JP2657841B2 - ディスクの回転用吸着機構 - Google Patents
ディスクの回転用吸着機構Info
- Publication number
- JP2657841B2 JP2657841B2 JP63329826A JP32982688A JP2657841B2 JP 2657841 B2 JP2657841 B2 JP 2657841B2 JP 63329826 A JP63329826 A JP 63329826A JP 32982688 A JP32982688 A JP 32982688A JP 2657841 B2 JP2657841 B2 JP 2657841B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- disk
- stamper
- master
- turntable
- Prior art date
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、ディスクの回転用吸着機構の吸着機構に
関し、詳しくは光ディスクの原盤またはスタンパの回転
用の吸着機構に関するものである。
関し、詳しくは光ディスクの原盤またはスタンパの回転
用の吸着機構に関するものである。
［従来の技術］ 最近開発が進展している光ディスク（または光磁気デ
ィスク）は、プラスチック円板に微細な間隔で多数のト
ラックを設け、これに情報データを高密度で記録するも
のである。光ディスクの製造過程の概要を第２図により
説明する。図において、適当な厚さのガラス円板の表面
にフォトレジストを塗布し、これに対してレーザビーム
により情報ピット1aを露光する。これを現像して情報ピ
ットが穿孔された原盤１が作成される。次に、原盤１に
対してニッケルメッキを施して厚さが薄いスタンパ２が
作られ、スタンパ２より多数の光ディスク３が複製され
る。原盤１またはスタンパ２の情報ピットに欠陥がある
と、複製されるすべての光ディスクに同様の欠陥が複製
されて不良となるので、原盤およびスタンパの検査は重
要であり、検査装置が開発されている。
ィスク）は、プラスチック円板に微細な間隔で多数のト
ラックを設け、これに情報データを高密度で記録するも
のである。光ディスクの製造過程の概要を第２図により
説明する。図において、適当な厚さのガラス円板の表面
にフォトレジストを塗布し、これに対してレーザビーム
により情報ピット1aを露光する。これを現像して情報ピ
ットが穿孔された原盤１が作成される。次に、原盤１に
対してニッケルメッキを施して厚さが薄いスタンパ２が
作られ、スタンパ２より多数の光ディスク３が複製され
る。原盤１またはスタンパ２の情報ピットに欠陥がある
と、複製されるすべての光ディスクに同様の欠陥が複製
されて不良となるので、原盤およびスタンパの検査は重
要であり、検査装置が開発されている。
第３図（ａ），（ｂ）は、検査装置においてディスク
を回転するために従来から使用されているターンテーブ
ルを説明するものである。図（ａ）において、ターンテ
ーブル４には、同心円の複数の吸着溝4aが刻まれてお
り、各吸着溝4aは連結孔4bで連結されて中心部の排気口
4cより矢印Ａに示すように排気される。図（ｂ）におい
て、ターンテーブル４には原盤１が吸着され、スピンド
ル５により矢印Ｃの方向に回転する。検査装置は原盤１
とスタンパ２に対して共通して使用されるので、ターン
テーブルは両者に対して安定な吸着を行うことが必要で
ある。
を回転するために従来から使用されているターンテーブ
ルを説明するものである。図（ａ）において、ターンテ
ーブル４には、同心円の複数の吸着溝4aが刻まれてお
り、各吸着溝4aは連結孔4bで連結されて中心部の排気口
4cより矢印Ａに示すように排気される。図（ｂ）におい
て、ターンテーブル４には原盤１が吸着され、スピンド
ル５により矢印Ｃの方向に回転する。検査装置は原盤１
とスタンパ２に対して共通して使用されるので、ターン
テーブルは両者に対して安定な吸着を行うことが必要で
ある。
［解決しようとする課題］ 上記のターンテーブル４にスタンパ２を吸着する場合
には問題がある。スタンパ２は前記のように厚さが薄
く、0.3mm程度であるので、第４図に示すように吸着溝4
aの部分が吸着エアに引かれて凹部６が生ずる。光ディ
