JPS62286521A - 排ガスの浄化方法 - Google Patents
排ガスの浄化方法Info
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- JPS62286521A JPS62286521A JP61127169A JP12716986A JPS62286521A JP S62286521 A JPS62286521 A JP S62286521A JP 61127169 A JP61127169 A JP 61127169A JP 12716986 A JP12716986 A JP 12716986A JP S62286521 A JPS62286521 A JP S62286521A
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Landscapes
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- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は排ガスの浄化方法に関し、さらに詳細には半導
体製造工程などから排出される有毒成分を含有する排ガ
スの浄化方法に関する。
体製造工程などから排出される有毒成分を含有する排ガ
スの浄化方法に関する。
近年、排ガス工業やオブトエレクトロニクス工業の発展
とともに、アルシン、ホスフィン、ジボラン、およびセ
レン化水素などの極めて毒性の強い水素化物の使用量が
増加している。
とともに、アルシン、ホスフィン、ジボラン、およびセ
レン化水素などの極めて毒性の強い水素化物の使用量が
増加している。
これらの有毒成分は、シリコン半導体や化合物半導体製
造工業あるいは光フアイバー製造工業などにおいて、原
料あるいはドーピングガスとして不可決な物質である。
造工業あるいは光フアイバー製造工業などにおいて、原
料あるいはドーピングガスとして不可決な物質である。
半導体プロセスあるいは光フアイバー製造プロセスなど
から排出される排ガス中には、未反応の有毒成分が含有
される場合が多い。これらの成分はそれぞれ生物にとっ
て極めて有毒であるから、環境を破壊しないためにガス
の排出に先立って除去する必要がある。
から排出される排ガス中には、未反応の有毒成分が含有
される場合が多い。これらの成分はそれぞれ生物にとっ
て極めて有毒であるから、環境を破壊しないためにガス
の排出に先立って除去する必要がある。
これらの有毒成分を除去する方法としては、スクラバー
で吸収分解させる湿式法と吸着剤または酸化剤などの浄
化剤を充填した充i筒内を流して除去する乾式法とが知
られている。一般的に湿式法は、吸収液による腐食や後
処理などの困難性があるため、装置の保守に費用を要す
るという欠点がある。
で吸収分解させる湿式法と吸着剤または酸化剤などの浄
化剤を充填した充i筒内を流して除去する乾式法とが知
られている。一般的に湿式法は、吸収液による腐食や後
処理などの困難性があるため、装置の保守に費用を要す
るという欠点がある。
また、浄化剤を用いる方法としては、硝酸銀などの硝酸
塩類を多孔質担体に担持せしめたもの、あるいは塩化第
二鉄などの金属塩化物を多孔質担体に含浸せしめたもの
を吸着剤として用い、ホスフィン、アルシンを酸化的に
除去する方法(特開昭56−89837号公報)が知ら
れている。
塩類を多孔質担体に担持せしめたもの、あるいは塩化第
二鉄などの金属塩化物を多孔質担体に含浸せしめたもの
を吸着剤として用い、ホスフィン、アルシンを酸化的に
除去する方法(特開昭56−89837号公報)が知ら
れている。
しかしながら、この方法は、湿式法におけるような諸欠
点は解決されるが、CVD (化学蒸着)プロセスなど
の排ガスを、予め湿潤化処理する必要があるため、装置
