JPH07100128B2

JPH07100128B2 - ガスの浄化方法

Info

Publication number: JPH07100128B2
Application number: JP63120645A
Authority: JP
Inventors: 宏一北原; 昇秋田; 孝島田; 忠平本
Original assignee: Japan Pionics Ltd
Current assignee: Japan Pionics Ltd
Priority date: 1987-08-31
Filing date: 1988-05-19
Publication date: 1995-11-01
Anticipated expiration: 2010-11-01
Also published as: JPH01254230A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はガスの浄化方法に関し、さらに詳細には有害ガ
スボンベなどから高濃度の有害ガスが急激に漏洩したよ
うな場合にこれを効率よく除去するためのガスの浄化方
法に関する。

近年半導体工業の発展と共にアルシン、ホスフィン、シ
ランおよびジボランなどの極めて毒性の強い水素化物系
ガスの使用量が増加している。これらの有害ガスはシリ
コン半導体や化合物半導体の製造プロセスにおいて、原
料ガスあるいはドーピングガスとして不可欠なものであ
るが、いずれも極めて毒性が高く、それぞれの許容濃度
はアルシン（AsH₃）で0.05ppm、ホスフィン（PH₃）で0.
3ppm、シラン（SiH₄）で5ppm、ジボラン（B₂H₆）で0.1p
pm、セレン化水素（SeH₂）で0.05ppmとされている。こ
れらの有毒ガスは通常は例えば下表に示したように0.1
〜50程度のガスボンベに充填して市販されている。

これらのボンベはガスが漏洩した場合に直接外部の空気
を汚染することを防止するため、通常はボンベボックス
と呼ばれる換気ダクトに接続されたボンベ収納容器内に
収納された状態で半導体プロセスなどへのガスの供給配
管に接続して使用される。このようなボンベボックス内
に収納されていても思わぬ事故などにより、例えば５〜
10分程度の短時間でボンベが空になるような急激なガス
の漏洩が発生する危険性が皆無といえず、このような事
故に対処しうる安全対策が強く要望されている。

〔従来の技術〕

ガス中に含有されるアルシン、ホスフィンなどを除去す
る方法としては、スクラバーで吸収分解させる湿式法
と、吸着剤または酸化剤を充填した充填筒内にガスを流
して除去する乾式法とが知られている。一般的には湿式
法は、吸収液による腐食や後処理などに困難性があり、
装置の保守に費用を要するという欠点がある。

乾式法としては、空気中のアルシン、ホスフィンなどの
有害ガスを除去するために、化学戦争において活性炭を
充填したガスマスクが知られており、また、この活性炭
の吸着力を利用し、さらに種々の物質を添着して、除去
能力の向上を企てる試みも行われている。例えば、活性
炭を担体とし、これに銅化合物、アルカリ金属化合物、
Al,Ti,V,Cr,Mn,Feなどの金属化合物の一種以上を含有さ
せたアルシン、ホスフインなどの吸着剤（特開昭59−16
0535号、60−71039号公報）およびヨウ素またはヨウ素
化合物と金属硫酸塩などを活性炭に含浸させたアルシ
ン、ホスフィンなどの吸着剤（特開昭60−71040号公
報）などがある。

また、活性炭を担体とするもの以外では本発明者らによ
る（１）酸化第二銅、および（２）酸化珪素、酸化アル
ミニウムおよび酸化亜鉛からなる群から選ばれる少なく
とも１種の金属酸化物を配合し、成型した浄化剤を用い
る方法（特開昭61−209030号公報）がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前記のような活性炭を担体とする吸着剤
は比較的低濃度のアルシン、ホスフィンなどの有害ガス
を除去することは可能であるが、高濃度で流速の大きい
ガス中の有害ガスに対しては活性が低く過ぎ、また、こ
れらの水素化物系ガスによって還元されたヨウ素が飛散
し易いという問題点がある。

一方、本発明者らによる特開昭61−20903号公報におけ
る浄化剤は従来の浄化剤に比べ、単位重量および単位容
積に対する有害ガスの除去容量が格段に大きく、大量の
有害ガスを除去することができる。

