡単で故障しにくく、しかも安価で精度の高いリークカチオンを検出することのできるカチオン検出装置やカチオン検出方法を提供することを目的とする。
【００１２】
更に本発明はそのようなカチオン検出装置やカチオン検出方法を応用した水処理装置や超純水製造装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明のカチオン検出装置は、イオン交換樹脂が充填され、水処理ユニットの出口側に接続される測定用カラムと、前記測定用カラムの水移動方向上流側に配設された第１のｐＨメータと、前記測定用カラムの水移動方向下流側に配設された第２のｐＨメータと、前記第１のｐＨメータ測定値及び前記第２のｐＨメータ測定値に基づいて、処理水中のカチオンリーク率を割り出す演算手段と、を具備する。
【００１４】
上記カチオン検出装置において、前記演算手段は、前記カチオンリーク率が所定の値になったときに告知する機能を備えていることが好ましい。
【００１５】
上記発明において水処理ユニットとは、イオン交換カラムなどの水処理を行う装置をいう。
【００１６】
本発明の水処理装置は、イオン交換樹脂が充填され、原水をイオン交換するイオン交換カラムと、前記イオン交換カラムの出口側に接続される測定用カラムと、前記測定用カラムの水移動方向上流側に配設された第１のｐＨメータと、前記測定用カラムの水移動方向下流側に配設された第２のｐＨメータと、前記第１のｐＨメータ測定値及び前記第２のｐＨメータ測定値に基づいて、処理水中のカチオンリーク率を割り出す演算手段と、を具備する。
【００１７】
本発明の超純水製造装置は、イオン交換樹脂が充填され、原水をイオン交換するイオン交換カラムと、前記イオン交換カラムの水移動方向下流側に配設され、前記イオン交換カラムで処理された水を脱気する脱気ユニットと、前記脱気ユニットの水移動方向下流側に配設され、前記脱気ユニットで脱気された水からイオンや有機物などの不純物を除去する逆浸透濾過ユニットと、前記イオン交換カラムと前記脱気ユニットとの間を流下する水をサンプリングする分岐配管と、前記分岐配管に接続される測定用カラムと、前記測定用カラムの水移動方向上流側に配設された第１のｐＨメータと、前記測定用カラムの水移動方向下流側に配設された第２のｐＨメータと、前記第１のｐＨメータ測定値及び前記第２のｐＨメータ測定値に基づいて、処理水中のカチオンリーク率を割り出す演算手段と、を具備する。
【００１８】
本発明のカチオン検出方法は、水処理ユニットから吐出される処理水のｐＨを測定する一方で、該処理水の一部をイオン交換樹脂が充填された測定用カラムに通し、該測定用カラム通過後の水のｐＨ基準値を測定し、前記処理水のｐＨ測定値と、前記ｐＨ基準値との差をモニタリングすることにより前記水処理ユニットのカチオンリーク率を検出することを特徴とする。
【００１９】
上記方法において、ｐＨ基準値とは、測定用カラムでイオン交換後に排出された水のｐＨ値をいう。
【００２０】
上記の本発明では、測定用カラムと、その前後に配設した二つのｐＨメータと、演算手段とから構成されるという、既存の装置を巧みに組み合わせた単純な構成となっているので、構造が簡単で故障しにくく、しかも安価で精度の高いリークカチオンを検出することのできるカチオン検出装置やカチオン検出方法、水処理装置や超純水製造装置を提供することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００２２】
図１は本実施形態に係る超純水製造装置１の概略構成を図示したフローシートである。
【００２３】
この超純水製造装置１では図１に示したように、イオン交換ユニット１０、脱気ユニット２０、逆浸透濾過ユニット３０が水の移動方向に関して直列に配設されており、これらイオン交換ユニット１０、脱気ユニット２０、及び逆浸透濾過ユニット３０相互間は配管１０１及び１０２で接続されている。更にイオン交換ユニット１０には原水を導入する配管１０３が接続され、逆浸透濾過ユニット３０には得られた超純水を外部に供給するための配管１０４が取り付けられている。上記イオン交換ユニット１０と脱気ユニット２０とを結ぶ配管１０１は途中で分岐して配管１０５が取り付けられている。この配管１０５はイオン交換ユニット１０でイオン交換処理された処理水をサンプリングするための配管で、この配管１０５の先には本発明に係るカチオン検出装置４０が取り付けられている。