が複雑になるという欠点を有する。
点は解決されるが、CVD (化学蒸着)プロセスなど
の排ガスを、予め湿潤化処理する必要があるため、装置
が複雑になるという欠点を有する。
さらに、無機珪酸塩にアルカリ水溶液、酸化剤水溶液ま
たはアルカリと酸化剤との水溶液をそざぞれ含浸させた
三種の吸収剤を用いて、アルシン、ホスフィンなどを処
理する方法(特公昭59−49822号公報)も提案さ
れている。この方法も前記した方法と同様に結局は湿潤
状態における処理であっ湿式法と同様な欠点を有してい
る。
たはアルカリと酸化剤との水溶液をそざぞれ含浸させた
三種の吸収剤を用いて、アルシン、ホスフィンなどを処
理する方法(特公昭59−49822号公報)も提案さ
れている。この方法も前記した方法と同様に結局は湿潤
状態における処理であっ湿式法と同様な欠点を有してい
る。
アルシンを乾式で除去する方法として、化学社争におい
ては活性炭を充填したガスマスクが用いられた。この活
性炭の吸着力を利用し、さらに種々の物質をこれに添加
して、その能力向上をはかる試みは多い。例えば活性炭
を単体とし、それに、銅化合物とアルカリ金属化合物、
アルカリ土類化合物およびAI、Ti1V 、 CrS
Mn、Fe、 (:o、 Ni、Zn、 Cd5Pbの
化合物の一種以上とを含有させてなるアルシン吸着剤も
出願されている(特開昭59−160535号公報)。
ては活性炭を充填したガスマスクが用いられた。この活
性炭の吸着力を利用し、さらに種々の物質をこれに添加
して、その能力向上をはかる試みは多い。例えば活性炭
を単体とし、それに、銅化合物とアルカリ金属化合物、
アルカリ土類化合物およびAI、Ti1V 、 CrS
Mn、Fe、 (:o、 Ni、Zn、 Cd5Pbの
化合物の一種以上とを含有させてなるアルシン吸着剤も
出願されている(特開昭59−160535号公報)。
この方法は完全に乾式で行なえるので有利であるが、ア
ルシンの除去能力が比較的低いという欠点がある。また
アルシンを吸着させたあと、吸着剤が空気にふれると発
熱し、条件によっては活性炭が発火する危険があるので
、工業的に使用するにはその使用条件が限定される。
ルシンの除去能力が比較的低いという欠点がある。また
アルシンを吸着させたあと、吸着剤が空気にふれると発
熱し、条件によっては活性炭が発火する危険があるので
、工業的に使用するにはその使用条件が限定される。
本発明者らは、これら従来技術の欠点を補うべく鋭意検
討した結果、(1)酸化第二銅および(2)チタン、ジ
ルコニウムおよびランタンなどのそれぞれの酸化物を配
合した浄化剤に有毒成分を含有する排ガスを接触させる
とこれらの有毒成分が効率よく除去されることを見出し
、さらに研究を続は本発明を完成した。
討した結果、(1)酸化第二銅および(2)チタン、ジ
ルコニウムおよびランタンなどのそれぞれの酸化物を配
合した浄化剤に有毒成分を含有する排ガスを接触させる
とこれらの有毒成分が効率よく除去されることを見出し
、さらに研究を続は本発明を完成した。
すなわち、本発明は、
有毒成分としてアルシン、ホスフィン、ジボランおよび
セレン化水累の一種以上を含有するガスと、浄化剤とを
接触させて当該ガスから有毒成分を吸着除去する排ガス
の浄化方法において、浄化剤として (1)酸化第二銅、および(2)チタン、ジルコニウム
およびランタンからなる群から選ばれる少なくとも一種
の金属酸化物を配合してなり、その組成が金属の原子比
M/ (M+Cu)〔式中、Cuは銅の原子数を示し
、Mはチタン、ジルコニウムまたはランタンの原子数(
これらの成分を二種以上使用するときはそれらの原子数
の合計)を示す 〕 で0.01〜0.7であり、かつその組成物を成形して
なる密度1.5〜3.5g/mlの成形体を用いること
を特徴とする排ガスの浄化方法である。
セレン化水累の一種以上を含有するガスと、浄化剤とを