しかしながらこの浄化剤は、条件によっては除去速度が
必ずしも十分とはいえないため、前記したようにボンベ
などから有害ガスが急激に漏洩したような緊急時に対し
ては十分迅速に処理することができないという問題点が
ある。

従って大量の有害ガスが漏洩するような緊急時などにお
いては従来の除害方法では対処することが出来ないた
め、さらに除去性能の優れた浄化方法の出現が望まれて
きた。

〔問題点を解決するための手段、作用〕

本発明者らはこれらの問題点を解決するべく鋭意検討を
重ねた結果、二酸化マンガン、酸化銅の組成物にさらに
銀化合物を含有させた浄化剤を用いることによって空気
中などに漏洩した高濃度の有害ガスを極めて効率よく除
去しうることを見出し本発明に到達した。

すなわち、本発明は有害ガスとしてアルシン、ホスフィ
ン、シラン、ジボランおよびセレン化水素の一種以上を
含有するガスと、浄化剤とを接触させて当該ガスから有
害ガスを除去するガスの浄化方法において、浄化剤とし
て（１）二酸化マンガンおよび酸化銅を主成分とする組
成物に（２）銀化合物を含有せしめてなる成型体を用い
ることを特徴とする排ガスの浄化方法である。

本発明の浄化方法は空気、窒素および水素中などに含有
されるアルシン、ホスフィンなどの有害ガスを効率よく
除去することができる。

特に、本発明の浄化方法は多量で比較的濃度の高い有害
ガスを迅速に、しかも常温で除去することができる。例
えば、前記したようにボンベから急激に漏洩するなどで
有害ガスによって汚染されたガス（通常は空気）の迅速
な浄化などに優れた効果が得られる。

本発明において二酸化マンガンおよび酸化銅を主成分と
する組成物（以下Mn−Cu系組成物と記す）に銀化合物を
含有せしめてなる成型体が浄化剤として使用される。

浄化剤の形態としてはMn−Cu系組成物と銀化合物との混
合物の成型体であってもよく、また、Mn−Cu系組成物の
成型体に銀化合物を添着させたものであってもよいが、
比較的高価な銀化合物を少量で効果的に作用させるなど
の目的から、後者のようにMn−Cu系組成物の成型体に銀
化合物を添着させる形態が好ましい。

Mn−Cu系組成物中の二酸化マンガンおよび酸化銅の含有
量は通常、両者を合わせて60wt％以上、好ましくは70wt
％以上であり、また、その他の含有成分としてはアルミ
ニウム、珪素、カリウムの酸化物などである。

また、二酸化マンガンに対する酸化銅の割合は重量比で
通常は1:0.2〜1.2、好ましくは1:0.3〜0.8程度とされ
る。

これらの組成物を得るにはそれぞれの成分を適宜混合し
て調整してもよく、また、一般にホプカライトとして市
販もされているのでこれらを用いてもよい。

市販品としては主に二酸化マンガン60wt％、酸化銅40wt
％の二元素系が中心として市販されている。また、多成
分系として市販されているものには二酸化マンガンと酸
化銅に、カリウム、アルミニウム、珪素などの酸化物が
30wt％以下の割合で混合されているものが多い。

このようなMn−Cu系組成物の成型体をそのままアルシ
ン、ホスフィンなどの水素化物系ガスの除去に用いても
よいが、その場合には乾燥ガス中ではこれらの有害成分
は或程度除去できても、通常の大気中のような相対湿度
30〜100％の範囲の空気中など水分を含むガスについて
は浄化能力が著しく低下する。

