JPH07266399A - 包装用クリーンフィルムおよびその製造方法 - Google Patents

包装用クリーンフィルムおよびその製造方法

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JPH07266399A
JPH07266399A JP6063155A JP6315594A JPH07266399A JP H07266399 A JPH07266399 A JP H07266399A JP 6063155 A JP6063155 A JP 6063155A JP 6315594 A JP6315594 A JP 6315594A JP H07266399 A JPH07266399 A JP H07266399A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 清浄な面を有する包装用クリーンフィルムを
提供する。 【構成】 耐熱性基材2の表面に、第1溶融押出層5a
が形成され、耐熱性基材2の裏面にアンカーコート層3
を介して第2溶融押出層5bが形成されている。第1お
よび第2溶融押出層5a,5bの表面に、第1および第
2保護フィルム4a,4bが積層されている。使用に際
しては、耐熱性基材2の表面から、第1溶融押出層5a
および第1保護フィルム4aが剥離除去され、第2溶融
押出層5bの表面から第2保護フィルム4bが剥離除去
される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は包装用クリーンフィルム
およびその製造方法に係り、とりわけクリーンルーム等
のクリーンな環境下で製造される例えば半導体製品、あ
るいは半導体製品の製造時に必要とされる衣服等の梱
包、包装に好適に用いられる包装用クリーンフィルムお
よびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、IC、LSIなどの半導体製品
はチリ、ホコリを極端に嫌うことからクリーンルーム内
で製造されている。そして、このようなクリーンな環境
下で製造される半導体製品、あるいは半導体製品の製造
時に必要な衣服等の包装に用いられる包装材料もチリ、
ホコリ等が付着していないことが要求される。
【0003】このため、従来は、クリーンルーム内で製
造した包装材料を超純水で洗浄したものが、クリーンな
環境で用いられる包装材料として利用されてきた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
包装材料においては、クリーンルーム内で製造したもの
をさらに超純水で洗浄する必要があるため、この洗浄工
程が製造コストの低減を図る上での障害となるととも
に、超純水による洗浄の程度により、クリーン度の確実
性に欠けるという問題がある。
【0005】一方、このような包装用クリーンフィルム
として共押し出しによる多層フィルムが注目されてい
る。
【0006】この多層フィルムは、剥離除去可能な外層
フィルムにより中間層フィルムの表裏両面が被覆されて
なるものであり、外層フィルムを剥離除去すると被包装
体を直接に包装する中間層フィルムの清浄面が露出する
ように構成されている。
【0007】この共押し出しによる多層フィルムは、超
純水による洗浄は不要であるものの、外層フィルムを剥
離した面が平滑であるため、この剥離面同士が重なるよ
うに包装袋を製造すると、フィルムが密着して内容物を
充填する際に口を開くことが困難であるという問題があ
る。
【0008】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、ホコリやチリの付着がなくて洗浄が不要で
あり、半導体製品等の包装に好適に利用可能であるとと
もに、包装袋とした時にフィルムが密着せず内容物充填
時の口ひらきが容易である包装用クリーンフィルムおよ
びその製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
耐熱性基材と、この耐熱性基材の表裏両面に各々積層さ
れた第1および第2溶融押出層と、第1および第2溶融
押出層に各々積層された第1および第2保護フィルム
と、を備えたことを特徴とする包装用クリーンフィルム
である。
【0010】請求項3記載の発明は、耐熱性基材の表裏
両面に第1および第2保護フィルムを配置する工程と、
耐熱性基材の表裏両面に押し出された溶融樹脂を介して
第1および第2保護フィルムを積層する工程と、を備え
たことを特徴とする包装用クリーンフィルムの製造方法