【００２４】
図２はイオン交換ユニット１０とカチオン検出装置４０取り付け部分を拡大した部分拡大図である。図２に示したように、イオン交換ユニット１０はイオン交換塔１１内にイオン交換カラム１２が収容されており、このイオン交換カラム１２内に大量のイオン交換樹脂が充填されている。
【００２５】
図３は本発明に係るカチオン検出装置４０の概略構造を示した図である。図３に示したように、カチオン検出装置４０は配管１０５に沿って流量調節装置５０、測定用カラム４１が配設されており、測定用カラム４１と配管１０５との間は、測定用カラム頂部に配設されたコネクタ４２とこのコネクタ４２と接続された配管１０５ｂ及び配管１０５ｃとにより接続されている。
【００２６】
配管１０５の上流側に配設された上流側配管１０５ａの途中には、測定用カラム４１より上流側の水のｐＨを測定するための上流側ｐＨ電極４４が埋設されており、同様に、配管１０５の測定用カラム４１より下流側に配設された下流側配管１０５ｃの途中には、測定用カラム４１より下流側の水のｐＨを測定するための下流側ｐＨ電極４６が埋設されている。上流側ｐＨ電極４４は検知部４３を経て上流側ｐＨメータ（第１のｐＨメータ）４７に測定したｐＨ値データを送信するようになっており、同様に、下流側ｐＨ電極４６は検知部４５を経て下流側ｐＨメータ（第２のｐＨメータ）４８に測定したｐＨ値データを送信するようになっている。これらのｐＨメーター４７及び４８は共に演算処理装置４９と電気的に接続されており、上流側ｐＨ電極４４、下流側ｐＨ電極４６がそれぞれ検出したｐＨデータに基づいてカチオンリーク率を算出する。カチオンリーク率などの演算処理については後述する。
【００２７】
測定用カラム４１の内部にはイオン交換樹脂が充填されている。この測定用カラム４１では水の出し入れを頂部に配設したコネクタ４２を介して行うようになっており、配管１０５ｂからコネクタ４２を介して測定用カラム４１内部に導入された水が内部に充填されたイオン交換樹脂と接触してイオン交換処理が施された処理後の水は処理前の水の流路から隔離された別の流路を通って、再びコネクタ４２を介して配管１０５ｃ側に流出するようになっている。
【００２８】
次にこの超純水製造装置１を運転する場合の水の流動状態について説明する。
【００２９】
まず、この純水製造装置１を起動すると、図示しないポンプが作動して原水を配管１０３内に供給する。配管１０３内に供給された原水はまずイオン交換ユニット１０内に流入する。イオン交換ユニット１０内では流入した原水がユニットのイオン交換カラムに充填されたイオン交換樹脂と接触することによりイオン交換処理が施され、いわゆるカチオンの大部分はＨ⁺イオンに交換される。このイオン交換ユニット１０でイオン交換処理された処理後の水は次に配管１０５で分岐する分を除き、配管１０１を通って後続の脱気ユニット２０に送られる。脱気ユニット２０に送られた水はここで脱気処理を施されて水中の炭酸ガスを除去され、しかる後に配管１０２を通って逆浸透濾過ユニット３０に入り、ここで逆浸透膜によりイオンや有機物などの不純物を取り除かれ、配管１０４を経て装置外へ送り出される。
【００３０】
一方、配管１０１で分岐する配管１０５内に流入した処理水は、配管１０５ａ内に配設された上流側ｐＨ電極４４によりｐＨ測定された後、流量調節器５０、配管１０５ｂ、コネクタ４２を経て測定用カラム４１内に流入する。測定用カラム４１内で更にイオン交換樹脂と接触して処理水中に残存するイオンをイオン交換した後に再びコネクタ４２に戻り、配管１０５ｃ内に流れ込む。配管１０５ｃ内を流下する際に下流側ｐＨ電極４６に接触しここで再びｐＨ測定される。しかる後に配管１０５ｃを更に流下して系外に排出される。