このような欠点を解消すると共に浄化能力をさらに高め
るために、本発明においてはこれらのMn−Cu系組成物
に、さらに銀化合物を加えたものを浄化剤として用い
る。

銀化合物としては、酸化銀（Ｉ）、酸化銀（II）ならび
に無機酸銀、有機酸銀およびハロゲン化銀などの銀塩
（Ｉ）が挙げられる。無機酸銀としては例えば炭酸銀、
硝酸銀、亜硝酸銀、硫酸銀、亜硫酸銀、塩素酸銀、過塩
素酸銀、臭素酸銀、ヨウ素酸銀、過ヨウ素酸銀、燐酸水
素二銀、燐酸銀、ピロリン酸銀、メタリン酸銀、テトラ
フルオロホウ酸銀、ヘキサフルオロ燐酸銀など、ハロゲ
ン化銀としては例えば弗化銀、塩化銀、臭化銀、ヨウ化
銀、有機酸銀としては例えば酢酸銀、シュウ酸銀などが
ある。これらのうちでも酸化銀（Ｉ）および酸化銀（I
I）が好ましく、また、各種銀塩（Ｉ）のうちでは水に
難溶ないし不溶性の塩が一般的に好ましく、例えば炭酸
銀、硫酸銀、燐酸銀、亜硫酸銀、塩化銀、臭化銀、ヨウ
化銀、ヨウ素酸銀、ピロリン酸銀、メタリン酸銀および
シュウ酸銀などが挙げられる。このうち酸化銀（II）が
特に好ましく、次いで炭酸銀（Ｉ）、酸化銀（Ｉ）およ
びこれらの混合物が好ましい。

銀化合物を添着させる場合のMn−Cu系組成物としては破
砕品、押出成型品、打錠成型品などの種々の形状のもの
を用いることができる。そのサイズは破砕品であれば４
〜20メッシュ程度、押出成型品であれば1.5〜4mφ×３
〜20mm程度、打錠成型品であれば通常は円筒状で３〜6m
mφ×３〜6mm程度の大きさのものが好ましい。しかし、
装置の設計条件などによってその他の寸法としても何ら
支障はない。

銀化合物をMn−Cu系組成物に添着させる方法としては種
々のやりかたが可能であり、湿式法を用いてもよく、ま
た、乾式法を用いてもよい。簡便な方法としてはMn−Cu
系組成物の成型体に粉末状の銀化合物をまぶしつける方
法、または銀化合物を水性スラリーとして添着する方
法、あるいは水溶性の銀化合物を水溶液として含浸させ
る方法などがある。

また、ガスとの接触初期における反応の立ち上がりおよ
びMn−Cu系組成物に対する添着性をよくするなどの目的
で銀化合物は二酸化マンガン、酸化銅などを少量共存さ
せた形で用いてもよい。

Mn−Cu系組成物に含有せしめられる銀化合物の量は、通
常は0.01〜10.0wt％とされ、好ましくは0.2〜5wt％とさ
れる。含有量が0.01wt％以下ではガスの浄化効率が低下
し、一方10wt％以上では経済的負担が大きくなる。

浄化剤によって除去可能なアルシンおよびホスフィンな
ど水素化物系ガスの濃度は通常は１％以下とされる。こ
れよりも高濃度では反応熱が大きくなり冷却装置などが
必要となることがある。

浄化剤と接触させるガスの温度は通常は０〜90℃、好ま
しくは室温（10〜50℃）で操作され、特に加熱や冷却を
必要としない。勿論、接触開始後は反応熱のため、水素
化物系ガスの濃度に応じた温度上昇を示す。接触時の圧
力は、通常は常圧であるが、減圧ないし1Kg/cm²Gのよう
な加圧下で操作することも可能である。

また、接触時間は通常は0.01秒以上でよいが、好ましく
は0.025秒以上である。0.01秒よりも短い接触時間では
充分な浄化能力が得られないことがある。

本発明が適用される空気、窒素および水素などのガスの
湿度には特に制限はなく乾燥状態のみならず湿った状態
でもよい。一般的には通常の大気に相当する30〜100％
の相対湿度で使用されることが多く、このような場合に
は浄化剤の含水量はガスの相対湿度に応じて変化し、５
〜30wt％程度に保たれる。また、浄化剤は空気中などの
炭酸ガスなどによって悪影響を受けることはなく、これ
らの存在は状況によっては却って浄化能力を若干高める
こともある。

