JPH07224242A - コーティング用含フッ素重合体組成物 - Google Patents

コーティング用含フッ素重合体組成物

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JPH07224242A
JPH07224242A JP6088941A JP8894194A JPH07224242A JP H07224242 A JPH07224242 A JP H07224242A JP 6088941 A JP6088941 A JP 6088941A JP 8894194 A JP8894194 A JP 8894194A JP H07224242 A JPH07224242 A JP H07224242A
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polymer
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silane coupling
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淳 渡壁
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直子 代田
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秀 中村
Toshisuke Yokozuka
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Abstract

(57)【要約】 【目的】基材への密着力が大きく、貯蔵安定性の良好な
含フッ素重合体のコーティング溶液を提供する。 【構成】含フッ素脂肪族環構造を有する重合体、ジアル
コキシシランカップリング剤および非プロトン性含フッ
素溶媒からなるコーティング用組成物、あるいは含フッ
素脂肪族環構造を有する重合体、芳香族アミン系シラン
カップリング剤、および非プロトン性含フッ素溶媒から
なるコーティング用組成物。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、コーティング用に適し
た含フッ素重合体組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】フッ素樹脂は耐薬品性、低誘電性、低表
面エネルギー、非粘着性、耐候性、化学的耐熱性(熱分
解温度が高い)等に優れているために、汎用のプラスチ
ックでは使用できない種々の用途に用いられている。し
かし、フッ素樹脂は非粘着性を有するために基材に対す
る密着性が不足しがちであり、これを改善するために、
基材を粗面化したり、フッ素樹脂を金属ナトリウムのナ
フタレン溶液でエッチングすることが行われている。
【0003】特開平1−13125号公報においてCF
2 =CFO(CF2n CF=CF2 が環化重合し、環
状構造を有するため溶媒可溶で低屈折率、低誘電率の重
合体を与えることが知られている。このようなコーティ
ング可能な非晶質ペルフルオロポリマーについても密着
性の改善が求められている。
【0004】特開平3−195757号公報には、含フ
ッ素脂肪族環構造を有する重合体およびシランカップリ
ング剤を必須成分とするコーティング用含フッ素重合体
組成物が記載されている。この発明では密着性の改善し
た含フッ素重合体組成物が得られているが、トリアルコ
キシ型のシランカップリング剤と含フッ素重合体を非プ
ロトン性含フッ素溶媒に溶解した溶液は、経時的に粘度
が上昇したり、ろ過が困難になるなどの問題点があっ
た。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
技術の前述の欠点を解消しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、第一に、含フ
ッ素脂肪族環構造を有する重合体、ジアルコキシシラン
カップリング剤または芳香族アミン系シランカップリン
グ剤と非プロトン性含フッ素溶媒を必須成分とするコー
ティング用含フッ素重合体組成物を、第二に、含フッ素
脂肪族環構造を有する重合体、シランカップリング剤、
非プロトン性含フッ素溶媒およびプロトン性含フッ素溶
媒を必須成分とする含フッ素重合体組成物を、第三に、
これらの組成物のコーティング塗膜を有する物品、であ
る。
【0007】本発明に用いられる脂肪族環構造を有する
含フッ素重合体は、溶媒に可溶な重合体であり、その好
適な例として、含フッ素溶媒に可溶な主鎖に脂肪族環構
造を有する非晶質のペルフルオロ重合体が挙げられる。
含フッ素重合体は非晶質のものが好ましいが、結晶化度
が30%以下、好ましくは20%以下のものであれば適
用できる。
【0008】非晶質ペルフルオロ重合体の具体例として
は、CF2 =CFO(CF2n CF=CF2 (n=1
〜3)の環化重合体、ペルフルオロ(2,2−ジメチル
−1,3−ジオキソール)、ペルフルオロ(1,3−ジ
オキソール)の単独重合体を挙げられる。これらのモノ
マーの2種以上を用いた共重合体も好適である。
【0009】これらのモノマーとテトラフルオロエチレ
