JPH0750538A - 端面反射型表面波共振子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 反射面となる端面の位置、すなわちＩＤＴ電
極の両端の電極指の幅を高精度に形成することができ、
したがって性能のよい、かつ、不良品の発生率が低い端
面反射型表面波共振子の製造方法を提供すること。 【構成】 圧電母基板上に、端面反射型表面波共振子を
構成するＩＤＴ電極を複数個形成し、圧電母基板を切断
機により切断し、個々の共振子を切り出す端面反射型表
面波共振子の製造方法において、前記ＩＤＴ電極の電極
指の幅をＷとし、切断機のブレードの厚みをＴとし、Ｉ
ＤＴ電極の両端の電極指の幅がＷ／２となるように切断
する隣り合う切断線の間隔をＬとした時に、圧電母基板
上に個々のＩＤＴ電極を、Ｌ＞Ｔとなるように形成し、
切断機により、前記隣り合う切断線の一方の切断線に沿
って前記圧電母基板を切断し、次に前記隣り合う切断線
のもう一方の切断線に沿って前記圧電母基板を切断し
て、個々の共振子を切り出す端面反射型表面波共振子の
製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＳＨタイプの表面波を
利用した表面波共振子の製造方法に関し、特に、互いに
対向し合う一対の圧電基板端面を反射面として利用した
端面反射型表面波共振子の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＳＨタイプの表面波を利用した端
面反射型表面波共振子は、文献等でもって知られてい
る。この共振子に利用されるＳＨタイプの表面波は、Ｂ
ＧＳ波やラブ波のように、変位が表面波伝播方向と垂直
な方向の変位を主体とする表面波である。上記のような
端面反射型表面波共振子の一例を、図３に示す。

【０００３】図３において、端面反射型表面波共振子
は、矢印Ｐ方向に分極処理された矩形の圧電基板２の対
向し合っている一対の端面２ａ、２ｂを反射面として利
用している。圧電基板２の一方主面上には、一対のくし
歯電極３、４からなる一個のＩＤＴ電極が形成されてい
る。くし歯電極３は、複数本の電極指３ａ〜３ｃを有
し、くし歯電極４は、複数本の電極指４ａを有する。電
極指３ａ〜３ｃと電極指４ａは、図示のように互いに間
挿し合うように配置されている。電極指３ｃ及び電極指
４ａは、励振される表面波の波長をλとした時に、λ／
４の幅を有するように形成されており、他方、電極指３
ａ、３ｂは、λ／８の幅を有するように形成されてい
る。すなわち、端面２ａ、２ｂと圧電基板２の上面との
側縁に沿って形成される両端の電極指３ａ、３ｂは、他
の電極指３ｃ、４ａの幅の１／２の幅を有するように形
成されている。また、電極指３ａ〜３ｃ、４ａ間のスペ
ースの幅は、電極指３ｃ、４ａの幅と同様にλ／４とさ
れている。

【０００４】端面反射型表面波共振子では、くし歯電極
３、４間に交流電界を印加することにより、ＳＨタイプ
の表面波が励振され、該表面波は電極指３ａ〜３ｃ，４
ａの伸びる方向と直交する方向に伝播し、そして、端面
２ａ、２ｂ間で反射されるように構成されている。とこ
ろで、端面反射型表面波共振子において、安定な共振子
特性を得るには、くし歯電極３、４を高精度に形成する
こと、並びに端面２ａ、２ｂを正確な位置に形成するこ
とが必要である。すなわち、圧電基板の両端を除く部分
に形成される電極指３ｃ、４ａの幅をＷとした時に、圧
電基板の両端に形成される電極指３ａ、３ｂの幅をＷ／
２となるように高精度に形成することが必要である。一
般的に、端面反射型表面波共振子は、以下の工程を経て
製造されている。

【０００５】まず、比較的大きな圧電母基板の上面にフ
ォトリソグラフィ法等により導電膜をパターニングし、
図４に示すような一対のくし歯電極からなるＩＤＴ電極
を多数形成する。この場合、最初のパターニングにより
形成されるくし歯電極３、４は、図４にハッチングを付
して示すように、最終的に得られる図３のくし歯電極
３、４とは若干異なる形状に形成されている。すなわ
ち、くし歯電極３側では、中央部の電極指３ｃの幅Ｗと
等しい幅の電極指１３ａ、１３ｂを両端に形成する。ま
た、くし歯電極４側においては、バスバー４ｂの両端に
おいて、幅Ｗ／２の延長部４ｃ、４ｄを形成している。

【０００６】しかる後、電極指１３ａ、１３ｂの幅方向
に設定された切断線、すなわち、図４に示す破線Ａ、Ｂ
に沿って、切断機、例えばダイシング・ソーで圧電母基
板１を厚み方向に切断することにより、図３に示す端面
２ａ、２ｂを切り出すとともに、幅Ｗ／２の電極指３
ａ、３ｂを完成させている。なお、図４において、ＩＤ
Ｔ電極の四隅には、切断時の切断線の目安となる導電膜
がない部分を設けてある。

