JPH04345206A - 端面反射型表面波装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＳＨタイプの表面波を
利用した表面波装置の製造方法に関し、特に、互いに対
向し合う一対の圧電基板端面を反射面として利用した端
面反射型の表面波装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＳＨタイプの表面波を利用した端
面反射型表面波共振子が公知である。ＳＨタイプの表面
波は、ＢＧＳ波やラブ波のように、変位が表面波伝播方
向と垂直な方向の変位を主体とする表面波である。上記
のようなＳＨタイプの表面波を利用した端面反射型表面
波共振子の一例を、図２に示す。

【０００３】端面反射型表面波共振子１は、矢印Ｐ方向
に分極処理された矩形の圧電基板２の対向し合っている
一対の端面２ａ，２ｂを反射面として利用している。圧
電基板２の一方主面上には、一対のくし歯電極３，４が
形成されている。くし歯電極３は、複数本の電極指３ａ
〜３ｃを有し、くし歯電極４は、複数本の電極指４ａ，
４ｂを有する。電極指３ａ〜３ｃと電極指４ａ，４ｂは
、図示のように互いに間挿し合うように配置されている
。電極指３ｂ及び電極指４ａ，４ｂは、励振される表面
波の波長をλとした時に、λ／４の幅を有するように形
成されており、他方、電極指３ａ，３ｃは、λ／８の幅
を有するように形成されている。すなわち、端面２ａ，
２ｂと圧電基板２の上面との側縁に沿って形成される両
端の電極指３ａ，３ｃは、残りの電極指３ｂ，４ａ，４
ｂの幅の１／２の幅を有するように形成されている。ま
た、電極指３ａ〜３ｃ，４ａ，４ｂ間のスペースの幅は
、電極指３ｂ，４ａ，４ｂの幅と同様に、λ／４とされ
ている。

【０００４】端面反射型表面波装置１では、くし歯電極
３，４間に交流電界を印加することにより、ＳＨタイプ
の表面波が励振され、該表面波は電極指３ａ〜３ｃ，４
ａ，４ｂの延びる方向と直交する方向に伝播し、そして
、端面２ａ，２ｂ間で反射されるように構成されている
。ところで、端面反射型表面波共振子１において共振周
波数を高精度に設定するには、くし歯電極３，４を高精
度に形成すること、並びに端面２ａ，２ｂを正確な位置
に形成することが必要である。そこで、従来、端面反射
型表面波共振子１は、以下の工程を得て製造されていた
。

【０００５】図３に平面図で示すように、先ず、圧電基
板２の上面にフォトリソグラフ技術等により導電膜をパ
ターニングし、一対のくし歯電極３，４を形成していた
。この場合、最初のパターニングにより形成されるくし
歯電極３，４は、図示の破線のハッチングを付して示す
ように、最終的に得られる図２のくし歯電極３，４とは
若干異なる形状に形成されていた。すなわち、くし歯電
極３側では、中央の電極指３ｂの幅Ｗと等しい幅の電極
指１３ａ，１３ｃを両端に形成していた。また、くし歯
電極４側においては、バスバー４ｃの両端において、幅
１／２Ｗの延長部４ｄ，４ｅを形成していた。

【０００６】しかる後、電極指１３ａ，１３ｃの幅方向
中央部分に沿って、すなわち、図３の破線Ａ，Ｂに沿っ
てダイシング・ソーで圧電基板２を厚み方向に切断する
ことにより、図２に示す端面２ａ，２ｂを切り出すと共
に、電極指３ａ，３ｃを完成させていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ダ
イシング・ソーによる切断では、電極指３ａ，３ｃを構
成している金属材料と、圧電基板２を構成している圧電
材料とが、異なる材料であるため、チッピングが生じが
ちであるという問題があった。また、ブレードを選択す
るに際し、電極指部分に比べて切断部分が大きい圧電基
板２に合わせてブレードを選択しなければならないため
、電極指３ａ，３ｃを切断により正確に形成することが
できず、電極指３ａ，３ｃの一部あるいは全部が圧電基
板２の上面から剥がれることもあった。

【０００８】よって、本発明の目的は、チッピングや電
極剥がれが生じ難く、従って不良品の発生率が低く、か
つ信頼性に優れた端面反射型表面波装置を製造し得る方
法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、圧電基板の一
方主面上に互いに間挿し合う複数の電極指を有する少な
くとも一対のくし歯電極を備え、前記くし歯電極と平行
に延びる圧電基板の端面と前記一方主面との交差する側
縁に沿う電極指の幅が残りの電極指の幅の１／２とされ
ており、かつ前記端面を反射面として用い、ＳＨタイプ
の表面波を利用した端面反射型表面波装置の製造方法で
あって、下記の工程を備えることを特徴とする。

