JPH07268031A - 非晶質含フッ素重合体 - Google Patents

非晶質含フッ素重合体

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JPH07268031A
JPH07268031A JP6063949A JP6394994A JPH07268031A JP H07268031 A JPH07268031 A JP H07268031A JP 6063949 A JP6063949 A JP 6063949A JP 6394994 A JP6394994 A JP 6394994A JP H07268031 A JPH07268031 A JP H07268031A
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Abstract

(57)【要約】 【構成】重合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ基、ア
ミジン基またはイミドイルアミジン基を有する非晶質含
フッ素重合体。 【効果】本発明の含フッ素重合体溶液を塗布、熱処理し
て得られる含フッ素重合体、特には脂肪族環構造を有す
る非晶質パーフルオロ重合体の塗膜は架橋されており、
高温の機械的特性に優れ、外圧に対して変形しにくい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、重合体の主鎖または側
鎖の末端にシアノ基、アミジン基またはイミドイルアミ
ジン基からなる架橋部位を有する非晶質含フッ素重合体
に関する。
【0002】
【従来の技術】フッ素樹脂は耐薬品性、低誘電性、低表
面エネルギー、非粘着性、耐候性、化学的耐熱性(熱分
解温度が高い)等に優れているために、汎用のプラスチ
ックでは使用できない種々の用途に用いられている。特
開平1−13125号公報においてCF2=CFO(CF2)nCF=CF
2 が環化重合し、環状構造を有するため溶媒可溶で低屈
折率、低誘電率の重合体を与えることが知られている。
【0003】これらの重合体は熱分解温度は高いもの
の、ガラス転移温度(Tg )がn=1の重合体で69
℃、n=2の場合においても108℃であるため熱変形
温度があまり高くなく高温での使用には不十分であると
いう問題があった。含フッ素脂肪族環構造を有する重合
体のこのような欠点を解消して高温使用に耐え得る熱変
形温度の向上した架橋物を与えるために、以下のような
方法が有効であることが明らかになっている。
【0004】即ち、分子内にマレイミド基を有する重合
体と、含フッ素脂肪族環構造を有しその分子内に−NH
2 基を有する重合体とが加熱により架橋することで、前
述の欠点を解決する重合体が得られることを本出願人は
見出している。このようにすることによって、機械的耐
熱性にかなりの向上が見られたが、末端基の異なる2種
類の重合体を調製しなければならなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前述のよう
な欠点を克服するため、含フッ素脂肪族環構造を有する
重合体などの非晶質含フッ素重合体溶液から、高温での
機械的耐熱性が改良された架橋物を与える溶液組成物を
新規に提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記問題点
の認識に基づいて目的を達成するために鋭意検討を重ね
た結果、非晶質含フッ素重合体の主鎖または側鎖の末端
にシアノ基、アミジン基またはイミドイルアミジン基を
有する重合体、または非晶質含フッ素重合体の主鎖また
は側鎖の末端にシアノ基を有する重合体とアミジン基含
有化合物またはイミドイルアミジン基含有化合物との混
合物を用いることにより高温での機械的耐熱性が改良さ
れたトリアジン環を有する架橋重合体を得られることを
見いだした。
【0007】本発明に用いられる含フッ素重合体は、重
合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ基、アミジン基ま
たはイミドイルアミジン基を有し、溶媒に可溶な重合体
である。好適な例としては、含フッ素溶媒に可溶な重合