【０００７】上記説明したような端面反射型表面波共振
子の製造方法において、従来の端面反射型表面波共振子
のＩＤＴ電極は、図３に示すように、隣り合うＩＤＴ電
極の電極指１３ａ及び電極指１３ｂを切断する切断線
Ａ、Ｂ間の幅をＬとし、切断機のブレードの厚みをＴと
した時に、Ｌ＝Ｔとなるように形成されていた。そし
て、切断機のブレードを切断線Ａ、Ｂの中央に設定し、
切断線Ａ、Ｂに沿って圧電母基板を厚み方向に切断して
いた。すなわち、一回の切断機による切断で切断線Ａ及
び切断線Ｂを同時に切断していた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来例
の端面反射型表面波共振子の製造方法においては、端面
反射型表面波共振子の反射面を形成する隣り合う切断線
の間隔Ｌを、切断機のブレードの厚みＴと同寸法で形成
しているので、切断機のブレードの厚みのバラツキ及び
摩耗による厚みの変動等により、反射面となる端面の位
置精度が安定して得られなかった。つまり、端面反射型
表面波共振子を構成するＩＤＴ電極の両端の電極指の幅
をＷ／２となるように、高精度に形成することが困難で
あった。

【０００９】このため、端面反射型表面波共振子の共振
周波数近傍でのインピーダンス特性には、図６に丸囲い
で示すようなリップルの発生率が高かった。このような
リップルは、例えば、この共振子をＶＩＦ補助トラップ
として使用した場合、ＶＩＦの信号を乱し、映像及び色
等に悪影響を与え、また、発振子として使用した場合
は、異常発振を起こす等の問題がある。

【００１０】そこで、本発明の目的は、以上のような従
来の端面反射型表面波共振子の製造方法が持つ問題点を
解消し、反射面となる端面の位置、すなわちＩＤＴ電極
の両端の電極指の幅を高精度に形成することができ、し
たがって性能のよい、かつ、不良品の発生率が低い端面
反射型表面波共振子の製造方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、圧電母基板上に、端面反射型表面波共振子を構成す
るＩＤＴ電極を複数個形成し、圧電母基板を切断機によ
り切断し、個々の共振子を切り出す端面反射型表面波共
振子の製造方法において、前記ＩＤＴ電極の電極指の幅
をＷとし、切断機のブレードの厚みをＴとし、ＩＤＴ電
極の両端の電極指の幅がＷ／２となるように切断する隣
り合う切断線の間隔をＬとした時に、圧電母基板上に個
々のＩＤＴ電極を、Ｌ＞Ｔとなるように形成し、切断機
により、前記隣り合う切断線の一方の切断線に沿って前
記圧電母基板を切断し、次に前記隣り合う切断線のもう
一方の切断線に沿って前記圧電母基板を切断して、個々
の共振子を切り出すことを特徴とするものである。

【００１２】

【作用】本発明の端面反射型表面波共振子の製造方法で
は、反射面となる端面を切断機により切断する時に、隣
り合う切断線の間隔Ｌが切断機のブレードの幅Ｔより大
きいため、切断機のブレードを隣り合う切断線の一方に
精度よく位置合わせして切断することができる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の実施例に係る端面反射型表面
波共振子の製造方法を図面を用いてを説明する。なお、
以下、図３及び図４については、従来例において説明し
たので、その詳細な説明は省略する。また、図におい
て、同一部分については同一符号を付す。

【００１４】まず、図１及び図２に示すように、圧電母
基板１を用意する。圧電母基板１としては、適宜の圧電
セラミック材料あるいは他の圧電材料からなるものが用
いられ、最終的に得られる図３に示した圧電基板２と同
様に圧電母基板１の主面と平行な方向に分極処理されて
いる。次に圧電母基板１上に、従来例で説明した図４に
示すような一対のくし歯電極からなるＩＤＴ電極を多数
形成する。

【００１５】この場合、本発明においては、ＩＤＴ電極
を、図１及び図２に示すように、隣り合うＩＤＴ電極の
電極指１３ａ及び電極指１３ｂを切断する切断線Ａ，Ｂ
間の幅をＬとし、ダイシングブレードの厚みをＴとした
時に、Ｌ＞Ｔとなるように形成する。次にダイシング・
ソーにより、前記圧電母基板１を、まず、切断線Ａに沿
って、次に切断線Ｂに沿って、圧電母基板１を順次切断
していく。このように反射面となる端面を切断後、反射
面と直交する端面を順次切断していくことにより、複数
個の図３に示す端面反射型表面波共振子が得られる。

