JPH07318511A - 周期性パターン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 周期性パターン検査装置において、エッジ部
か否かに応じて最適な欠陥検出感度で検査できるように
する。また、検査対象物に応じてエッジ部のみ又は非エ
ッジ部のみを検査できるようにする。 【構成】 減算回路２２により、周期性パターンの画像
信号ＳAとそれを１周期分だけ遅延させた画像信号ＳBと
の差分信号を生成し、これをタイミング調整回路２４を
経て、２値化回路２６ａ、２６ｂで２値化する。これら
の２値化における閾値はそれぞれ独立に設定され、エッ
ジ部か否かを示すエッジ信号Ｓeによって２値化信号の
出力が制御される。これにより、エッジ部に対応する差
分信号は閾値ＴＨ１に基づいて２値化されて出力され、
非エッジ部に対応する差分信号は閾値ＴＨ２に基づいて
２値化されて出力される。出力された二つの２値化信号
はＯＲゲート２７で合成され、その合成された信号とそ
れを１周期分だけ遅延させた信号との論理積の信号が欠
陥信号Ｓdとして出力される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネル用のＴＦＴ
パターンや、液晶パネル用のカラーフィルタ、撮像管用
のメッシュ等、周期性パターンを有する検査対象物の外
観検査を行なう周期性パターン検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は、従来の周期性パターン検査装置
の全体構成を示すブロック図である。この検査装置は、
画像入力部５０と、遅延部９４と、比較２値化部９６
と、ホストコンピュータ６０及びそれに接続されたＣＲ
Ｔ６１、キーボード６２と、から構成される。

【０００３】画像入力部５０では、制御系５１を介して
ホストコンピュータ６０によって制御されるステージ駆
動系５２により、ステージ５３が副走査方向Ｙへ移動す
る。ステージ５３の上には、繰り返しパターンを有する
検査対象物５４が載置されており、この繰り返しパター
ンの画像は、副走査方向Ｙへのステージ５３の移動過程
において、読取装置５５により画素単位で主走査方向Ｘ
に沿って読み取られる。読み取られた画像を表わす信号
は、Ａ／Ｄ変換器５６によってデジタル信号に変換さ
れ、画像入力部５０から画像信号ＳAとして出力され
る。この画像信号ＳAは、遅延部９４及び比較２値化部
９６に入力される。

【０００４】遅延部９４は、入力された画像信号ＳAを
画素の整数倍だけ遅延させることにより、検査対象物５
４の繰り返しパターンの１周期に最も近い距離に相当す
る期間だけ遅延させた信号（以下、便宜上「１周期遅延
信号」と呼ぶ）ＳBを作成する。この１周期遅延信号ＳB
も比較２値化部９６に入力される。

【０００５】比較２値化部９６は、画像信号ＳAとその
１周期遅延信号ＳBとの差を求め、その差の絶対値を信
号値とする信号（以下「差分信号」という）を得る。そ
して、この差分信号の値が所定の閾値以上である部分に
相当する位置に欠陥が存在すると判定し、この判定結果
に基づいて欠陥の有無を示す欠陥信号Ｓdを出力する。
例えば、図９（ａ）に示すような欠陥Ｐ及びＱが存在す
る繰り返しパターンをＡ−Ａ線に沿って読み取ると、図
９（ｂ）に示すような画像信号ＳAが得られ、この画像
信号ＳAとこれを１周期分だけ遅延させた画像信号（図
９（ｃ）に示す信号）ＳBとの差分信号は、図９（ｄ）
に示すようになる。この差分信号は所定の閾値に基づい
て２値化され、図９（ｅ）に示すような欠陥信号Ｓdが
得られる。

【０００６】ホストコンピュータ６０は、比較２値化部
９６から出力された欠陥信号Ｓdを用いて、欠陥画像や
欠陥位置の座標等を求め、それらをＣＲＴ６１に表示す
る。なお、ホストコンピュータ６０は、キーボード６２
による入力操作に基づいて動作し、このような欠陥に関
する情報の表示の他、既述のようにステージ５３の駆動
を制御する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の周期性パタ
ーン検査装置では、差分信号の２値化のための閾値は検
査中において変化せず、欠陥検出感度は一定に保持され
ている。このため、以下のような問題が存在する。