体の主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する非晶質含フッ
素重合体が挙げられる。
【0008】含フッ素重合体は非晶質のものが好ましい
が、結晶化度が30%以下、好ましくは20%以下のも
のであれば適用可能である。
【0009】非晶質含フッ素重合体の具体例としては、
CF2=CFO(CF2)nCF=CF2 (n=1〜3)の環化重合体、パ
ーフルオロ(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソー
ル)またはパーフルオロ−1,3−ジオキソールの単独
重合体を挙げることができる。これらのモノマーの複数
を用いた共重合体も好適である。また、これらのモノマ
ーをテトラフルオロエチレンなどのモノマーとの共重合
体も結晶化度が前述の範囲内にあれば用いることができ
る。
【0010】主鎖に脂肪族環構造を有していなくても、
前述のように結晶化度が小さければ使用することができ
る。例えば、テトラフルオロエチレンとポリフルオロ
(アルキルビニルエーテル)との共重合体であって、ビ
ニルエーテル含有量を増やして結晶化度を小さくした重
合体を挙げることができる。
【0011】ポリフルオロビニルエーテルには、パーフ
ルオロプロピルビニルエーテルなどのパーフルオロアル
キルビニルエーテルやパーフルオロ(3,6−ジオキサ
−5−メチル−1−ノネン)などのパーフルオロオキシ
アルキルビニルエーテル、メチルパ−フルオロ(4−ビ
ニロキシ−ブタノエート)、メチルパーフルオロ(4,
7−ジオキサ−5−メチル−8−ノネノエート)などの
エステル含有ビニルエーテルなどを例示することができ
る。
【0012】テトラフルオロエチレンの代わりにフッ化
ビニリデン、クロロトリフルオロエチレン、トリフルオ
ロエチレンなどを用いることができる。用いる重合体の
分子量は重合体組成や用途により異なるが、コーティン
グ材料として用いるためには数平均または重量平均の平
均分子量がおよそ1000〜107 、特には104 〜5
×106 のものが好んで用いられる。
【0013】分子量が小さすぎると、重合体が脆くなっ
たり、フッ素重合体本来の優れた耐熱性などの物性が損
なわれる場合がある。また、分子量が106 を超える溶
媒に可溶な重合体の入手または合成は必ずしも容易でな
い。基本的には、重合体が溶媒に可溶であって溶液の粘
度が106 cps以下、好ましくは105 cps以下、
さらに好ましくは104 cps以下であれば分子量の上
限はない。
【0014】平均分子量は光散乱法や浸透圧法、溶融粘
弾性による方法などにより直接求めることができる。ま
た、予めそれらの方法で得られたデータを用いて検量線
を作製すれば、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ
ーや固有粘度[η]を測定することにより、分子量を算
出することができる。赤外吸収スペクトルや核磁気共鳴
スペクトルによる末端基の分析によっても求めることが
可能である。主鎖に環構造を有する非晶質パーフルオロ
重合体の場合には、パーフルオロ(2−ブチルテトラヒ
ドロフラン)中30℃で測定される固有粘度[η]が
0.02〜5dl/g、特には0.05〜1dl/gの
重合体が好ましい。
【0015】重合体にシアノ基を導入する方法として
は、1)シアノ基含有モノマーをラジカル共重合する方
法、2)側鎖または主鎖末端に導入されたアルコキシカ
ルボニル基をアンモニアでアミドに変換した後、五酸化
リン、無水トリフルオロ酢酸/ピリジンなどで脱水して
シアノ基に変換する方法などがある。
【0016】シアノ基含有モノマーとしては、パーフル
オロ(3,6−ジオキサ−4−メチル−7−オクテノニ
トリル)、パーフルオロ(4,7−ジオキサ−5−メチ
ル−8−ノネノニトリル)、パーフルオロ(5,8−ジ
オキサ−6−メチル−9−デセノニトリル)、パーフル
オロ(5−オキサ−6−ヘプテノニトリル)、パーフル
オロ(6−オキサ−7−オクテノニトリル)、パーフル
オロ(7−オキサ−8−ノネノニトリル)、パーフルオ
ロ(2,5−ジメチル−4,7−ジオキサ−8−ノネノ
ニトリル)などのシアノ基含有ビニルエーテル、パーフ
ルオロ(3−ブテノニトリル)、パーフルオロ(4−ペ