接触させて当該ガスから有毒成分を吸着除去する排ガス
の浄化方法において、浄化剤として (1)酸化第二銅、および(2)チタン、ジルコニウム
およびランタンからなる群から選ばれる少なくとも一種
の金属酸化物を配合してなり、その組成が金属の原子比
M/ (M+Cu)〔式中、Cuは銅の原子数を示し
、Mはチタン、ジルコニウムまたはランタンの原子数(
これらの成分を二種以上使用するときはそれらの原子数
の合計)を示す 〕 で0.01〜0.7であり、かつその組成物を成形して
なる密度1.5〜3.5g/mlの成形体を用いること
を特徴とする排ガスの浄化方法である。
本発明に使用する浄化剤は完全に乾怪したガス中の有毒
成分をも何部支障なく除去することが可能なので、湿潤
処理が不要となり、そのメリットは大きい。
成分をも何部支障なく除去することが可能なので、湿潤
処理が不要となり、そのメリットは大きい。
また本発明で用いる浄化剤は、従来の浄化剤に比べ、浄
化剤の単位重量当たりに対する有毒成分の除去量および
除去速度が格段に大きいという利点を有する。
化剤の単位重量当たりに対する有毒成分の除去量および
除去速度が格段に大きいという利点を有する。
本発明の浄化剤によれば単なる吸着や吸収と異なり、有
毒ガスは浄化剤と反応して浄化剤に固定されることによ
って排ガスから除去される。
毒ガスは浄化剤と反応して浄化剤に固定されることによ
って排ガスから除去される。
更に本発明の浄化剤は使用後の浄化剤が空気にぶれ発熱
することはあっても、発火に到ることはなく、安全性は
高い。
することはあっても、発火に到ることはなく、安全性は
高い。
本発明は、窒素ガス、水素ガスまたは空気などと、アル
シン、ホスフィン、ジボランおよびセレン化水素などの
水素化物の一種以上を含有するガスに適用される。
シン、ホスフィン、ジボランおよびセレン化水素などの
水素化物の一種以上を含有するガスに適用される。
本発明で用いる浄化剤は、
(1)酸化第二銅、および(2)チタン、ジルコニウム
およびランタンからなる群から選ばれる少なくとも一種
の金属酸化物を配合してなり、その組成が金属の原子比
M/ (M+Cu)〔式中、Cuは銅の原子数を示し
、Mはチタン、ジルコニウムまたはランタンの原子数(
これらの成分を二種以上使用するときはそれらの原子数
の合計)を示す 〕 で0.01〜0.7、好ましくは0.03〜0.55で
あり、かつその組成物を成形してなる密度1.5〜3.
5g/m 1の成形体である。原子比が0.01より少
ないと飽和浄化量が少ないばかりでなく成形もできない
。0.7より大きいと飽和浄化量が小さくなる。
およびランタンからなる群から選ばれる少なくとも一種
の金属酸化物を配合してなり、その組成が金属の原子比
M/ (M+Cu)〔式中、Cuは銅の原子数を示し
、Mはチタン、ジルコニウムまたはランタンの原子数(
これらの成分を二種以上使用するときはそれらの原子数
の合計)を示す 〕 で0.01〜0.7、好ましくは0.03〜0.55で
あり、かつその組成物を成形してなる密度1.5〜3.
5g/m 1の成形体である。原子比が0.01より少
ないと飽和浄化量が少ないばかりでなく成形もできない
。0.7より大きいと飽和浄化量が小さくなる。
本明細書において飽和浄化量とは、浄化剤の最大浄化能
力(除去し得る有毒ガスの最大量)をその浄化剤の重量
または体積で割ったものである。
力(除去し得る有毒ガスの最大量)をその浄化剤の重量
または体積で割ったものである。
浄化剤の調製方法としては、種々の方法の適用が可能で
ある。
ある。
例えば、銅、およびチタン、ジルコニウム、ランタンの
硝酸塩、硫酸塩、塩化物、有機酸塩などの金属塩に、苛
性ソーダ、苛性カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウ
ム、重炭酸ナトリウム、重炭酸カリウム、アンモニアな
どのアルカリを加えて酸化物の中間体を沈澱させ、得ら
れた沈澱物を焼成して酸化物とし、これを特定組成とな
るようにする。
硝酸塩、硫酸塩、塩化物、有機酸塩などの金属塩に、苛
性ソーダ、苛性カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウ
ム、重炭酸ナトリウム、重炭酸カリウム、アンモニアな
どのアルカリを加えて酸化物の中間体を沈澱させ、得ら
れた沈澱物を焼成して酸化物とし、これを特定組成とな
るようにする。
金属塩にアルカリを加えて得られる沈澱物としては水酸
化物または塩基性炭酸塩が好ましい。
化物または塩基性炭酸塩が好ましい。
また例えば酸化第二銅の粉末に酸化チタン、酸化ジルコ
ニウム、および/または酸化ランタンを混合して、ニー
ダ−で混練し、乾繰して特定組成となるようにする。
ニウム、および/または酸化ランタンを混合して、ニー
ダ−で混練し、乾繰して特定組成となるようにする。
本発明で用いる浄化剤は組成物をペレットなどに成形し
たものを用いるか、あるいはこの成形物を適当な大きさ
に粉砕するなどして用いる。
たものを用いるか、あるいはこの成形物を適当な大きさ
に粉砕するなどして用いる。
成形する方法としては、乾式法あるいは湿式法を用いる
ことができる。また成形の際には必要に応じて、少量の
水、滑剤などを使用してもよい。
ことができる。また成形の際には必要に応じて、少量の
水、滑剤などを使用してもよい。
成形体の形状には特に制限はないが、球状、円柱状、お
よび筒状などが代表例として挙げられる。
よび筒状などが代表例として挙げられる。
成形物の大きさは、球形であれば直径2mm〜12mm
の範囲が良く、円柱形であれば直径2mm −;12m
mで、高さはやはり2mm〜12+++o+の範囲が適
当である。一般に充填筒では筒径の約1710よりも小
さい粒径とする必要があるとされているので、その範囲
であれば偏流などがなく好都合である。本発明で用いる
浄化剤の粒の密度は1.5〜3.5g/ml 、好まし
くは2〜3.5g/mlの範囲である。
の範囲が良く、円柱形であれば直径2mm −;12m
mで、高さはやはり2mm〜12+++o+の範囲が適
当である。一般に充填筒では筒径の約1710よりも小
さい粒径とする必要があるとされているので、その範囲
であれば偏流などがなく好都合である。本発明で用いる
浄化剤の粒の密度は1.5〜3.5g/ml 、好まし
くは2〜3.5g/mlの範囲である。
本明細書において密度とは、成形体(粒)の重さを成形
体の幾何学的体積で割ったものをいう。密度が1.5g
/mlよりも小さい場合には、成形体の密度が弱くなる
ばかりでなく、体積当たりの浄化量が減少することにな
る。また密度が3.5g/mlよりも大きい場合には、
細孔容積の減少によるとみられる重量当たりの浄化量が
減少゛する。
体の幾何学的体積で割ったものをいう。密度が1.5g
/mlよりも小さい場合には、成形体の密度が弱くなる
ばかりでなく、体積当たりの浄化量が減少することにな
る。また密度が3.5g/mlよりも大きい場合には、
細孔容積の減少によるとみられる重量当たりの浄化量が
減少゛する。
このような重い浄化剤が低温においても以上に大きい浄
化能力を有することは驚くべきことである。この理由は
多分、浄化剤と水素化物との反応が接触的な脱水累反応
ではなく、水を生成する反応によるためであると思われ
る。このことは水素化物から生成する活性水素が酸化物
の格子酸素と反応し、浄化剤に十分大きな孔があくため
、成形体の内部にまで到達できるようになることを想像
させる。
化能力を有することは驚くべきことである。この理由は
多分、浄化剤と水素化物との反応が接触的な脱水累反応
ではなく、水を生成する反応によるためであると思われ