スクは微細な間隔のトラックに微小な情報ピットが穿孔
されたもので、検査においては表面に凹凸が発生するこ
とは厳禁である。原盤１はガラスで厚さが十分あるので
凹凸が生ずることはないが、上記のターンテーブル４は
スタンパ２に対しては適用できない。また、光ディスク
とその原盤またはスタンパには各種のサイズがあり、上
記のターンテーブルは１種類のディスクに対応し、サイ
ズごとにターンテーブルを用意して取り替えて使用する
もので、柔軟性に欠けることも欠点である。
には問題がある。スタンパ２は前記のように厚さが薄
く、0.3mm程度であるので、第４図に示すように吸着溝4
aの部分が吸着エアに引かれて凹部６が生ずる。光ディ
スクは微細な間隔のトラックに微小な情報ピットが穿孔
されたもので、検査においては表面に凹凸が発生するこ
とは厳禁である。原盤１はガラスで厚さが十分あるので
凹凸が生ずることはないが、上記のターンテーブル４は
スタンパ２に対しては適用できない。また、光ディスク
とその原盤またはスタンパには各種のサイズがあり、上
記のターンテーブルは１種類のディスクに対応し、サイ
ズごとにターンテーブルを用意して取り替えて使用する
もので、柔軟性に欠けることも欠点である。
この発明は以上に鑑みてなされたもので、スタンパに
対して凹凸を生ずることなく安定に吸着でき、また原盤
に対しても適用でき、さらに各種サイズのディスクに共
用できる吸着機構を提供することを目的とするものであ
る。
対して凹凸を生ずることなく安定に吸着でき、また原盤
に対しても適用でき、さらに各種サイズのディスクに共
用できる吸着機構を提供することを目的とするものであ
る。
［課題を解決するための手段］ この発明は、ディスクの回転用吸着機構であって、ス
ピンドルに固定され、同心円の吸着溝を有するターンテ
ーブルの表面に、吸着溝に対応して半径方向に複数列で
円周方向に等間隔に、光ディスクの原盤またはスタンパ
を吸着する微小な吸着孔を穿孔したセラミックス円板
を、吸着溝により吸着したものである。
ピンドルに固定され、同心円の吸着溝を有するターンテ
ーブルの表面に、吸着溝に対応して半径方向に複数列で
円周方向に等間隔に、光ディスクの原盤またはスタンパ
を吸着する微小な吸着孔を穿孔したセラミックス円板
を、吸着溝により吸着したものである。
上記のセラミックス円板において、半径の小さいディ
スクを吸着するときの遊びの吸着孔に対して、吸着エア
の漏洩を防止するドーナッツ形の補助板を設けたもので
ある。
スクを吸着するときの遊びの吸着孔に対して、吸着エア
の漏洩を防止するドーナッツ形の補助板を設けたもので
ある。
［作用］ 上記のセラミックス円板に設けられた吸着孔は微小な
直径であるので、これに吸着された光ディスクのスタン
パには凹部を生ずる危険がなく、安定に吸着されて回転
される。また、スタンパと同様に原盤の吸着に対しても
適用できる。さらに、半径の小さいディスクについて
は、遊びの吸着孔に対してドーナッツ形の補助板を使用
して吸着エアの漏洩が防止されるので、各種のサイズの
ディスクに共通使用できるものである。
直径であるので、これに吸着された光ディスクのスタン
パには凹部を生ずる危険がなく、安定に吸着されて回転
される。また、スタンパと同様に原盤の吸着に対しても
適用できる。さらに、半径の小さいディスクについて
は、遊びの吸着孔に対してドーナッツ形の補助板を使用
して吸着エアの漏洩が防止されるので、各種のサイズの
ディスクに共通使用できるものである。
［実施例］ 第１図（ａ），（ｂ）および（ｃ）は、この発明によ
るディスクの回転用吸着機構を適用した光ディスクの原
盤またはスタンパの回転用吸着機構の一実施例の構造図
である。図（ａ）において、検査装置のスピンドル５に
は、吸着溝4aを有するターンテーブル４を固定する。た
だし、ターンテーブル４の半径Ｒは吸着する最大のサイ
ズのディスクに対応するものとし、また吸着溝4aはディ
スクの各種の半径サイズΦa,Φb,Φｃなどの外周部に対
応する位置に複数個設けられたものとする。各吸着溝4a
は連結孔4bで連結されて、吸着エアは排気口4cより排出
される。ターンテーブル４の表面に、吸着溝4aによりセ
ラミックス円板７を吸着させる。セラミックス円板７は
表面を研磨して十分平滑に仕上げ、上記の吸着溝4aに対
