JPH0730359A - チップ圧電共振子 - Google Patents

チップ圧電共振子

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JPH0730359A
JPH0730359A JP16696593A JP16696593A JPH0730359A JP H0730359 A JPH0730359 A JP H0730359A JP 16696593 A JP16696593 A JP 16696593A JP 16696593 A JP16696593 A JP 16696593A JP H0730359 A JPH0730359 A JP H0730359A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
groove
electrodes
sealing
electrode
capacitor
Prior art date
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Pending
Application number
JP16696593A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuhiro Tanaka
康廣 田中
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的は、容量形成電極が短絡の危惧
がなく、したがって小形にしても加工精度がラフでよ
く、しかも、マザー封止基板に一度に沢山の容量電極が
形成でき、生産性の高いチップ圧電共振子を提供するに
ある。 【構成】 圧電基板の両面中央部に共振子電極を有し、
この共振子電極からそれぞれ反対方向に導出された引出
電極を有する圧電素子と、溝状凹部の内底面にコンデン
サ電極を有し、このコンデンサ電極から溝状凹部の片方
と他方の上端までそれぞれ導出された引出電極を有し、
このコンデンサ電極の対向する溝状凹部の外側にコンデ
ンサ電極をそれぞれ有する2個の凹形封止基板と、およ
び2個の封止側板と、の部材よりなり、前記圧電素子を
2つの凹形封止基板で接着封止し、その溝状凹部の開口
側を2つの封止側板で接着密封し、外部チップ電極を設
けたチップ圧電共振子。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、共振子と発振回路用コ
ンデンサとを内臓したチップ圧電共振子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、図6に示すように、コルピッツ発
振回路の構成部品、即ち、圧電共振子本体20と2個の
コンデンサ21a、21bを内蔵したを複合チップ圧電
共振子として、例えば、特開平3−97311号広報に
記載された発明がある。この従来の発明は図5に示すよ
うな構成であり、この図5において、11は圧電素子、
12a、12bはそれぞれ凹形封止基板である。13
a、14aは、凹形封止基板12a、12bにそれぞれ
設けられた片面のコンデンサ電極、このコンデンサ電極
13a、14aには、裏面において図示しないが対向す
るコンデンサ電極13bおよび14bが設けられる。
【0003】この図5記載の複合チップ圧電共振子は、
外部電極などの形成により、図6に示す接続態様とな
る。即ち、圧電素子11の共振子電極11aは、コンデ
ンサ21aの表面コンデンサ電極13aと接続されて外
部端子22aに導出される。また、圧電素子11の共振
子電極11bは、コンデンサ21bの表面コンデンサ電
極14aと接続されて外部端子22cに導出される。ま
た、コンデンサ21aの裏面の対向するコンデンサ電極
13b(図5には表示されない。)とコンデンサ電極1
4bとは、外部電極により接続されてアース端子22b
に導出される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この従来構造において
は、コンデンサ電極13aと14aとの外側エッジでの
外部電極(後工程で付けられる。)による短絡を防止す
るために、凹形封止基板12a、12bの外側エッジか
らコンデンサ電極13a、14aをマージン2fだけ引
っ込めなければならなかった。したがって、このマージ
ン2f形成のため、コンデンサ電極13a、14aの電
極幅がが小さくなって高精度の加工を必要として生産性
が悪くなり、また凹形封止基板12a、12bを母材か
らカットする際、マージン2fは設けられているものの
位置ずれを起こすと、コンデンサ電極13a、14aを
カットしてしまうということがあった。
【0005】したがって、本発明の目的は、容量形成電
極が短絡の危惧がなく、したがって小形にしても加工精
度がラフでよく、しかも、マザー封止基板に一度に沢山
の容量電極が形成でき、生産性の高い複合チップ圧電共
振子を提供するにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電基板の両