る。このことは水素化物から生成する活性水素が酸化物
の格子酸素と反応し、浄化剤に十分大きな孔があくため
、成形体の内部にまで到達できるようになることを想像
させる。
本発明で使用される浄化剤は浄化筒内に充填されて固定
床として用いられる。しかし移動床、固定床として用い
ることも可能である。有害成分を含有するガス(以下、
被処理ガスと記す)はこの浄化筒内に流され、浄化剤と
接触せしめられることにより、有=hSt分である各種
水素化物が除去され、浄化される。
床として用いられる。しかし移動床、固定床として用い
ることも可能である。有害成分を含有するガス(以下、
被処理ガスと記す)はこの浄化筒内に流され、浄化剤と
接触せしめられることにより、有=hSt分である各種
水素化物が除去され、浄化される。
本発明の浄化方法が適用される被処理ガス中の水素化物
の濃度およびガスの流速には特に制限はない。一般に濃
度が高いほど流速が小さくすることが好ましい。すなわ
ち排ガスが浄化筒内を通過する空筒線速度をa am/
sec 、有毒成分の濃度をb vo1%とするとき、
操作パラメーターをyとして、下式の範囲で操作するの
が好ましい。
の濃度およびガスの流速には特に制限はない。一般に濃
度が高いほど流速が小さくすることが好ましい。すなわ
ち排ガスが浄化筒内を通過する空筒線速度をa am/
sec 、有毒成分の濃度をb vo1%とするとき、
操作パラメーターをyとして、下式の範囲で操作するの
が好ましい。
0.0005 < y < 200
ただしy=a’xb
yが0.0005を丁形るような条件では、浄化筒の寸
法が大きくなりすぎて経済的に不利であるし、それが2
00を上形るときには、発熱量が大きくなって、冷却器
などを用いる必要が生じる。
法が大きくなりすぎて経済的に不利であるし、それが2
00を上形るときには、発熱量が大きくなって、冷却器
などを用いる必要が生じる。
例えば、被処理ガスが水素ベースの場合には、含有され
る有毒ガスの濃度が10%以上で、流速が20cm/s
ec以上になると発熱によって浄化剤の水素による還元
が生じ、活性が失われることもあるので、このような場
合には浄化筒を冷却するなどの処置を講じて操作するこ
とが好ましい。
る有毒ガスの濃度が10%以上で、流速が20cm/s
ec以上になると発熱によって浄化剤の水素による還元
が生じ、活性が失われることもあるので、このような場
合には浄化筒を冷却するなどの処置を講じて操作するこ
とが好ましい。
本発明の浄化方法を適用し得る被処理ガスは、通常は乾
繰状態であるが、湿潤状態であっても、浄化筒内で結露
するほど湿っていなければよい。
繰状態であるが、湿潤状態であっても、浄化筒内で結露
するほど湿っていなければよい。
被処理ガスと浄化剤との接触温度(入口ガス温度)は1
50℃以下、好ましくは0〜100℃である。特に水素
をガスのベース(雰囲気ガス)として用いる場合には1
00℃以下とするのが好ましい。通常は常温乃至室温で
よく、特に加熱や冷却をする必要はない。
50℃以下、好ましくは0〜100℃である。特に水素
をガスのベース(雰囲気ガス)として用いる場合には1
00℃以下とするのが好ましい。通常は常温乃至室温で
よく、特に加熱や冷却をする必要はない。
被処理ガスの圧力は常圧、減圧、加圧のいずれでもよい
が、通常は20Kg/cITl abs以下であり、好
ましくは0.001〜10Kg/ c+rf absの
範囲である。
が、通常は20Kg/cITl abs以下であり、好
ましくは0.001〜10Kg/ c+rf absの
範囲である。
本発明では湿潤化処理(通常浄化筒の前に設けたバブラ
ーによる処理)が不要なので、被処理ガスを吸引する真
空ポンプの上流側に本浄化剤の浄化筒を設置することが
でき、その場合には減圧下で処理することが可能となる
。このようにすることにより、有毒ガスが除去された後
