JPH0740213A - エッジポリッシャ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エッジポリッシャにおける研磨部材がウエハ
のノッチの角部によって傷付けらにくくする。 【構成】 外周の一部にノッチ５を有する円板形ウエハ
１を保持して軸線の回りに回転させる保持手段１０と、
ウエハの面取り加工された外周部１ａを研磨する研磨部
材とを有し、上記保持手段におけるウエハ用チャック面
１２の一部に、ウエハのノッチ５と対応して該ノッチの
角部５ａが研磨部材に圧接するのを防止する突部１２ａ
を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハの外周部
を鏡面研磨するためのエッジポリッシャに関するもので
あり、更に詳しくは、外周の一部にノッチを備えた円板
形ウエハの外周部を鏡面研磨するためのエッジポリッシ
ャに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】円板形をなす半導体ウエハの面取り加工
された外周部を鏡面研磨するエッジポリッシャは、例え
ば特開昭６４−７１６５６号公報に記載されているよう
に、従来より公知である。かかるエッジポリッシャは、
一般に、図４に示すように、ウエハ１を外周部がはみ出
た状態に保持する保持手段２と、ウエハ１の外周部に一
定の力で当接する研磨部材３とを有し、保持手段２でウ
エハ１を軸線の回りに回転させながら、回転する研磨部
材３でウエハ外周部１ａを鏡面研磨するものである。

【０００３】一方、半導体ウエハ１には、図５に示すよ
うに、外周の一部に平らな切欠き（オリエンテーション
フラット）４を有するものや、図６に示すように、Ｘ線
照射の認識マークとしてのＶ字形やＵ字形等の切欠き
（ノッチ）５を有するものがあり、従来では、これらの
ウエハ１を、切欠きの有無や切欠きの形状等に拘らず同
じエッジポリッシャを使用して研磨するようにしてい
た。

【０００４】ところが、ノッチ５を有するウエハを研磨
する場合には、該ノッチ５の鋭利な角部５ａが研磨部材
３に当ってポリッシングパッドを傷付け易いため、該パ
ッドが短時間にうちに破損してしまうという問題があっ
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ウエ
ハのノッチによって研磨部材が傷付けられにくいエッジ
ポリッシャを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のエッジポリッシャは、外周の一部にノッチ
を備えた円板形のウエハを保持して軸線の回りに回転さ
せる保持手段と、ウエハの外周を研磨する研磨部材とを
有し、上記保持手段が、ウエハを外周部がはみ出た状態
に保持可能な該ウエハより小径のチャック面を有してい
て、該チャック面におけるウエハのノッチと対応する位
置に、該ノッチの角部が研磨部材に圧接するのを防止す
るための突部を備えていることを特徴とするものであ
る。

【０００７】

【作用】ノッチ付きのウエハを、保持手段における突部
付きのチャック面に、ノッチと突部とが対応するような
位置関係に保持させたあと、該ウエハを軸線の回りに回
転させながら、回転する研磨部材でウエハ外周部を鏡面
研磨する。このとき、ウエハのノッチが形成されていな
い部分では該ウエハの外周が研磨部材に当接し、ノッチ
形成部分においては、チャック面の突部が研磨部材に当
接し、ノッチの鋭利な角部は研磨部材に当接しないか、
当接してもその当接力が弱いため、該角部によって研磨
部材のポリッシングパッドが傷付きにくい。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明するに、本発明のエッジポリッシャは、図１乃
至図３に示すように、外周の一部にノッチ５を備えた円
板形のウエハ１を保持して軸線の回りに回転させる保持
手段１０と、上記ウエハ１の面取り加工された外周部１
ａを鏡面研磨する研磨部材１１とを有している。

【０００９】上記保持手段１０は、ウエハ１より小径を
なす略円形のチャック面１２上に、通孔１４を通じて図
示しない真空ポンプに接続された複数の吸着孔１３を設
けたもので、該チャック面１２上に上記ウエハ１を、真
空吸着によりノッチ部分を除く外周部１ａがチャック面
１２からはみ出た状態に保持するように構成されてい
る。