ンテノニトリル)、パーフルオロ(5−ヘキセノニトリ
ル)などのシアノ基含有αーオレフィンやパーフルオロ
アクリロニトリルを例示することができる。
【0017】少なくとも重合体1分子中に平均で2個以
上のシアノ基が導入されていることが好ましい。側鎖に
アルコキシカルボニル基を導入した後、シアノ基に変換
する場合には、アルコキシカルボニル基は、例えば上述
のシアノ基含有モノマーにおいてシアノ基がアルコキシ
カルボニル基に置換された構造を有するモノマーを共重
合することにより導入される。
【0018】本発明の重合体の主鎖または側鎖の末端に
アミジン基(-C(=NH)NH2)またはイミドイルアミジン基
(-C(=NH)N=C(NH2)-)を有する非晶質含フッ素重合体は
重合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ基を有する非晶
質含フッ素重合体とアンモニアを反応させることにより
得ることができる。
【0019】上述の含フッ素重合体を溶かす溶媒として
は、以下の非プロトン性含フッ素化合物を例示すること
ができる。例えば、パーフルオロベンゼン、ペンタフル
オロベンゼン、1,3−ビス(トリフルオロメチル)ベ
ンゼン、1,4−ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン
等のポリフルオロアロマティック化合物、パーフルオロ
トリブチルアミン、パーフルオロトリプロピルアミン等
のポリフルオロトリアルキルアミン化合物、パーフルオ
ロヘキサン、パーフルオロオクタン、パーフルオロデカ
ン、パーフルオロドデカン、パーフルオロ−2,7−ジ
メチルオクタン、1,1,2−トリクロロ−1,2,2
−トリフルオロエタン、1,1,1−トリクロロ−2,
2,2−トリフルオロエタン、1,3−ジクロロ−1,
1,2,2,3−ペンタフルオロプロパン、1,1,
1,3−テトラクロロ−2,2,3,3−テトラフルオ
ロプロパン、1,1,3,4−テトラクロロ−1,2,
2,3,4,4−ヘキサフルオロブタン、パーフルオロ
−1,2−ジメチルヘキサン、パーフルオロ−1,3−
ジメチルヘキサン、2H,3H−パーフルオロペンタ
ン、1H−パーフルオロヘキサン、1H−パーフルオロ
オクタン、1H−パーフルオロデカン、1H,1H,1
H,2H,2H−パーフルオロヘキサン、1H,1H,
1H,2H,2H−パーフルオロオクタン、1H,1
H,1H,2H,2H−パーフルオロデカン、3H,4
H−パーフルオロ−2−メチルペンタン、2H,3H−
パーフルオロ−2−メチルペンタン、1H−1,1−ジ
クロロパーフルオロプロパン、1H−1,3−ジクロロ
パーフルオロプロパン等のポリフルオロアルカン化合
物、パーフルオロデカリン、パーフルオロシクロヘキサ
ン、パーフルオロ−1,3,5−トリメチルシクロヘキ
サン等のポリフルオロシクロアルカン化合物、パーフル
オロ−2−ブチルテトラヒドロフラン等のポリフルオロ
サイクリックエーテル化合物、フッ素含有低分子量ポリ
エーテルなどを単独または混合して用いることが可能で
あるが、これらの他にも広範な化合物を用いることがで
きる。
【0020】本発明においては、アミジン基やイミドイ
ルアミジン基を有する重合体の場合には、溶媒が非プロ
トン性含フッ素溶媒単独では高粘度化またはゲル化が起
こり易い。この場合、プロトン性含フッ素化合物を非プ
ロトン性含フッ素化合物100重量に対して0.01〜
50重量部、好ましくは0.1〜20重量部添加すると
粘度を低減することが可能である。重合体を溶解できる
場合には、プロトン性含フッ素化合物を単独で用いても
構わない。
【0021】用いられるプロトン性含フッ素化合物とし
てはトリフルオロエタノール、2,2,3,3,3−ペ
ンタフルオロプロピルアルコール、2−(パーフルオロ
ブチル)エタノール、2−(パーフルオロヘキシル)エ
タノール、2−(パーフルオロオクチル)エタノール、
2−(パーフルオロデシル)エタノール、2−(パーフ
ルオロ−3−メチルブチル)エタノール、1H,1H,
3H−テトラフルオロ−1−プロパノール、1H,1
H,5H−オクタフルオロ−1−ペンタノール、1H,
1H,7H−ドデカフルオロ−1−ヘプタノール、1
H,1H,9Hーヘキサデカフルオロ−1−ノナノー