本発明において水分を含有するガスの浄化に際しては、
浄化剤はあらかじめ同程度の湿度の雰囲気ガスと接触さ
せることによりその湿度に応じた含水状態に保っておく
ことが好ましい。

浄化剤は通常は有害ガスの浄化筒に充填され固定床とし
て用いられるが、移動床、流動床として用いることも可
能である。

本発明において浄化剤の粒の密度は、通常は0.62〜1.88
g/ml、好ましくは0.78〜1.56g/mlであり、また、浄化剤
を浄化筒などに充填したときの充填密度は、通常は0.4
〜1.2g/ml程度、好ましくは0.5〜1.0g/ml程度とされ
る。

浄化剤は例えば第１図のフローシートで示されたような
浄化筒１に充填され、浄化筒１はガスボンベ２が収納さ
れた前記のボンベボックス３内の空気を連続的に吸引換
気するためのブロアー４に接続された換気ダクト５に介
在させて使用される。

浄化剤をこのような状態で使用する場合には、有害ガス
の濃度が１％を超えるような高濃度では発熱が大きくな
るため、除熱手段が必要となる。しかしながらこのよう
な設備では有害ガスの急激な漏洩が生じても空気との混
合によってその濃度が１％以下に稀釈されるに充分な容
量のブロアーが設けられているのが通常である。具体的
には換気容量が５〜200m³/min程度のブロアーが多く設
置され、例えば前記の表で示されたような市販のガスボ
ンベが５〜10分で空になるような大量の漏洩が生じた場
合の空気中などの有害ガスの含有量は50〜1000ppm程度
であると想定される。

浄化筒内の浄化剤の充填長はガスの流量および有害ガス
の濃度などによって異なり、一概に特定はできないが実
用上通常は50〜500mm程度とされ、浄化筒の内径は筒内
を流れるガスの空筒線速度（LV）が0.3〜1.5m/sec程度
となる大きさとされる。一般的にはこれらは充填層の圧
力損失、ガスとの接触効率および有害ガスの濃度などに
よって定められる。

〔発明の効果〕

本発明のガスの浄化方法によれば、ガス中に含有される
有害ガスとしてアルシン、ホスフィン、ジボラン、シラ
ンおよびセレン化水素、特に大量で比較的高濃度の有害
ガスを効率良くしかも極めて迅速に除去することができ
るので、例えば、ガスボンベから有害ガスが急激に漏洩
するなどの緊急時の除害処置に対して優れた効果が得ら
れる。

以下、本発明を実施例によってさらに具体的に示す。

〔実施例〕

実施例１〜５（酸化銀（II）の調製） 102gの硝酸銀を200mlの水に溶解した。別に90gの苛性ソ
ーダと150gの過硫酸カリウムを85℃に温めたイオン交換
水200mlにかきまぜながら溶解した。後者をそのまま加
熱しながらかきまぜを続けているところへ上記の硝酸銀
水溶液を滴下して沈殿物を析出させた。このものをデカ
ンテーションと水洗を繰り返して洗浄した後、100℃で
３時間真空乾燥して74gの酸化銀（II）の粉末を得た。

（Mn−Cu系組成物）市販のホプカライトを使用した。

このものの組成は、二酸化マンガン（MnO₂）50％、酸化
銅（CuO）22％、酸化アルミニウム（Al₂O₃）25％であ
り、他にカリウム化合物などが含有されている。形状は
1.5mmφ×３〜10mmの押出成型品である。

（浄化剤の調製）上記のホプカライト1000gを120℃で２時間乾燥させた。
一方、酸化銀（II）40gを水500mlにけん濁させたけん濁
液を激しくかきまぜながら、バット中にあるホプカライ
トに散布して酸化銀（II）の粉末を添着させ、次いで80
℃×２時間の条件で乾燥させ、酸化銀（II）を3.85wt％
添着した浄化剤（粒の密度1.08g/ml）を得た。その後室
内に放置して10wt％程度の含水率まで大気中の湿分を吸
収させた。