【００１０】すなわち、最終的に前記一方主面と端面と
の交差する側縁に沿う位置に形成されることが予定され
ている電極指の幅を、他の電極指の幅をＷとした時に、
｛（１／２）Ｗ＋ダイシング・ソーの切断誤差幅｝の幅
となるように、前記一対のくし歯電極パターンを圧電基
板の一方主面上に形成し、次に、ダイシング・ソーによ
り前記圧電基板を厚み方向に切断して、前記圧電基板の
前記端面を切り出すことを特徴とする。

【００１１】

【作用】本発明の製造方法では、最終的に圧電基板の一
方主面と端面との交差する側縁に沿って形成される半分
幅の電極指が、当初のパターニングの段階から他の電極
指の幅の約１／２の幅に形成されている。従って、ダイ
シング・ソーにより切断するに際し、電極指を余分に切
断する必要はないため、ダイシングソーによる切断を正
確に行うことができる。なお、上記半分の幅の電極指を
、｛（１／２）Ｗ＋ダイシング・ソーの切断誤差幅｝と
しておくのは、端面反射型表面波装置においては、端面
と圧電基板の上記一方主面との成す側縁に必ず至るよう
に電極が形成されていなければ、特性が極端に劣化する
ため、確実に上記側縁に沿うように電極を形成するため
である。上記切断誤差幅は、通常１．５μｍ程度である
が、使用するダイシング・ソーによって異なるため、一
義的には限定され得ない。

【００１２】なお、両端に位置する電極指の幅を、当初
のパターニング段階において、（１／２Ｗ＋ダイシング
・ソーの切断誤差幅）以上の幅としておいた場合には、
電極指の切断される量が多くなり、ダイシング・ソーの
ブレードに金属が目詰まりし、安定に切断することがで
きない。

【００１３】

【実施例の説明】以下、本発明の一実施例に係る端面反
射型表面波装置の製造方法を説明する。まず、図１に平
面図で示すように、矩形の圧電基板２１を用意する。圧
電基板２１としては、適宜の圧電セラミックス材料ある
いは他の圧電材料からなるものが用いられ、図２に示し
た従来例の圧電基板２と同様に圧電基板２１の主面と平
行な方向に分極処理されている。

【００１４】次に、圧電基板２１の上面に、ハッチング
を付して示すように、フォトリソグラフ技術等により一
対のくし歯電極２２，２３を形成する。本実施例では、
くし歯電極２２は、幅Ｗの電極指２２ｂと、幅｛（１／
２）Ｗ＋１．５μｍ｝の電極指２２ａ，２２ｃとを有す
るように形成される。他方、くし歯電極２３としては、
幅Ｗの電極指２３ａ，２３ｂを有するものを形成する。 また、各電極指２２ａ〜２２ｃ及び電極指２３ａ，２３
ｂ間のスペースも、幅Ｗとなるように形成する。

【００１５】次に、切断誤差幅が１．５μｍのダイシン
グ・ソーを用いて圧電基板２１を図１の一点鎖線Ｃ，Ｄ
に沿って切断する。すなわち、この切断により、圧電基
板２１の互いに対向し合っている一対の端面２１ａ，２
１ｂを切り出す。なお、実際の製造工程では、上記のよ
うに１枚の圧電基板２１上に一対のくし歯電極２２，２
３を形成した後に切断するのではなく、比較的大きなマ
ザーの圧電基板上に複数組のくし歯電極２２，２３をパ
ターニングし、図５に示すように、隣合うくし歯電極２
２，２２の電極指２２ｃ，２２ａの外側端縁に設けられ
た幅１．５μｍの部分を切り落とすように、一点鎖線Ｃ
，Ｄ間の領域Ｅをダイシング・ソーにより切断する。 このようにして、マザーの圧電基板を用い、かつダイシ
ング・ソーにより順次切断していくことにより、複数個
の端面反射型共振子が得られる。

【００１６】上述した図５を、従来法における相当の図
である図４と比較すれば明らかなように、本実施例では
、電極指２２ａ，２２ｃの外側端縁で切り落とされ部分
の幅が非常に小さくされていることが分かる。上記実施
例から明らかなように、本実施例の製造方法では、最終
的に形成される端面２１ａ，２１ｂ（図１参照）を切り
出す前に、約Ｗ／２の幅の電極指２２ａ，２２ｃがパタ
ーニングにより形成されている。すなわち、ダイシング
・ソーによる切断で切り落とされる電極指部分の幅は、
１．５μｍにすぎないため、ダイシング・ソーによる切
断に伴う電極剥がれの発生を確実に防止することができ
る。

