JPH07328431A - ハロゲン化水素ガス吸着剤 - Google Patents
ハロゲン化水素ガス吸着剤Info
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- JPH07328431A JPH07328431A JP6156651A JP15665194A JPH07328431A JP H07328431 A JPH07328431 A JP H07328431A JP 6156651 A JP6156651 A JP 6156651A JP 15665194 A JP15665194 A JP 15665194A JP H07328431 A JPH07328431 A JP H07328431A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】高温下においてもハロゲン化水素に対する吸着
特性に優れた吸着剤を提供する。 【構成】含水酸化ビスマス（ＩＩＩ）及び下記一般式
（１）〜（３）で表される化合物から選ばれる少なくと
も一種からなるハロゲン化水素ガス吸着剤。 Ｍ1 Ｍ2xＯ(2+3X)/2・ｎＨ2 Ｏ （１） Ｍ31 -yＭ4 y （ＯＨ）2 Ａp- y/p ・ｗＨ2 Ｏ （２） Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）Z （ＮＯ3 ）6-Z ・ｍＨ2 Ｏ （３） （Ｍ1,Ｍ3 ：２価の金属、Ｍ2,Ｍ4 ：３価の半金属又は
金属、Ａp-：ｐ価のアニオン、0 <x≦1、 0<y≦0.5、 0<z
≦6、 0≦n ≦2.5 、0 ≦w ≦0.6 、0 ≦m ）
特性に優れた吸着剤を提供する。 【構成】含水酸化ビスマス（ＩＩＩ）及び下記一般式
（１）〜（３）で表される化合物から選ばれる少なくと
も一種からなるハロゲン化水素ガス吸着剤。 Ｍ1 Ｍ2xＯ(2+3X)/2・ｎＨ2 Ｏ （１） Ｍ31 -yＭ4 y （ＯＨ）2 Ａp- y/p ・ｗＨ2 Ｏ （２） Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）Z （ＮＯ3 ）6-Z ・ｍＨ2 Ｏ （３） （Ｍ1,Ｍ3 ：２価の金属、Ｍ2,Ｍ4 ：３価の半金属又は
金属、Ａp-：ｐ価のアニオン、0 <x≦1、 0<y≦0.5、 0<z
≦6、 0≦n ≦2.5 、0 ≦w ≦0.6 、0 ≦m ）
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハロゲン化水素ガスに
対する吸着特性に優れ、気体中例えば半導体製造過程で
の廃ガス、石油化学工場、化学工場等の排ガス等に含ま
れる有害なハロゲン化水素ガスの除去に有用な吸着剤に
関する。
対する吸着特性に優れ、気体中例えば半導体製造過程で
の廃ガス、石油化学工場、化学工場等の排ガス等に含ま
れる有害なハロゲン化水素ガスの除去に有用な吸着剤に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ハロゲン化水素系廃ガスの代表例として
は、半導体製造過程での廃ガスがある。また、石油化学
工場、化学工場のプロセスガス、製鉄所などの副生ガ
ス、電解水素、改質用水蒸気、その他各種の排ガスなど
には臭化水素、塩化水素等のハロゲン化水素が含まれて
いる。ハロゲン化水素は微量でも人体に極めて有毒であ
り、装置などの金属面に対して腐食作用があり、また触
媒毒作用も呈するので、化学反応などの工程で問題とな
ることが多い。気体中のハロゲン化水素ガスを除去する
方法として、アルカリ性溶液等による薬液洗浄法或いは
活性炭を用いる吸着法が提案されている。しかし、薬液
洗浄法においては、洗浄処理後においてもハロゲン化水
素ガスが処理ガス中に残留してしまい、除去効果が低い
という問題があり、また活性炭を用いる吸着法において
は、室温付近では除去効果が高いが、高温で吸着処理を
行うと除去効果が著しく低下するという問題、及び吸着
容量が小さいために処理能力が小さいという問題があ
る。
は、半導体製造過程での廃ガスがある。また、石油化学
工場、化学工場のプロセスガス、製鉄所などの副生ガ
ス、電解水素、改質用水蒸気、その他各種の排ガスなど
には臭化水素、塩化水素等のハロゲン化水素が含まれて
いる。ハロゲン化水素は微量でも人体に極めて有毒であ
り、装置などの金属面に対して腐食作用があり、また触
媒毒作用も呈するので、化学反応などの工程で問題とな
ることが多い。気体中のハロゲン化水素ガスを除去する
方法として、アルカリ性溶液等による薬液洗浄法或いは