【００３１】
上流側ｐＨ電極４４と下流側ｐＨ電極４６とでそれぞれｐＨ測定され、得られた測定値はこれらｐＨ電極４４，４６と電気的に接続されたｐＨメーター４７，４８，及び演算処理装置４９に送信される。ｐＨ測定値のデータ信号を受け取った演算処理装置４９では受信した信号データから測定用カラム４１の上流側の配管１０５ａ内の処理水のｐＨと下流側配管１０５ｃ内の処理水のｐＨとからカチオンリーク率を算出する。以下、本発明のカチオン検出装置のカチオンリーク率測定原理について説明する。
【００３２】
本発明のカチオン検出装置では、原水中のカチオン（陽イオン）はイオン交換ユニット１０でＨ⁺イオンに交換され、そのＨ⁺イオン濃度はｐＨの値で測定できる。イオン交換ユニット１０からカチオンがリークすると、その分Ｈ⁺イオンが減少し、ｐＨが上昇する。
【００３３】
一方、測定用カラム４１ではリークしたカチオンを吸着するので、測定用カラム４１の出口には常時原水のカチオン濃度と同じＨ⁺イオンが存在する。この測定用カラム４１の出口のＨ⁺イオン濃度を下流側ｐＨ電極４６で測定することにより原水のカチオン濃度を求める。
【００３４】
他方、イオン交換ユニット１０を通過した処理水にはイオン交換ユニット１０でイオン交換し切れなかったカチオン、即ちイオン交換ユニット１０からリークしたカチオンが含まれている。このリークしたカチオンを含む処理水のＨ⁺イオン濃度を上流側ｐＨ電極４４で測定することにより、元々原水に含まれるＨ⁺イオンとイオン交換ユニット１０からリークしたカチオンとを合計したＨ⁺イオン濃度が求まる。従って、上流側ｐＨ電極４４で測定したＨ⁺イオン濃度から、下流側ｐＨ電極４６で測定した原水のＨ⁺イオン濃度を差し引きすることにより、正味のリークカチオンの濃度が求められる。
【００３５】
ここで、イオン交換ユニット１０を通すことにより処理された処理水のｐＨ、測定用カラム４１を通すことにより処理された水のｐＨ、及びイオン交換樹脂のリーク率等の因子を以下の記号で示す。
【００３６】
ｐＨ_IN ：イオン交換樹脂で処理した水のｐＨ（−），
ｐＨ_OUT：測定用カラムで処理した水のｐＨ（−），
Ｈ_IN ：イオン交換樹脂で処理した水の（ｅｑ／Ｌ），
Ｈ_OUT ：測定用カラムで処理した水の（ｅｑ／Ｌ），
Ｌ：リーク率（％）
このとき、ｐＨ＝−Ｌｏｇ［Ｈ⁺］の式より、Ｈ⁺＝１０^-pHの関係が得られる。従って、イオン交換ユニット１０からカチオンのリークが生じるとリークした分、ｐＨが減少する。そのため、カチオンリーク率は、次式で与えられる。
【００３７】
Ｌ＝（Ｈ_OUT−Ｈ_IN）／Ｈ_OUT（％）
次に、本発明の超純水製造装置１を継続して運転した場合のカチオンのリーク状態について説明する。
【００３８】
図４はイオン交換樹脂カラムと測定用カラム内のイオン交換状態を模式的に示した図であり、図５は運転時間とカチオンリーク量の変化に基づくｐＨ変化量（ΔｐＨ）との関係を示したグラフである。
【００３９】
図４（１）に示した、超純水製造装置の運転開始から短時間しか経過していない初期（時間ｔ１）では、イオン交換樹脂カラム内のイオン交換樹脂のイオン交換能力が十分高く、カラム上部から流入したカチオンがイオン交換カラム内で能率よくＨ⁺イオンにイオン交換されている。また、この時点ではイオン交換カラムの下側に描いた測定用カラム側にはリークカチオンは流入しない。そのため、測定用カラムの上流側ｐＨメータと下流側ｐＨメータとの間の値の差ΔｐＨはゼロである。
【００４０】
次に、所定期間継続運転した後の中期（時間ｔ２）では図４（２）に示したように、イオン交換樹脂のイオン交換能力が低下しており、カラム底部付近にまでカチオンが拡散している。この段階ではイオン交換カラム内の大部分にまでカチオンが拡散しているが、まだイオン交換カラムの外側まではカチオンはリークしていない。そのため、イオン交換カラムの下流側にある測定用カラムにもカチオンは流入せず、したがって、測定用カラムの上流側ｐＨメータと下流側ｐＨメータとの間の値の差ΔｐＨはゼロである。
【００４１】