（活性テスト）内径19mmφの石英製の浄化筒に充填長が100mm（充填量2
8.3ml、19.5g）になるように浄化剤を充填し、これにア
ルシンまたはホスフィンを200〜2000ppm含有させた相対
湿度60％、温度25℃の空気を、11.4〜20.4/min（空筒
線速度）LV 67〜120cm/sec）の流量で流通させた。浄化
剤の出口ガスの一部をサンプリングし、冷原子吸光法に
より、出口ガス中のアルシンまたはホスフィンの濃度が
25ppbまで上昇する時間（有効処理時間）を測定した。

結果を第１表に示す。

実施例６〜８アルシン、ホスフィンの代わりに、ジボラン、シラン、
セレン化水素を含有する空気について実施例１〜５と同
様にして、有効処理時間を測定した。

但し浄化筒の出口ガス濃度は、ジボランおよびセレン化
水素については検知管を用いて測定し、これらのガスが
検知されるに至るまでの時間（有効処理時間）を求め
た。検知管はジボランについてはドレーゲル社製のもの
で、検知下限は0.05ppmであり、セレン化水素について
は光明理化学製で検知下限は1ppmである。

また、シランについては塩基性炭酸銅をアルミナに担持
せた変色試薬を用いたが、このものの検知下限は10ppm
である。

結果を第２表に示す。

比較例１、２実施例１で使用したと同種の市販のホプカライトを乾燥
後、室内に放置して含水率を約10％としたものを浄化剤
として用い、実施例１と同様にしてアルシンおよびホス
フィンについて有効処理時間を測定した。

結果を第３表に示す。

実施例９、10 空気の代わりにアルシン1,000ppmを含有する窒素および
水素を用いた他は実施例１と同様にして有効処理時間を
測定した。

結果を第４表に示す。

実施例 11、12 （二酸化マンガン含有酸化銀（II）の調製） 200mlの水に102gの硝酸銀を溶解した硝酸銀水溶液にさ
らに硝酸マンガン2.27gを添加した溶液を用いた他は実
施例１の酸化銀（II）の調製と同様に操作して約0.5wt
％の二酸化マンガンを含む酸化銀（II）の粉末を調製し
た。

（浄化剤の調製）この粉末を実施例１で用いたと同種のホプカライトに乾
式でふりかけ、よくかき混ぜて添着させ約3.85wt％の酸
化銀（II）および少量の二酸化マンガンが添着した浄化
剤を調製した。この浄化剤を用い実施例１〜５と同様に
して有効処理時間を測定した。結果を第５表に示す。

実施例 13、14 （Mn−Cu系組成物）実施例１のホプカライトの代わりに市販品で組成の異な
るホプカライトを用いた。その組成は二酸化マンガン
（MnO₂）58％、酸化銅（CuO）38％、その他カリウム化
合物などであり、形状は８〜14メッシュの破砕状のもの
および4.8mmφ×4.8mmの円筒状のペレットの二種類のも
のを用いた。

後者のペレットについは、1/4に割ってから使用した。

（浄化剤の調製）実施例１と同様にして湿式で酸化銀（II）が3.85wtとな
るように添着した浄化剤を調整した。

（活性テスト）この浄化剤を使用し実施例１と同様にしてそれぞれの有
効処理時間の測定を行った。

結果を第６表に示す。

実施例 15 活性二酸化マンガン100g、酸化銅（CuO）40gおよびアル
ミナゾル（純分Al₂O₃として20g）を混合した組成物に、
酸化銀（II）の粉末60gおよび少量の水を加えて混練
し、次いで成型板の中で乾燥させて4mmφ×4mmのペレッ
ト状で酸化銀（II）を5.88wt％含む浄化剤を調製した。
この浄化剤をさらに破砕して４〜20meshとしたものを用
いて実施例１と同様にして有効処理時間の測定を行っ
た。