活性炭を用いる吸着法が提案されている。しかし、薬液
洗浄法においては、洗浄処理後においてもハロゲン化水
素ガスが処理ガス中に残留してしまい、除去効果が低い
という問題があり、また活性炭を用いる吸着法において
は、室温付近では除去効果が高いが、高温で吸着処理を
行うと除去効果が著しく低下するという問題、及び吸着
容量が小さいために処理能力が小さいという問題があ
る。
【０００３】
【本発明が解決しようとする課題】本発明は、薬液洗浄
法及び吸着法等の従来のハロゲン化水素ガスの除去方法
が有する上記の問題を解決し、ハロゲン化水素ガスの除
去効果及び処理能力が高く、更に高温下においてもハロ
ゲン化水素に対する吸着特性に優れたハロゲン化水素ガ
ス吸着剤を提供することを課題とするものである。
法及び吸着法等の従来のハロゲン化水素ガスの除去方法
が有する上記の問題を解決し、ハロゲン化水素ガスの除
去効果及び処理能力が高く、更に高温下においてもハロ
ゲン化水素に対する吸着特性に優れたハロゲン化水素ガ
ス吸着剤を提供することを課題とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者等は鋭意検討し
た結果、特定の化学組成を有する無機化合物からなる吸
着剤は、上記の問題を解決できる優れたハロゲン化水素
ガス吸着特性を有することを見出し、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明は、含水酸化ビスマス（ＩＩ
Ｉ）、下記一般式（１）で表される化合物、下記一般式
（２）で表される化合物及び下記一般式（３）で表され
る化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種からな
ることを特徴とするハロゲン化水素ガス吸着剤である。 Ｍ1 Ｍ2xＯ(2+3X)/2・ｎＨ2 Ｏ （１） （ここで、Ｍ1 は２価の金属であり、Ｍ2 は３価の半金
属又は金属であり、ｘは１以下の正数であり、ｎは０以
上かつ２. ５以下の数である。） Ｍ31 -yＭ4 y （ＯＨ）2 Ａp- y/p ・ｗＨ2 Ｏ （２） （ここで、Ｍ3 は２価の金属であり、Ｍ4 は３価の半金
属又は金属であり、Ａ p-はｐ価のアニオンであり（但
し、ｐは正の整数である）、ｙは０. ５以下の正数であ
り、ｗは０以上かつ０. ６以下の数である。） Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）Z （ＮＯ3 ）6-Z ・ｎＨ2 Ｏ （３） （ｚは６未満の正数であり、ｎは０又は正数である。）
た結果、特定の化学組成を有する無機化合物からなる吸
着剤は、上記の問題を解決できる優れたハロゲン化水素
ガス吸着特性を有することを見出し、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明は、含水酸化ビスマス（ＩＩ
Ｉ）、下記一般式（１）で表される化合物、下記一般式
（２）で表される化合物及び下記一般式（３）で表され
る化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種からな
ることを特徴とするハロゲン化水素ガス吸着剤である。 Ｍ1 Ｍ2xＯ(2+3X)/2・ｎＨ2 Ｏ （１） （ここで、Ｍ1 は２価の金属であり、Ｍ2 は３価の半金
属又は金属であり、ｘは１以下の正数であり、ｎは０以
上かつ２. ５以下の数である。） Ｍ31 -yＭ4 y （ＯＨ）2 Ａp- y/p ・ｗＨ2 Ｏ （２） （ここで、Ｍ3 は２価の金属であり、Ｍ4 は３価の半金
属又は金属であり、Ａ p-はｐ価のアニオンであり（但
し、ｐは正の整数である）、ｙは０. ５以下の正数であ
り、ｗは０以上かつ０. ６以下の数である。） Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）Z （ＮＯ3 ）6-Z ・ｎＨ2 Ｏ （３） （ｚは６未満の正数であり、ｎは０又は正数である。）
【０００５】以下、本発明について詳細に説明する。本
発明において、ハロゲン化水素はＨＦ，ＨＣｌ，ＨＢｒ
及びＨＩの総称である。
発明において、ハロゲン化水素はＨＦ，ＨＣｌ，ＨＢｒ
及びＨＩの総称である。
【０００６】本発明のハロゲン化水素ガス吸着剤は、含
水酸化ビスマス（ＩＩＩ）、下記一般式（１）で表され
る化合物（以下化合物［１］と略称する）、下記一般式
（２）で表される化合物（以下化合物［２］と略称す
る）及び下記一般式（３）で表される化合物（以下化合
