JPH0744038A - 平面ヒータおよび定着装置 - Google Patents
平面ヒータおよび定着装置Info
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- JPH0744038A JPH0744038A JP18855593A JP18855593A JPH0744038A JP H0744038 A JPH0744038 A JP H0744038A JP 18855593 A JP18855593 A JP 18855593A JP 18855593 A JP18855593 A JP 18855593A JP H0744038 A JPH0744038 A JP H0744038A
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- Japan
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- layer
- overcoat layer
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- Resistance Heating (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 定着の品位を向上させた平面ヒータおよび定
着装置を提供する。 【構成】 平面ヒータ１は、アルミナセラミックスの基
板３上に、銀パラジウム合金の抵抗発熱体４、ほう珪酸
ガラスの絶縁体層５、オーバコート層６を順次積層形成
する。オーバコート層６は、絶縁体層５の幅方向および
長さ方向の全体を覆う。定着ローラ２は、平面ヒータ１
の長手方向に沿って回転軸７を有する加圧ローラ８の周
方向の表面に、緩衝材９および耐熱弾性材料10を積層
し、耐熱弾性材料10の表面に加圧面を形成する。絶縁体
層５上に設けたオーバコート層６の幅を、絶縁体層５の
幅より長くして絶縁体層５の幅方向の全体を覆っている
ため、段差が生じないので、トナーＴなどが溜まること
がなくなり、コピー紙ＰにトナーＴの筋の付着を防止で
き、定着物の品位が向上する。
着装置を提供する。 【構成】 平面ヒータ１は、アルミナセラミックスの基
板３上に、銀パラジウム合金の抵抗発熱体４、ほう珪酸
ガラスの絶縁体層５、オーバコート層６を順次積層形成
する。オーバコート層６は、絶縁体層５の幅方向および
長さ方向の全体を覆う。定着ローラ２は、平面ヒータ１
の長手方向に沿って回転軸７を有する加圧ローラ８の周
方向の表面に、緩衝材９および耐熱弾性材料10を積層
し、耐熱弾性材料10の表面に加圧面を形成する。絶縁体
層５上に設けたオーバコート層６の幅を、絶縁体層５の
幅より長くして絶縁体層５の幅方向の全体を覆っている
ため、段差が生じないので、トナーＴなどが溜まること
がなくなり、コピー紙ＰにトナーＴの筋の付着を防止で
き、定着物の品位が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、トナーなどの被定着物
を加熱する平面ヒータおよび定着装置に関する。
を加熱する平面ヒータおよび定着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、複写機やファクシミリ装置など
のオフィスオートメーション機器では、図４に示すよう
に、トナーＴを複写して定着させる際に、トナー像を形
成したコピー紙Ｐを、定着用の平面ヒータ１と、この平
面ヒータ１に対向して回転自在に設けられた定着ローラ
２との間に位置させ、平面ヒータ１による加熱によりト
ナーＴをコピー紙Ｐに溶着させて、トナー像を定着させ
ている。
のオフィスオートメーション機器では、図４に示すよう
に、トナーＴを複写して定着させる際に、トナー像を形
成したコピー紙Ｐを、定着用の平面ヒータ１と、この平
面ヒータ１に対向して回転自在に設けられた定着ローラ
２との間に位置させ、平面ヒータ１による加熱によりト
ナーＴをコピー紙Ｐに溶着させて、トナー像を定着させ
ている。
【０００３】そして、この平面ヒータ１は、図５に示す
ように、アルミナセラミックス（Ａｌ2 Ｏ3 ）製の長形
平板の基板３上に、この基板３の長手方向に沿って銀パ