結果を第７表に示す比較例３〜５ Mn−Cu系組成物の代わりに担体に粒度が６〜10メッシュ
の活性炭、α−アルミナ、モレキュラーシーブ5Aを用
い、これ酸化銀（II）を4.25wt％添着したものについて
実施例１と同様にして有効処理時間を測定した。

結果を第８表に示す。

実施例 16、17 実施例１で用いたと同種のホプカライトに酸化銀（II）
が0.5および2.0wt％になるように添着量を変化させたも
のについて有効処理時間をそれぞれ測定した。

結果を第９表に示す。

実施例 18 空気中などの炭酸ガスの影響を見るために実施例１で用
いたと同種の浄化剤に炭酸ガスを１％含む空気を８時間
流通させると、浄化剤は吸熱した。

その後実施例１と同条件で有効処理時間を測定した。

結果を第10表に示す。

実施例19〜23 （酸化銀（Ｉ）の調製） 102gの硝酸銀を200mlの水に溶解した。別に90gの苛性ソ
ーダを85℃に温めたイオン交換水200mlにかきまぜなが
ら溶解した。後者をそのまま加熱しながらかきまぜを続
けているところへ上記の硝酸銀水溶液を滴下して沈殿物
を析出させた。このものデカンテーションと水洗を繰り
返して洗浄した後、100℃で３時間真空乾燥して69gの酸
化銀（Ｉ）の粉末を得た。

（Mn−Cu系組成物）実施例１で用いたと同種の市販のホプカライトを使用し
た。

（浄化剤の調製）ホプカライト1000gを120℃で２時間乾燥させた。一方、
酸化銀（Ｉ）40gを水500mlにけん濁させたけん濁液を激
しくかきまぜながら、バット中にあるホプカライトに散
布して酸化銀（Ｉ）の粉末を添着させ、次いで80℃×２
時間の条件で乾燥させ、酸化銀（Ｉ）を3.85wt％添着し
た浄化剤を得た。その後室内に放置して10wt％程度の含
水率まで大気中の湿分を吸収させた。

（活性テスト）実施例１と同様にしておこなった。

結果を第11表に示す。

実施例 24〜26 実施例19〜23と同種の浄化剤を用い、アルシン、ホスフ
ィンの代わりにジボラン、シラン、セレン化水素を含有
する空気につい実施例１〜５と同様にして有効処理時間
を測定した。

結果を第12表に示す。

実施例 27、28 （Mn−Cu系組成物）実施例13、14で用いたと同種のホプカライトを用いた。

（浄化剤の調製）実施例19と同様にして湿式で酸化銀（Ｉ）が3.85wt％と
なるように添着した浄化剤を調整した。

結果を第13表に示す。

比較例６〜８ Mn−Cu系組成物の代わりに担体に粒度が６〜10メッシュ
の活性炭、α−アルミナ、モレキュラーシーブ5Aを用
い、これに酸化銀（Ｉ）を4wt％添着したものについて
実施例１と同様にして有効処理時間を測定した。

結果を第14表に示す。

実施例 29、30 実施例１で用いたと同種のホプカライトに酸化銀（Ｉ）
が0.5および2.0wt％になるように添着量を変化させたも
のについて有効処理時間をそれぞれ測定した。結果を第
15表に示す。

実施例31〜35 （Mn−Cu系組成物）実施例１で用いたと同種の市販のホプカライトを用い
た。

（浄化剤の調製）上記のホプカライト300gを120℃で２時間乾燥させた。
一方、炭酸銀（Ｉ）12gを水100mlにけん濁させたけん濁
液を激しくかきまぜながら、バット中にあるホプカライ
トに散布して炭酸銀の粉末を添着させた。このときけん
濁液中の固体が器壁に残るので、水100mlを追加して再
び激しくかき混ぜながら散布する操作を２回繰り返し、
最後に水50mlで洗浄散布して炭酸銀を全量添着させた。
次いで80℃×10時間の条件で乾燥させ、炭酸銀（Ｉ）を
3.85wt％添着した浄化剤312gを得た。その後室内に放置
して８％程度の含水率まで大気中の湿分を吸収させた。