更に継続して運転した後の後期（時間ｔ３）になると、図４（３）に示したようにイオン交換樹脂のイオン交換能力が低下して、原水からイオン交換カラムに流入したカチオンをイオン交換し切れなくなる。その結果、カチオンの一部はイオン交換カラムから溢れ出し、Ｈ⁺イオンにイオン交換されないアルカリイオン（Ｎａ⁺）のままイオン交換カラムの下流側に流れ出る。このイオン交換カラムの下流側に流れ出たアルカリイオン（Ｎａ⁺）を含んだ水は、測定用カラムの上流側ｐＨメータを通過し、その際にｐＨが測定される。このとき、測定される水中にはイオン交換カラムからリークしてきたアルカリイオン（Ｎａ⁺）が含まれているため、ｐＨの値は例えば、Ｈ⁺イオンのみが含まれている場合の２．４０６より高い３．４０６となる。
【００４２】
この上流側ｐＨメータを通過後、アルカリイオン（Ｎａ⁺）を含んだ水は測定用カラム内に流入し、ここで測定用カラム内に充填されたイオン交換樹脂と接触してＨ⁺イオンにイオン交換される。そのため測定用カラムの下流側に流れ出る水にはＨ⁺イオンしか含まれておらず、従って測定用カラムの下流側ｐＨメータで測定される水のｐＨはＨ⁺イオンのみを含む場合の２．４０６の値を示す。
【００４３】
ここで、測定用カラムの上流側の水のｐＨ値が３．４０６であり、測定用カラムの下流側ｐＨメータの水のｐＨ値が２．４０６であるため、その差はΔｐＨ＝１．０００となる。
【００４４】
上流側ｐＨメータ及び下流側ｐＨメータと接続された演算部（図示省略）としてのＣＰＵは検出されたｐＨデータからΔｐＨを求め、この値からカチオンのリーク状況を把握する。
【００４５】
具体的にはΔｐＨの値とリークカチオン量との関係がデータベースとして記憶されており、このデータベースを参照することによりイオン交換カラム内のイオン交換樹脂のポットライフを求め、必要に応じてイオン交換樹脂を新たなものと交換することが必要な旨を表示したり、警報を発したりする。
【００４６】
更に図５に示したように、イオン交換カラム内のイオン交換樹脂の劣化に伴い、時間ｔ１や時間ｔ２では、上流側ｐＨメータでｐＨ測定される水にはＨ⁺イオンしか含まれておらず、ΔｐＨもゼロかそれに近い低い水準である。時間ｔ３になり、運転時間の伸長に伴いイオン交換樹脂のイオン交換能力が低下すると、上流側ｐＨメータでｐＨ測定される水中にＮａ⁺イオンがリークしてくるためｐＨ値が上昇しΔｐＨの値も増大する。更に時間がｔ４まで経過して更にイオン交換樹脂のイオン交換能力が低下すると、Ｎａ⁺イオンより原子量及び価数の大きなイオンであるＣａ²⁺イオンやＭｇ²⁺イオンのような二価の硬度成分がリークしてくる。これら硬度成分がリークしてくると、更に上流側ｐＨメータでｐＨ測定される水のｐＨは上昇し、ΔｐＨも増大する。
【００４７】
そこで、本発明ではＮａ⁺イオンのみリークし、Ｃａ²⁺イオンやＭｇ²⁺イオンのような二価の硬度成分がリークしてくる前のΔｐＨの価を予備実験や実測値から把握しておき、ΔｐＨがこの価になったときに警報を発したり信号を送るなりしてイオン交換樹脂のイオン交換能力が限界近くまで低下したことを告知させるのである。
【００４８】
実際にΔｐＨの値をどの範囲にするかは設計事項であるので、理論値、実測値、予備実験データなどを元にして決定する。
【００４９】
このように、Ｎａ⁺イオンのような溶解度が大きく、逆浸透膜の目詰まりなどを惹起することのないイオンがリークした時点でイオン交換樹脂のイオン交換能力の低下を知らせるような構成としたので、硬度成分がリークして逆浸透膜を詰まらせ、曳いては超純水製造装置全体を停止させてしまうというような甚大なトラブルの発生を未然に防止することができる。
【００５０】
以上詳述したように、本発明の超純水製造装置１では、イオン交換カラムの下流側にサンプリング用の分岐管を配設し、この分岐管に測定用カラム、及びその前後に上流側ｐＨメータと下流側ｐＨメータとを配設し、イオン交換カラムからのカチオンのリークを、測定用カラムの前後の二つのｐＨメータの測定値の差の大小により検知するようにした。
【００５１】
