JPH0772433B2 - クリーンルーム用天井の構築方法および構築構造 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、LSIやIC等の部品を製造する際に使用されて
環境が無塵状態に維持されるクリーンルームにおいて、
その天井を構築するにあたっての方法およびその構築構
造に関するものである。

［従来の技術］ 上記クリーンルームには、無塵状態を維持するための空
調機が備えられ、この空調機としては、室外の空気を、
送風機によりフィルタを通過させて清浄とした後クリー
ンルーム内に循環させるものが一般的である。

このようなクリーンルームにおける天井は、在来の天井
板の表面をペンキで仕上げたり、あるいはシートを貼っ
てその表面を仕上げ加工しており、この天井に、前記フ
ィルタが収納されたフィルタユニットが配設される場合
がある。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のような天井にフィルタユニット配設された場合、
クリーンルーム内に設置される機器等のレイアウトの変
更にともなってフィルタユニットの位置を変更する必要
が生じた場合、天井が固定状態であるためフィルタユニ
ットの取付け・取外しが困難である。

本発明はこの点に鑑み、フィルタユニットの移動を容易
に行え、かつ、その後の無塵状態も維持できるクリーン
ルーム用天井の構築方法および構築構造を提供すること
を目的としている。

［課題を解決するための手段］ 本発明は上記目的を達成するためになされたものであっ
て、その方法としては、表面にプラスチック層が形成さ
れた多数のパネルを、そのプラスチック層を室内に向け
て、かつ、相互の接合端部を対向させた状態で張設し、
フィルタユニットを前記パネル間に配設し、これらパネ
ル相互、およびパネルとフィルタユニットとの各接合端
部下面を覆って延びる平板状の接着片、およびこの接着
片における幅方向の略中央から直交して延び前記各接合
端部間に挿入される位置決め片を有する断面⊥状の接合
板の、前記位置決め片を、前記各接合端部間に挿入する
とともに、前記接着片を各接合端部下面に接着テープに
より接着して、パネルどうし、およびパネルとフィルタ
ユニットとを接合することを特徴としている。

またその構造としては、表面にプラスチック層が形成さ
れた多数のパネルが、そのプラスチック層が室内に向け
られ、かつ、相互の接合端部が対向された状態で張設さ
れ、フィルタユニットが前記パネル間に配設され、これ
らパネル相互、およびパネルとフィルタユニットとの各
接合端部下面を覆って延びる平板状の接着片、およびこ
の接着片における幅方向の略中央から直交して延び前記
各接合端部間に挿入される位置決め片を有する断面⊥状
の接合板の、前記位置決め片が、前記各接合端部間に挿
入されるとともに、前記接着片が各接合端部下面に接着
テープにより接着されることにより、パネルどうし、お
よびパネルとフィルタユニットとが接合されていること
を特徴としている。

［作用］ 本発明方法によれば、クリーンルームの天井を構築する
面に、多数のパネルを、プラスチック層を室内に向け、
かつ、その端部を対向させた状態に並べ、接合板におけ
る位置決め片をパネルの端部間に挿入して各パネルの位
置決めを行った後、接着テープにより接着片をプラスチ
ック層であるパネル下面に接着し、また、パネル間にフ
ィルタユニットを配設し、このフィルタユニットも同様
にして周囲のパネルに接合することにより、容易に天井
が構築される。

パネルどうし、およびパネルとフィルタユニットは、接
合板を除去することにより容易に接合状態が解かれ、し
たがって、フィルタユニットの取付け・取外しが容易に
行える。

［実施例］ 以下、第１図ないし第３図を参照して本発明の一実施例
を説明する。

第１図は本実施例によってクリーンルームＲに構築され
た天井を示しており、符号１はパネル、２はフィルタユ
ニット、３は各パネル１およびフィルタユニット２を接
合させている接合板である。

前記パネル１は、断熱性材料によって長方形状に成形さ
れたもので、一方の表面には、第３図に示すように、ビ
ニール等のプラスチック層1aが形成されている。

前記フィルタユニット２は、第２図に示すように、前記
パネル１と略同一の平面積を有する直方体状のケース2a
（一般にスチールやアルミ等の金属製）内に、フイルタ
（HEPAフィルタ、ULPAフィルタ等）2bが収納されたもの
で、天井の適宜な位置に配されている。このフィルタユ
ニット２には、第２図に示すように、空気循環用のダク
ト４が接続されている。前記フィルタ2bの種類は、クリ
ーンルームＲのグレード（目的とする清浄度）によって
選択される。

前記接合板３は、第３図に示すように、長い長方形状で
あって平板状の接着片3aおよびこの接着片3aの一方の面
における幅方向略中央から直交して延びる位置決め片3b
からなる断面⊥状を呈するもので、適宜な長さに切断し
て使用される。

次いで、上記パネル１、フィルタユニット２および接合
板３を用いて天井を構築する方法を説明する。

まず、天井を構築する面に、プラスチック層1aをクリー
ンルームＲ内に向け、かつ、その端部を僅かに離して対
向させた状態に並べ、仮止めする。この際、フィルタユ
ニット２を配する箇所は、パネル１を配さずにあけてお
く。

一方、前記接合板３を、第１図に示すように、各パネル
１ごとに、その長辺側どうしを接合する短尺接合板3A
と、多数のパネル１の短辺どうしを一括して接合する長
尺接合板3Bとに切断しておく。

そして、この接合板３（3A、3B）における接着片3aの上
面全体を、両面に接着剤が塗布されたシールテープ（接
着テープ）５により接着する。シールテープ５は、プラ
スチックやスチール、アルミ等の比較的平滑な材質に対
しては任意に剥離可能である。