である。
【0011】
【作用】本発明によれば、耐熱性基材の表裏両面から第
1および第2保護フィルムを剥離除去することにより、
清浄なフィルムを得ることができる。
【0012】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図1および図2は本発明による包装用クリ
ーンフィルムおよびその製造方法の一実施例を示す図で
ある。
【0013】包装用クリーンフィルム1は、図1に示す
ように、耐熱性基材2と、耐熱性基材2の表面に積層さ
れた第1溶融押出層5aおよび第1保護フィルム4a
と、耐熱性基材2の裏面に積層されたアンカー層3、第
2溶融押出層5bおよび第2保護フィルム4bとからな
っている。
【0014】次に各構成部分の材料について詳述する。
【0015】使用に供される耐熱性基材2としては、た
とえば延伸ナイロン(ONy)フィルム、塩化ビニリデ
ン膜付延伸ナイロン(KON)フィルム、ポリエチレン
テレフタレート(PET)フィルム、塩化ビニリデン膜
付ポリエチレンテレフタレート(KPET)フィルム、
エチレン・酢酸ビニルけん化物(EVOH)フィルム、
ポリ塩化ビニリデン(PVDC)フィルム、アルミニウ
ム箔、無機酸化物蒸着PETフィルム、アルミ蒸着PE
Tフィルム等のフィルム単体及びこれらのフィルムを複
数ドライラミネートで貼合したものなどが好適なものと
して挙げられる。これらのなかでも、ONyフィルム、
PETフィルムは特に好ましい。
【0016】この耐熱性基材2の厚さは、耐熱性基材2
の特性、被包装体の種類等により相違するので、一様に
決定することは困難であるが、一般的には、10〜30
μm程度であることが好ましい。
【0017】また第1および第2保護フィルム4a,4
bの材質としては、剥離時に裂けたり破れが発生しない
かぎり特に材質を選ばず、単層のフィルムや必要であれ
ばドライラミネートや樹脂溶融押出ラミネートにより貼
合した複合フィルムを使用することが出来る。しかしな
がら、剥離後の廃棄性を考慮して、単一の材質であるこ
とが望ましく、保護フィルム4a,4bとして、例えば
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタ
レート、ナイロン等が挙げられる。
【0018】第2保護フィルム4bは包装袋の内面側に
位置しており、剥離後の第2溶融押出層5bの表面7が
平滑にならないように、第2保護フィルム4bとして
は、表面6が中心線平均粗さRa=0.2μm以上、好
ましくはRa=0.5μm以上の表面粗さをもつフィル
ムが使用される(図3)。
【0019】また、第1および第2保護フィルム4a,
4bとしては、界面への添加物の移行等による汚染を防
ぐため、極力添加物の少ない樹脂からなるフィルムが使
用される。
【0020】第1および第2溶融押出層5a,5bは溶
融樹脂を押出して形成される。第1および第2溶融押出
層5a,5bの材料は、第1および第2保護フィルム4
a,4b、耐熱性基材2の組合せにより相違するので一
様に決定することはできないが、第2保護フィルム4b
の剥離後、第2溶融押出層5bが包装袋の内面となるの
で、少なくとも第2溶融押出層5bは添加物の入ってい
ない樹脂が好ましく、また、ヒートシール性を有するこ
とが必須である。第1および第2溶融押出層5a,5b
として、例えば無添加グレードの低密度ポリエチレンが
挙げられる。
【0021】包装袋の内面となる側の第2溶融押出層
(ヒートシール層)5bの厚みは内容物等により相違す
るが、一般に20〜100μm、好ましくは30〜80
μmとなっている。第2溶融押出層5bのみでこの厚み
を形成することが困難な場合には、耐熱基材の第2溶融
押出樹脂層を設ける側に、第2溶融押出層5bと同じ樹
脂から成るフィルムをドライラミネート或いは樹脂溶融
押出ラミネートにより貼合しておくことが好ましい。こ
の第2溶融押出層5bは、一対のクリーンフィルムを重
ねて包装袋を作成する際、ヒートシール層として機能す
る。
【0022】アンカーコート層3は耐熱性基材2と溶融
押出層5bとの界面の接着を完全にするため、直接樹脂
を溶融押出するだけでは十分な接着が得られない場合に
設けられる。このアンカーコート層3は耐熱性基材2に
アンカーコート剤を塗布することにより形成することが
できる。ここでアンカーコート剤としては、たとえばポ
リエチレンイミン系、チタネート系、ウレタン系、イソ
シアネート系等のアンカーコート剤が挙げられる。アン
カーコート層を形成する場合、その厚さは、通常、0.