ル、2H−ヘキサフルオロ−2−プロパノール、1H,
1H,3H−ヘキサフルオロ−2−ブタノールなどの含
フッ素アルコールやトリフルオロ酢酸、パーフルオロプ
ロパン酸、パーフルオロブタン酸、パーフルオロペンタ
ン酸、パーフルオロヘキサン酸、パーフルオロヘプタン
酸、パーフルオロオクタン酸、パーフルオロノナン酸、
パーフルオロデカン酸、3H−テトラフルオロプロパン
酸、5H−オクタフルオロペンタン酸、7H−ドデカフ
ルオロヘプタン酸、9H−ヘキサデカフルオロノナン酸
などの含フッ素カルボン酸、これら含フッ素カルボン酸
のアミド、トリフルオロメタンスルホン酸、ヘプタデカ
フルオロオクタンスルホン酸などの含フッ素スルホン酸
などを用いることができる。
【0022】含フッ素重合体溶液の溶媒は、コーティン
グ用途に用いる場合には、沸点が1mmHgで300℃
以下であって、1気圧で20℃以上のものが用いられ
る。好ましくは、1気圧で40〜300℃である。
【0023】本発明の非晶質含フッ素重合体の主鎖また
は側鎖の末端にシアノ基を有する重合体をトリアジン環
形成反応を促進する触媒の存在下で加熱することによ
り、または前記重合体とアミジン基含有化合物またはイ
ミドイルアミジン基含有化合物との混合物を加熱するこ
とにより、または前記重合体のシアノ基をアンモニアに
よりアミジン基またはイミドイルアミジン基に変換した
重合体を加熱することにより高温での機械的耐熱性が改
良されたトリアジン環を有する架橋重合体を得ることが
できる。前記加熱温度は、100℃〜400℃、好まし
くは200℃〜350℃が採用される。
【0024】また、シアノ基含有重合体の溶液を基材に
コーティングした後、アンモニアガスと100℃〜40
0℃、好ましくは200℃〜350℃で接触させること
により、トリアジン環を有する架橋重合体のコーティン
グ膜を得ることができる。
【0025】アミジン基含有化合物やイミドイルアミジ
ン基含有化合物としては以下の化学式で示される化合物
などが例示される。この他にもアミジン基またはイミド
イルアミジン基を有する広範な化合物を用いることがで
きる。
【0026】
【化1】 トリアジン環形成反応を促進する触媒すなわちシアノ基
の三量化によるトリアジン環形成反応を促進する触媒と
しては、有機過酸化物系触媒、ビスアゾ化合物系触媒、
遷移金属化合物系触媒などが用いられる。遷移金属化合
物系触媒が好ましく用いられ、具体的には、亜鉛、マン
ガン、コバルトなどのパーフルオロカルボン酸塩、テト
ラブチル錫およびテトラフェニル錫などを例示すること
ができる。この他にも銅、銀、カドミウム、ビスマス、
鉛、バリウムなどの多くの遷移金属化合物を用いること
ができる。特に、パーフルオロカルボン酸塩は含フッ素
溶媒への溶解性が良好で好ましい。また、tert- ブチル
ハイドロパーオキシドなどの過酸化物の添加により架橋
反応を進行せしめることも可能である。
【0027】本発明の含フッ素重合体の用途として半導
体分野では、トランジスタ、IC、LSIやマルチチッ
プモジュールの封止材、バッファーコート膜、パッシベ
ーション、層間絶縁膜に適用することができる。特にこ
れらの用途において本発明の含フッ素重合体が、半導体
製造工程で200℃以上の高温で形状を保持する必要が
ある場合に本発明は有用である。
【0028】一方、本発明は上述の用途に限定されず、
様々の用途に用いることが可能である。窓、ドア、ショ
ーウインドウ、太陽電池、太陽熱温水器、パーソナルコ
ンピュータ、テレビ、ビデオ再生器、ビデオ録画器等の
ディスプレーの反射防止膜として用いることができる。
【0029】ディスプレーは、液晶、CRT、プラズマ
方式など種々の方式に適用することができる。半導体製
造のリソグラフィー工程におけるフォトマスクおよびレ
チクル上のゴミ付着防止に用いられるペリクルと呼ばれ
る汚染防止保護器具に用いることもできる。その他にも
光ファイバーや撥水撥油コーティングなど様々な用途に
適用することができる。
【0030】
【実施例】
「合成例1(シアノ基を有する重合体の合成)」窒素雰
囲気の1000cm3 のフラスコにパーフルオロ(ブテ
ニルビニルエーテル)132g、パーフルオロ(3,6
−ジオキサ−4−メチル−7−オクテノニトリル)3.