ンなどのモノマーとの共重合体も結晶化度が前述の範囲
内にあれば使用できる。主鎖に脂肪族環構造を有してい
なくても、前述のように結晶化度が小さければ使用でき
る。たとえば、テトラフルオロエチレンとポリフルオロ
(アルキルビニルエーテル)との共重合体であって、ビ
ニルエーテル含有量を増やして結晶化度を小さくした重
合体を挙げられる。
【0010】ポリフルオロビニルエーテルには、ペルフ
ルオロ(プロピルビニルエーテル)などのペルフルオロ
(アルキルビニルエーテル)やペルフルオロ(3,6−
ジオキサ−5−メチル−1−ノネン)などのペルフルオ
ロ(オキシアルキルビニルエーテル)、メチルペルフル
オロ(4−ビニロキシ−ブタノエート)、メチルペルフ
ルオロ(4,7−ジオキサ−5−メチル−8−ノネノエ
ート)などのエステル含有ビニルエーテルなどを例示で
きる。テトラフルオロエチレンの代わりにフッ化ビニリ
デン、クロロトリフルオロエチレン、トリフルオロエチ
レンなどを使用できる。
【0011】用いる重合体の分子量は重合体組成や用途
により異なるが、基本的には、重合体が溶媒に可溶であ
って溶液の粘度が106 cP以下、好ましくは105
P以下、さらに好ましくは104 cP以下であれば分子
量の上限はない。
【0012】コーティング材料として用いるためには数
平均または重量平均の平均分子量がおよそ103 〜10
7 、特には104 〜5×106 のものが好んで用いられ
る。分子量が小さすぎると、重合体が脆くなったり、フ
ッ素重合体本来の優れた耐熱性などの物性が損なわれる
場合がある。溶媒可溶で分子量が106 を超える重合体
の入手または合成は必ずしも容易でない。
【0013】平均分子量は光散乱法や浸透圧法、溶融粘
弾性による方法などにより直接求められる。また、予め
それらの方法で得られたデータを用いて検量線を作製す
れば、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーや固有
粘度[η]を測定し、分子量を算出できる。赤外吸収ス
ペクトルや核磁気共鳴スペクトルによる末端基の分析に
よっても求められる。
【0014】主鎖に環構造を有する非晶質ペルフルオロ
重合体の場合には、ペルフルオロ(2−ブチルテトラヒ
ドロフラン)中30℃で測定される固有粘度[η]が
0.02〜5dl/g、特には0.05〜1dl/gの
ポリマーが好ましい。また、これらのポリマーはシラン
カップリング剤との反応部位として主鎖の末端または側
鎖にカルボキシル基、カルボン酸フルオリド、エステル
基などを有するものが好ましい。
【0015】上述の含フッ素重合体を溶かす非プロトン
性溶媒としては、以下の含フッ素化合物を例示できる。
【0016】ペルフルオロベンゼン、ペンタフルオロベ
ンゼン、1,3−ビス(トリフルオロメチル)ベンゼ
ン、1,4−ビス(トリフルオロメチル)ベンゼン等の
ポリフルオロ芳香族化合物、ペルフルオロトリブチルア
ミン、ペルフルオロトリプロピルアミン等のポリフルオ
ロトリアルキルアミン化合物、ペルフルオロデカリン、
ペルフルオロシクロヘキサン、ペルフルオロ(1,3,
5−トリメチルシクロヘキサン)等のポリフルオロシク
ロアルカン化合物、ペルフルオロ(2−ブチルテトラヒ
ドロフラン)等のポリフルオロ環状エーテル化合物、フ
ッ素含有低分子量ポリエーテルなど。
【0017】ペルフルオロヘキサン、ペルフルオロオク
タン、ペルフルオロデカン、ペルフルオロドデカン、ペ
ルフルオロ(2,7−ジメチルオクタン)、1,1,2
−トリクロロ−1,2,2−トリフルオロエタン、1,
1,1−トリクロロ−2,2,2−トリフルオロエタ
ン、1,3−ジクロロ−1,1,2,2,3−ペンタフ
ルオロプロパン、1,1,1,3−テトラクロロ−2,
2,3,3−テトラフルオロプロパン、1,1,3,4
−テトラクロロ−1,2,2,3,4,4−ヘキサフル
オロブタン、ペルフルオロ(1,2−ジメチルヘキサ
ン)、ペルフルオロ(1,3−ジメチルヘキサン)、2
H,3H−ペルフルオロペンタン、1H−ペルフルオロ
ヘキサン、1H−ペルフルオロオクタン、1H−ペルフ
ルオロデカン、1H,1H,1H,2H,2H−ペルフ
ルオロヘキサン、1H,1H,1H,2H,2H−ペル
フルオロオクタン、1H,1H,1H,2H,2H−ペ
ルフルオロデカン、3H,4H−ペルフルオロ−2−メ
チルペンタン、2H,3H−ペルフルオロ−2−メチル
ペンタン、1H−1,1−ジクロロペルフルオロプロパ
ン、1H−1,3−ジクロロペルフルオロプロパン等の
ポリフルオロアルカン化合物など。
【0018】これらの非プロトン性溶媒は単独または混
合して使用でき、これらの他にも広範な化合物を使用で
きる。
【0019】シランカップリング剤としては、従来より
公知ないし周知のものを含めて広範囲にわたって使用で
き、以下のものが例示できる。
【0020】ビニルトリエトキシシラン、トリメチルメ
トキシシラン、トリメチルエトキシシラン、ジメチルビ
ニルメトキシシラン、ジメチルビニルエトキシシランな
どのモノアルコキシシラン類。
【0021】γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラ
ン、γ−クロロプロピルメチルジエトキシシラン、γ−
アミノプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミノプ
ロピルメチルジメトキシシラン、N−β−(アミノエチ
ル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N
−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジ
エトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメ
トキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエト
キシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメト
キシシラン、メチルジメトキシシラン、メチルジエトキ
シシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエト
キシシラン、メチルビニルジメトキシシラン、メチルビ
ニルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、
ジフェニルジエトキシシラン、3,3,3−トリフルオ
ロプロピルメチルジメトキシシラン、3,3,4,4,
5,5,6,6,7,7,8,8,8−トリデカフルオ
ロオクチルメチルジメトキシシラン、3,3,4,4,
5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,1
0,10−ヘプタデカフルオロデシルメチルジメトキシ
シランなどのジアルコキシシラン類。
【0022】γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、
γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(ア
ミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルト
リエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキ
シシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ
−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−ク
ロロプロピルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシ
シラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエ
トキシシラン、3,3,3−トリフルオロプロピルトリ
メトキシシラン、3,3,4,4,5,5,6,6,
7,7,8,8,8−トリデカフルオロオクチルトリメ
トキシシラン、3,3,4,4,5,5,6,6,7,
7,8,8,9,9,10,10,10−ヘプタデカフ
ルオロデシルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラ
ン、テトラエトキシシランなどのトリまたはテトラアル
コキシシラン類。
【0023】芳香族アミン構造を有するシランカップリ
ング剤である芳香族アミン系シランカップリング剤を挙
げられる。このシランカップリング剤を用いた場合は、
トリアルコキシ化合物であってもゲル化や増粘が起こり
にくいということが見い出された。このシランカップリ
ング剤を用いるとアルコキシシランが縮合反応した後は
炭素数が2以上のアルキル基やアルキレン構造を持たな
い構造とすることができるため、耐熱性を高めることが
できる。
【0024】好ましい芳香族アミン系シランカップリン
グ剤は、一般式ArSi(OR1 )(OR2 )(OR
3 )、ArSiR4 (OR1 )(OR2 )またはArS
iR45 (OR1 )[式中R1 〜R5 はそれぞれ独立
にHまたは炭素数1〜20のアルキル基またはアリール
基を表し、Arはp−、m−、またはo−アミノフェニ
ル基を表す。]で表される化合物である。以下に具体例
を挙げる。
【0025】アミノフェニルトリメトキシシラン、アミ
ノフェニルトリエトキシシラン、アミノフェニルトリプ
ロポキシシラン、アミノフェニルトリイソプロポキシシ
ラン、アミノフェニルメチルジメトキシシラン、アミノ
フェニルメチルジエトキシシラン、アミノフェニルメチ
ルジプロポキシシラン、アミノフェニルメチルジイソプ
ロポキシシラン、アミノフェニルフェニルジメトキシシ
ラン、アミノフェニルフェニルジエトキシシラン、アミ
ノフェニルフェニルジプロポキシシラン、アミノフェニ
ルフェニルジイソプロポキシシランなど。
【0026】アミノ基の水素原子はアルキル基やアリー
ル基で置換されていてもよい。たとえばN,N−ジメチ
ルアミノフェニルトリアルコキシシランやN,N−ジメ
チルアミノフェニルメチルジアルコキシシランなどを挙
げられる。この他にも、たとえば米国特許第3,48
1,815号明細書に記載されている芳香族アミン系シ
ランカップリング剤などを使用できる。
【0027】これらのシランカップリング剤は単独また
は組合せて使用できる。このうちで、含フッ素重合体の