に真空ポンプを通過す、ることになり、ポンプのオイル
が有毒ガスにより汚されないのでメインテナンスが容易
になる。
ーによる処理)が不要なので、被処理ガスを吸引する真
空ポンプの上流側に本浄化剤の浄化筒を設置することが
でき、その場合には減圧下で処理することが可能となる
。このようにすることにより、有毒ガスが除去された後
に真空ポンプを通過す、ることになり、ポンプのオイル
が有毒ガスにより汚されないのでメインテナンスが容易
になる。
本発明の浄化方法によれば、半導体製造工程から排出さ
れる各秤水素化物を有毒成分として含有するガスを、乾
繰状態で、効率よく浄化しつる。
れる各秤水素化物を有毒成分として含有するガスを、乾
繰状態で、効率よく浄化しつる。
実施例1〜2
硝酸銅水溶液に四塩化チタンを滴下混合してコロイド状
水酸化チタンの硝酸銅溶液を得た。
水酸化チタンの硝酸銅溶液を得た。
この溶液に炭酸す) IJウム水溶液を滴下し、塩基性
炭酸銅と水酸化チタンの混合物を沈澱として得た。次い
で、この混合物を5回濾過洗浄し、さらに120℃で1
0時間乾繰し、続いて300℃で5時間焼成してT i
/ (Cu+T i)の原子比が0.10および0.5
0の酸化銅と酸化チタンの塊状の混合物をそれぞれ得た
。
炭酸銅と水酸化チタンの混合物を沈澱として得た。次い
で、この混合物を5回濾過洗浄し、さらに120℃で1
0時間乾繰し、続いて300℃で5時間焼成してT i
/ (Cu+T i)の原子比が0.10および0.5
0の酸化銅と酸化チタンの塊状の混合物をそれぞれ得た
。
これらの混合物をそれぞれ6mmΦX6mm1lのペレ
ットに打錠成形した。このものの粒の密度は2.8g/
mlであった。このものの充填密度は1.8Kg/lで
あった。これを破砕し、ふるいにかけ、12〜28me
shとしたものを浄化剤として用いた。
ットに打錠成形した。このものの粒の密度は2.8g/
mlであった。このものの充填密度は1.8Kg/lで
あった。これを破砕し、ふるいにかけ、12〜28me
shとしたものを浄化剤として用いた。
内径13mmΦX200mm1lの硬質ポリ塩化ビニル
製の浄化筒内に、前記の浄化剤約1gを充填しく充填高
さ約4mm) 、この浄化筒に被処理ガスとしてアルシ
ン1vo1%を含有せしめた20℃、latmの窒素ガ
スを3A/hr(空塔線速度0.63cm/5ec)の
速度で流して、それぞれの浄化剤を充填した場合につい
て飽和浄化量を測定した。
製の浄化筒内に、前記の浄化剤約1gを充填しく充填高
さ約4mm) 、この浄化筒に被処理ガスとしてアルシ
ン1vo1%を含有せしめた20℃、latmの窒素ガ
スを3A/hr(空塔線速度0.63cm/5ec)の
速度で流して、それぞれの浄化剤を充填した場合につい
て飽和浄化量を測定した。
結果を第1表に示す。
比較例1
活性アルミナ(商品名 ネオビードD4.6〜10メツ
シユ) 56g(100ml)に塩化第二鉄の20重量
X水溶液20gをスプレーで噴霧し、そのまま吸収剤と
した。この吸収剤はアルミナ1g当たり鉄を金属として
0.025g含んでいた。得られた吸収剤1gを実施例
1の浄化剤1gのかわりに用い実施例1と同様にして飽
和浄化量を測定した。結果を第1表に示す。
シユ) 56g(100ml)に塩化第二鉄の20重量
X水溶液20gをスプレーで噴霧し、そのまま吸収剤と
した。この吸収剤はアルミナ1g当たり鉄を金属として
0.025g含んでいた。得られた吸収剤1gを実施例
1の浄化剤1gのかわりに用い実施例1と同様にして飽
和浄化量を測定した。結果を第1表に示す。
比較例2
活性アルミナ(商品名 ネオビードD4.6〜10メツ
シユ) 56g(100ml)に過マンガン酸カリウム
の5重量%水溶液20gをスプレーで噴霧し120℃で
乾燥させる操作を4回繰り返して吸収剤を調製した。こ
の吸収剤はアルミナ1g当たりマンガンを金属として0