そのため装置の構造が簡単で故障しにくく、しかも高精度にカチオンのリーク状態を検出することができる。
【００５２】
なお、本発明は上記実施形態に記載された範囲に限定されない。例えば、上記実施形態では超純水製造装置の一部にカチオン検出装置を配設した構造としたが、超純水製造装置以外の水処理装置にカチオン検出装置を配設することも可能である。
【００５３】
【発明の効果】
本発明では測定用カラムと、その前後に配設した二つのｐＨメータと、演算手段とから構成されるという、既存の装置を巧みに組み合わせた単純な構成となっているので、構造が簡単で故障しにくく、しかも安価で精度の高いリークカチオンを検出することのできるカチオン検出装置やカチオン検出方法、水処理装置や超純水製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る超純水製造装置の概略構成を図示したフローシートである。
【図２】本発明に係るイオン交換ユニットとカチオン検出装置取り付け部分の部分拡大図である。
【図３】本発明に係るカチオン検出装置の概略構造を示したである。
【図４】本発明に係るカチオン検出装置のイオン交換樹脂カラムと測定用カラム内のイオン交換状態を模式的に示した図である。
【図５】本発明に係る超純水製造装置の運転時間とｐＨ変化量との関係を示したグラフである。
【符号の説明】
１０………水処理ユニット、
２０………脱気ユニット、
３０………逆浸透濾過ユニット、
４０………カチオン検出装置、
４１………測定用カラム、
４７………上流側ｐＨメータ（第１のｐＨメータ）、
４８………下流側ｐＨメータ（第２のｐＨメータ）。

Claims

イオン交換樹脂が充填され、水処理ユニットであるイオン交換カラムの出口側に接続される測定用カラムと、前記測定用カラムの水移動方向上流側に配設された第１のｐＨメータと、前記測定用カラムの水移動方向下流側に配設された第２のｐＨメータと、前記第１のｐＨメータ測定値及び前記第２のｐＨメータ測定値に基づいて、処理水中のカチオンリーク率を割り出す演算手段と、を具備することを特徴とするカチオン検出装置。
請求項１に記載のカチオン検出装置であって、前記演算手段が、前記カチオンリーク率が所定の値になったときに告知する機能を備えていることを特徴とするカチオン検出装置。
イオン交換樹脂が充填され、原水をイオン交換するイオン交換カラムと、イオン交換樹脂が充填され、前記イオン交換カラムの出口側に接続される測定用カラムと、前記測定用カラムの水移動方向上流側に配設された第１のｐＨメータと、前記測定用カラムの水移動方向下流側に配設された第２のｐＨメータと、前記第１のｐＨメータ測定値及び前記第２のｐＨメータ測定値に基づいて、処理水中のカチオンリーク率を割り出す演算手段と、を具備することを特徴とする水処理装置。
イオン交換樹脂が充填され、原水をイオン交換するイオン交換カラムと、前記イオン交換カラムの水移動方向下流側に配設され、前記イオン交換カラムで処理された水を脱気する脱気ユニットと、前記脱気ユニットの水移動方向下流側に配設され、前記脱気ユニットで脱気された水からイオンや有機物などの不純物を除去する逆浸透濾過ユニットと、前記イオン交換カラムと前記脱気ユニットとの間を流下する水をサンプリングする分岐配管と、前記分岐配管に接続されるイオン交換樹脂が充填された測定用カラムと、前記測定用カラムの水移動方向上流側に配設された第１のｐＨメータと、前記測定用カラムの水移動方向下流側に配設された第２のｐＨメータと、前記第１のｐＨメータ測定値及び前記第２のｐＨメータ測定値に基づいて、処理水中のカチオンリーク率を割り出す演算手段と、を具備することを特徴とする超純水製造装置。
水処理ユニットであるイオン交換カラムから吐出される処理水のｐＨを測定する一方で、該処理水の一部をイオン交換樹脂が充填された測定用カラムに通し、該測定用カラム通過後の水のｐＨ基準値を測定し、前記処理水のｐＨ測定値と、前記ｐＨ基準値との差をモニタリングすることにより前記水処理ユニットのカチオンリーク率を検出するカチオン検出方法。