応する位置に、半径方向に複数列で円周方向に等間隔
に、微小な吸着孔7aを穿孔する。なお、ターンテーブル
４の中心にセンターピン８を設け、これにセラミックス
円板７の中心に設けられた嵌入孔7bを嵌入する。ここ
で、光ディスクの原盤またはスタンパには中心孔が設け
られていないので、センターピン８の頭部はセラミック
ス円板７の表面と同一平面とする。図（ｂ）は、遊びの
吸着孔7aの漏洩を防止する補助板で、適当な材料たとえ
ばゴム板をドーナッツ形とし、それぞれの半径Φａ′，
Φｂ′，Φｃ′などを吸着するディスクの半径Φa,Φb,
Φｃなどよりやや大きいものとする。
るディスクの回転用吸着機構を適用した光ディスクの原
盤またはスタンパの回転用吸着機構の一実施例の構造図
である。図（ａ）において、検査装置のスピンドル５に
は、吸着溝4aを有するターンテーブル４を固定する。た
だし、ターンテーブル４の半径Ｒは吸着する最大のサイ
ズのディスクに対応するものとし、また吸着溝4aはディ
スクの各種の半径サイズΦa,Φb,Φｃなどの外周部に対
応する位置に複数個設けられたものとする。各吸着溝4a
は連結孔4bで連結されて、吸着エアは排気口4cより排出
される。ターンテーブル４の表面に、吸着溝4aによりセ
ラミックス円板７を吸着させる。セラミックス円板７は
表面を研磨して十分平滑に仕上げ、上記の吸着溝4aに対
応する位置に、半径方向に複数列で円周方向に等間隔
に、微小な吸着孔7aを穿孔する。なお、ターンテーブル
４の中心にセンターピン８を設け、これにセラミックス
円板７の中心に設けられた嵌入孔7bを嵌入する。ここ
で、光ディスクの原盤またはスタンパには中心孔が設け
られていないので、センターピン８の頭部はセラミック
ス円板７の表面と同一平面とする。図（ｂ）は、遊びの
吸着孔7aの漏洩を防止する補助板で、適当な材料たとえ
ばゴム板をドーナッツ形とし、それぞれの半径Φａ′，
Φｂ′，Φｃ′などを吸着するディスクの半径Φa,Φb,
Φｃなどよりやや大きいものとする。
第１図（ｃ）は、セラミックス円板７に対してディス
クを装着する状態を示し、原盤１またはスタンパ２は吸
着孔7aにより吸着されてスピンドル５により回転する。
ディスクの半径が小さい場合は、補助板６を吸着させて
エアの漏洩を防止する。なお、セラミックス円板７は吸
着溝4aの吸着力のみにより保持されているので、吸着を
停止することにより容易に取り外すことができ、必要に
より原盤１に対してはターンテーブル４に直接吸着する
方法も可能である。
クを装着する状態を示し、原盤１またはスタンパ２は吸
着孔7aにより吸着されてスピンドル５により回転する。
ディスクの半径が小さい場合は、補助板６を吸着させて
エアの漏洩を防止する。なお、セラミックス円板７は吸
着溝4aの吸着力のみにより保持されているので、吸着を
停止することにより容易に取り外すことができ、必要に
より原盤１に対してはターンテーブル４に直接吸着する
方法も可能である。
［発明の効果］ 以上の説明により明らかなように、この発明による光
ディスクの原盤またはスタンパの回転用吸着機構におい
ては、平滑な平面のセラミックス円板に多数の微小な吸
着穴を穿孔して、被検査ディスクを吸着させるので、従
来の吸着溝付きのターンテーブルにおいて発生したよう
な、スタンパの凹部が生ずることなく平坦に吸着される
ものであり、原盤に対しても適用でき、さらにサイズの
異なる各種のディスクに共通して適用できる柔軟性があ
り、光ディスクの検査装置に寄与するところには大きい
ものがある。
ディスクの原盤またはスタンパの回転用吸着機構におい
ては、平滑な平面のセラミックス円板に多数の微小な吸
着穴を穿孔して、被検査ディスクを吸着させるので、従
来の吸着溝付きのターンテーブルにおいて発生したよう
な、スタンパの凹部が生ずることなく平坦に吸着される
ものであり、原盤に対しても適用でき、さらにサイズの
異なる各種のディスクに共通して適用できる柔軟性があ
り、光ディスクの検査装置に寄与するところには大きい
ものがある。
第１図（ａ），（ｂ）および（ｃ）は、この発明による
ディスクの回転用吸着機構を適用した光ディスクの原盤
またはスタンパの回転用吸着機構の一実施例の構造図、
第２図は光ディスクの製造過程の説明図、第３図（ａ）
および（ｂ）は、ターンテーブルによる従来のディスク