物［３］と略称する）からなる群より選ばれる少なくと
も一種からなることを特徴とする。 Ｍ1 Ｍ2xＯ(2+3X)/2・ｎＨ2 Ｏ （１） （ここで、Ｍ1 は２価の金属であり、Ｍ2 は３価の半金
属又は金属であり、ｘは１以下の正数であり、ｎは０以
上かつ２. ５以下の数である。） Ｍ31 -yＭ4 y （ＯＨ）2 Ａp- y/p ・ｗＨ2 Ｏ （２） （ここで、Ｍ3 は２価の金属であり、Ｍ4 は３価の半金
属又は金属であり、Ａp-はｐ価のアニオンであり（但
し、ｐは正の整数である）、ｙは０. ５以下の正数であ
り、ｗは０以上かつ０. ６以下の数である。） Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）Z （ＮＯ3 ）6-Z ・ｎＨ2 Ｏ （３） （ｚは６未満の正数であり、ｎは０又は正数である。） 中でも特に、化合物［１］及び化合物［２］はハロゲン
化水素ガスの処理能力に優れるので好ましい。
水酸化ビスマス（ＩＩＩ）、下記一般式（１）で表され
る化合物（以下化合物［１］と略称する）、下記一般式
（２）で表される化合物（以下化合物［２］と略称す
る）及び下記一般式（３）で表される化合物（以下化合
物［３］と略称する）からなる群より選ばれる少なくと
も一種からなることを特徴とする。 Ｍ1 Ｍ2xＯ(2+3X)/2・ｎＨ2 Ｏ （１） （ここで、Ｍ1 は２価の金属であり、Ｍ2 は３価の半金
属又は金属であり、ｘは１以下の正数であり、ｎは０以
上かつ２. ５以下の数である。） Ｍ31 -yＭ4 y （ＯＨ）2 Ａp- y/p ・ｗＨ2 Ｏ （２） （ここで、Ｍ3 は２価の金属であり、Ｍ4 は３価の半金
属又は金属であり、Ａp-はｐ価のアニオンであり（但
し、ｐは正の整数である）、ｙは０. ５以下の正数であ
り、ｗは０以上かつ０. ６以下の数である。） Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）Z （ＮＯ3 ）6-Z ・ｎＨ2 Ｏ （３） （ｚは６未満の正数であり、ｎは０又は正数である。） 中でも特に、化合物［１］及び化合物［２］はハロゲン
化水素ガスの処理能力に優れるので好ましい。
【０００７】○含水酸化ビスマス（ＩＩＩ） 含水酸化ビスマス（ＩＩＩ）は、無機イオン交換体とし
て知られており、下記一般式で表される。 Ｂｉ2 Ｏ3 ・ｑＨ2 Ｏ （ここで、ｑは正の数である）
て知られており、下記一般式で表される。 Ｂｉ2 Ｏ3 ・ｑＨ2 Ｏ （ここで、ｑは正の数である）
【０００８】○化合物［１］ 化合物［１］において、Ｍ1 はＭｇ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃ
ｏ，Ｎｉ，Ｃｕ又はＺｎ等の２価の金属であり、Ｍｇで
ある場合、特にハロゲン化水素ガスの除去効果に優れ、
かつ容易に得られるので好ましい。Ｍ2はＡｌ，Ｉｎ等
の３価の半金属又はＦｅ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｓｃ等の３価の
金属であり、Ａｌである場合、特にハロゲン化水素ガス
の除去効果に優れ、かつ容易に得られるので好ましい。
化合物［１］におけるｘは１以下の正数であり、ｘが
０. １以上かつ０. ５以下のものは特にハロゲン化水素
ガス除去効果に優れ、かつ容易に得られるので好まし
い。化合物［１］の好ましい具体例として以下の化合物
がある。 ＭｇＡｌ0.4 Ｏ1.6 ・Ｈ2 Ｏ ＦｅＡｌ0.3 Ｏ1.45・２Ｈ2 Ｏ ＣｏＡｌ0.2 Ｏ1.3 ・Ｈ2 Ｏ ＮｉＡｌ0.3 Ｏ1.45・Ｈ2 Ｏ ＺｎＡｌ0.4 Ｏ1.6 ・２Ｈ2 Ｏ ＭｇＦｅ0.2 Ｏ1.3 ・Ｈ2 Ｏ ＭｇＣｏ0.4 Ｏ1.6 ・１．５Ｈ2 Ｏ
ｏ，Ｎｉ，Ｃｕ又はＺｎ等の２価の金属であり、Ｍｇで
ある場合、特にハロゲン化水素ガスの除去効果に優れ、
かつ容易に得られるので好ましい。Ｍ2はＡｌ，Ｉｎ等
の３価の半金属又はＦｅ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｓｃ等の３価の
金属であり、Ａｌである場合、特にハロゲン化水素ガス
の除去効果に優れ、かつ容易に得られるので好ましい。
化合物［１］におけるｘは１以下の正数であり、ｘが
０. １以上かつ０. ５以下のものは特にハロゲン化水素
ガス除去効果に優れ、かつ容易に得られるので好まし
い。化合物［１］の好ましい具体例として以下の化合物