【０００８】（１）第１の問題 検査対象物のパターンの繰り返し周期は、通常、前記画
像信号の最小単位である画素の整数倍にはならないた
め、図９（ｄ）に示すように、欠陥以外の部分でも差分
信号の値は必ずしも０にはならず、特に画像信号が急激
に変化するパターンのエッジ部では差分信号の値が大き
くなる。従来の周期性パターン検査装置では、エッジ部
か否かに拘らず、このような差分信号が同一の閾値で２
値化され、即ち同一の欠陥検出感度で検査され、図９
（ｅ）に示すように、エッジ部において誤って欠陥が検
出される場合がある。一方、このような誤りを回避する
ために前記閾値を上げると（欠陥検出感度を下げる
と）、真の欠陥の見逃しが生じる。

【０００９】（２）第２の問題 メッシュ等のように、検査対象物によってはそのパター
ンのエッジ部のみを検査すればよいものが存在する。従
来の周期性パターン検査装置では、このような検査対象
物についてもエッジ部か否かに拘らず同一の欠陥検出感
度で検査され、エッジ部以外の部分（非エッジ部）で欠
陥が検出される場合があるが、この欠陥検出は誤報であ
る。したがって、このような検査対象物については、非
エッジ部において欠陥の検出を行なわないようにするこ
とが好ましい。

【００１０】本発明は上記問題を解決するために成され
たものであり、その目的とするところは、エッジ部か非
エッジ部かに応じて最適な欠陥検出感度で検査すること
ができる周期性パターン検査装置を提供すること、ま
た、検査対象物に応じてエッジ部のみ又は非エッジ部の
みを検査することができるようにした周期性パターン検
査装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明の第１の周期性パターン検査装置は、
一定の周期で繰り返されるパターンを有する検査対象物
の欠陥を検出する検査装置であって、前記パターンを表
わす画像信号と前記パターンから整数周期分だけ離れた
パターンを表わす画像信号との差を信号値とする差分信
号を生成し、該差分信号に基づいて前記欠陥の有無を判
定して、前記欠陥の有無を示す欠陥信号を出力する周期
性パターン検査装置において、 ａ）前記差分信号を所定の２種類の閾値のいずれかに基
づいて２値化した信号を前記欠陥信号として出力する２
値化手段と、 ｂ）前記パターンの微分画像の信号を２値化した信号を
エッジ信号として出力するエッジ検出手段と、 ｃ）前記エッジ信号に基づき、前記２種類の閾値のうち
いずれか一方を選択する選択手段と、を備えることを特
徴としている。

【００１２】本発明の第２の周期性パターン検査装置
は、第１の周期性パターン検査装置において、前記２値
化手段は、前記２種類の閾値のうちの一方の閾値に基づ
いて前記差分信号を２値化する第１の２値化回路と、他
方の閾値に基づいて前記差分信号を２値化する第２の２
値化回路とを有し、前記選択手段は、前記エッジ信号に
基づき第１の２値化回路の出力と第２の２値化回路の出
力とのいずれかを選択する、ことを特徴としている。

【００１３】本発明の第３の周期性パターン検査装置
は、一定の周期で繰り返されるパターンを有する検査対
象物の欠陥を検出する検査装置であって、前記パターン
を表わす画像信号と前記パターンから整数周期分だけ離
れたパターンを表わす画像信号との差を信号値とする差
分信号を生成し、該差分信号に基づいて前記欠陥の有無
を判定して、前記欠陥の有無を示す欠陥信号を出力する
周期性パターン検査装置において、 ａ）前記差分信号を所定の閾値に基づいて２値化した信
号を生成する２値化手段と、 ｂ）前記パターンの微分画像の信号を２値化した信号を
エッジ信号として出力するエッジ検出手段と、 ｃ）前記エッジ信号に基づき、２値化手段により生成さ
れた信号を前記欠陥信号として出力するか否かを切り換
える出力ＯＮ／ＯＦＦ手段と、を備えることを特徴とし
ている。