【００１０】上記チャック面１２には、ウエハ１のノッ
チ５と対応する位置に、該ノッチ５の鋭利な角部５ａが
研磨部材１１に圧接するのを防止するための突部１２ａ
が形成されている。該突部１２ａは、自らが研磨部材１
１に当接することにより該ノッチ５の角部５ａが研磨部
材１１に圧接するのを防止するもので、チャック面１２
から滑らかな凸曲面を描くように突出し、先端部が少な
くともウエハ１の円周と重なる位置か又は円周よりもや
や外側に突出した位置を占めるようになっている。

【００１１】一方、上記研磨部材１１は、円筒形のドラ
ムの周囲にポリッシングパッドを巻き付けたもので、ウ
エハの面取りされた外周部１ａにぴったりと当接するよ
う、保持手段１０に対して所要の角度だけ相対的に傾斜
し、軸線の回りに駆動回転せしめられるようになってい
る。

【００１２】また、上記保持手段１０と該研磨部材１１
とは、特に図示はしていないが、少なくとも一方が相互
に接離する方向に移動自在となっていて、適宜の負荷手
段により一定の力で相互に近接する方向に付勢されてお
り、これにより、ウエハ１が完全な円形でなくても、そ
の形状に応じて保持手段１０と研磨部材１１とが接離方
向に相対的に変移することにより研磨を行うことができ
ると共に、ウエハ１と研磨部材１１とが常に一定の力で
当接するようになっている。

【００１３】上記構成を有するエッジポリッシャでノッ
チ５付きウエハ１の外周部１ａを研磨するときは、図２
に示すように、該ウエハ１を、保持手段１０における突
部１２ａ付きのチャック面１２上に、ノッチ５と突部１
２ａとが対応するような位置関係に保持させたあと、該
保持手段１０でウエハ１を軸線の回りに回転させなが
ら、回転する研磨部材１１でウエハ１の外周部１ａを鏡
面研磨する。

【００１４】このとき、ウエハ外周のノッチ５が形成さ
れていない部分においては、該ウエハ１の外周部１ａが
研磨部材１１に当接し、ノッチ形成部分においては、保
持手段のチャック面１２に形成された突部１２ａが研磨
部材１１に当接するため、ノッチ５の鋭利な角部５ａは
研磨部材１１に当接しないか又は当接しても弱い力で当
接することになり、このため、該角部５ａによって研磨
部材１１のポリッシングパッドが傷付きにくく、該ポリ
ッシングパッドを長期間にわたって使用することが可能
になる。

【００１５】ウエハ１の反対側の面の面取された外周部
を研磨するときは、該ウエハ１を上下反転させて上記作
業を繰り返すようにする。なお、図示した実施例ではド
ラム形の研磨部材１１を使用しているが、円板形の研磨
部材であっても良く、また、保持手段１０が、２つの円
板形のチャック部材でウエハを両側から挟持してチャッ
クする方式のものであっても良いことは勿論である。

【００１６】

【発明の効果】このように本発明によれば、ウエハ保持
手段におけるチャック面の一部に突部を設けるという簡
単な手段により、ウエハのノッチ部が研磨部材に圧接す
るのを防止したので、該ポリッシングパッドが傷付きに
くく、該ポリッシングパッドを長期間にわたって使用す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るエッジポリッシャの要部正面図で
ある。

【図２】図１の部分平面図である。

【図３】図２のウエハを除いた状態の平面図である。

【図４】従来のエッジポリッシャの要部正面図である。

【図５】ウエハの一例を示す平面図である。

【図６】ウエハの他例を示す平面図である。

【符号の説明】

１ ウエハ １ａ 外周部 ５ ノッチ ５ａ 角部 １０ 保持手段 １１ 研磨部材 １２ チャック面 １２ａ 突部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外周の一部にノッチを有する円板形ウエ
   ハを保持して軸線の回りに回転させる保持手段と、ウエ
   ハの外周部を研磨する研磨部材とを有し、 上記保持手段が、ウエハを外周部がはみ出た状態に保持
   可能な該ウエハより小径のチャック面を有していて、該
   チャック面におけるウエハのノッチと対応する位置に、
   該ノッチの角部が研磨部材に圧接するのを防止するため
   の突部を備えていることを特徴とするエッジポリッシ
   ャ。