がある。 ＭｇＡｌ0.4 Ｏ1.6 ・Ｈ2 Ｏ ＦｅＡｌ0.3 Ｏ1.45・２Ｈ2 Ｏ ＣｏＡｌ0.2 Ｏ1.3 ・Ｈ2 Ｏ ＮｉＡｌ0.3 Ｏ1.45・Ｈ2 Ｏ ＺｎＡｌ0.4 Ｏ1.6 ・２Ｈ2 Ｏ ＭｇＦｅ0.2 Ｏ1.3 ・Ｈ2 Ｏ ＭｇＣｏ0.4 Ｏ1.6 ・１．５Ｈ2 Ｏ
【０００９】化合物［１］は、Ｍ1 を有する化合物、例
えば炭酸塩又は水酸化物と、Ｍ2 を有する化合物、例え
ば炭酸塩又は水酸化物を、原子比［Ｍ2 ／Ｍ1 ］が１以
下になるように混合し、好ましくは400 〜900 ℃、より
好ましくは500 〜700 ℃で焼成することにより得られ
る。又、化合物［２］を上記の温度範囲で焼成すること
によっても得ることができる。
えば炭酸塩又は水酸化物と、Ｍ2 を有する化合物、例え
ば炭酸塩又は水酸化物を、原子比［Ｍ2 ／Ｍ1 ］が１以
下になるように混合し、好ましくは400 〜900 ℃、より
好ましくは500 〜700 ℃で焼成することにより得られ
る。又、化合物［２］を上記の温度範囲で焼成すること
によっても得ることができる。
【００１０】○化合物［２］ 化合物［２］におけるｙは０. ５以下の正数であり、
０. ３３以下の正数であるものは特にハロゲン化水素ガ
スに対する吸着特性に優れ、かつ容易に得られるので好
ましい。化合物［２］におけるＡp-は、OH- ,F- ,Cl
- ,Br - ,NO3 - ,CO3 2-,SO4 2-,Fe(CN)6 3-,CH3COO - ,
シュウ酸イオン又はサリチル酸イオン等のｐ価のアニオ
ンである。ｐは正の整数であり、通常１から４の整数で
ある。化合物［２］の好ましい具体例として以下の化合
物がある。 Ｍｇ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.15・０. ５Ｈ
2 Ｏ Ｆｅ0.8 Ａｌ0.2 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.10・０. ４Ｈ
2 Ｏ Ｃｏ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.15・０. ５Ｈ
2 Ｏ Ｎｉ0.6 Ａｌ0.4 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.20・０. ３Ｈ
2 Ｏ Ｚｎ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.15・０. ３Ｈ
2 Ｏ Ｍｇ0.8 Ｆｅ0.2 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.10・０. ４Ｈ
2 Ｏ Ｍｇ0.7 Ｃｏ0.3 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.15・０. ５Ｈ
2 Ｏ Ｍｇ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＳＯ4 ）0.15・０. ５Ｈ
2 Ｏ Ｍｇ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＮＯ3 ）0.30・０. ５Ｈ
2 Ｏ
０. ３３以下の正数であるものは特にハロゲン化水素ガ
スに対する吸着特性に優れ、かつ容易に得られるので好
ましい。化合物［２］におけるＡp-は、OH- ,F- ,Cl
- ,Br - ,NO3 - ,CO3 2-,SO4 2-,Fe(CN)6 3-,CH3COO - ,
シュウ酸イオン又はサリチル酸イオン等のｐ価のアニオ
ンである。ｐは正の整数であり、通常１から４の整数で
ある。化合物［２］の好ましい具体例として以下の化合
物がある。 Ｍｇ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.15・０. ５Ｈ
2 Ｏ Ｆｅ0.8 Ａｌ0.2 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.10・０. ４Ｈ
2 Ｏ Ｃｏ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.15・０. ５Ｈ
2 Ｏ Ｎｉ0.6 Ａｌ0.4 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.20・０. ３Ｈ
2 Ｏ Ｚｎ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.15・０. ３Ｈ
2 Ｏ Ｍｇ0.8 Ｆｅ0.2 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.10・０. ４Ｈ