の吸着機構図、第４図は第３図（ａ）の吸着機構にスタ
ンパを吸着したときに生ずる凹部の説明図である。 １……光ディスクの原盤、1a……情報ピット、 ２……スタンパ、３……光ディスク、 ４……ターンテーブル、4a……吸着溝、 4b……連結孔、4c……排気口、 ５……スピンドル、６……スタンパの凹部、 ７……セラミックス円板、7a……吸着孔、 ８……センターピン、９……補助板。
ディスクの回転用吸着機構を適用した光ディスクの原盤
またはスタンパの回転用吸着機構の一実施例の構造図、
第２図は光ディスクの製造過程の説明図、第３図（ａ）
および（ｂ）は、ターンテーブルによる従来のディスク
の吸着機構図、第４図は第３図（ａ）の吸着機構にスタ
ンパを吸着したときに生ずる凹部の説明図である。 １……光ディスクの原盤、1a……情報ピット、 ２……スタンパ、３……光ディスク、 ４……ターンテーブル、4a……吸着溝、 4b……連結孔、4c……排気口、 ５……スピンドル、６……スタンパの凹部、 ７……セラミックス円板、7a……吸着孔、 ８……センターピン、９……補助板。
Claims (2)
- 【請求項１】同心円の複数の吸着溝を有し、スピンドル
に固定されたターンテーブルの表面に、該ターンテーブ
ルと同一の直径を有し、上記吸着溝に対応して半径方向
に複数列で円周方向に等間隔に、光ディスクの原盤また
はスタンパ（以下単にディスクという）を吸着する微小
な吸着孔を穿孔したセラミックス円板を、上記吸着溝に
より吸着して設けたことを特徴とするディスクの回転用
吸着機構。 - 【請求項２】上記セラミックス円板において、半径の小
さい上記ディスクを吸着するときの遊びの吸着孔に対し
て、吸着エアの漏洩を防止するドーナッツ形の補助板を
設けた、請求項１記載のディスクの回転用吸着機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63329826A JP2657841B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | ディスクの回転用吸着機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63329826A JP2657841B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | ディスクの回転用吸着機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02177033A JPH02177033A (ja) | 1990-07-10 |
| JP2657841B2 true JP2657841B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=18225663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63329826A Expired - Lifetime JP2657841B2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | ディスクの回転用吸着機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2657841B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0492742U (ja) * | 1990-12-27 | 1992-08-12 | ||
| JPH09160020A (ja) * | 1995-12-14 | 1997-06-20 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法 |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP63329826A patent/JP2657841B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02177033A (ja) | 1990-07-10 |
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