JPH07206138A - 搬送チェン洗浄装置 - Google Patents
搬送チェン洗浄装置Info
- Publication number
- JPH07206138A JPH07206138A JP470194A JP470194A JPH07206138A JP H07206138 A JPH07206138 A JP H07206138A JP 470194 A JP470194 A JP 470194A JP 470194 A JP470194 A JP 470194A JP H07206138 A JPH07206138 A JP H07206138A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chain
- cleaning
- ascending
- descending
- cleaning liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板搬送チェンのチェン本体を含む全体を洗
浄できるとともに、基板搬送チェンに付着した洗浄液を
強制除去できるようにする。 【構成】 フラックス塗布ラインにてチェンガイド14内
で移動される無端状の基板搬送チェン11を、チェンガイ
ド14から下方へ引出して下降チェン部11a を形成する。
この下降チェン部11a から上昇チェン部11b を上方へ折
返してチェンガイド14内へ引込む。下降チェン部11a か
ら上昇チェン部11b への折返し部分の下側に洗浄槽21を
設ける。下降チェン部11a に対して洗浄液の供給を受け
る洗浄ブラシ26を設け、上昇チェン部11b に対してエア
を噴出するエアノズル27を設ける。そして、洗浄ブラシ
26により搬送チェンを洗浄し、上昇チェン部11b にてエ
アノズル27から噴出されるエアにより搬送チェンに付着
している洗浄液を液切りし、乾燥する。
浄できるとともに、基板搬送チェンに付着した洗浄液を
強制除去できるようにする。 【構成】 フラックス塗布ラインにてチェンガイド14内
で移動される無端状の基板搬送チェン11を、チェンガイ
ド14から下方へ引出して下降チェン部11a を形成する。
この下降チェン部11a から上昇チェン部11b を上方へ折
返してチェンガイド14内へ引込む。下降チェン部11a か
ら上昇チェン部11b への折返し部分の下側に洗浄槽21を
設ける。下降チェン部11a に対して洗浄液の供給を受け
る洗浄ブラシ26を設け、上昇チェン部11b に対してエア
を噴出するエアノズル27を設ける。そして、洗浄ブラシ
26により搬送チェンを洗浄し、上昇チェン部11b にてエ
アノズル27から噴出されるエアにより搬送チェンに付着
している洗浄液を液切りし、乾燥する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フラックス塗布ライン
に使用される基板搬送チェンの洗浄装置に関するもので
ある。
に使用される基板搬送チェンの洗浄装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、定期的に作業者が装置停止時の搬
送チェンを洗浄液（溶剤）を含ませた洗浄ブラシにより
洗浄し、フラックス塗布ラインに使用される基板搬送チ
ェンのフラックス汚れを落としている。
送チェンを洗浄液（溶剤）を含ませた洗浄ブラシにより
洗浄し、フラックス塗布ラインに使用される基板搬送チ
ェンのフラックス汚れを落としている。
【０００３】また、図３に示されるように無端状に構成
された一対の基板搬送チェン１を平行に配設することに
よりフラックス塗布ラインの基板搬送コンベヤを形成し
ているので、このフラックス塗布ラインの運転時に洗浄
液の供給を受ける洗浄ブラシ２を基板搬送チェン１の戻
り側（下側）に配置し、移動中の基板搬送チェン１から
突出された基板搬送ピンに洗浄ブラシ２を当て、基板搬
送ピンに付着したフラックス汚れを落とす搬送チェン洗
浄装置がある。
された一対の基板搬送チェン１を平行に配設することに
よりフラックス塗布ラインの基板搬送コンベヤを形成し
ているので、このフラックス塗布ラインの運転時に洗浄
液の供給を受ける洗浄ブラシ２を基板搬送チェン１の戻
り側（下側）に配置し、移動中の基板搬送チェン１から
突出された基板搬送ピンに洗浄ブラシ２を当て、基板搬
送ピンに付着したフラックス汚れを落とす搬送チェン洗
浄装置がある。
【０００４】この搬送チェン洗浄装置は、前記洗浄ブラ
シ２の下側に洗浄槽３を設け、この洗浄槽３内から洗浄
液タンク４に回収された洗浄液をポンプ５によりホース
６を経て洗浄ブラシ２に供給しながら、この洗浄ブラシ
２により移動中の基板搬送チェン１から突出された基板
搬送ピンを洗浄するようにしている。
シ２の下側に洗浄槽３を設け、この洗浄槽３内から洗浄
液タンク４に回収された洗浄液をポンプ５によりホース
６を経て洗浄ブラシ２に供給しながら、この洗浄ブラシ
２により移動中の基板搬送チェン１から突出された基板
搬送ピンを洗浄するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】基板搬送チェン１は、
チェン案内用のチェンガイド７内にて移動されるチェン
本体から基板搬送ピンのみが突出されているため、この
チェンガイド７内から突出された基板搬送ピンのみを洗
浄ブラシ２により洗浄せざるを得ず、チェンガイド７内
にあるチェン本体を含む搬送チェン全体を洗浄すること