透明性を損なうことなく、含フッ素重合体の接着性を向
上させるものとしてアミノ基を有するγ−アミノプロピ
ルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジエ
トキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−
β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキ
シシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロ
ピルメチルジメトキシシラン、N−β−(アミノエチ
ル)−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β
−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジエト
キシシラン、アミノフェニルトリメトキシシラン、アミ
ノフェニルトリエトキシシラン、アミノフェニルメチル
ジメトキシシラン、アミノフェニルメチルジエトキシシ
ランなど、あるいはエポキシ基を有するγ−グリシドキ
シプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロ
ピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピ
ルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチ
ルジエトキシシランなどが特に好適なものとして例示さ
れる。
【0028】予め主鎖末端または側鎖にカルボキシル基
の導入された含フッ素重合体に対しては、特にアミノ基
またはエポキシ基を有するアルコキシシラン類が有効で
あり、予め主鎖末端または側鎖にエステル基の導入され
た含フッ素重合体に対しては、特にアミノ基またはアミ
ノフェニル基を有するアルコキシシラン類が有効であ
る。
【0029】非プロトン性含フッ素溶媒中においてはア
ミノ基またはエポキシ基を有するトリアルコキシシラン
類は同様の基を有するジアルコキシシラン類に比べて本
発明の液状組成物が経時的に粘度上昇したりゲル化しや
すい。また、トリアルコキシシラン類はジアルコキシシ
ラン類よりも含フッ素ポリマーの非プロトン性含フッ素
溶媒溶液への溶解性も小さい。したがって、トリアルコ
キシシラン類を用いる場合には、プロトン性の含フッ素
溶媒、特には含フッ素アルコールの添加が好ましい。
【0030】ジアルコキシシラン類の場合は、トリアル
コキシシラン類ほど溶解性は小さくないが、同様にプロ
トン性含フッ素溶媒、特には含フッ素アルコールの添加
により溶解性を高められる。ジアルコキシシラン類の場
合には、本発明の液状組成物の経時的な粘度上昇はトリ
アルコキシシラン類ほど顕著ではないため、含フッ素ア
ルコールなどのプロトン性含フッ素溶媒を必ずしも添加
しなくてもよいが、添加したほうが確実に粘度上昇を抑
制できる。
【0031】上述のように、含フッ素重合体溶液にプロ
トン性含フッ素化合物を添加するとシランカップリング
剤の含フッ素重合体溶液への溶解性を増すことができ
る。さらに、シランカップリング剤間の反応によると思
われる粘度の上昇やゲル化を抑制できる。ポリマーを溶
解できる場合には、プロトン性含フッ素化合物を単独で
用いてもよい。
【0032】用いられるプロトン性含フッ素化合物とし
ては以下のものが例示される。
【0033】トリフルオロエタノール、2,2,3,
3,3−ペンタフルオロ−1−プロパノール、2−(ペ
ルフルオロブチル)エタノール、2−(ペルフルオロヘ
キシル)エタノール、2−(ペルフルオロオクチル)エ
タノール、2−(ペルフルオロデシル)エタノール、2
−(ペルフルオロ−3−メチルブチル)エタノール、1
H,1H,3H−テトラフルオロ−1−プロパノール、
1H,1H,5H−オクタフルオロ−1−ペンタノー
ル、1H,1H,7H−ドデカフルオロ−1−ヘプタノ
ール、1H,1H,9H−ヘキサデカフルオロ−1−ノ
ナノール、2H−ヘキサフルオロ−2−プロパノール、
1H,1H,3H−ヘキサフルオロ−2−ブタノールな
どの含フッ素アルコール。
【0034】トリフルオロ酢酸、ペルフルオロプロパン
酸、ペルフルオロブタン酸、ペルフルオロペンタン酸、
ペルフルオロヘキサン酸、ペルフルオロヘプタン酸、ペ
ルフルオロオクタン酸、ペルフルオロノナン酸、ペルフ
ルオロデカン酸、3H−テトラフルオロプロパン酸、5
H−オクタフルオロペンタン酸、7H−ドデカフルオロ
ヘプタン酸、9H−ヘキサデカフルオロノナン酸などの
含フッ素カルボン酸、これら含フッ素カルボン酸のアミ
ド、トリフルオロメタンスルホン酸、ヘプタデカフルオ
ロオクタンスルホン酸などの含フッ素スルホン酸など。
【0035】これらのプロトン性含フッ素化合物は単独
でまたはは2種以上の混合物として使用できる。
【0036】非プロトン性含フッ素溶媒または非プロト
ン性含フッ素溶媒とプロトン性含フッ素溶媒混合物中の
含フッ素重合体濃度は、通常0.1〜30重量%、好ま
しくは0.5〜20重量%である。シランカップリング
剤の配合量は、含フッ素重合体100重量部当たり0.