2 Ｏ Ｍｇ0.7 Ｃｏ0.3 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.15・０. ５Ｈ
2 Ｏ Ｍｇ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＳＯ4 ）0.15・０. ５Ｈ
2 Ｏ Ｍｇ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＮＯ3 ）0.30・０. ５Ｈ
2 Ｏ
【００１１】化合物［２］は、ハイドロタルサイト類化
合物として知られており、Ｍ1 を有する化合物及びＭ2
を有する化合物、例えば炭酸塩又は水酸化物を、ｐＨが
９以上かつ１２以下の水溶液中で加水分解する方法等に
より得られる。
合物として知られており、Ｍ1 を有する化合物及びＭ2
を有する化合物、例えば炭酸塩又は水酸化物を、ｐＨが
９以上かつ１２以下の水溶液中で加水分解する方法等に
より得られる。
【００１２】○化合物［３］ 化合物［３］は、特開昭６３−６０１１２号公報に記載
された含水酸化硝酸ビスマスと同じであり、一般式
（３）におけるｚが３．５以上５．５以下である化合物
は、吸着特性が優れており好ましいものである。好まし
い具体例として、以下の化合物がある。 Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）3.8 （ＮＯ3 ）2.2 ・２Ｈ2 Ｏ Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）4.2 （ＮＯ3 ）1.8 ・１．５Ｈ2 Ｏ Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）4.6 （ＮＯ3 ）1.4 ・Ｈ2 Ｏ
された含水酸化硝酸ビスマスと同じであり、一般式
（３）におけるｚが３．５以上５．５以下である化合物
は、吸着特性が優れており好ましいものである。好まし
い具体例として、以下の化合物がある。 Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）3.8 （ＮＯ3 ）2.2 ・２Ｈ2 Ｏ Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）4.2 （ＮＯ3 ）1.8 ・１．５Ｈ2 Ｏ Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）4.6 （ＮＯ3 ）1.4 ・Ｈ2 Ｏ
【００１３】本発明のハロゲン化水素ガス吸着剤は、ハ
ロゲン化水素ガスを含む気体と接触させることによって
ハロゲン化水素ガスを吸着除去することができる。従っ
て、本発明のハロゲン化水素ガス吸着剤を用いたハロゲ
ン化水素ガスの除去には慣用の気固接触装置、例えば固
定層や流動層が使用できる。更に、吸着剤とハロゲン化
水素ガスを含む気体との接触を容易にするため、本発明
のハロゲン化水素ガス吸着剤を粒状やペレット状に成型
したもの、或いは本発明のハロゲン化水素ガス吸着剤を
担体に担持したものを使用してもよい。また、本発明の
ハロゲン化水素ガス吸着剤をカートリッジの中に充填す
る方法、織物や不織布の間に挟み込む方法等によりフィ
ルター状に成形しても使用できる。
ロゲン化水素ガスを含む気体と接触させることによって
ハロゲン化水素ガスを吸着除去することができる。従っ
て、本発明のハロゲン化水素ガス吸着剤を用いたハロゲ
ン化水素ガスの除去には慣用の気固接触装置、例えば固
定層や流動層が使用できる。更に、吸着剤とハロゲン化
水素ガスを含む気体との接触を容易にするため、本発明
のハロゲン化水素ガス吸着剤を粒状やペレット状に成型
したもの、或いは本発明のハロゲン化水素ガス吸着剤を
担体に担持したものを使用してもよい。また、本発明の
ハロゲン化水素ガス吸着剤をカートリッジの中に充填す
る方法、織物や不織布の間に挟み込む方法等によりフィ
ルター状に成形しても使用できる。
【００１４】本発明のハロゲン化水素ガス吸着剤とハロ
ゲン化水素ガスを含む気体とを接触させる好ましい時間
は、処理すべき対象により一概には決められないが、数
秒から数時間、場合によっては数日である。また、ハロ
ゲン化水素ガスを含む気体と本発明のハロゲン化水素ガ
ス吸着剤の使用割合は、ハロゲン化水素１mmol当たり、
本発明の吸着剤を１. ０ｇ以上とすることが好ましく、
ハロゲン化水素ガスを除去する条件、例えば本発明の吸
着剤とハロゲン化水素ガスを含む気体との接触時間、接