.025g含んでいた。得られた吸収剤1gを実施例1
の浄化剤1gのかわりに用い実施例1と同様にして飽和
浄化量を測定した。結果を第1表に示す。
シユ) 56g(100ml)に過マンガン酸カリウム
の5重量%水溶液20gをスプレーで噴霧し120℃で
乾燥させる操作を4回繰り返して吸収剤を調製した。こ
の吸収剤はアルミナ1g当たりマンガンを金属として0
.025g含んでいた。得られた吸収剤1gを実施例1
の浄化剤1gのかわりに用い実施例1と同様にして飽和
浄化量を測定した。結果を第1表に示す。
第1表
実施例3
実施例1で用いたと同様な条件で、窒素ガスを水素ガス
に変更してアルシンの飽和浄化量を測定した。結果を第
2表に示す。
に変更してアルシンの飽和浄化量を測定した。結果を第
2表に示す。
第2表
実施例4〜6
窒素ガスにホスフィン、シラン、ジボランまたはセレン
化水素をそれ−ぞれ単独に1%含有させたガスをそれぞ
れ実施例と同様な条件て流して、飽和浄化量を測定した
。結果を第3表に示す。
化水素をそれ−ぞれ単独に1%含有させたガスをそれぞ
れ実施例と同様な条件て流して、飽和浄化量を測定した
。結果を第3表に示す。
実施例7〜8
硝酸銅と硝酸ジルコニウムまたは硝酸ランタンとの混合
水溶液に水酸化ナトリウム水溶液を滴下して、水酸化物
の混合物を得た。この混合物を濾過乾燥した後、120
℃で10時間乾乾燥、続いて300℃で5時間焼成して
原子比M/M+Cuがそれぞれ0.07である酸化物を
得た。
水溶液に水酸化ナトリウム水溶液を滴下して、水酸化物
の混合物を得た。この混合物を濾過乾燥した後、120
℃で10時間乾乾燥、続いて300℃で5時間焼成して
原子比M/M+Cuがそれぞれ0.07である酸化物を
得た。
これらの混合物を6mmΦX 6 mm1lのベレット
に打錠成形した。゛得られた粒の密度は2.8g/ml
であった。また充填密度は1.8 Kg/lであった。
に打錠成形した。゛得られた粒の密度は2.8g/ml
であった。また充填密度は1.8 Kg/lであった。
これを破砕し、ふるいにかけ12〜28meshとした
ものを浄化剤として用いた。
ものを浄化剤として用いた。
活性テストは実施例1と同様にした(ガス組成はN2+
As11g )。結果を第4表に示す。
As11g )。結果を第4表に示す。
実施例′9〜11
実施例1で使用した浄化剤と同じ寸法の石英製の浄化筒
内に、実施例1.7および8で用いたのと同じ浄化剤を
それぞれ36g(充填容積約20m1>充填し、窒素ガ
ス中に1%のアルシンをそれぞれ2FM/hr(空塔線
速度5.3cm/5ec)の空塔線速度で通過させ、そ
れぞれのガスが破過するまでの時間を測定した。なお破
過の検知は次に示す検知管を用いて行った。
内に、実施例1.7および8で用いたのと同じ浄化剤を
それぞれ36g(充填容積約20m1>充填し、窒素ガ
ス中に1%のアルシンをそれぞれ2FM/hr(空塔線
速度5.3cm/5ec)の空塔線速度で通過させ、そ
れぞれのガスが破過するまでの時間を測定した。なお破
過の検知は次に示す検知管を用いて行った。
アルシンニガステック社製No、19 L 。
検知下限界0. O5ppm
結果を第5表に示す。
第5表
実施例12
実施例9において、アルシンの濃度を窒素ガス中110
0ppに変更し、他は同一の条件で、破過までの時間を
測定した。結果を第6表に示す。
0ppに変更し、他は同一の条件で、破過までの時間を
測定した。結果を第6表に示す。
第6表
比較例3
16〜24メツシユの活性炭に硝酸銅水溶液および水酸
化カリウム水溶液を順次含浸、乾燥させ、窒素ガス中で
300℃で30分焼成して吸着剤を調製した。
化カリウム水溶液を順次含浸、乾燥させ、窒素ガス中で
300℃で30分焼成して吸着剤を調製した。
調製した吸着剤は活性炭1g当たり金属として銅を0.