01〜50重量部、好ましくは0.1〜30重量部であ
る。非プロトン性含フッ素溶媒とプロトン性含フッ素溶
媒混合物中のプロトン性含フッ素溶媒の配合量は、0.
01〜50重量%、好ましくは0.1〜30重量%であ
る。
【0037】本発明の含フッ素重合体組成物は良好な密
着性を有しているので種々の用途に使用できる。以下の
用途に応用可能である。
【0038】光ファイバー、レンズ、太陽電池、光ディ
スク、タッチパネル、ハイブリッドIC、液晶セル、プ
リント基板、感光ドラム、フィルムコンデンサ、ガラス
窓、各種フィルムなどの光学分野、電気分野における保
護コート、注射器、ピペット、体温計、ビーカー類、シ
ャーレ、メスシリンダーなどの医療・理化学機器、その
他ソルダーマスク、ソルダーレジスト、ゴム、プラスチ
ックの保護、耐候、防汚コート、繊維、布帛の保護コー
ト、シーラントの防汚コート、IC、LSIなどの集積
回路やトランジスタなどの半導体部品封止膜、半導体部
品バッファーコート膜、半導体部品パッシベーション
膜、マルチモジュールや集積回路内の半導体部品層間絶
縁膜、防錆塗料、樹脂付着防止剤、インキ付着防止剤、
多層配線板層間絶縁膜など。
【0039】特に窓材、レンズや、液晶、CRT、また
はプラズマ方式ディスプレーの反射防止膜、光ファイバ
ーに有利に応用できる。各種方式のディスプレーを用い
たテレビ、モニター、ビデオカメラ、パーソナルコンピ
ューターは本組成物のコーティングによる反射防止膜を
施すことにより鮮明な画像を提供できる。
【0040】
【実施例】
「重合体溶液A」ポリ(ペルフルオロ(ブテニルビニル
エーテル))([η]:0.24、末端−COOH型)
2重量部を98重量部のペルフルオロ(2−ブチルテト
ラヒドロフラン)に溶解して、重合体濃度2重量%の溶
液を得た。
【0041】「重合体溶液B」ポリ(ペルフルオロ(ブ
テニルビニルエーテル))([η]:0.24、末端−
COOCH3 型)2重量部を98重量部のペルフルオロ
(2−ブチルテトラヒドロフラン)に溶解して、重合体
濃度2重量%の溶液を得た。
【0042】「重合体溶液C」ポリ(ペルフルオロ(ブ
テニルビニルエーテル))([η]:0.24、末端−
COOH型)9重量部を91重量部のペルフルオロトリ
ブチルアミン/3,3,4,4,5,5,6,6,7,
7,8,8,8−トリデカフルオロ−1−オクタノール
(重量比95/5)に溶解して、重合体濃度9重量%の
溶液を得た。
【0043】「実施例1」重合体溶液A200gに2,
2,3,3,3−ペンタフルオロ−1−プロパノール1
0.3gとγ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン
0.19gを添加混合したところ無色透明の粘度2.7
cP(25℃)の溶液が得られた。この重合体溶液を用
いてガラス基板上に0.1μmのコーティングを行った
ところ、反射率は0.9%であった。JISK5400
の碁盤目テープ法によってテープ剥離試験を行った。セ
ロテープ10回剥離試験後もすべての升目が完全な形で
残っていた。この重合体溶液を55℃で4日保持し、2
5℃で粘度を再度測定したが粘度の変化はなかった。
【0044】「比較例1」重合体溶液A200gにγ−
