JPH0319675Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は空調設備に使用されるダクトや仕切チ
ヤンバー等の空気供給用の構造物に関するもので
ある。

従来半導体等の製造に使用されるクリーンルー
ムは、天井面の高性能（HEPA）フイルターで
清浄された空気をルーム内に吹き出し、ルームの
床面にて吸い込む方式を採用している。ところで
クリーンルーム内の温度と湿度は一定に保たれな
ければならないので、フイルターを含む空気供給
用の仕切チヤンバーと該チヤンバーに空気を送る
ダクトは鋼板で形成してその周囲を断熱材で包ん
でいる。これらのダクトやチヤンバーは設置場所
で鋼板同志をボルトで締結して組立て、その外面
に断熱材を張りつけているので、その組立作業の
手間が大変であつた。

本考案は上記に鑑み、ダクトやチヤンバーの現
場における断熱材を含む組立が容易にできると共
に、一段と断熱効果が高いものを提供するもので
ある。

以下本考案の実施例につき具体的に説明する。
第１図は空気供給用の仕切チヤンバー１を示し、
このチヤンバーは天井面を形成する高性能
（HEPA）フイルター２と、その上方を仕切る側
壁３，３と、天井壁４の仕切壁で構成されてい
る。

両側壁３，３と天井壁４は硬質ウレタンフオー
ム製の断熱材５とその両側面に貼着された鋼板
６，７の板状体９で構成され、一方の鋼板６から
断熱材５まで切れ目８が入れられ、他方の鋼板７
には入れないで切れ目８間の板状部分を連結して
いる。従つてここまでを工場で製作し、現場では
切れ目８に沿つて板状体９を折り曲げるだけで概
略組み立てられ、その組立てが極めて容易であ
る。板状体９の切れ目８の折り曲げ角部はＬ字形
の連結金具１０をあてがい、該金具１０と鋼板６
をリベツト１１でかしめて、隣り合う板状部分を
互いに結合している。

角部は板状体９を切れ目８に沿つて折り曲げれ
るので、板状体の厚みを一辺とする方形の空間が
残り、こゝから熱が出入する。そこで、板状体の
断熱材同じ硬質ウレタンフオーム製の断熱材１２
を充填して、角部の熱の出入を阻止している。こ
れによりチヤンバー１の断熱効果は一段と向上さ
れる。

前記鋼板６，７はアルミニウムと亜鉛の合金で
形成すると、耐腐食性と共に導電性も優れたもの
が得られ、この導電性によりチヤンバー内面に静
電気の発生するおそれがなく、塵埃等が付着しに
くい。鋼板の代りに合成樹脂等も使用できる。

尚フイルター２と側壁３はHEPAフレーム１
３に支持され、該フレームに間仕切用天井レール
１４が連結され、該天井レールに間仕切壁１５が
組立てられている。また各連結部にはパツキング
１６が設けられてチヤンバー内の空気がフイルタ
ーを通らないで、連結部の隙間からクリーンルー
ム内に漏れるのを防止している。

第２図は上記チヤンバー１に空気を送るダクト
１６を示し、板状体１７は、チヤンバーのものと
同様、硬質ウレタンフオーム製の断熱材１８とそ
の両面に張り付けられた鋼板１９，２０で構成さ
れ、チヤンバー１のものより切れ目２１が１個所
多く入れられていて、一連に鋼板２０で連結され
ている。このダクト１６も切れ目２１に沿つて折
り曲げるだけで、概略組み立てられ、角部をＬ形
の連結金具２２とリベツト２３で連結している。
上記連結金具２２はその内側にＬ形部２４が連設
され、このＬ形部２４を板状体１７の切れ目２１
の端面に接合させている。これらのＬ形の部分２
２，２４で囲まれた空間に前記断熱材と同効質の
断熱材２５が充填されている。尚連結金具２２と
鋼板１９との間と、鋼板２０の両端の結合した部
分には、密封処理２６、２７を施して、ダクトと
の内外を気密にしている。

前記鋼板間の断熱材や角部の断熱材は成形した
ものを組立てるようにしてもよいが、鋼板間や角
部の空間内にて発泡させてもよい。

「本考案の空気供給用構造物は、断熱材５とそ
の内側と外側の両面を被覆する２枚の鋼板６，
７，１９，２０で構成された板状材を、一方の外
側の鋼板と断熱材に垂直に入れた切目８，２１に
沿つて他方の内側の鋼板７，２０を介して内側に
折り曲げ、この折り曲げられた外側の角部に形成
された空間に断熱材１２，２５を設け、その外側
を囲む角形の連結部材１０，２２で外側の鋼板
６，１９を連結するように構成されているので、
従来のように現場でダクトに断熱材を包む面倒な
作業が省略されて断熱材を含む鋼板製の剛性に富
んだ空気供給用構造物が直ちに組み立てられて、
その組立作業が極めて容易であり、一段と高い断
熱効果も得られ、また組立時に外面が傷つけられ
る恐れがなく空気供給用構造物の内部へは勿論の
こと外部へも断熱材のごみが発散することがなく
クリーンルームに好適であり、また運搬時に隙間
なく積まれてその運搬効率がよく、板状体の形成
も容易である。」

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図はチヤン
バー断面図、第２図はダクトの断面図である。 図中、１……チヤンバー、２……フイルター、
５……断熱材、６，７……鋼板、８……切れ目、
９……板状体、１０……連結金具、１２……断熱
材、１６……ダクト、１７……板状体、１８……
断熱材、１９，２０……鋼板、２１……切れ目、
２２……連結金具、２５……断熱材である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 断熱材５，１８とその内側と外側の両面を被覆
   する２枚の鋼板６，７，１９，２０で構成された
   板状材９，１７を具備し、この板状材は一方の外
   側の鋼板６，１９と断熱材５，１８に垂直に入れ
   られた切目８，２１を有し、この切目に沿つて他
   方の内側の鋼板７，２０を介して内側に折り曲げ
   られており、さらにこの板状材の折り曲げられた
   外側の角部の空間に充填される断熱材１２，２５
   と、この断熱材の外側を囲んで外側の鋼板６，１
   ９を連結する角形の連結部材１０，２２を具備す
   る空気供給用構造物。