28g、ジイソプロピルパーオキシジカーボネートの1
5重量%1,1,2−トリクロロ−1,2,2−トリフ
ルオロエタン(R−113)溶液を3.06g,R−1
13を2.4g、純水720gを入れ、系内を3回窒素
ガスで置換した後、40℃で40時間懸濁重合を行っ
た。
【0031】その結果シアノ基を有する非晶質含フッ素
重合体を60g得た。この重合体のパーフルオロ(2−
ブチルテトラヒドロフラン)中、30℃における固有粘
度[η]は0.24dl/gであった。NMRよりパー
フルオロ(3,6−ジオキサ−4−メチル−7−オクテ
ノニトリル)は共重合体中に1.2モル%導入されてい
ることが明らかになった。この含フッ素重合体の赤外吸
収スペクトルを測定したところ、2260cm-1にシア
ノ基による吸収が観測された。
【0032】「実施例1」合成例1の含フッ素重合体を
1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,
6,7,7,8,8−ヘプタデカフルオロデカン/2,
2,2−トリフルオロエタノール(重量比99.5/
0.5)に溶解し、濃度5重量%の溶液を調製した。室
温にて前記溶液中にアンモニアガスを10分間吹き込
み、シアノ基をアミジン基に変換した。窒素雰囲気下で
キャスト膜を作製し、徐々に昇温し、300℃で2時間
保持した。
【0033】赤外吸収スペクトルには1560cm-1
トリアジン環による吸収が見られた。溶媒に2,2,2
−トリフルオロエタノールを添加しない場合には、溶液
が高粘度化し、キャスト成形が困難であったが、同様の
熱処理によりトリアジン環の形成が見られた。溶媒をパ
ーフルオロブチルアミン/3,3,4,4,5,5,
6,6,7,7,8,8,8−トリデカフルオロオクタ
ノール(重量比95/5)の場合にも同様にトリアジン
環の形成が確認された。
【0034】「実施例2」合成例1の含フッ素重合体を
パーフルオロブチルアミン/3,3,4,4,5,5,
6,6,7,7,8,8,8−トリデカフルオロオクタ
ノール(重量比95/5)に溶解し、濃度15重量%の
溶液を調製した。室温で10分間アンモニアガスを前記
溶液中吹き込んだ後、シリコンウエハーにスピンコート
し、300℃で1時間熱処理して架橋した。JIS K
5400に従って、碁盤目状の傷を入れて350℃で1
時間熱処理した。350℃熱処理の前後で碁盤目の状態
が変化していないことが顕微鏡観察で確認された。
【0035】「比較例1」パーフルオロブテニルビニル
エーテル単独重合体(固有粘度[η]:0.24dl/
g)をシリコンウエハーにスピンコートして300℃で
10分熱処理した。JIS5400に従って、碁盤目状
の傷を入れて250℃で1時間熱処理したところ、碁盤
目間の樹脂の融着が観察された。
【0036】実施例3 合成例1の含フッ素重合体をパーフルオロブチルアミン
/3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,
8−トリデカフルオロオクタノール(重量比95/5)
に溶解し、濃度12重量%の溶液を調製した。該溶液1
00重量部に対して0.15重量部のC8F17C(=NH)NH2
添加して、シリコンウエハー上にスピンコートした。3
50℃で熱処理して架橋した後、JIS K5400に
従って、碁盤目状の傷を入れて350℃で1時間熱処理
した。350℃熱処理の前後で碁盤目の状態が変化して
いないことが顕微鏡観察で確認された。400℃の熱処
理でも碁盤目の状態は変化せず、碁盤目間の融着は見ら
れなかった。
【0037】「実施例4」C8F17C(=NH)NH2の代わりに(C
8F17COO)2Zn を0.36重量部添加した以外は、実施例
3と同様の実験を行ったが、結果は同じであった。
【0038】「実施例5」合成例1の含フッ素重合体を
パーフルオロブチルアミンに溶解して濃度12重量%の
溶液を調製した。シリコンウェハー上にスピンコートし
た後、アンモニアガスに接触させて350℃で2時間熱
処理した。実施例3と同様にして350℃熱処理前後の
碁盤目の様子を観察したが、重合体の溶融流動による碁