ラジウム合金（Ａｇ／Ｐｄ）などからなる導体ペースト
もしくは酸化ルテニウム（ＲｕＯ2 ）などからなる抵抗
ペーストの抵抗発熱体４にて形成されている。
ように、アルミナセラミックス（Ａｌ2 Ｏ3 ）製の長形
平板の基板３上に、この基板３の長手方向に沿って銀パ
ラジウム合金（Ａｇ／Ｐｄ）などからなる導体ペースト
もしくは酸化ルテニウム（ＲｕＯ2 ）などからなる抵抗
ペーストの抵抗発熱体４にて形成されている。
【０００４】また、この抵抗発熱体４の表面は、電気絶
縁性の高いガラス質の絶縁体層５で被覆され、この絶縁
体層５の表面の抵抗発熱体４の上方の部分には、磨耗お
よびコピー紙Ｐとの摩擦を軽減させるために滑らかさの
高いガラス質のオーバコート層６が被覆されている。
縁性の高いガラス質の絶縁体層５で被覆され、この絶縁
体層５の表面の抵抗発熱体４の上方の部分には、磨耗お
よびコピー紙Ｐとの摩擦を軽減させるために滑らかさの
高いガラス質のオーバコート層６が被覆されている。
【０００５】一方、定着ローラ２は、平面ヒータ１の長
手方向に沿って回転軸７を有する加圧ローラ８の周方向
の表面に、緩衝材９および耐熱弾性材料10が積層され、
耐熱弾性材料10の表面は加圧面が形成されている。
手方向に沿って回転軸７を有する加圧ローラ８の周方向
の表面に、緩衝材９および耐熱弾性材料10が積層され、
耐熱弾性材料10の表面は加圧面が形成されている。
【０００６】そして、平面ヒータ１と定着ローラ２との
間に、トナーＴを平面ヒータ１に対向させたコピー紙Ｐ
を挿入し、コピー紙Ｐを平面ヒータ１のオーバコート層
６の表面に弾接させて滑りながら搬送させ、トナーＴを
平面ヒータ１でコピー紙Ｐに溶着させ、トナー像をコピ
ー紙Ｐに定着させている。
間に、トナーＴを平面ヒータ１に対向させたコピー紙Ｐ
を挿入し、コピー紙Ｐを平面ヒータ１のオーバコート層
６の表面に弾接させて滑りながら搬送させ、トナーＴを
平面ヒータ１でコピー紙Ｐに溶着させ、トナー像をコピ
ー紙Ｐに定着させている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
４および図５に示す従来の平面ヒータ１は、オーバコー
ト層６の幅Ｗより絶縁体層５の幅ｗが広いため、オーバ
コート層６と絶縁体層５との間に段差を生ずる。よっ
て、コピー紙Ｐをオーバコート層６上を滑らせる際に、
トナーＴがコピー紙Ｐから剥離して段差の部分に溜ま
り、図６に示すように、コピー紙Ｐに搬送方向に沿った
筋が生じたり、定着むらが生じたりするおそれがある。
また、段差は幅方向に対して一定ではないので、定着ロ
ーラ２との間に一定圧が加わらないため、コピー紙Ｐに
対して同様に定着むらなどを生じさせてしまうおそれが
ある問題を有している。
４および図５に示す従来の平面ヒータ１は、オーバコー
ト層６の幅Ｗより絶縁体層５の幅ｗが広いため、オーバ
コート層６と絶縁体層５との間に段差を生ずる。よっ
て、コピー紙Ｐをオーバコート層６上を滑らせる際に、
トナーＴがコピー紙Ｐから剥離して段差の部分に溜ま
り、図６に示すように、コピー紙Ｐに搬送方向に沿った
筋が生じたり、定着むらが生じたりするおそれがある。
また、段差は幅方向に対して一定ではないので、定着ロ
ーラ２との間に一定圧が加わらないため、コピー紙Ｐに
対して同様に定着むらなどを生じさせてしまうおそれが
ある問題を有している。
【０００８】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、定着の品位を向上させた平面ヒータおよび定着装置
を提供することを目的とする。
で、定着の品位を向上させた平面ヒータおよび定着装置
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の平面ヒー
タは、絶縁性の細長状の基板と、この基板の表面上に長
手方向に沿って形成された抵抗発熱体と、この抵抗発熱
体を覆う絶縁体層と、この絶縁体層上に設けられたオー
バコート層とを備えた平面ヒータにおいて、前記オーバ
コート層の幅方向の長さは、前記絶縁体層の幅方向の長
さより長く、前記オーバコート層は前記絶縁体層の幅方
向の全体を覆っているものである。
タは、絶縁性の細長状の基板と、この基板の表面上に長