（活性テスト）実施例１と同様にして有効処理時間を測定した。

結果を第16表に示す。

実施例 36〜38 実施例31〜35と同種の浄化剤を用い、アルシン、ホスフ
ィンの代わりに、ジボラン、シラン、セレン化水素を含
有する空気について実施例１〜５と同様にして、有効処
理時間を測定した。

結果を第17表に示す。

実施例 39 銀化合物として炭酸銀（Ｉ）または酸化銀（II）をそれ
ぞれ単独で使用する代わりに両者を1:1で混合して水に
けん濁させたものを実施例１で用いたと同種の市販のホ
プカライトに散布し、3.85％の酸化合物を添着した浄化
剤を用いた他は実施例１と同様にして有効処理時間を測
定した。

結果を第18表に示す。

実施例 40、41 （浄化剤の調製）実施例１で用いたと同種のホプカライト200gを120℃で
２時間乾燥させた。水100mlに硝酸銀20gを溶解した硝酸
銀水溶液を霧吹で48gだけ乾燥ホプカライトに吹きかけ
た。この硝酸銀を添着させたポカライトを80℃で10時間
乾燥させて、3.85wt％の硝酸銀が添着した浄化剤208gを
得た。

このものを空気中に放置して約8wt％の含水品としてか
ら実施例１〜５と同様にして有効処理時間を測定した。

結果を第19表に示す。

実施例 42、43 （Mn−Cu系組成物）実施例13、14で用いたと同様のホプカライトを使用し
た。

（浄化剤の調製）実施例１と同様にして湿式で炭酸銀（Ｉ）が3.85wtとな
るように添着した浄化剤を調整した。

結果を第20表に示す。

比較例９〜11 Mn−Cu系組成物の代わりに担体に粒度が６〜10メッシュ
の活性炭、α−アルミナ、モレキュラーシーブ5Aを用
い、これに炭酸銀（Ｉ）を4.25wt％添着したものについ
て実施例１と同様にして有効処理時間を測定した。

結果を第21表に示す。

実施例 44、45 実施例１で用いたと同種のホプカライトに炭酸銀（Ｉ）
が0.5および2.0wt％になるように添着量を変化させたも
のについて有効処理時間をそれぞれ測定した。

結果を第23表に示す。

実施例 46〜51 実施例19で用いた炭酸銀（Ｉ）の代わりに硫酸銀、塩化
銀、臭化銀、ヨウ化銀、燐酸銀、ヨウ素酸銀を3.85wt％
添着させ、乾燥後８％程度の含水率まで大気中の湿分を
吸収させてから実施例１〜５と同様にして有効処理時間
を測定した。

結果を第24表に示す。

実施例 52、53 実施例40、41における硝酸銀の代わりに過塩素酸銀、酢
酸銀を3.85wt％添着させ、乾燥させた後に、再び大気中
の湿分を8wt％吸収させて浄化剤を調製し、実施例１〜
５と同様にして有効処理時間を測定した。

結果を第25表に示す。

【図面の簡単な説明】

第１図は有害ガスの浄化剤が浄化筒に充填され、ガスの
流路に介在させられた例を示すフローシートである。図面の各番号は以下のごとくである。 1.浄化剤、2.ガスボンベ 3.ボンベボックス、4.ブロアーおよび 5.換気ダクト

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ０１Ｊ 23/38 ＡＢ０１Ｄ 53/34 ＺＡＢ (56)参考文献特開昭62−286525（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−286524（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−286523（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】有害ガスとしてアルシン、ホスフィン、シ
ラン、ジボランおよびセレン化水素の一種以上を含有す
るガスと、浄化剤とを接触させて当該ガスから有害ガス
を除去するガスの浄化方法において、浄化剤として
（１）二酸化マンガンおよび酸化銅を主成分とする組成
物に、（２）銀化合物を含有せしめてなる成型体を用い
ることを特徴とするガスの浄化方法。