【００１６】具体的には、図１及び図２に平面図及び断
面図でに示すように、まず、ダイシング・ソーにより、
圧電母基板１を図示の切断線Ａにダイシングブレードの
片側面を位置合わせして、ダイシングブレードの厚みＴ
の切断幅で切断する。次に、同様に、切断線Ｂにダイシ
ングブレードの片側面を位置合わせして、ダイシングブ
レードの厚みＴの切断幅で切断する。このように、２回
のダイシング・ソーによる切断にて、図３に示す端面２
ａ、２ｂを切り出すとともに、幅Ｗ／２の電極指３ａ、
３ｂを得ている。図１は、ＩＤＴ電極の隣り合う切断線
Ａ，Ｂの間隔Ｌが、Ｌ＞２Ｔの場合を示し、図２は、Ｔ
＜Ｌ≦２Ｔの場合を示す。

【００１７】上記反射面となる端面の切断において、図
２に示すように、Ｔ＜Ｌ≦２Ｔの場合、つまり、隣り合
う切断線Ａ，Ｂの間隔Ｌがダイシングブレードの厚みＴ
の２倍より小さい場合は、図２（ｂ）の断面図に破線で
示すように、最初の切断時の切断の深さは、２回目の切
断時の切断の深さよりも小さく設定している。これは、
２回目の切断時に、ダイシングブレードのしなりによる
切断位置精度の低下を防止するためである。この場合、
最終的に得られる端面反射型表面波共振子の反射面とな
る端面の一方には、厚み方向に段差が形成されるが、こ
の段差の深さは２波長分以上あれば特性上なんら問題と
ならない。

【００１８】上記のような切断方法により得られた端面
反射型表面波共振子のインピーダンス特性を測定したと
ころ、図６に丸囲いして示すようなリップルの発生率
は、大幅に低下した。

【００１９】なお、上記実施例では、圧電母基板上に形
成するＩＤＴ電極の両端の電極指の幅を、他の電極指の
幅と同等に形成したが、両端の電極指の幅は、他の電極
指の幅の１／２以上であればよい。また、切断機として
はダイシング・ソーを使用したが、これに限るものでは
なく、ワイヤー・ソーまたはスクライバーを使用しても
よい。

【００２０】さらに、上記実施例では、一対のくし歯電
極からなる端面反射型表面波共振子について説明した
が、これに限ることはなく、圧電基板上に複数組のくし
歯電極が形成された端面反射型表面波デバイスの製造方
法にも本発明を適用することができる。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る端面
反射型表面波共振子の製造方法にによれば、反射面を形
成する隣り合う切断線の間隔Ｌが切断機のブレードの厚
みＴよりも大きいので、所望の切断位置に切断機のブレ
ードを位置合わせして切断することができる。このた
め、切断機のブレードの厚みのバラツキ及び摩耗による
厚みの変動に影響されることなく、反射面となる端面の
位置を高精度に設定し、切断することができる。すなわ
ち、端面反射型表面波共振子を構成するＩＤＴ電極の両
端の電極指の幅を、高精度に形成することができる。こ
の結果、反射面となる端面の位置のバラツキによるイン
ピーダンス特性のリップルの発生率が大幅に低下し、こ
の共振子を使用したＶＩＦ補助トラップや発振子の不良
率を大幅に低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は、本発明の第一実施例の製造方法を説
明するための平面図、（ｂ）は、（ａ）の断面図であ
る。

【図２】（ａ）は、本発明の第二実施例の製造方法を説
明するための平面図、（ｂ）は、（ａ）の断面図であ
る。

【図３】端面反射型表面波共振子を説明するための斜視
図である。

【図４】圧電母基板上に形成された端面反射型表面波共
振子を構成するＩＤＴ電極を説明するための平面図であ
る。

【図５】（ａ）は、従来の端面反射型表面波共振子の製
造方法を説明するための平面図、（ｂ）は、（ａ）の断
面図である。

【図６】従来の製造方法により得られた端面反射型表面
波共振子のインピーダンス特性を示す図である。

【符号の説明】

１ 圧電母基板 ２ 圧電基板 ２ａ、２ｂ 端面 ３、４ くし歯電極 ３ａ〜３ｃ、４ａ、１３ａ、１３ｂ 電極指

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電母基板上に、端面反射型表面波共振
   子を構成するＩＤＴ電極を複数個形成し、圧電母基板を
   切断機により切断し、個々の共振子を切り出す端面反射
   型表面波共振子の製造方法において、 前記ＩＤＴ電極の電極指の幅をＷとし、切断機のブレー
   ドの厚みをＴとし、ＩＤＴ電極の両端の電極指の幅がＷ
   ／２となるように切断する隣り合う切断線の間隔をＬと
   した時に、圧電母基板上に個々のＩＤＴ電極を、Ｌ＞Ｔ
   となるように形成し、 切断機により、前記隣り合う切断線の一方の切断線に沿
   って前記圧電母基板を切断し、次に前記隣り合う切断線
   のもう一方の切断線に沿って前記圧電母基板を切断し
   て、 個々の共振子を切り出すことを特徴とする端面反射型表
   面波共振子の製造方法。