アミノプロピルトリエトキシシラン0.23gを添加し
たところ粘度5.7cP(25℃)の溶液が得られた。
この重合体溶液を55℃で4日保持し、25℃で粘度を
再度測定したところ粘度は8.0cP(25℃)まで上
昇した。
【0045】「実施例2」γ−アミノプロピルメチルジ
エトキシシラン添加量を0.075gにした以外は実施
例1と同様のコーティング試験を行った。碁盤目テープ
剥離試験でも同じ結果が得られた。
【0046】「実施例3」重合体溶液A300gに2,
2,3,3,3−ペンタフルオロ−1−プロパノールを
15.5gとγ−グリシドキシプロピルメチルジエトキ
シシラン0.075gを添加、混合したところ無色透明
な粘度3.3cps(25℃)の溶液が得られた。碁盤
目テープ剥離試験で実施例1と同じ結果が得られた。こ
の溶液を55℃で2日保持した後、再び粘度測定を行っ
たが変化はなかった。
【0047】「実施例4」γ−グリシドキシプロピルメ
チルジエトキシシランの添加量を0.375gに変えた
以外は実施例3と同様の実験を行った。混合して得られ
た液体は無色透明で粘度は3.3cP(25℃)であっ
た。碁盤目テープ剥離試験では実施例1と同じ結果が得
られた。この溶液を55℃で2日保持した後、再び粘度
測定を行ったが変化はなかった。
【0048】「実施例5」重合体溶液B200gに2,
2,3,3,3−ペンタフルオロ−1−プロパノール1
0.5gとγ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン
0.15gを添加、混合したところ無色透明の溶液が得
られた。該ポリマー溶液を用いてガラス基板上に0.1
μmのコーティングを行ったところ、反射率は0.9%
であった。実施例1と同様にセロテープ10回剥離試験
後もすべての升目が完全な形で残っていた。
【0049】「実施例6」重合体溶液C230gにγ−
アミノプロピルメチルジエトキシシラン0.2gを添加
したところ、無色透明の液体が得られた。溶液粘度は4
00cP(25℃)であった。55℃、1日保持後に粘
度は少し上昇し、675cP(25℃)の重合体溶液D
となった。しかし、同量のポリマー溶液Cにγ−アミノ
プロピルメチルジエトキシシラン0.6gを添加した場
合に得られた透明溶液の粘度は290cPで55℃、1
日保持後も粘度上昇はない重合体溶液Eとなった。
【0050】溶液DおよびEをシリコンウェハー上にス
ピンコートして250℃で乾燥した。得られた塗膜につ
いて碁盤目テープ試験を行ったが、いずれも升目に異常
は観察されなかった。また、同様に溶液DおよびEをシ
リコンウェハー上にスピンコートして250℃で乾燥後
碁盤目を入れて、300℃で1時間熱処理した。顕微鏡
観察を行ったが、樹脂が溶融した形跡は認められなかっ
た。溶液DおよびEをキャストし、200℃で乾燥し
た。得られたキャストフィルムは溶液Cの溶媒には溶解
せず形状を保持していた。
【0051】「実施例7」重合体溶液A80gにγ−グ
リシドキシプロピルメチルジエトキシシラン0.05
g、3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,
8,8−トリデカフルオロオクチルメチルジメトキシシ
ラン0.09gを添加した。得られた溶液の粘度は3.