手方向に沿って形成された抵抗発熱体と、この抵抗発熱
体を覆う絶縁体層と、この絶縁体層上に設けられたオー
バコート層とを備えた平面ヒータにおいて、前記オーバ
コート層の幅方向の長さは、前記絶縁体層の幅方向の長
さより長く、前記オーバコート層は前記絶縁体層の幅方
向の全体を覆っているものである。
【００１０】請求項２記載の平面ヒータは、請求項１記
載の平面ヒータにおいて、オーバコート層は、絶縁体層
の幅方向と長手方向の全体を覆っているものである。
載の平面ヒータにおいて、オーバコート層は、絶縁体層
の幅方向と長手方向の全体を覆っているものである。
【００１１】請求項３記載の定着装置は、請求項１また
は２記載の平面ヒータと、この平面ヒータの長手方向に
沿って軸方向を有しこの平面ヒータに対向して設けられ
た回転自在の定着ローラとを具備したものである。
は２記載の平面ヒータと、この平面ヒータの長手方向に
沿って軸方向を有しこの平面ヒータに対向して設けられ
た回転自在の定着ローラとを具備したものである。
【００１２】
【作用】請求項１記載の平面ヒータは、絶縁体層上に設
けたオーバコート層の幅方向の長さを、絶縁体層の幅方
向の長さより長くして絶縁体層の幅方向の全体を覆って
いるので、絶縁体層とオーバコート層との間に段差が生
じないので、たとえばトナーなどが溜まることがなくな
り、定着物の品位が向上する。
けたオーバコート層の幅方向の長さを、絶縁体層の幅方
向の長さより長くして絶縁体層の幅方向の全体を覆って
いるので、絶縁体層とオーバコート層との間に段差が生
じないので、たとえばトナーなどが溜まることがなくな
り、定着物の品位が向上する。
【００１３】請求項２記載の平面ヒータは、請求項１記
載の平面ヒータにおいて、オーバコート層は絶縁体層の
幅方向と長手方向の全体を覆っているので、より段差が
生じないので、たとえばトナーなどが溜まることがなく
なり、定着物の品位がより向上する。
載の平面ヒータにおいて、オーバコート層は絶縁体層の
幅方向と長手方向の全体を覆っているので、より段差が
生じないので、たとえばトナーなどが溜まることがなく
なり、定着物の品位がより向上する。
【００１４】請求項３記載の定着装置は、請求項１また
は２記載の平面ヒータに対向して回転自在の定着ローラ
を設けたので、定着物の品位が向上する。
は２記載の平面ヒータに対向して回転自在の定着ローラ
を設けたので、定着物の品位が向上する。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例の定着装置を図面を
参照して説明する。なお、図４および図５に示す従来例
の定着装置に対応する部分には、同一符号を付して説明
する。
参照して説明する。なお、図４および図５に示す従来例
の定着装置に対応する部分には、同一符号を付して説明
する。
【００１６】まず、平面ヒータ１は、図１ないし図３に
示すように、耐熱性を有するたとえばアルミナセラミッ
クス（Ａｌ2 Ｏ3 ）あるいはちっ化アルミニウム（Ａｌ
Ｎ）製の大きさ約２７０mm×７mm×０．６３５mmの長形
平板の基板３上に、この基板３の長手方向に沿って導電
性のペースト材料である銀パラジウム合金（Ａｇ／Ｐ
ｄ）あるいは酸化ルテニウム（ＲｕＯ2 ）などの抵抗発
熱体４が厚膜ペーストを帯状に厚膜印刷し、その後焼成
することにより約１０μｍの厚さで形成されている。そ
して、抵抗発熱体４の両端には、この抵抗発熱体４より
幅広の電極部が形成されており、これら電極部は発熱し
ない。また、これら電極部の表面には、発熱抵抗体４よ
り接触電気抵抗を小さくするための銀（Ａｇ）、金（Ａ
ｕ）またはプラチナ（Ｐｔ）などの金属ペーストを印刷
塗布、焼成して電極4a，4aを約１０μｍの厚さで形成し
ている。なお、合金のパラジウムが抵抗成分となり、こ
のパラジウムの含有比率によって抵抗値が調節され、た
とえば３４Ωに抵抗値を設定し、１００Ｖの電圧を印加
することにより３Ａの電流を供給して、３００Ｗの発熱
量を得ている。
示すように、耐熱性を有するたとえばアルミナセラミッ
クス（Ａｌ2 Ｏ3 ）あるいはちっ化アルミニウム（Ａｌ
Ｎ）製の大きさ約２７０mm×７mm×０．６３５mmの長形
平板の基板３上に、この基板３の長手方向に沿って導電
性のペースト材料である銀パラジウム合金（Ａｇ／Ｐ