面中央部に対向する共振子電極が設けられ、この共振子
電極から圧電基板の端面までそれぞれ反対方向に導出さ
れた引出電極が設けられた圧電素子と、中央に溝状凹部
が設けられ、この溝状凹部の底面中央部にコンデンサ電
極が形成され、このコンデンサ電極から溝状凹部の内壁
を経て片方の上端まで導出されたリード電極が形成さ
れ、前記コンデンサ電極に対向するコンデンサ電極が溝
状凹部の外側に形成された第一の凹形封止基板と、中央
に溝状凹部が設けられ、この溝状凹部の底面中央部にコ
ンデンサ電極が形成され、このコンデンサ電極から溝状
凹部の内壁を経て他方の上端まで導出されたリード電極
が形成され、前記コンデンサ電極に対向するコンデンサ
電極が溝状凹部の外側に形成された第二の凹形封止基板
と、および同形状の第1の封止側板と第2の封止側板
と、よりなり、前記圧電素子の両側に、前記第1の凹形
封止基板と前記第2の凹形封止基板とを、圧電素子の表
裏の引出電極が前記第1および第2の凹形封止基板のそ
れぞれのリード電極に接触するように、重ねて接着し、
これらの凹形封止基板の溝状凹部の開口側を塞ぐよう
に、第1の封止側板と第2の封止側板とを、それぞれ接
着してなる複合チップ圧電共振子としたものである。
【0007】
【作用】共振子電極を両側から被覆保護する凹形封止基
板の溝状凹部の底面にコンデンサ電極を設け、溝状凹部
の外側に対向コンデンサ電極を設けるので、構造的にシ
ンプルでコンデンサ電極間で相互短絡を生じさせない。
また、コンデンサの容量は、コンデンサ電極の幅を変え
て調整できる。製造においては、マザー圧電素子および
マザー封止基板に蒸着等により一括して電極が形成でき
る。
【0008】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1において、1aは圧電基板で、この圧電基板
1aの両面中央部には、それぞれ対向する共振子電極1
bが設けられ、この共振子電極1bからは圧電基板1a
の端面までそれぞれ反対方向に引出電極1cが導出され
る。
【0009】2は第1の凹形封止基板で、その溝状凹部
の底面中央部には、コンデンサ電極2aが形成されてい
る。そして、このコンデンサ電極2aから溝状凹部の内
壁を経て片方の上端まで導出されたリード電極2bが形
成されている。この溝状凹形封止基板2の外側には、コ
ンデンサ電極2aに対向するコンデンサ電極2cが設け
られている。
【0010】3は第2の凹形封止基板で、この溝状凹部
の底面中央部には、コンデンサ電極3aが形成されてい
る。そして、このコンデンサ電極3aから溝状凹部の内
壁を経て他方の上端まで導出されたリード電極3bが形
成されている。この溝状凹形封止基板3の外側には、コ
ンデンサ電極3aに対向するコンデンサ電極3cが設け
られている。そして、4と5は、それぞれ第1の封止側
板と第2の封止側板であり、圧電基板1aの振動を阻害
しないように、接着剤等で取り付けられる。
【0011】次に、本発明の製造方法について説明す
る。図3において、1dはマザー圧電基板で、このマザ
ー圧電基板1dの両面には、共振子電極1b、引出電極
1c、引出電極1cおよび共振子電極1bの順に一体に
なった電極が、共振子電極1bを両面で対向させて、ち
どり状に連続して蒸着等により形成されている。
【0012】2dは、片面に溝状凹部2eが一定間隔を
おいて複数個形成された第1のマザー凹形封止基板で、
このマザー凹形封止基板2dの凹部2eの底面中央部分
にはコンデンサ電極2aが設けられている。このコンデ
ンサ電極2aからはリード電極2bが、溝状凹部の内壁
を経て片方の上端、即ち、凸部の上端まで導出される。
同様に、片側の隣の溝状凹部に形成されたコンデンサ電
極2aからもリード電極2bが、その溝状凹部の内壁を
経て片方の上端、即ち、凸部の上端まで導出される。そ
して、この片側の隣同志のリード電極2b、2bは、マ
ザー凹部封止基板2dの凸部で合流する形状に、蒸着も
しくはスパッタリングが施される。このマザー凹部封止
基板2dの他面には、前記コンデンサ電極2aに対向す
るコンデンサ電極2cが、同様に、蒸着もしくはスパッ
タリング等により施される。
【0013】3dは、第2のマザー凹形封止基板である
が、前記第1のマザー凹形封止基板2dと形状、電極の
配置等同じである。即ち、3aはコンデンサ電極、3b
はリード電極、3cは対向コンデンサ電極、3eは溝状
凹部でる。この第1および第2のマザー凹形封止基板2
d、3dは、片面において凸部と凹部が交互に連続して
現れるが、凸部はリード電極2b、3bが設けられてい
るものと設けられていないものとが交互に現れる。
【0014】次に、図4を参照して、本実施例の組み立
て方法について説明する。図4に示すようなマザー部材
の構成配置において、マザー圧電基板1dの引出電極1
cと第1および第2のマザー凹形封止基板2d、3dの
リード電極2b、3bとが、マザー圧電基板1dの両面