【００１４】

【作用】第１の周期性パターン検査装置では、検査対象
物の繰り返しパターンを表わす信号とそのパターンから
繰り返し周期の整数倍だけ離れたパターンを表わす信号
との差を信号値とする差分信号が生成されるとともに、
エッジ検出手段により、検査対象物のパターンの微分画
像の信号を２値化したエッジ信号が生成される。ここで
差分信号は、検査対象物に欠陥があれば大きなものとな
るため、この点を利用して欠陥の有無が判定される。す
なわち、２値化手段により、差分信号は所定の閾値に基
づいて２値化され、２値化された信号は判定結果を示す
欠陥信号として出力される。しかし、既述のように差分
信号の値は前記パターンのエッジ部においても大きなも
のとなるため、欠陥検出感度が高いとエッジ部に欠陥が
存在するものと誤って判定される場合がある。一方、欠
陥検出感度を下げると、非エッジ部において真の欠陥を
見逃すおそれがある。そこで選択手段は、前記のエッジ
信号に基づき、２値化手段の閾値を所定の２種類の閾値
のうちいずれか一方を選択する。これにより、エッジ部
と非エッジ部のそれぞれに適した異なる欠陥検出感度で
欠陥の有無が検査される。

【００１５】なお、前記２種類の閾値のうちエッジ部に
おける差分信号に対する閾値として差分信号の最大値よ
りも大きい値を選択すると、エッジ部では欠陥検出が行
なわれず、非エッジ部における欠陥のみが検出される。
一方、非エッジ部における差分信号に対する閾値として
差分信号の最大値よりも大きい値を選択すると、非エッ
ジ部では欠陥検出が行なわれず、エッジ部における欠陥
のみが検出される。したがって、例えばメッシュ等のよ
うにそのパターンのエッジ部のみを検査すればよいよう
な検査対象物に対しては、非エッジ部における差分信号
に対する閾値として差分信号の最大値よりも大きい値が
選択される。

【００１６】第２の周期性パターン検査装置では、第１
の２値化回路により前記差分信号が２値化されて出力さ
れ、これと同時に、第２の２値化回路により前記差分信
号が２値化されて出力される。選択手段は、前記エッジ
信号に基づき第１及び第２の２値化回路の出力のいずれ
かを選択し、これにより、選択された出力が欠陥信号と
して２値化手段から出力される。

【００１７】第３の周期性パターン検査装置では、第１
及び第２の周期性パターン検査装置と同様にして、差分
信号及びエッジ信号が生成される。差分信号は、２値化
手段により、所定の閾値に基づいて２値化される。この
２値化信号は、出力ＯＮ／ＯＦＦ手段により、エッジ信
号に基づき、欠陥信号として出力されるか否かが切り換
えられる。この出力ＯＮ／ＯＦＦ手段による出力の切換
により、エッジ部のみの検査と非エッジ部のみの検査と
が選択的に行なわれる。

【００１８】

【実施例】図３は、本発明の一実施例である周期性パタ
ーン検査装置の全体構成を示すブロック図である。この
周期性パターン検査装置は、画像入力部５０と、エッジ
信号生成部１２と、遅延部１４と、比較２値化部１６
と、ホストコンピュータ６０及びそれに接続されたＣＲ
Ｔ６１、キーボード６２と、から構成される。

【００１９】画像入力部５０の内部構成は図８に示した
前述の従来例と同様であり、従来例と同様の動作により
検査対象物５４のパターンが読み取られ、検査対象物５
４のパターンを表わすデジタル信号が画像信号ＳAとし
て画像入力部５０から出力される。遅延部１４も従来例
と同様の構成であり、画像信号ＳAを入力してその１周
期遅延信号ＳBを出力する。