ｄ）あるいは酸化ルテニウム（ＲｕＯ2 ）などの抵抗発
熱体４が厚膜ペーストを帯状に厚膜印刷し、その後焼成
することにより約１０μｍの厚さで形成されている。そ
して、抵抗発熱体４の両端には、この抵抗発熱体４より
幅広の電極部が形成されており、これら電極部は発熱し
ない。また、これら電極部の表面には、発熱抵抗体４よ
り接触電気抵抗を小さくするための銀（Ａｇ）、金（Ａ
ｕ）またはプラチナ（Ｐｔ）などの金属ペーストを印刷
塗布、焼成して電極4a，4aを約１０μｍの厚さで形成し
ている。なお、合金のパラジウムが抵抗成分となり、こ
のパラジウムの含有比率によって抵抗値が調節され、た
とえば３４Ωに抵抗値を設定し、１００Ｖの電圧を印加
することにより３Ａの電流を供給して、３００Ｗの発熱
量を得ている。
【００１７】また、この抵抗発熱体４の表面は、電気絶
縁性の高いほう珪酸ガラスを主成分としたガラス質の絶
縁体層５が、厚膜ペーストを帯状に印刷塗布、焼成する
ことにより、幅ｗ、厚さ約３０μｍで被覆形成されてい
る。そして、この絶縁体層５は、たとえば３５μｍの厚
さの場合に、絶縁耐電圧は２０００Ｖである。なお、こ
の絶縁体層５は、電極4a上は被膜しない。
縁性の高いほう珪酸ガラスを主成分としたガラス質の絶
縁体層５が、厚膜ペーストを帯状に印刷塗布、焼成する
ことにより、幅ｗ、厚さ約３０μｍで被覆形成されてい
る。そして、この絶縁体層５は、たとえば３５μｍの厚
さの場合に、絶縁耐電圧は２０００Ｖである。なお、こ
の絶縁体層５は、電極4a上は被膜しない。
【００１８】さらに、この絶縁体層５の表面には、この
絶縁体層５の幅方向および長さ方向の全体を覆うように
電極4aの近傍まで、磨耗および複写紙であるコピー紙Ｐ
との摩擦を軽減させる目的で滑らかさの高い酸化鉛の多
い鉛ガラスを主成分としたガラス質のオーバコート層６
を、厚膜ペーストを帯状に印刷塗布、焼成することによ
り、幅Ｗ、厚さ約１０μｍで被覆形成する。そして、こ
のオーバコート層５は、たとえば３０μｍの厚さの場合
に、絶縁耐電圧は１０００Ｖ〜１５００Ｖ程度である
が、表面滑らかさは０．０２μｍ以下に小さくできる。
絶縁体層５の幅方向および長さ方向の全体を覆うように
電極4aの近傍まで、磨耗および複写紙であるコピー紙Ｐ
との摩擦を軽減させる目的で滑らかさの高い酸化鉛の多
い鉛ガラスを主成分としたガラス質のオーバコート層６
を、厚膜ペーストを帯状に印刷塗布、焼成することによ
り、幅Ｗ、厚さ約１０μｍで被覆形成する。そして、こ
のオーバコート層５は、たとえば３０μｍの厚さの場合
に、絶縁耐電圧は１０００Ｖ〜１５００Ｖ程度である
が、表面滑らかさは０．０２μｍ以下に小さくできる。
【００１９】一方、定着ローラ２は、平面ヒータ１の長
手方向に沿って回転軸７を有する加圧ローラ８の周方向
の表面に、緩衝材９および耐熱弾性材料10が積層され、
耐熱弾性材料10の表面には加圧面が形成されている。
手方向に沿って回転軸７を有する加圧ローラ８の周方向
の表面に、緩衝材９および耐熱弾性材料10が積層され、
耐熱弾性材料10の表面には加圧面が形成されている。
【００２０】そして、平面ヒータ１と定着ローラ２との
間に、トナーＴを平面ヒータ１に対向させたコピー紙Ｐ
を挿入し、コピー紙Ｐを平面ヒータ１のオーバコート層
６の表面に弾接させて滑りながら搬送させ、トナーＴを
平面ヒータ１でコピー紙Ｐに溶着させ、トナー像をコピ
ー紙Ｐに定着させている。
間に、トナーＴを平面ヒータ１に対向させたコピー紙Ｐ
を挿入し、コピー紙Ｐを平面ヒータ１のオーバコート層
６の表面に弾接させて滑りながら搬送させ、トナーＴを
平面ヒータ１でコピー紙Ｐに溶着させ、トナー像をコピ
ー紙Ｐに定着させている。
【００２１】上記実施例によれば、絶縁体層５上に設け
たオーバコート層６の幅Ｗを、絶縁体層５の幅ｗより長
くして絶縁体層５の幅方向の全体を覆っているので、絶
縁体層５とオーバコート層６との間に段差が生じないの
で、トナーＴなどが溜まることがなくなり、図６に示す
ような筋が付くことを防止できるので、定着物の品位が
向上する。
たオーバコート層６の幅Ｗを、絶縁体層５の幅ｗより長
くして絶縁体層５の幅方向の全体を覆っているので、絶
縁体層５とオーバコート層６との間に段差が生じないの