063g、、カリウムを0゜078g含んでいた。
063g、、カリウムを0゜078g含んでいた。
この添着炭12g (充填容積約20m1)を、実施例
9と同じ反応条件で破過するまでの時間を測定した。結
果を第7表に示す。
9と同じ反応条件で破過するまでの時間を測定した。結
果を第7表に示す。
比較例4
比較例1と同様にして調製した吸収剤15g(充填容積
約20m1)を比較例3と同じ条件で破過時間を測定し
た。結果を第7表に示す。
約20m1)を比較例3と同じ条件で破過時間を測定し
た。結果を第7表に示す。
比較例5
比較例2と同様にして調製した吸収剤15g(充填容積
約20m1)を比較例3と同じ条件で破過時間を測定し
た。結果をff! 7表に示す。
約20m1)を比較例3と同じ条件で破過時間を測定し
た。結果をff! 7表に示す。
第7表
〔本発明の効果〕
本発明の浄化方法は、下記のような優れた特徴を有して
おり、工業的に極めて有用である。
おり、工業的に極めて有用である。
(1)浄化剤の単位体積当たりに対する有毒成分の除去
量および除去速度が大きい。
量および除去速度が大きい。
(2) 各種水素化物をその濃度とは関係なく完全に
除去することができる。
除去することができる。
(3) 常温乃至室温で浄化操作を行うことができ、
特に加熱や冷却を必要としない。
特に加熱や冷却を必要としない。
(4) 浄化剤に水分などが実質的に含有されていな
いため、常に安定した浄化性能が得られる。
いため、常に安定した浄化性能が得られる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 有毒成分としてアルシン、ホスフィン、ジボランおよび
セレン化水素の一種以上を含有するガスと、浄化剤とを
接触させて当該ガスから有毒成分を吸着除去する排ガス
の浄化方法において、浄化剤として (1)酸化第二銅、および(2)チタン、ジルコニウム
およびランタンからなる群から選ばれる少なくとも一種
の金属酸化物を配合してなり、その組成が金属の原子比
M/(M+Cu) 〔式中、Cuは銅の原子数を示し、Mはチタン、ジルコ
ニウムまたはランタンの原子数(これらの成分を二種以
上使用するときはそれらの原子数の合計)を示す〕 で0.01〜0.7であり、かつその組成物を成形して
なる密度1.5〜3.5g/mlの成形体を用いること
を特徴とする排ガスの浄化方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61127169A JPH0673613B2 (ja) | 1986-06-03 | 1986-06-03 | 排ガスの浄化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61127169A JPH0673613B2 (ja) | 1986-06-03 | 1986-06-03 | 排ガスの浄化方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62286521A true JPS62286521A (ja) | 1987-12-12 |
JPH0673613B2 JPH0673613B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=14953366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61127169A Expired - Fee Related JPH0673613B2 (ja) | 1986-06-03 | 1986-06-03 | 排ガスの浄化方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0673613B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4869735A (en) * | 1987-04-30 | 1989-09-26 | Mitsubishi Jukogyo K.K. | Adsorbent for arsenic compound and method for removing arsenic compound from combustion gas |
US5182089A (en) * | 1990-02-20 | 1993-01-26 | Mannesmann Aktiengesellschaft | Chemisorptive metal alloy and method of using the same |
EP1205564A2 (en) | 2000-11-14 | 2002-05-15 | Japan Pionics Co., Ltd. | Method of recovering a copper and/or a manganese component from a particulate gas cleaning agent |
JP2009541026A (ja) * | 2006-06-21 | 2009-11-26 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | 流れからcoを除去するための吸着組成物及び方法 |
CN106111050A (zh) * | 2016-07-08 | 2016-11-16 | 常州天兴环保科技有限公司 | 一种tx‑gf‑jh‑3型废气净化吸附剂 |
-
1986
- 1986-06-03 JP JP61127169A patent/JPH0673613B2/ja not_active Expired - Fee Related
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