【００２０】エッジ信号生成部１２は、画像信号ＳAを
入力して検査対象物５４のパターンのエッジ部か否かを
示すエッジ信号Ｓeを出力する。図２は、このエッジ信
号生成部１２の内部構成の一例を示す。このエッジ信号
生成部１２は、画像信号ＳAの各画素に対応するパルス
から成るクロック信号（以下「画素クロック」という）
に同期して動作し、主走査方向Ｘに３画素だけ離れた二
つの画素の値の差をとって、その差の絶対値が予め決め
られたエッジレベル設定値よりも大きいか否かを判断す
る。すなわち、画像入力部５０から出力された画像信号
ＳAは、フリップフロップアレイ３１から成る３段のシ
フトレジスタにより主走査方向Ｘに３画素分だけ遅延
し、この遅延した画像信号と遅延のない画像信号ＳAと
が減算器３４に入力される。減算器３４は、これら二つ
の画像信号の差の絶対値を信号値とする信号を作成し、
これを比較器３６の一方の入力端子に入力する。比較器
３６の他方の入力端子には、予め決められたエッジレベ
ル設定値がホストコンピュータ６０から入力される。比
較器３６は、減算器３４から入力された信号の値がエッ
ジレベル設定値よりも大きい期間のみ'１'となり、それ
以外の期間では'０'となる信号を出力する。しかし、エ
ッジ部を表わす画像信号の立ち上がり及び立ち下がりの
開始部分及び終了部分において減算器３４から入力され
た信号の値がエッジレベル設定値よりも小さくなるた
め、比較器３６の出力信号は画像信号ＳAがエッジ部を
表わす全期間において'１'とはならない。そこで本実施
例では、比較器３６の出力信号をフリップフロップ３２
から成る所定段数のシフトレジスタに入力し、ＯＲゲー
ト３８によってこのシフトレジスタを構成するフリップ
フロップ３２の各出力信号の論理和をとる。これによ
り、比較器３６の出力信号が'１'となる期間（以下「ア
クティブ期間」という）を拡大したエッジ信号Ｓeが得
られる。フリップフロップ３２から成るシフトレジスタ
の段数は、このエッジ信号Ｓeのアクティブ期間が確実
にエッジ部の期間をカバーできる長さとなるように設定
されている。また、このアクティブ期間は、ホストコン
ピュータ６０から比較器３６に入力されるエッジレベル
設定値により調整することができる。

【００２１】比較２値化部１６は、従来例と同様、画像
信号ＳAとその１周期遅延信号ＳBとの差を求め、その差
の絶対値を信号値とする差分信号を得る。そして、この
差分信号の値が所定の閾値以上である部分に相当する位
置に欠陥が存在すると判定し、この判定結果に基づいて
欠陥の有無を示す欠陥信号Ｓdを出力する。ただし、従
来例と異なり、この欠陥判定の閾値は上記エッジ信号Ｓ
eによって切り換わる。この点については後で詳述す
る。

【００２２】ホストコンピュータ６０、ＣＲＴ６１、及
びキーボード６２の動作及び役割は、前記のエッジレベ
ル設定値をエッジ信号生成部１２に入力する点を除けば
従来例と同様である。

【００２３】前述のように、本実施例が図８の従来例と
異なるのは、比較２値化部１６における欠陥判定の閾値
がエッジ信号Ｓeによって切り換わる点である。以下で
は、この比較２値化部１６の構成及び動作について説明
する。

【００２４】図１は、比較２値化部１６の内部構成を示
す図である。この比較２値化部１６は、エッジ信号生成
部１２と同様、画素クロックに同期して動作し、前述の
画像信号ＳA及びその１周期遅延信号ＳBとエッジ信号Ｓ
eに加えて、２種類の異なる閾値ＴＨ１、ＴＨ２を示す
二つの信号（以下、これらの信号もそれぞれ符号ＴＨ
１、ＴＨ２で示すこととする）がホストコンピュータ６
０から入力される。このうち画像信号ＳAとその１周期
遅延信号ＳBとは減算回路２２によりそれらの差分がと
られ、両信号ＳA、ＳBの差の絶対値を信号値とする差分
信号が生成される。この差分信号は、タイミング調整回
路２４によりエッジ信号Ｓeとタイミングが調整された
後に、２値化回路２６ａ及び２６ｂの双方に入力され
る。２値化回路２６ａ及び２６ｂは、タイミング調整後
の差分信号を異なる閾値により２値化する。すなわち、
２値化回路２６ａには閾値信号ＴＨ１が、２値化回路２
６ｂには閾値信号ＴＨ２がそれぞれ入力され、２値化回
路２６ａ、２６ｂは、それぞれの閾値信号ＴＨ１、ＴＨ
２に基づいて２値化を行なう（以下、この２値化により
得られる信号を「差分２値化信号」という）。エッジ信
号Ｓeは、このような２値化回路２６ａ及び２６ｂの出
力を制御するＯＥ（Output Enable）信号として使用さ
れる。すなわち、２値化回路２６ａにはエッジ信号Ｓe
が、２値化回路２６ｂにはエッジ信号Ｓeの論理反転信
号が、それぞれＯＥ信号として入力される。これによ
り、エッジ信号Ｓeが'１'のときは２値化回路２６ａの
みから差分２値化信号が出力され、エッジ信号Ｓeが'
０'のときは２値化回路２６ｂのみから差分２値化信号
が出力される。これらの差分２値化信号はＯＲゲート２
７により合成される。合成された差分２値化信号は、そ
の２値化信号を遅延回路２８によって検査対象物パター
ンの１周期分だけ遅延させた信号と共にＡＮＤゲート２
９に入力され、両入力信号の論理積の信号が欠陥信号Ｓ
dとしてＡＮＤゲート２９から出力される。