触方法等によって適宜調整すればよい。
ゲン化水素ガスを含む気体とを接触させる好ましい時間
は、処理すべき対象により一概には決められないが、数
秒から数時間、場合によっては数日である。また、ハロ
ゲン化水素ガスを含む気体と本発明のハロゲン化水素ガ
ス吸着剤の使用割合は、ハロゲン化水素１mmol当たり、
本発明の吸着剤を１. ０ｇ以上とすることが好ましく、
ハロゲン化水素ガスを除去する条件、例えば本発明の吸
着剤とハロゲン化水素ガスを含む気体との接触時間、接
触方法等によって適宜調整すればよい。
【００１５】使用後の吸着剤は、アルカリ性水溶液に添
加する方法等により吸着したハロゲン化水素を脱着させ
た後、200 ℃以下、より好ましくは150 ℃以下で加熱乾
燥することにより、再生利用することができる。
加する方法等により吸着したハロゲン化水素を脱着させ
た後、200 ℃以下、より好ましくは150 ℃以下で加熱乾
燥することにより、再生利用することができる。
【００１６】
【実施例及び比較例】以下に実施例及び比較例により本
発明を更に具体的に説明する。 実施例１ 先ず、組成式ＭｇＡｌ0.4 Ｏ1.6 で示され、４２〜７０
meshesのハロゲン化水素ガス吸着剤（1.0g）を0.3cm φ
のテフロン製カラムに充填し、窒素ガスを流速30ml/min
で流通させながら200 ℃に加熱した。次に、ＨＢｒガス
を1000ppm 含有する窒素ガスを、流速30ml/min、温度20
0 ℃で、上記のカラムへ流通させた。カラムを通過した
気体を０. １Ｎ水酸化ナトリウム水溶液（50ml）と接触
させることにより、カラムを通過した気体中のＨＢｒを
水酸化ナトリウム水溶液に吸収させ、水酸化ナトリウム
水溶液中のＢｒ- 濃度をイオンクロマトグラフ法で測定
することにより、カラムを通過した気体中のＨＢｒ濃度
を求め、ＨＢｒの除去率を算出し、除去率の経時変化を
調べた。その結果を表１に示した。
発明を更に具体的に説明する。 実施例１ 先ず、組成式ＭｇＡｌ0.4 Ｏ1.6 で示され、４２〜７０
meshesのハロゲン化水素ガス吸着剤（1.0g）を0.3cm φ
のテフロン製カラムに充填し、窒素ガスを流速30ml/min
で流通させながら200 ℃に加熱した。次に、ＨＢｒガス
を1000ppm 含有する窒素ガスを、流速30ml/min、温度20
0 ℃で、上記のカラムへ流通させた。カラムを通過した
気体を０. １Ｎ水酸化ナトリウム水溶液（50ml）と接触
させることにより、カラムを通過した気体中のＨＢｒを
水酸化ナトリウム水溶液に吸収させ、水酸化ナトリウム
水溶液中のＢｒ- 濃度をイオンクロマトグラフ法で測定
することにより、カラムを通過した気体中のＨＢｒ濃度
を求め、ＨＢｒの除去率を算出し、除去率の経時変化を
調べた。その結果を表１に示した。
【００１７】実施例２ 組成式ＭｇＡｌ0.4 Ｏ1.6 ・２. ４Ｈ2 Ｏで示される４
２〜７０meshesのハロゲン化水素ガス吸着剤を用いた以
外は、実施例１と同様にして、吸着剤によるＨＢｒの除
去率を算出し、その経時変化を調べた。その結果を表１
に示した。
２〜７０meshesのハロゲン化水素ガス吸着剤を用いた以
外は、実施例１と同様にして、吸着剤によるＨＢｒの除
去率を算出し、その経時変化を調べた。その結果を表１
に示した。
【００１８】実施例３ 組成式ＭｇＡｌ0.3 Ｏ1.45で示される４２〜７０meshes
のハロゲン化水素ガス吸着剤を用いた以外は、実施例１
と同様にして、吸着剤によるＨＢｒの除去率を算出し、
その経時変化を調べた。その結果を表１に示した。
のハロゲン化水素ガス吸着剤を用いた以外は、実施例１
と同様にして、吸着剤によるＨＢｒの除去率を算出し、
その経時変化を調べた。その結果を表１に示した。
【００１９】実施例４ 組成式ＭｇＡｌ0.3 Ｏ1.45・２. ２Ｈ2 Ｏで示される４
２〜７０meshesのハロゲン化水素ガス吸着剤を用いた以
外は、実施例１と同様にして、吸着剤によるＨＢｒの除
去率を算出し、その経時変化を調べた。その結果を表１
に示した。
２〜７０meshesのハロゲン化水素ガス吸着剤を用いた以
外は、実施例１と同様にして、吸着剤によるＨＢｒの除
去率を算出し、その経時変化を調べた。その結果を表１
に示した。
【００２０】実施例５ 組成式Ｍｇ0.7 Ａｌ0.3 （ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.15・
０. ５Ｈ2 Ｏで示される４２〜７０meshesのハロゲン化
水素ガス吸着剤を用いた以外は、実施例１と同様にし