でそれぞれ接触するように且つ共振子電極1bがマザー
凹形封止基板2d、3dの凹部2e、3eに位置するよ
うに、マザー圧電基板1dの両側にマザー凹形封止基板
2d、3dをそれぞれ接着する。このように接着された
半製品の一部を図2に示す。
【0015】次の工程として、このように接着されたマ
ザー圧電基板1dとマザー凹形封止基板2d、3dとの
溝状凹部2e、3e側に、図示しないが図1に示す封止
側板4を長手方向に長くした細長い封止側板を、それぞ
れ接着してマザー部材を一体構成し、このマザー一体構
成部材を図4に示す一点鎖線6で切断して、複合チップ
圧電共振子の半完成品を形成し、この半完成品に、図3
に示すうな外部チップ電極7a、7b、7cを施して複
合チップ圧電共振子が完成する。この場合、外部チップ
電極7a、7cは、引出電極1c(リード電極3b)、
引出電極1c(リード電極2b)とそれぞれ電気的に接
続され、また外部チップ電極7bは、対向コンデンサ電
極2c、3cと電気的に接続される。
【0016】図3に示す3端子形の複合チップ圧電共振
子は、図6に示すコルピッツ形発振回路の受動回路を構
成することになる。即ち、圧電共振子本体20の入力端
子22a、出力端子22cが、外部チップ電極7a、7
cに相当し、アース端子22bが外部チップ電極7bに
相当する。この図3に示す複合チップ圧電共振子に、図
6に示すように、インバータ8を接続すれば、コルピッ
ツ回路が構成されることになる。
【0017】上記実施例では、コンデンサ電極2cは、
マザー凹形封止基板2d、3dに前工程で単独に形成し
たが、外部チップ電極7a、7b、7cの形成時に端面
の外部チップ電極7a、7cと同時に形成して、これを
外部コンデンサ電極7bとしてもよい。そして、凹形封
止基板2d、3dを誘電体とするコンデンサの容量の値
は、この凹形封止基板2d、3dの誘電体材料、その厚
み、そして外部チップ電極7bの幅を変えることによ
り、可変できる。特に、蒸着、スパッタリング、印刷時
に、コンデンサ電極2c、3cと一体となるなる外部チ
ップ電極7bの幅を変えて容量の調整をすることができ
る。
【0018】
【発明の効果】したがって、本発明は、構造的にシンプ
ルで電極間で相互短絡を生じることがなく、したがっ
て、小形化を図っても加工精度がラフでよい、という特
長を有している。また、コンデンサの容量は、コンデン
サ電極の幅を変えて調整でき、製造においては、マザー
圧電基板およびマザー封止基板に蒸着等により一括して
電極が形成できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の1実施例に係るチップ圧電共振子の
部材の展開斜視図
【図2】 図1の部材を組み立てて封止側板を除外した
場合の組立て斜視図
【図3】 本実施例の完成斜視図
【図4】 本実施例に係るチップ圧電共振子を量産する
場合の正面図
【図5】 従来例の斜視図
【図6】 コルピッツ発振回路図
【符号の説明】
1 圧電素子 2 第1の凹形封止基板 3 第2の凹形封止基板 4 第1の封止側板 5 第2の封止側板 6 一点鎖線 7a、7b、7c 外部チップ電極

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電基板の両面中央部に対向する共振子
    電極が設けられ、この共振子電極から圧電基板の端面ま
    でそれぞれ反対方向に導出された引出電極が設けられた
    圧電素子と、 中央に溝状凹部が設けられ、この溝状凹部の底面中央部
    にコンデンサ電極が形成され、このコンデンサ電極から
    溝状凹部の内壁を経て片方の上端まで導出されたリード
    電極が形成され、前記コンデンサ電極に対向するコンデ
    ンサ電極が溝状凹部の外側に形成された第一の凹形封止
    基板と、 中央に溝状凹部が設けられ、この溝状凹部の底面中央部
    にコンデンサ電極が形成され、このコンデンサ電極から
    溝状凹部の内壁を経て他方の上端まで導出されたリード
    電極が形成され、前記コンデンサ電極に対向するコンデ
    ンサ電極が溝状凹部の外側に形成された第二の凹形封止
    基板と、 第1の封止側板と、および第2の封止側板と、よりな
    り、 前記圧電素子の両側に、前記第1の凹形封止基板と前記
    第2の凹形封止基板とを、圧電素子の表裏の引出電極が
    前記第1および第2の凹形封止基板のそれぞれのリード
    電極に接触するように、重ねて接着し、これらの凹形封
    止基板の溝状凹部の開口側を塞ぐように、第1の封止側
    板と第2の封止側板とを、それぞれ接着してなるチップ
    圧電共振子。
JP16696593A 1993-07-06 1993-07-06 チップ圧電共振子 Pending JPH0730359A (ja)

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