【００１７】また、電極材料を切り落とす部分の幅が１
．５μｍと非常に細いため、圧電基板の材料に合わせた
ブレードを選択したとしても、チッピングの発生は生じ
難い。しかも、電極指２２ａ，２２ｃの外側に設けられ
た１．５μｍの幅の電極指幅延長部分を目安として切断
すればよいため、端面２１ａ，２１ｂを正確な位置に形
成することができる。のみならず、１．５μｍの幅の電
極指幅延長部分が設けられているため、切り出された端
面２１ａ，２１ｂに確実に電極指２２ａ，２２ｃが至る
ように電極指２２ａ，２２ｃが形成される。よって、本
実施例によれば、所望の特性を有する端面反射型表面波
共振子を高精度に得ることができる。

【００１８】なお、上記実施例では、端面反射型表面波
共振子の製造方法に適用した例を説明したが、本発明は
、図６に示すように、圧電基板上に複数組のくし歯電極
が形成された端面反射型表面波フィルタの製造方法にも
適用することができる。すなわち、図６の端面反射型表
面波フィルタでは、矩形の圧電基板３１上に、くし歯電
極３２，３３からなる第１の共振子部分と、くし歯電極
３４，３５からなる第２の共振子部分が構成されており
、それによって端面反射型の表面波フィルタが構成され
ている。

【００１９】図６に示す端面反射型表面波フィルタの製
造方法に本発明を適用する場合には、上記した図１に示
した実施例と同様に、最終的に得られる圧電基板３１よ
りも図６の一点鎖線Ｆ，Ｇで示すように若干大きな圧電
基板を用意し、電極指３３ａ，３３ｃ及び３５ａ，３５
ｃについては、図示の最終的な形状に加えて、外側端縁
に幅１．５μｍの電極延長部を形成しておき、ダイシン
グソーにより切断することにより、一点鎖線Ｆ，Ｇで示
す部分を切断することにより、端面３１ａ，３１ｂを形
成すればよい。

【００２０】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、反射面
として利用する端面に至る電極指が、残りの電極指の幅
をＷとした時に、｛（Ｗ／２）＋ダイシング・ソーの切
断誤差幅｝の幅となるようにパターニングにより先ず形
成され、しかる後、該ダイシング・ソーの切断誤差幅の
部分を切り落とすようにダイシング・ソーにより圧電基
板を厚み方向に切断することにより、両端の電極指を正
確な幅に形成することができると共に、切り出される端
面の位置精度を高めることが可能となる。

【００２１】しかも、ダイシング・ソーにより切り落と
される電極指部分の幅が非常に狭いため、圧電基板を構
成している圧電材料に応じてブレードを選択したとして
も、チッピングや電極剥がれを発生させることなく上記
切断を確実に行うことができる。よって、本発明によれ
ば、設計どおりの特性を発揮する端面反射型表面波装置
を高精度に得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の製造方法を説明するための
平面図。

【図２】従来の端面反射型表面波共振子を説明するため
の斜視図。

【図３】従来の端面反射型表面波共振子の製造方法を説
明するための平面図。

【図４】従来の端面反射型表面波共振子の製造方法を説
明するための模式拡大平面図。

【図５】本発明の一実施例におけるダイシングソーによ
る切断工程を説明するための部分切欠拡大平面図。

【図６】本発明の他の実施例の製造方法を説明するため
の平面図。

【符号の説明】

２１…圧電基板 ２１ａ，２１ｂ…端面 ２２，２３…くし歯電極

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　圧電基板の一方主面上に互いに間挿し
   合う複数の電極指を有する少なくとも一対のくし歯電極
   を備え、前記くし歯電極と平行に延びる圧電基板の端面
   と前記一方主面との交差する側縁に沿う電極指の幅が、
   残りの電極指の幅の１／２とされており、かつ上記端面
   を反射面として用いたＳＨタイプの表面波を利用した端
   面反射型表面波装置の製造方法において、前記一方主面
   と端面との交差する側縁に沿う位置に形成されることが
   予定されている電極指の幅が、他の電極指の幅をＷとし
   た時に、｛（１／２）Ｗ＋ダイシング・ソーの切断誤差
   幅｝の幅となるように、前記一対のくし歯電極パターン
   を圧電基板の一方主面上に形成し、次に、ダイシング・
   ソーにより前記圧電基板を厚み方向に切断して前記圧電
   基板の端面を切り出すことを特徴とする、端面反射型表
   面波装置の製造方法。