盤目間の融着は見られなかった。
【0039】「実施例6」合成例1の含フッ素重合体を
熱プレスすることにより厚さ100μのフィルムを作製
した。R−113に浸漬して、アンモニアガスを3時間
吹き込んだ。フィルムを取り出して乾燥し、赤外吸収ス
ペクトルを測定したところ1655cm-1にアミジン基
の吸収が観察された。このフィルムをオーブンに入れて
徐々に昇温し、180℃で2時間熱処理したところ、1
560cm-1にトリアジン環による吸収が見られた。こ
のフィルムをさらに300℃で2時間加熱したが、15
60cm-1の吸収に変化は見られなかった。
【0040】「実施例7」実施例1のアンモニア処理し
た溶液をシリコンウェハー上にスピンコートし、窒素雰
囲気下、350℃で1時間熱処理した。赤外吸収スペク
トル(FT−IR)で1560cm-1に架橋反応による
トリアジン環の吸収が確認された。さらに、エッチング
により孔系2μの孔を作製し、再び350℃で1時間熱
処理したが、孔の形の変化は見られなかった。同様の試
験をポリ(パーフルオロブテニルビニルエーテル)
([η]:0.24)で行ったところ、エッチング後の
熱処理で孔は潰れているのが観察された。
【0041】
【発明の効果】本発明の含フッ素重合体溶液を塗布、熱
処理して得られる含フッ素重合体、特には脂肪族環構造
を有する非晶質パーフルオロ重合体の塗膜は架橋されて
おり、高温の機械的特性に優れ、外圧に対して変形しに
くいという特色を有する。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】重合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ
    基、アミジン基またはイミドイルアミジン基を有する非
    晶質含フッ素重合体。
  2. 【請求項2】重合体の主鎖または側鎖の末端にアミジン
    基またはイミドイルアミジン基を有する非晶質含フッ素
    重合体が重合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ基を有
    する非晶質含フッ素重合体とアンモニアを反応させて得
    られるものである請求項1の非晶質含フッ素重合体。
  3. 【請求項3】重合体の主鎖がモノマーを重合して得られ
    る繰り返し単位中に含フッ素脂肪族環構造を有するもの
    である請求項1または2の非晶質含フッ素重合体。
  4. 【請求項4】重合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ基
    を有する非晶質含フッ素重合体とアミジン基含有化合物
    またはイミドイルアミジン基含有化合物を含有する非晶
    質含フッ素重合体溶液。
  5. 【請求項5】重合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ基
    を有する非晶質含フッ素重合体とシアノ基の三量化によ
    るトリアジン環形成反応を促進する触媒を含有する非晶
    質含フッ素重合体溶液。
  6. 【請求項6】トリアジン環形成反応を促進する触媒が遷
    移金属化合物である請求項5の非晶質含フッ素重合体溶
    液。
  7. 【請求項7】重合体の主鎖がモノマーを重合して得られ
    る繰り返し単位中に含フッ素脂肪族環構造を有するもの
    である請求項4、5または6いずれか1項の非晶質含フ
    ッ素重合体溶液。
  8. 【請求項8】重合体の主鎖または側鎖の末端にシアノ基
    を有する非晶質含フッ素重合体を含有する非晶質含フッ
    素重合体溶液を基材にコーティングした後、アンモニア
    ガスと接触させることによるトリアジン環を有する重合
    体のコーティング膜を基材に形成させる方法。
  9. 【請求項9】重合体の主鎖がモノマーを重合して得られ
    る繰り返し単位中に含フッ素脂肪族環構造を有するもの
    である請求項8の方法。
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