3〜3μm程度であり、好ましくは、0.5〜1.5μ
m程度である。
【0023】次に包装用クリーンフィルムの製造方法に
ついて説明する。まず耐熱性基材2の裏面側にアンカー
コート剤を塗布してアンカーコート層3を形成する。次
に、耐熱性基材2の表面側およびアンカーコート層3
に、溶融樹脂を押し出して第1および第2溶融押出層5
a,5bを形成すると同時に、第1および第2溶融押出
層5a,5b上に第1および第2保護フィルム4a,4
bを積層する。
【0024】この場合、耐熱性基材2と第1溶融押出層
5aとの間の界面を仮接着し、第1溶融押出層5aと第
1保護フィルム4aとの間の界面を完全接着する。また
耐熱性基材2のアンカーコート層3と第2溶融押出層5
bとの間の界面を完全接着し、第2溶融押出層5bと第
2保護フィルム4bとの間を仮接着する。
【0025】このように包装袋の内面となる側の第2保
護フィルム4bを積層する際には、第2溶融押出層5b
をヒートシール層とするため、耐熱性基材2と第2溶融
押出層5bをアンカーコート層3を介して完全に接着
し、第2溶融押出層5bと第2保護フィルム4bを仮接
着する。
【0026】なお包装袋の外面となる側については、耐
熱性基材2と第1溶融押出層5aとの間の界面を仮接着
した例を示したが、耐熱性基材2と第1溶融押出層5a
との間をアンカーコート層を介して完全に接着し、第1
溶融押出層5aと第1保護フィルム4aとを仮接着して
もよい。この場合は第1保護フィルム4aと第1溶融押
出層5aとの間が剥離界面となる。
【0027】このようにして図1に示すような包装用ク
リーンフィルム1が得られる。
【0028】図1に示すクリーンフィルム1の第2保護
フィルム4bと第2溶融押出層5bとの剥離界面はクリ
ーンフィルム製造直後から密封され直接外気に触れるこ
とがなく、したがって、製造時から使用に供されるまで
の間にホコリ、チリと等が付着することがない。また、
第2保護フィルム4bの第2溶融押出層5b側表面に付
着していた小量のホコリ、チリは、第2溶融押出層5b
が流動状態であるうちにその中に取り込まれるので、冷
却固化したのちには表面に飛散することがない。
【0029】同様に第1溶融押出層5aと耐熱性基材2
との剥離界面も表面からのホコリ、チリの飛散がなく、
清浄な面となる。
【0030】すなわち、図2に示すように、クリーンフ
ィルム1の最外層の第1保護フィルム4aと、第2溶融
押出層5a及び第2保護フィルム4bを剥離除去するこ
とにより、ホコリ、チリの付着・飛散が防止された清浄
面が出現することになる。このため例えば半導体製品等
の高いクリーン度が要求される被包装体の包装材料に好
適に用いることが可能である。
【0031】さらに、図3に示すように、剥離により得
られる第2溶融押出層5bの表面粗度は、第2保護フィ
ルム4bの表面が転写されるため粗くなる。このため第
2溶融押出層5bを内面とする一対のクリーンフィルム
1を重ね合せて包装袋を作成した時に、袋内面同士の密
着がなく、口開きが良好な包装袋が得られる。
【0032】具体例 次に、本発明の具体例を示す。
【0033】(具体例1)厚さ15μmの延伸ナイロン
(ONy)フィルム(三菱化成製 サントニールSN
W)と酸化硅素蒸着ポリエステル(SiOxVM PE
T)フィルム(三菱化成:テックバリアH)をウレタン
系2液硬化型接着剤(武田薬品:A515/A50)を
用いて蒸着面をサンドするようにドライラミネートによ
り貼合したフィルムを耐熱性基材2とし、このPET面
側にアンカーコート無しで、低密度ポリエチレン(LD
PE)樹脂(三井石油化学M−11P)を押し出して第
1溶融押出層5aを形成すると同時に、中密度ポリエチ
レン(MDPE)フィルム(大日本樹脂(株)製MP
A)を積層して第1保護フィルム4aを形成した。
【0034】次いで、この積層フィルムのONy面にウ
レタン系アンカーコート剤(東洋モートン製 ADCO
AT506X/CAT10)を塗布して、厚さ1.0μ
mのアンカーコート(AC)層3を形成した。
【0035】次に、このAC層上にLDPE樹脂(三井