【００２５】上記からわかるように本実施例の比較２値
化部１６によると、検査対象物５４のパターンにおける
エッジ部と非エッジ部とで欠陥検出の感度を変えること
ができる。すなわち、２値化回路２６ａと２６ｂでの閾
値を独立に変えることができるため、 閾値ＴＨ１を閾値ＴＨ２の３倍程度の値に設定するこ
とにより、エッジ部に対する欠陥検出の感度を非エッジ
部に対する感度の１／３にする、 閾値ＴＨ１を差分信号の最大値よりも大きくすること
により、エッジ部での検査を行なわないようにする、 閾値ＴＨ２を差分信号の最大値よりも大きくすること
により、エッジ部周辺のみを検査するようにする、 閾値ＴＨ２を閾値ＴＨ１よりも大きくすることによ
り、エッジ部に対する検出の感度を非エッジ部に対する
感度よりも高くする、等の設定が可能である。

【００２６】上記の点について、従来例と同様に図９
（ａ）に示すような欠陥Ｐ及びＱが存在する繰り返しパ
ターンをＡ−Ａ線に沿って読み取った場合を例にとり、
以下に説明する。ただし、説明の便宜上、タイミング調
整回路２４によるタイミング調整は考慮しないものとす
る。

【００２７】図９（ａ）に示すようなパターンをＡ−Ａ
線に沿って読み取ると、図９（ｂ）に示すような画像信
号ＳAが得られ、比較２値化部１６には、この画像信号
ＳAとこれを１周期分だけ遅延させた画像信号（図９
（ｃ）に示す信号）ＳBとが入力される。そして、これ
らの差分信号として図４（ａ）に示すような信号が得ら
れる。一方、エッジ信号生成部１２では、画像信号ＳA
から図４（ｂ）に示すようなエッジ信号Ｓeが生成され
る。差分信号は、このエッジ信号Ｓeが'１'となる期間
すなわちエッジ部に対応する期間では、２値化回路２６
ａにより閾値ＴＨ１に基づいて２値化されて出力され、
エッジ信号Ｓeが'０'となる期間すなわち非エッジ部に
対応する期間では、２値化回路２６ｂにより閾値ＴＨ２
に基づいて２値化されて出力される。ここで閾値ＴＨ１
及びＴＨ２が図４（ａ）に示すように設定されていると
すると、２値化回路２６ａから出力される差分２値化信
号は図４（ｃ）に示すようになり、２値化回路２６ｂか
ら出力される差分２値化信号は図４（ｄ）に示すように
なる。したがって、これらを合成した信号すなわちＯＲ
ゲート２７から出力される論理和の信号は図４（ｅ）に
示すようになり、この合成信号には欠陥Ｐと欠陥Ｑに対
応するパルスがそれぞれ２個ずつ現われる。この合成信
号は、これを遅延回路２８によって１周期分遅延させた
信号と論理積がとられ、これにより、図４（ｇ）に示す
ように、欠陥Ｐと欠陥Ｑに対応するパルスがそれぞれ１
個だけ現われる欠陥信号Ｓdが得られる。

【００２８】従来、エッジ部においては、欠陥が存在し
ない場合でも差分信号が大きくなるため、欠陥が存在す
るものと誤って判定されることがあったが、上記のよう
に、エッジ信号Ｓeによって差分信号の２値化の閾値を
変え、エッジ部に対応する閾値ＴＨ１を非エッジ部に対
応する閾値ＴＨ２よりも大きくすることすることより、
すなわち検出感度を下げる（例えば１／３程度にする）
ことにより、エッジ部における欠陥判定の誤りを防止す
ることができる。

