JPH0755691Y2 - ディスク成形スタンパの研摩装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 技術分野 本考案はディスク成形用スタンパの研摩をなす研摩装置
に関する。

背景技術 第３図に従来の研摩装置を示す。この従来装置により研
摩さるべきディスク成形用のスタンパ１は、第４図に示
す工程を経て製作される。まず、このスタンパ１につき
第４図に基づき説明する。

まず、主面上にフォトレジストを一様に塗布することに
よりフォトレジスト層を形成したガラス原盤を用意し、
これを回転させつつ、記録すべき情報に応じて明滅する
レーザビームをフォトレジスト層に照射して露光原盤を
得る。次いで、この露光原盤を現像して、第４図（ａ）
に示す如きガラス原盤２とピットを有するフォトレジス
ト層３とから成る現像原盤を得る。次に、フォトレジス
ト層３を乾燥させてガラス原盤２上に定着させ、第４図
（ｂ）に示す如き乾燥した原盤を得る。

そして、真空蒸着法及びスパッタリング法などの物理蒸
着法によってフォトレジスト層３上に銀導電膜４を形成
して第４図（ｃ）に示す如き積層原盤を得る。更に、銀
導電膜４の上にニッケルをメッキしてニッケル層すなわ
ちスタンパ１を銀導電膜４上に形成して、第４図（ｄ）
に示す如き構成のものを得る。

次に、第４図（ｅ）に示す如く、フォトレジスト層3,銀
導電膜４及びスタンパ１から成る結合体をガラス原盤２
から分離する。その後、この結合体からフォトレジスト
層３を剥離して、第４図（ｆ）に示す構成のものを得
る。そして最後に銀導電膜４を剥離して、第４図（ｇ）
に示すように単体としてのスタンパ１が得られる。

斯くして得られたスタンパは情報信号に対応するピット
（微小凹凸）を有し、これを射出成形装置（図示せず）
の型板に取り付けて被成形体としての情報記録ディスク
の製造に供される。

上述の如くニッケルメッキにて製作されたスタンパ１は
その背面1b（第４図（ｇ）に図示）が粗面となってお
り、これを射出成形装置の型板に高精度に取り付けるた
めにはこの粗面を研摩する必要がある。第３図に示した
研摩装置はこの研摩をなすためのものであり、スタンパ
１を担持して回転する回転担持部材すなわち回転テーブ
ル６と、この回転テーブル６を回転駆動するモータ（図
示せず）と、スタンパ１の中央部分に当接する円盤状の
チャッキング治具７を含みスタンパ１を回転テーブル６
に押圧して固定する固定手段と、回転テーブル６上のス
タンパ１の粗面に対して研摩部材を当接せしめる研摩手
段（図示せず）とを有している。なお、回転テーブル６
のスタンパ担持面にはその担持するスタンパ１の研摩時
のすべりを防止するためのシリコンゴムシート８が設け
られている。

上述した従来の研摩装置においては、クランパ１の中央
部分に当接するチャッキング治具７によりスタンパ１を
回転テーブル６に押圧して固定する構成の故、この中央
部分を研摩することが出来ないという問題があった。

考案の概要 本考案は上記した点に鑑みてなされたものであって、そ
の目的とするところはスタンパの粗面の全面を研摩する
ことが出来、しかも、高精度な研摩が可能な研摩装置を
提供することである。

本考案による研摩装置は、磁性スタンパを回転担持部材
のスタンパ担持面上に固定する固定手段が、該スタンパ
を該スタンパ担持面に向けて吸引する磁力発生手段及び
負圧発生手段から成り、研摩部材がスタンパの粗面全域
に亘って当接し得ることを特徴としている。

実施例 以下、本考案の実施例としての研摩装置を添付図面を参
照しつつ説明する。なお、当該研摩装置により研摩を施
されるべきスタンパ11は、前述した従来装置によって研
摩さるべきスタンパと同様に、第４図（ａ）ないし
（ｇ）に示した工程を経て製造されたものであり、ニッ
ケルを素材として円盤状に形成されて成り、その一方の
主面に情報信号に対応するピット（微小凹凸）を有し、
ニッケルメッキによる形成の故に他方の主面が粗面11a
となっている。

第１図及び第２図に示す如く、当該研摩装置は、スタン
パ11を担持して回転する回転担持部材すなわち回転テー
ブル12と、この回転テーブル12を回転駆動するモータ
（図示せず）と、回転テーブル12上のスタンパ11の粗面
11aに対して研摩部材14を当接せしめる研摩手段とを有
している。なお、第１図にはスタンパ11は示していな
い。

第２図から特に明らかなように、回転テーブル12は、上
記のモータにより回転力を付与される円盤状のホルダ16
と、ホルダ16上に着脱自在に設けられてスタンパ11を担
持する円盤状の担持部17とから成る。担持部17はその上
面中央部に円形の突部17aを有し、この突部17aの端面が
スタンパ11を担持する平面状のスタンパ担持面17bとな
っている。このスタンパ担持面17bには円環状の凹部17c
が形成されており、該凹部17c内に磁力発生手段すなわ
ち着磁された円環状の磁性ゴムシート18が密接に嵌入せ
しめられている。なお、第１図にはこの磁性ゴムシート
18は示していない。また、よく知られているように、磁
性ゴムシート18は磁性微粒子を溶融状態のゴムに懸濁さ
せた後にゴムを凝固せしめて成るものである。また、磁
性ゴムシート18の厚みはこれが嵌入された凹部17cの深
さと等しいか若しくはこれより僅かに小であり、磁性ゴ
ムシート18の上面は担持部17のスタンパ担持面17bとほ
ぼ同一平面上にある。

なお、磁性ゴムシート18の表面にはポリエステートなど
のプラスチックがコーティングされており、これによ
り、磁性ゴムシート18からの磁性塵の発生が防止されて
いる。