で、トナーＴなどが溜まることがなくなり、図６に示す
ような筋が付くことを防止できるので、定着物の品位が
向上する。
【００２２】なお、上記実施例では、定着ローラ２およ
び平面ヒータ１間には、何も介在させていないが、たと
えばフィルムなどを介在させ、平面ヒータ１およびコピ
ー紙Ｐ間にフィルムを挿入させるようにしても、同様の
効果を得ることができる。
び平面ヒータ１間には、何も介在させていないが、たと
えばフィルムなどを介在させ、平面ヒータ１およびコピ
ー紙Ｐ間にフィルムを挿入させるようにしても、同様の
効果を得ることができる。
【００２３】
【発明の効果】請求項１記載の平面ヒータによれば、絶
縁体層上に設けたオーバコート層の幅方向の長さを、絶
縁体層の幅方向の長さより長くして絶縁体層の幅方向の
全体を覆っているので、絶縁体層とオーバコート層との
間に段差が生じないので、たとえばトナーなどが溜まる
ことがなくなり、定着物の品位を向上できる。
縁体層上に設けたオーバコート層の幅方向の長さを、絶
縁体層の幅方向の長さより長くして絶縁体層の幅方向の
全体を覆っているので、絶縁体層とオーバコート層との
間に段差が生じないので、たとえばトナーなどが溜まる
ことがなくなり、定着物の品位を向上できる。
【００２４】請求項２記載の平面ヒータは、請求項１記
載の平面ヒータに加え、オーバコート層は絶縁体層の幅
方向と長手方向の全体を覆っているので、より段差が生
じないので、たとえばトナーなどが溜まることがなくな
り、定着物の品位をより向上できる。
載の平面ヒータに加え、オーバコート層は絶縁体層の幅
方向と長手方向の全体を覆っているので、より段差が生
じないので、たとえばトナーなどが溜まることがなくな
り、定着物の品位をより向上できる。
【００２５】請求項３記載の定着装置によれば、請求項
１記載の平面ヒータに対向して回転自在の定着ローラを
設けたので、定着物の品位を向上できる。
１記載の平面ヒータに対向して回転自在の定着ローラを
設けたので、定着物の品位を向上できる。
【図１】本発明の一実施例の定着装置を示す説明図であ
る。
る。
【図２】同上平面ヒータを示す一部を切り欠いた平面図
である。
である。
【図３】同上平面ヒータの断面図である。
【図４】従来例の定着装置を示す説明図である。
【図５】同上平面ヒータの断面図である。
【図６】同上コピー紙の状態を示す説明図である。
１ 平面ヒータ ２ 定着ローラ ３ 基板 ４ 抵抗発熱体 ５ 絶縁体層 ６ オーバコート層
Claims (3)
- 【請求項１】 絶縁性の細長状の基板と、この基板の表
面上に長手方向に沿って形成された抵抗発熱体と、この
抵抗発熱体を覆う絶縁体層と、この絶縁体層上に設けら
れたオーバコート層とを備えた平面ヒータにおいて、 前記オーバコート層の幅方向の長さは、前記絶縁体層の
幅方向の長さより長く、前記オーバコート層は前記絶縁
体層の幅方向の全体を覆っていることを特徴とした平面
ヒータ。 - 【請求項２】 オーバコート層は、絶縁体層の幅方向と
長手方向の全体を覆っていることを特徴とした請求項１
記載の平面ヒータ。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の平面ヒータと、 この平面ヒータの長手方向に沿って軸方向を有しこの平
面ヒータに対向して設けられた回転自在の定着ローラと
を具備したことを特徴とする定着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18855593A JP3582535B2 (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 平面ヒータおよび定着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18855593A JP3582535B2 (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 平面ヒータおよび定着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0744038A true JPH0744038A (ja) | 1995-02-14 |