て、吸着剤によるＨＢｒの除去率を算出し、その経時変
化を調べた。その結果を表１に示した。
０. ５Ｈ2 Ｏで示される４２〜７０meshesのハロゲン化
水素ガス吸着剤を用いた以外は、実施例１と同様にし
て、吸着剤によるＨＢｒの除去率を算出し、その経時変
化を調べた。その結果を表１に示した。
【００２１】実施例６ 組成式Ｍｇ0.75Ａｌ0.25（ＯＨ）2 （ＣＯ3 ）0.125 ・
０. ５Ｈ2 Ｏで示される４２〜７０meshesのハロゲン化
水素ガス吸着剤を用いた以外は、実施例１と同様にし
て、吸着剤によるＨＢｒの除去率を算出し、その経時変
化を調べた。その結果を表１に示した。
０. ５Ｈ2 Ｏで示される４２〜７０meshesのハロゲン化
水素ガス吸着剤を用いた以外は、実施例１と同様にし
て、吸着剤によるＨＢｒの除去率を算出し、その経時変
化を調べた。その結果を表１に示した。
【００２２】実施例７ 組成式Ｂｉ2 Ｏ3 ・Ｈ2 Ｏで示される４２〜７０meshes
のハロゲン化水素ガス吸着剤を用いた以外は、実施例１
と同様にして、吸着剤によるＨＢｒの除去率を算出し、
その経時変化を調べた。その結果を表１に示した。
のハロゲン化水素ガス吸着剤を用いた以外は、実施例１
と同様にして、吸着剤によるＨＢｒの除去率を算出し、
その経時変化を調べた。その結果を表１に示した。
【００２３】実施例８ 組成式Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）4.2 （ＮＯ3 ）1.8 ・Ｈ2 Ｏ
で示される４２〜７０meshesのハロゲン化水素ガス吸着
剤を用いた以外は、実施例１と同様にして、吸着剤によ
るＨＢｒの除去率を算出し、その経時変化を調べた。そ
の結果を表１に示した。
で示される４２〜７０meshesのハロゲン化水素ガス吸着
剤を用いた以外は、実施例１と同様にして、吸着剤によ
るＨＢｒの除去率を算出し、その経時変化を調べた。そ
の結果を表１に示した。
【００２４】比較例１ 吸着剤として活性炭（クラレケミカル 株式会社製商品名クラレコール
GC-32-60）を用いた以外は、実施例１と同様にして、活
性炭によるＨＢｒの除去率を算出し、その経時変化を調
べた。その結果を表１に示した。
GC-32-60）を用いた以外は、実施例１と同様にして、活
性炭によるＨＢｒの除去率を算出し、その経時変化を調
べた。その結果を表１に示した。
【００２５】比較例２ 吸着剤として陰イオン交換性無機イオン交換体の一種で
ある含水酸化ジルコニウムを用いた以外は、実施例１と
同様にしてＨＢｒの除去を試みたが、吸着開始後５時間
において既に除去率は零であった。
ある含水酸化ジルコニウムを用いた以外は、実施例１と
同様にしてＨＢｒの除去を試みたが、吸着開始後５時間
において既に除去率は零であった。
【００２６】
【表１】
【００２７】表１から、本発明のハロゲン化水素ガス吸
着剤は、２００℃という高温下においても、吸着開始か
ら４０時間の間、ハロゲン化水素ガスに対して約９０％
以上の除去率を維持しており、活性炭に比較して格段に
優れていることがわかる。
着剤は、２００℃という高温下においても、吸着開始か
ら４０時間の間、ハロゲン化水素ガスに対して約９０％
以上の除去率を維持しており、活性炭に比較して格段に
優れていることがわかる。
【００２８】
【発明の効果】本発明の吸着剤によるハロゲン化水素ガ
スの除去は、従来の方法に比較して、ハロゲン化水素ガ
スの除去効果及び処理能力に優れ、２００℃という高温
下においても、その吸着による除去特性は優れたもので
あり、本発明の吸着剤は、気体中のハロゲン化水素ガ
ス、例えば半導体製造過程での廃ガス、石油化学工場又
は化学工場等の各種の分野における排ガス等に含まれる
ハロゲン化水素ガスの除去に用いる吸着剤として有用で
ある。
スの除去は、従来の方法に比較して、ハロゲン化水素ガ
スの除去効果及び処理能力に優れ、２００℃という高温
下においても、その吸着による除去特性は優れたもので
あり、本発明の吸着剤は、気体中のハロゲン化水素ガ
ス、例えば半導体製造過程での廃ガス、石油化学工場又
は化学工場等の各種の分野における排ガス等に含まれる
ハロゲン化水素ガスの除去に用いる吸着剤として有用で
ある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松島 良明 愛知県名古屋市港区船見町１番地の１ 東 亞合成化学工業株式会社名古屋総合研究所 内
Claims (1)
- 【請求項１】含水酸化ビスマス（ＩＩＩ）、下記一般式
（１）で表される化合物、下記一般式（２）で表される