【００２９】次に、閾値ＴＨ１及びＴＨ２が図５（ａ）
に示すように設定されている場合を考えると、エッジ信
号Ｓeの論理反転信号をＯＥ信号とする２値化回路２６
ｂの出力信号は図５（ｄ）に示すように上記と同様であ
るが、エッジ信号ＳeをＯＥ信号とする２値化回路２６
ａの出力信号は、閾値ＴＨ１が差分信号の最大値よりも
大きいため、常に'０'となる。したがって、これらの合
成信号すなわちＯＲゲート２７から出力される論理和の
信号は図５（ｅ）に示すようになり、この合成信号には
非エッジ部における欠陥Ｐに対応するパルスのみが２個
現われる。この合成信号とこれを１周期分遅延させた信
号との論理積がとられることにより、図５（ｇ）に示す
ように、欠陥Ｐに対応するパルスが１個だけ現われる欠
陥信号Ｓdが得られる。以上からわかるように、非エッ
ジ部のみを検査すればよい検査対象物の場合には、図５
（ａ）に示すように閾値ＴＨ１を差分信号の最大値より
も大きい値に設定すればよい。これにより、エッジ信号
Ｓe＝'０'の期間すなわち非エッジ部に対応する期間で
のみ欠陥検出が行なわれるため、エッジ部に対応する期
間において誤って欠陥が検出されることはない。

【００３０】上記とは逆に、閾値ＴＨ１及びＴＨ２が図
６（ａ）に示すように設定されている場合を考えると、
エッジ信号ＳeをＯＥ信号とする２値化回路２６ａの出
力信号は、図６（ｃ）に示すようになる。一方、エッジ
信号Ｓeの論理反転信号をＯＥ信号とする２値化回路２
６ｂの出力は、閾値ＴＨ２が差分信号の最大値よりも大
きいため、常に'０'となる。したがって、これらの合成
信号すなわちＯＲゲート２７から出力される論理和の信
号は図６（ｅ）に示すようになる。この合成信号とこれ
を１周期分遅延させた信号との論理積がとられることに
より、図６（ｇ）に示すように、エッジ部における欠陥
Ｑに対応するパルスが１個だけ現われる欠陥信号Ｓdが
得られる。以上からわかるように、メッシュ等のように
そのパターンのエッジ部のみを検査すればよい場合に
は、図６（ａ）に示すように閾値ＴＨ２を差分信号の最
大値よりも大きい値に設定すればよい。これにより、エ
ッジ信号Ｓe＝'１'の期間すなわちエッジ部に対応する
期間でのみ欠陥検出が行なわれるため、非エッジ部に対
応する期間において誤って欠陥が検出されることはな
い。なお、図６（ａ）に示すように閾値ＴＨ１を設定し
た場合、２値化回路２６ａの出力信号及びＯＲゲート２
７から出力される合成信号には、欠陥Ｑに対応するパル
スに加えて、欠陥が存在しないエッジ部に対するパルス
も現われる（図６（ｃ）及び（ｅ））。しかし、この合
成信号とこれを１周期分遅延させた信号との論理積がと
られることにより、欠陥が存在しないエッジ部に対する
パルスが消え、欠陥信号Ｓdには欠陥Ｑに対応するパル
スのみが現われる。

【００３１】図７は、本実施例の周期性パターン検査装
置における比較２値化部１６の他の構成例を示す図であ
る。この構成では、前述の図１の構成と同様、画像信号
ＳAとその１周期遅延信号ＳBとは減算回路７２によりそ
れらの差分がとられ、差分信号がタイミング調整回路７
４を経た後に２値化される。しかし、２値化回路は１個
のみであり、２値化された信号が出力ＯＮ／ＯＦＦ部８
０を経て、遅延回路８６及びＡＮＤゲート８７に入力さ
れる点が前述の図１の構成と異なる。すなわち、差分信
号は、２値化回路７６により閾値ＴＨ１に基づいて２値
化された後に、出力ＯＮ／ＯＦＦ部８０に入力され、ホ
ストコンピュータ６０から入力される非エッジＯＮ信号
ＳNEonとエッジＯＮ信号ＳEonとにより、エッジ部に対
応する差分２値化信号を出力するか否か、及び、非エッ
ジ部に対応する差分２値化信号を出力するか否かが制御
される。