6cP(25℃)であった。この溶液を用いて実施例1
と同様にしてコーティング試験を行い透明で均質な塗膜
を得た。得られた塗膜について碁盤目テープ試験を行っ
たが、良好な密着性を示した。この溶液を55℃で3日
保持したが粘度変化はなかった。
【0052】「実施例8」アミノフェニルトリメトキシ
シラン(p−体65重量%、m−体32重量%、o−体
3重量%)/3,3,4,4,5,5,6,6,7,
7,8,8,8−トリデカフルオロ−1−オクタノール
の混合液(重量比3.8/96.2)16.32重量部
をポリ(ペルフルオロ(ブテニルビニルエーテル))
([η]:0.24、末端−COOH型)のペルフルオ
ロブチルアミン溶液(ポリマー濃度9.5重量%)20
0重量部に溶解した。溶液粘度は286cPで1か月室
温で放置したが粘度の経時変化はなかった。
【0053】前記溶液をシリコンウェハー上にスピンコ
ートして200℃で乾燥し、厚さ約2μmの塗膜を得
た。JIS5400の碁盤目テープ法によってテープ剥
離試験を行った。セロテープ10回剥離試験後もすべて
の升目が完全な形で残っていた。
【0054】同様に、前記溶液をシリコンウェハー上に
スピンコートし180℃で乾燥して厚さ約2μmの塗膜
を形成させた。同様のサンプルを3枚作製し、それぞれ
250℃、300℃、350℃で1時間熱処理した。J
IS5400にしたがって碁盤目状の傷を入れ、再び同
じ温度(それぞれ250℃、300℃、350℃)で1
時間熱処理したが、碁盤目の形状に変化は見られなかっ
た。
【0055】また、300℃で1時間熱処理した塗膜に
エッチングで孔径2μmの孔を作製し、再度300℃で
1時間熱処理したが、孔の形状に変化は見られなかっ
た。ポリ(ペルフルオロ(ブテニルビニルエーテル))
[[η]:0.24、末端−COOH型]のペルフルオ
ロブチルアミン溶液(濃度9重量%)をシリコンウェハ
ー上にスピンコートし、同様の試験を行ったところ、碁
盤目の熱処理試験では、升目の間で融着が見られた。ま
たエッチングにより作製した孔径2μmの孔は再熱処理
で潰れた。
【0056】「実施例9」実施例6の溶液Eと実施例8
の溶液からキャスト膜を作製し、窒素下300℃で1時
間熱処理した。窒素雰囲気で分解開始温度を測定したと
ころそれぞれ351℃、378℃であった。実施例8の
溶液から得たキャスト膜を窒素下350℃で1時間熱処
理した後、同様な測定をしたところ分解開始温度は39
2℃であった。
【0057】
【発明の効果】本発明の組成物をコーティングして得ら
れる塗膜は、熱処理により架橋反応が進行し、300℃
以上の高温においても溶融流動せずに形状保持ができ、
エレクトロニクス用途など高温にさらされる用途には特
に有用である。また、溶液中にシランカップリング剤を
含有するため、プライマーを塗布せずに良好な密着性が
得られる。
【0058】電子部品においては層間絶縁膜やパッシベ
ーション膜に用いると誘電率が小さいので伝送速度を速
めたり、ノイズを低減することができる。本発明に用い
られる含フッ素重合体は吸水性が小さく、また上述のよ
うに架橋構造を有しているため、基材への密着性も大き
いので、電子部品の信頼性を高められる。電子部品を用
いた通信機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオ再生機最
盛期、携帯電話、コンピューターなどは信頼性、信号処
理速度などの面で性能が向上する。
【0059】また、光透過性が良好なので、光ディスク
や発光素子のような光透過性が必要な部分の窓や保護層
として用いるのも好適である。本発明の組成物をクラッ
ド材として塗布された光ファイバーは、クラッド材の屈
折率が小さいので開口数が大きい。また、密着強度が大
きいので光ファイバーは高温高湿環境でも使用でき、折
り曲げ耐性も良好である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横塚 俊亮 神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150番地 旭硝子株式会社中央研究所内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】含フッ素脂肪族環構造を有する重合体、ジ
    アルコキシシランカップリング剤および非プロトン性含
    フッ素溶媒を必須成分とするコーティング用含フッ素重
    合体組成物。
  2. 【請求項2】含フッ素脂肪族環構造を有する重合体、芳
    香族アミン系シランカップリング剤および非プロトン性
    含フッ素溶媒を必須成分とするコーティング用含フッ素
    重合体組成物。
  3. 【請求項3】含フッ素脂肪族環構造を有する重合体、シ
    ランカップリング剤、非プロトン性含フッ素溶媒および
    プロトン性含フッ素溶媒を必須成分とするコーティング
    用含フッ素重合体組成物。
  4. 【請求項4】シランカップリング剤がジアルコキシシラ
    ンカップリング剤または芳香族アミン系シランカップリ
    ング剤である請求項3の含フッ素重合体組成物。
  5. 【請求項5】プロトン性含フッ素溶媒が含フッ素アルコ
    ールである請求項3の含フッ素重合体組成物。
  6. 【請求項6】請求項1〜5のいずれかの組成物のコーテ
    ィング塗膜を有する物品。
  7. 【請求項7】物品が電子部品または光ファイバーである
    請求項6の物品。
  8. 【請求項8】コーティング塗膜が半導体部品封止膜、半
    導体部品バッファーコート膜、半導体部品パッシベーシ
    ョン膜、半導体部品層間絶縁膜、反射防止膜、または多
    層配線板層間絶縁膜である請求項6の物品。
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