このようにシールテープ５が接着された接合板３の位置
決め片3bを、パネル１の下面側から、隣あうパネル１相
互の接合端部間にシールテープ５がパネル１下面に当た
らない程度に挿入し、この端部を位置決め片3bに当設さ
せてパネル１の位置決めを行った後、第３図に示すよう
に、接合板３を上に押して接着片3aと各パネル１下面と
を接着する。

これによって、隣合うパネル１は、接合板３を介して相
互に接合される。この接合作業を繰り返し行い、多数の
パネル１を相互に接合して天井を構築していく。

また、フィルタユニット２を、パネル１間にあけられた
空所に、フィルタ2bをクリーンルームＲ内に向けて配設
し、ケース2aの下端面と、その周囲のパネル１の接合端
部下面とを、上記と同様に接合板３を介して接合する。
これによってフィルタユニット２はパネル１間に配設さ
れ、天井の一部を構成する。

なお、本実施例においては、第１図に示すように、各パ
ネル１ごとにその長辺側どうしが短尺接合板3Aにより、
また、短辺側どうしが一括して長尺接合板3Bによって接
合している。

上記方法によって構築された天井は、ビニール等のプラ
スチック層1aが形成された多数のパネルが、そのプラス
チック層1aをクリーンルームＲ内に向けられ、かつ、相
互の接合端部が対向された状態で整然と張設されるとと
もに、フィルタユニット２がパネル１間に配設され、こ
の状態で、パネル相互１、およびパネル１とフィルタユ
ニット２とが、その接合端部下面を覆って接着された接
合板３を介して接合された構造となっている。

このような天井によれば、接合板３をシールテープ５と
ともにパネル１およびフィルタユニット２から剥がすこ
とにより、パネル１およびフィルタユニット２を容易に
除去することが可能である。シールテープ５はパネル１
の下面のプラスチック層1aおよびフィルタユニット２の
スチールあるいはアルミニウム等からなるケース2aに接
着されているので、剥離に支障を来たさない。

したがって、クリーンルームＲ内に設置されているLSI
やIC等を製造する機器のレイアウトを変更するにともな
って、フィルタユニット２の配設位置を変更する必要が
生じた場合でも、その移動が容易かつ短時間に行える。
すなわち、このような場合は、新たに配設する箇所のパ
ネル１を除去してここに除去したフィルタユニット２を
接合板３により周囲のパネル１に同様に接合し、もとフ
ィルタユニット２が配設されて空所となった位置に、接
合板によりパネル１を周囲のパネル１に接合すればよい
のである。

また、クリーンルームＲ内と天井の上方とは、シールテ
ープ５により気密に遮断され、さらに、パネル１の下面
にプラスチック層1aが設けられていることにより天井か
らの発塵が防止されるから、クリーンルームＲ内の無塵
状態（清浄状態）は常に維持される。

さらに、パネル１は断熱性材料によるものなので、軽量
化が図れ作業性が向上するとともに、クリーンルームＲ
内の断熱効果が増す。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、パネルどうし、お
よびパネルとフィルタユニットとが、接着テープによっ
て接着される接合板を介して接合されることにより、容
易にクリーンルームの天井が構築することができ、さら
に、接合板の除去・接着に手間を要しないので、フィル
タユニットの取付け・取外しが容易に行える。したがっ
て、クリーンルーム内の機器等のレイアウト変更にとも
なうフィルタユニットの配設位置の変更を、容易かつ短
時間で行うことができる。また、パネルの下面にプラス
チック層が設けられていることにより天井からの発塵が
防止されるから、クリーンルーム内の無塵状態（清浄状
態）が常に維持される。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本発明の一実施例を示す図であっ
て、第１図は本実施例方法によって構築されたクリーン
ルーム用天井の斜視図、第２図は要部断面図、第３図は
第２図のIII部拡大図である。 １……パネル、 1a……プラスチック層、 ２……フィルタユニット、 ３……接合板、 3a……接着片、 3b……位置決め片、 ５……シールテープ（接着テープ）、 Ｒ……クリーンルーム。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】空気清浄用のフィルタユニットが設けられ
   てなるクリーンルーム用天井を構築するにあたり、表面
   にプラスチック層が形成された多数のパネルを、そのプ
   ラスチック層を室内に向けて、かつ、相互の接合端部を
   対向させた状態で張設し、前記フィルタユニットを前記
   パネル間に配設し、これらパネル相互、およびパネルと
   フィルタユニットとの各接合端部下面を覆って延びる平
   板状の接着片、およびこの接着片における幅方向の略中
   央から直交して延び前記各接合端部間に挿入される位置
   決め片を有する断面⊥状の接合板の、前記位置決め片
   を、前記各接合端部間に挿入するとともに、前記接着片
   を各接合端部下面に接着テープにより接着して、パネル
   どうし、およびパネルとフィルタユニットとを接合する
   ことを特徴とするクリーンルーム用天井の構築方法。
2. 【請求項２】空気清浄用のフィルタユニットが設けられ
   てなるクリーンルーム用天井の構築構造であって、表面
   にプラスチック層が形成された多数のパネルが、そのプ
   ラスチック層を室内に向けられ、かつ、相互の接合端部
   が対向された状態で張設され、前記フィルタユニットが
   前記パネル間に配設され、これらパネル相互、およびパ
   ネルとフィルタユニットとの各接合端部下面を覆って延
   びる平板状の接着片、およびこの接着片における幅方向
   の略中央から直交して延び前記各接合端部間に挿入され
   る位置決め片を有する断面⊥状の接合板の、前記位置決
   め片が、前記各接合端部間に挿入されるとともに、前記
   接着片が各接合端部下面に接着テープにより接着される
   ことにより、パネルどうし、およびパネルとフィルタユ
   ニトとが接合されていることを特徴とするクリーンルー
   ム用天井の構築構造。