化合物及び下記一般式（３）で表される化合物からなる
群より選ばれる少なくとも一種からなることを特徴とす
るハロゲン化水素ガス吸着剤。 Ｍ1 Ｍ2xＯ(2+3X)/2・ｎＨ2 Ｏ （１） （ここで、Ｍ1 は２価の金属であり、Ｍ2 は３価の半金
属又は金属であり、ｘは１以下の正数であり、ｎは０以
上かつ２. ５以下の数である。） Ｍ31 -yＭ4 y （ＯＨ）2 Ａp- y/p ・ｗＨ2 Ｏ （２） （ここで、Ｍ3 は２価の金属であり、Ｍ4 は３価の半金
属又は金属であり、Ａp-はｐ価のアニオンであり（但
し、ｐは正の整数である）、ｙは０. ５以下の正数であ
り、ｗは０以上かつ０. ６以下の数である。） Ｂｉ6 Ｏ6 （ＯＨ）Z （ＮＯ3 ）6-Z ・ｍＨ2 Ｏ （３） （ｚは６未満の正数であり、ｍは０又は正数である。）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15665194A JP3384419B2 (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | ハロゲン化水素ガス吸着剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15665194A JP3384419B2 (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | ハロゲン化水素ガス吸着剤 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07328431A true JPH07328431A (ja) | 1995-12-19 |
| JP3384419B2 JP3384419B2 (ja) | 2003-03-10 |
Family
ID=15632321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15665194A Expired - Fee Related JP3384419B2 (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | ハロゲン化水素ガス吸着剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3384419B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006080467A1 (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-03 | Kyoto University | ハイドロタルサイト様化合物、臭化物イオン交換体、及びその利用 |
| CN102127810A (zh) * | 2011-01-11 | 2011-07-20 | 山东师范大学 | 一种碱式硝酸铋非线性晶体材料及其制备方法和应用 |
| JP2016190199A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 栗田工業株式会社 | 燃焼施設から発生する酸性排ガスの処理方法、燃焼施設及び酸性排ガス処理剤 |
-
1994
- 1994-06-15 JP JP15665194A patent/JP3384419B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006080467A1 (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-03 | Kyoto University | ハイドロタルサイト様化合物、臭化物イオン交換体、及びその利用 |
| CN102127810A (zh) * | 2011-01-11 | 2011-07-20 | 山东师范大学 | 一种碱式硝酸铋非线性晶体材料及其制备方法和应用 |
| JP2016190199A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 栗田工業株式会社 | 燃焼施設から発生する酸性排ガスの処理方法、燃焼施設及び酸性排ガス処理剤 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3384419B2 (ja) | 2003-03-10 |
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