【００３２】出力ＯＮ／ＯＦＦ部８０は、Ｄフリップフ
ロップ８１、８２と、ＡＮＤゲート８３、８４と、ＯＲ
ゲート８５とから構成され、２値化回路７６から出力さ
れる差分２値化信号は、Ｄフリップフロップ８１及び８
２に入力される。また、Ｄフリップフロップ８１及び８
２の出力を制御するＯＥ（Output Enable）信号とし
て、Ｄフリップフロップ８１にはエッジ信号Ｓeの論理
反転信号が、Ｄフリップフロップ８２にはエッジ信号Ｓ
eがそれぞれ入力される。したがって、Ｄフリップフロ
ップ８１からは、エッジ信号Ｓeが'０'のときのみに差
分２値化信号が出力され、Ｄフリップフロップ８２から
は、エッジ信号Ｓeが'１'のときのみに差分２値化信号
が出力される。そして、Ｄフリップフロップ８１の出力
信号はＡＮＤゲート８３に入力されて非エッジＯＮ信号
ＳNEonと論理積がとられ、Ｄフリップフロップ８２の出
力信号はＡＮＤゲート８４に入力されてエッジＯＮ信号
ＳEonと論理積がとられ、これらの論理積の信号は、共
にＯＲゲート８５に入力されて論理和がとられる。この
論理和の信号は出力ＯＮ／ＯＦＦ部８０の出力信号とし
て出力される。したがって、非エッジＯＮ信号ＳNEonに
より、エッジ信号Ｓe＝'０'のときの差分２値化信号す
なわち非エッジ部に対応する差分２値化信号を出力する
か否かが制御され、エッジＯＮ信号ＳEonにより、エッ
ジ信号Ｓe＝'１'のときの差分２値化信号すなわちエッ
ジ部に対応する差分２値化信号を出力するか否かが制御
される。出力ＯＮ／ＯＦＦ部８０の出力信号は、前述の
図１の構成と同様、その出力信号を遅延回路８６によっ
て検査対象物パターンの１周期分だけ遅延させた信号と
共にＡＮＤゲート８７に入力され、両入力信号の論理積
の信号が欠陥信号ＳdとしてＡＮＤゲート８７から出力
される。

【００３３】図７に示した上記構成によると、 非エッジＯＮ信号ＳNEon＝'１'、エッジＯＮ信号ＳEo
n＝'１'とすることにより、エッジ部と非エッジ部の双
方において欠陥検出を行なう、 非エッジＯＮ信号ＳNEon＝'１'、エッジＯＮ信号ＳEo
n＝'０'とすることにより、エッジ部での欠陥検出を行
なわないようにする、 非エッジＯＮ信号ＳNEon＝'０'、エッジＯＮ信号ＳEo
n＝'１'とすることにより、エッジ部周辺でのみ欠陥検
出を行なう、 非エッジＯＮ信号ＳNEon＝'０'、エッジＯＮ信号ＳEo
n＝'０'とすることにより、エッジ部と非エッジ部のい
ずれにおいても欠陥検出を行なわないようにする、とい
う設定が可能である。そして、上記における動作は、
前述の図１の構成の場合の図５に示した動作に対応し、
上記における動作は、前述の図１の構成の場合の図６
に示した動作に対応する。

【００３４】以上のように図７の構成は、図１の構成と
比較すると、エッジ信号Ｓeによって閾値を変えるとい
うことができないため、柔軟性、汎用性に欠けるが、少
ないハードウェアで実現することができるため、コスト
面において有利である。なお、処理速度において回路に
余裕がある場合には、２値化回路を一つだけ使用し、そ
の２値化回路に入力する閾値をエッジ信号Ｓeによって
ＴＨ１とＴＨ２とに切り換えることにより、図１の構成
と同様の機能を実現することができる。この構成は、図
１の構成と比較すると、処理速度において不利である
が、同一の機能を少ないハードウェアで実現することが
できるため、コスト面において有利である。