石油化学M−11P)を押し出し、MDPEフィルム
(大日本樹脂(株)製MPA)を積層した。さらにこの
MDPEフィルム上にLDPE樹脂(第2溶融樹脂層)
(三井石油化学M−11P)を押し出し、粗面を有する
ポリプロピレン(CPP)フィルム(大日本樹脂(株)
製CPP−M)を積層した。このようにして以下の構成
となる包装用クリーンフィルム1を作成した。この場
合、AC層上のLDPE樹脂とMDPEフィルムとはヒ
ートシール層の厚みを出すためのものであり、LDPE
樹脂は第2溶融押出層5bとなる。またポリプロピレン
フィルムは第2保護フィルム4bとなる。
【0036】MDPE50μ/LDPE20μ/SiO
x VM PET 12μ/接着剤/ONy15μ/A
C/LDPE20μ/MDPE30μ/LDPE20μ
/CPP50μ 次いで、この包装用クリーンフィルム1の第1保護フィ
ルム4aおよび第1溶融押出層5aであるMDPE/L
DPEと、第2保護フィルム4bであるCPPを剥離除
去し、これにより露出した基材2である延伸ナイロンフ
ィルムと、第2溶融押出層5bである低密度ポリエチレ
ン樹脂層表面の付着粒子数を測定した。結果を表1に示
す。
【0037】なお、表面の付着粒子数は次のようにして
測定した。 付着粒子数;試料フィルムをフィルターを通して無塵と
した純水中で洗浄し、その純水中に遊離した粒径0.5
μm以上の数を液中パーティクルカウンター(リオン社
製)にて測定し、1m2 当たりに換算した。
【0038】また、第2保護フィルム4bであるCPP
を剥離除去した後のクリーンフィルム1について、第2
保護フィルム4b側の面が内面となるようにして3方シ
ール平パウチを作成し、口開き性を評価した。
【0039】(比較例1)厚さ15μmの延伸ナイロン
(ONy)フィルム(三菱化成製 サントニールSN
W)と酸化硅素蒸着ポリエステル(SiOxVM PE
T)フィルム(三菱化成:テックバリアH)をウレタン
系2液硬化型接着剤(武田薬品:A515/A50)を
用いて蒸着面をサンドするようにドライラミネートによ
り貼合したフィルムを耐熱性基材2とし、このONy面
にウレタン系アンカーコート剤(東洋モートン製 AD
COAT506X/CAT10)を塗布して、厚さ1.
0μmのアンカーコート(AC)層3を形成した。
【0040】次に、このAC層3上にLDPE樹脂(三
井石油化学M−11P)を押し出し、MDPEフィルム
(大日本樹脂(株)製MPA)を積層し、さらにこのM
DPEフィルム上にLDPE樹脂(三井石油化学M−1
1P)を押し出して、以下の構成となる包装用クリーン
フィルム1を作成した。この場合、LDPE樹脂とMD
PEフィルムとLDPE樹脂とによりヒートシール層が
形成される。この包装用クリーンフィルム1について前
記具体例と同様にして延伸ナイロンフィルム及び低密度
ポリエチレンフィルムの表面の付着粒子数を測定した。
【0041】SiOx VM PET 12μ/ONy
15μ/AC/LDPE20μ/MDPE30μ/LD
PE20μ (比較例2)前記具体例1において、包装袋の内面側の
第2保護フィルム4bとなるCPPフィルムの表面が平
滑なフィルム(東洋紡績(株)製 P1011)である
ことを除けば、具体例1と同じ方法にて、以下の構成と
なる包装用クリーンフィルム1を作成した。
【0042】MDPE50μ/LDPE20μ/SiO
x VM PET 12μ/接着剤/ONy15μ/A
C/LDPE20μ/MDPE30μ/LDPE20μ
/CPP50μ さらに、次に包装用クリーンフィルム1からMDPE/
LDPEおよびCPPを剥離除去し、このクリーンフィ
ルムのCPP側面が内面となるようにして3方シール平
パウチを作成し、口開き性を評価した。
【0043】
【表1】 (結果の検討)表1から明らかなように、具体例1で作
成された包装用クリーンフィルム1は比較例1で作成さ
れた包装用クリーンフィルムに比べて露出面の付着粒子
数が著しく少ないことがわかる。これより、本発明によ
れば、露出面のクリーン度が優れた包装用クリーンフィ
ルムが得られることが確認された。
【0044】また、表1から包装袋の内面側の第2保護