第２図に示す如く、担持部17には、その下面中央部にも
円形の突部17eが形成されており、ホルダ16の上面部に
形成された円形の凹部16aにこの突部17eが密接に嵌合し
ている。突部17eの先端面と凹部16aの底面との間には間
隙20が設けられており、ホルダ16の回転中心部に設けら
れた貫通孔16bとこの間隙20とが連通している。また、
ホルダ16に対する担持部17の回り止めをなす回り止めピ
ン21が、この間隙20を跨ぐように配設されている。

ホルダ16に形成された貫通孔16bは図示しない真空ポン
プの吸気口と連通せしめられている。

一方、第１図にも示すように、担持部17のスタンパ担持
面17bには、磁性ゴムシート18が嵌入された円環状凹部1
7cの内周及び外周に夫々沿って２つの円環状溝17f及び1
7gが形成されている。これら円環状溝17f及び17gの深さ
はこれらが挾む円環状凹部17cの深さよりも大となって
いる。円環状凹部17cの底面には回転テーブル17の回転
中心を中心として放射状に伸びる４本の連通溝17hが円
周方向において等間隔にて形成されており、円環状溝17
f及び17gは該各連通溝17hにより互いに連通せしめられ
ている。なお、第１図には連通溝17hは３本のみ示して
いる。また、ホルダ16と担持部17との間に設けられた間
隙20とこれら連通溝17hとを連通せしめるべく４つの貫
通孔17iが担持部17に形成されている。但し、図には貫
通孔17iは３つのみ示している。

担持部17のスタンパ担持面17bにはまた、上記した両円
環状溝17f及び17gの夫々内側及び外側に２つの円環状溝
17j及び17kが形成されている。第２図に示すように、円
環状溝17j及び17k内には中空にシリコンゴムからなるシ
ールリング23及び24が嵌入せしめられており、該各シー
ルリング23及び24はスタンパ11に当接可能となってい
る。

また、ホルダ16の担持部17との当接面にも円環状の溝16
dが形成されており、この円環状溝16d内には担持部17と
接触するようにＯリング25が配設されている。

次に、上記した構成の研摩装置の動作を説明する。

まず、研摩さるべきスタンパ11が作業者あるいは作業ロ
ボットによりスタンパ担持面17b上に載置される。する
と、ニッケルからなるスタンパ11は磁性を有する故、磁
性ゴムシート18により吸引されてスタンパ担持面17bに
対して固定される。

この後、ホルダ16の回転中心部に形成された貫通孔16b
に接続された真空ポンプ（図示せず）の作動により、こ
の貫通孔16b,間隙20,貫通孔17i,連通溝17h及び円環状溝
17f,17gを夫々介して空気の排出がなされ、これにより
発生する負圧によってスタンパ11はスタンパ担持面17b
に向けて吸引される。このように、磁力と負圧により強
く吸着される故、スタンパ11が反りなどの変形を生じた
ものであっても、この大きな吸引力によりその変形は矯
正され、スタンパ11の全面がスタンパ担持面17bに完全
に密着する。

この後、回転テーブル12が回転駆動せられ、研摩部材14
をスタンパ11の粗面11aに当接させながらこれを往復動
せしめ、研摩が行なわれる。

研摩が終了したら、真空ポンプ（図示せず）による負圧
が解除され、スタンパ11を回転テーブル12上から回収す
る。

尚、真空ポンプによる負圧が解除されると、担持部17を
ホルダ16から容易に取り外すことができる。従って、ス
タンパ11を担持する突部17aの直径が夫々異なる数種の
担持部17を用意して、これらを変換することにより、12
インチ（約30cm）、８インチ（約20cm）及び５インチ
（約12cm）の各ディスク用のスタンパの研摩を自在に行
なうことが出来る。

考案の効果 以上詳述した如く、本考案による研摩装置においては、
スタンパが磁性材からなることに着目し、これを回転担
持部材に対して磁力発生手段により吸着せしめている。

従って、研摩部材をスタンパの粗面全域に亘って当接せ
しめることが出来、未研摩部分が残存することがないの
である。

また、本考案による研摩装置においては、上記磁力発生
手段に加えて負圧発生手段をも有し、回転担持部材に向
けてスタンパを吸着する力が極めて大となっている。故
に、スタンパが反りなどの変形を生じたものであって
も、大きな吸引力によりこの変形が矯正され、スタンパ
はその全面が回転担持部材のスタンパ担持面に完全に密
着し、高精度な研摩を行なうことが出来るのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例としての研摩装置の一部の平面
図、第２図は第１図に関するII−II断面図、第３図は従
来の研摩装置の一部断面を含む側面図、第４図は研摩さ
るべきディスク成形用スタンパの製造工程図である。 主要部分の符号の説明 11……スタンパ 12……回転テーブル 14……研摩部材 18……磁性ゴムシート

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】円盤状に形成されて情報信号に対応する微
   小凹凸を一方の主面に有する磁性スタンパを回転担持部
   材のスタンパ担持面上に担持し且つ固定手段により前記
   回転担持部材に固定して前記回転担持部材を回転駆動し
   つつ前記スタンパの他方の主面を研摩する研摩装置であ
   って、前記固定手段は夫々前記スタンパを前記スタンパ
   担持面に向けて吸引する磁力発生手段及び負圧発生手段
   から成ることを特徴とする研摩装置。
2. 【請求項２】前記磁力発生手段は前記スタンパ担持面に
   設けられた着磁磁性ゴムシートから成ることを特徴とす
   る請求項１記載の研摩装置。
3. 【請求項３】前記ゴムシートの表面にプラスチックがコ
   ーティングされていることを特徴とする請求項１又は２
   記載の研摩装置。