【００３５】

【発明の効果】本発明に係る第１の周期性パターン検査
装置によれば、周期性パターンの検査において、エッジ
部か非エッジ部かによって欠陥の検出感度を変えること
ができるため、非エッジ部における欠陥の見逃しを抑え
つつ、エッジ部における欠陥の誤認を防止することがで
きる。また、エッジ部か非エッジ部かによって欠陥を検
出する／しないという切換を行なうことができるため、
検査対象物に応じてエッジ部のみ又は非エッジ部のみを
検査することができる。これにより、例えば、エッジ部
のみを検査すればよいような検査対象物に対しては、非
エッジ部における欠陥の誤認を回避することができる。
第２の周期性パターン検査装置によれば、第１及び第２
の２値化回路によって差分信号を常時２値化し、エッジ
信号に基づいていずれかを選択するので、閾値を逐次変
更する必要がなく、欠陥信号を高速に出力することがで
きる。第３の周期性パターン検査装置によれば、エッジ
部か非エッジ部かによって欠陥を検出する／しないとい
う切り換えを行なうことができるため、検査対象物に応
じてエッジ部のみ又は非エッジ部のみを検査することが
できる。そのため、検査不要領域における欠陥検出を禁
止し、そのような欠陥検出の誤報を防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例における比較２値化部の内
部構成を示す図。

【図２】 本発明の一実施例におけるエッジ信号生成部
の内部構成を示す図。

【図３】 本発明の一実施例である周期性パターン検査
装置の全体構成を示すブロック図

【図４】 本発明の一実施例における比較２値化部の動
作を説明するための信号波形図。

【図５】 本発明の一実施例における比較２値化部の動
作を説明するための信号波形図。

【図６】 本発明の一実施例における比較２値化部の動
作を説明するための信号波形図。

【図７】 本発明の一実施例における比較２値化部の他
の構成例を示す図。

【図８】 従来の周期性パターン検査装置の全体構成を
示すブロック図。

【図９】 従来の周期性パターン検査装置の動作を説明
するための信号波形図。

【符号の説明】

１２…エッジ信号生成部 １４…遅延部 １
６…比較２値化部 ２２、７２…減算回路 ２６ａ、２６ｂ、７６…２
値化回路 ５０…画像入力部 ５４…検査対象物 ８
０…出力ＯＮ／ＯＦＦ部 ＳA …画像信号 Ｓe …エッジ信号 Ｓ
d …欠陥信号 ＴＨ１、ＴＨ２…閾値

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一定の周期で繰り返されるパターンを有
   する検査対象物の欠陥を検出する検査装置であって、前
   記パターンを表わす画像信号と前記パターンから整数周
   期分だけ離れたパターンを表わす画像信号との差を信号
   値とする差分信号を生成し、該差分信号に基づいて前記
   欠陥の有無を判定して、前記欠陥の有無を示す欠陥信号
   を出力する周期性パターン検査装置において、 ａ）前記差分信号を所定の２種類の閾値のいずれかに基
   づいて２値化した信号を前記欠陥信号として出力する２
   値化手段と、 ｂ）前記パターンの微分画像の信号を２値化した信号を
   エッジ信号として出力するエッジ検出手段と、 ｃ）前記エッジ信号に基づき、前記２種類の閾値のうち
   いずれか一方を選択する選択手段と、を備えることを特
   徴とする周期性パターン検査装置。
2. 【請求項２】 前記２値化手段は、前記２種類の閾値の
   うちの一方の閾値に基づいて前記差分信号を２値化する
   第１の２値化回路と、他方の閾値に基づいて前記差分信
   号を２値化する第２の２値化回路とを有し、 前記選択手段は、前記エッジ信号に基づき第１の２値化
   回路の出力と第２の２値化回路の出力とのいずれかを選
   択する、ことを特徴とする請求項１に記載の周期性パタ
   ーン検査装置。
3. 【請求項３】 一定の周期で繰り返されるパターンを有
   する検査対象物の欠陥を検出する検査装置であって、前
   記パターンを表わす画像信号と前記パターンから整数周
   期分だけ離れたパターンを表わす画像信号との差を信号
   値とする差分信号を生成し、該差分信号に基づいて前記
   欠陥の有無を判定して、前記欠陥の有無を示す欠陥信号
   を出力する周期性パターン検査装置において、 ａ）前記差分信号を所定の閾値に基づいて２値化した信
   号を生成する２値化手段と、 ｂ）前記パターンの微分画像の信号を２値化した信号を
   エッジ信号として出力するエッジ検出手段と、 ｃ）前記エッジ信号に基づき、２値化手段により生成さ
   れた信号を前記欠陥信号として出力するか否かを切り換
   える出力ＯＮ／ＯＦＦ手段と、を備えることを特徴とす
   る周期性パターン検査装置。