フィルムとして表面粗度が粗いフィルムを使用した具体
例1の場合、袋の内面同士の密着もなく容易に袋の口を
開くことができる。一方、表面が平滑な第2保護フィル
ムを使用した比較例2の場合、袋の内面同士が密着し袋
の口を開くことが困難であった。これより、本発明によ
れば包装袋を作成した際に口開き性に優れる包装用クリ
ーンフィルム1が得られることが確認された。
【0045】(具体例2)他の具体例として、次のよう
な構成の包装用クリーンフィルムを用いてもよい。
【0046】すなわち包装用クリーンフィルムを、外面
に位置する2軸延伸ポリエステルフィルム(PET)と
LDPEフィルムとからなる第1保護フィルム4aと、
LDPEからなる第1溶融押出層5aと、2軸延伸ナイ
ロンフィルム(ONy)/酸化珪素蒸着ポリエステルフ
ィルム(SiOx VMPET)からなる耐熱性基材2
と、アンカーコート層3と、LDPEからなる第2溶融
押出層5bと、内面に位置するCPPフィルムからなる
第2保護フィルム4bとを積層して構成してもよい。
【0047】包装用クリーンフィルムの層構成は、外面
から順に次のとおりとなる。PET16μ/LDPE4
0μ/PE押出20μ/ONy15μ/SiOxVMP
ET12μ/アンカーコート/PE押出60μ/CPP
50μ。
【0048】すなわち、本具体例の場合、第1保護フィ
ルム4aおよび耐熱性基材2は、いずれも多層構造とな
る。
【0049】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によればホ
コリ、チリ等の付着がない包装用クリーンフィルムを効
率良く得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による包装用クリーンフィルムの層構成
を示す断面図。
【図2】図1に示す包装用クリーンフィルムにおいて第
1および第2保護フィルムを剥離した状態を示す図。
【図3】第2溶融押出層および第2保護フィルムの粗面
を示す図。
【符号の説明】
1 包装用クリーンフィルム 2 耐熱性基材 3 アンカーコート層 4a,4b 第1および第2保護フィルム 5a,5b 第1および第2溶融押出層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // B29L 9:00

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】耐熱性基材と、 この耐熱性基材の表裏両面に各々積層された第1および
    第2溶融押出層と、 第1および第2溶融押出層に各々積層された第1および
    第2保護フィルムと、 を備えたことを特徴とする包装用クリーンフィルム。
  2. 【請求項2】耐熱性基材と第2溶融押出層との間にアン
    カーコート層を介在させ、第2溶融押出層と第2保護フ
    ィルムとの間を剥離自在としたことを特徴とする請求項
    1記載の包装用クリーンフィルム。
  3. 【請求項3】耐熱性基材の表裏両面に第1および第2保
    護フィルムを配置する工程と、 耐熱性基材の表裏両面に押し出された溶融樹脂を介して
    第1および第2保護フィルムを積層する工程と、 を備えたことを特徴とする包装用クリーンフィルムの製
    造方法。
  4. 【請求項4】耐熱性基材に第1および第2保護フィルム
    を積層する前に、耐熱性基材の裏面にアンカーコート剤
    を塗布する工程を更に備えたことを特徴とする請求項3
    記載の包装用クリーンフィルムの製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002187188A (ja) * 2000-12-21 2002-07-02 Toppan Printing Co Ltd クリーンフイルム及び包装袋
JP2021030610A (ja) * 2019-08-27 2021-03-01 凸版印刷株式会社 積層フィルム

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