| JP3582535B2 JP3582535B2 (ja) | 2004-10-27 |
Family
ID=16225748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18855593A Expired - Lifetime JP3582535B2 (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 平面ヒータおよび定着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3582535B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002075599A (ja) * | 2000-08-25 | 2002-03-15 | Rohm Co Ltd | 発熱体、それを用いた定着器および発熱体の製造方法 |
| JP2002289328A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Rohm Co Ltd | 発熱体、それを用いた定着器および発熱体の製造方法 |
| US7039352B2 (en) * | 2003-07-10 | 2006-05-02 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Thermally self-regulating fusing system for thermal transfer overcoat device including stationary heating assembly |
| JP2006210122A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Kyocera Corp | セラミックヒータ素子及びそれを用いた検出素子 |
-
1993
- 1993-07-29 JP JP18855593A patent/JP3582535B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002075599A (ja) * | 2000-08-25 | 2002-03-15 | Rohm Co Ltd | 発熱体、それを用いた定着器および発熱体の製造方法 |
| JP4536887B2 (ja) * | 2000-08-25 | 2010-09-01 | ローム株式会社 | 発熱体、それを用いた定着器および発熱体の製造方法 |
| JP2002289328A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Rohm Co Ltd | 発熱体、それを用いた定着器および発熱体の製造方法 |
| JP4593824B2 (ja) * | 2001-03-23 | 2010-12-08 | ローム株式会社 | 発熱体、それを用いた定着器および発熱体の製造方法 |
| US7039352B2 (en) * | 2003-07-10 | 2006-05-02 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Thermally self-regulating fusing system for thermal transfer overcoat device including stationary heating assembly |
| JP2006210122A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Kyocera Corp | セラミックヒータ素子及びそれを用いた検出素子 |
| JP4583187B2 (ja) * | 2005-01-27 | 2010-11-17 | 京セラ株式会社 | セラミックヒータ素子及びそれを用いた検出素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3582535B2 (ja) | 2004-10-27 |
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