はできない。
チェン案内用のチェンガイド７内にて移動されるチェン
本体から基板搬送ピンのみが突出されているため、この
チェンガイド７内から突出された基板搬送ピンのみを洗
浄ブラシ２により洗浄せざるを得ず、チェンガイド７内
にあるチェン本体を含む搬送チェン全体を洗浄すること
はできない。
【０００６】また、前記チェンガイド７の存在とともに
水平に設けられたチェン形態からも、基板搬送チェン１
に付着した洗浄液をエア吹付け等により強制除去する手
段が採用しにくいため、搬送チェン１に付着した洗浄液
が基板にも付着し、これがフラックス塗布不良の原因と
もなっている。また、搬送チェンの洗浄液を自然乾燥せ
ざるを得ないので、その分、フラックス塗布ラインが長
くなる。
水平に設けられたチェン形態からも、基板搬送チェン１
に付着した洗浄液をエア吹付け等により強制除去する手
段が採用しにくいため、搬送チェン１に付着した洗浄液
が基板にも付着し、これがフラックス塗布不良の原因と
もなっている。また、搬送チェンの洗浄液を自然乾燥せ
ざるを得ないので、その分、フラックス塗布ラインが長
くなる。
【０００７】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、基板搬送チェンのチェン本体を含む全体を洗浄で
きるとともに、基板搬送チェンに付着した洗浄液を強制
除去できるようにすることを目的とするものである。
ので、基板搬送チェンのチェン本体を含む全体を洗浄で
きるとともに、基板搬送チェンに付着した洗浄液を強制
除去できるようにすることを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、フラックス塗布ラインにてチェンガイド内で移動さ
れる無端状の基板搬送チェンを洗浄液にて洗浄する搬送
チェン洗浄装置において、搬送チェンをチェンガイドか
ら下方へ引出して形成した下降チェン部と、この下降チ
ェン部から上方へ折返してチェンガイド内へ引込んだ上
昇チェン部と、下降チェン部から上昇チェン部への折返
し部分の下側に設けた洗浄槽とを具備した構成の搬送チ
ェン洗浄装置である。
は、フラックス塗布ラインにてチェンガイド内で移動さ
れる無端状の基板搬送チェンを洗浄液にて洗浄する搬送
チェン洗浄装置において、搬送チェンをチェンガイドか
ら下方へ引出して形成した下降チェン部と、この下降チ
ェン部から上方へ折返してチェンガイド内へ引込んだ上
昇チェン部と、下降チェン部から上昇チェン部への折返
し部分の下側に設けた洗浄槽とを具備した構成の搬送チ
ェン洗浄装置である。
【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１記載の
搬送チェン洗浄装置において、下降チェン部に対して洗
浄液の供給を受ける洗浄部を設け、上昇チェン部に対し
てエアを噴出するエアノズルを設けた構成である。
搬送チェン洗浄装置において、下降チェン部に対して洗
浄液の供給を受ける洗浄部を設け、上昇チェン部に対し
てエアを噴出するエアノズルを設けた構成である。
【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２記載の搬送チェン洗浄装置において、下降チェン部か
ら上昇チェン部への折返し部分が、洗浄槽内に貯溜され
た洗浄液に浸漬された構成である。
２記載の搬送チェン洗浄装置において、下降チェン部か
ら上昇チェン部への折返し部分が、洗浄槽内に貯溜され
た洗浄液に浸漬された構成である。
【００１１】
【作用】請求項１に記載の発明は、フラックス塗布ライ
ンのチェンガイド内から引出された下降チェン部および
上昇チェン部にて搬送チェンの洗浄、乾燥を行う。
ンのチェンガイド内から引出された下降チェン部および
上昇チェン部にて搬送チェンの洗浄、乾燥を行う。
【００１２】請求項２に記載の発明は、下降チェン部に
て洗浄液の供給を受ける洗浄部により搬送チェンを洗浄
し、上昇チェン部にてエアノズルから噴出されるエアに
より搬送チェンに付着している洗浄液を液切りし乾燥す
る。
て洗浄液の供給を受ける洗浄部により搬送チェンを洗浄
し、上昇チェン部にてエアノズルから噴出されるエアに
より搬送チェンに付着している洗浄液を液切りし乾燥す
る。
【００１３】請求項３に記載の発明は、下降チェン部か
ら上昇チェン部への折返し部分を洗浄槽内の洗浄液に浸
漬して搬送チェンを洗浄する。
ら上昇チェン部への折返し部分を洗浄槽内の洗浄液に浸
漬して搬送チェンを洗浄する。
【００１４】
【実施例】以下、本発明を図１に示される一実施例、図
２に示される他の実施例を参照して詳細に説明する。
２に示される他の実施例を参照して詳細に説明する。
【００１５】図１は、請求項１および請求項２に記載さ
れた発明に係る搬送チェン洗浄装置であり、一対の基板
搬送チェン11（図１では片側のみの無端チェンを示す）
をそれぞれ両端に位置するスプロケット12，13に無端状
かつ平行に巻掛け、この各搬送チェン11の上側直線部を
チェンガイド14により摺動自在に案内してフラックス塗
布ラインを構成する。
れた発明に係る搬送チェン洗浄装置であり、一対の基板
搬送チェン11（図１では片側のみの無端チェンを示す）
をそれぞれ両端に位置するスプロケット12，13に無端状
かつ平行に巻掛け、この各搬送チェン11の上側直線部を
チェンガイド14により摺動自在に案内してフラックス塗
布ラインを構成する。
【００１６】基板搬送チェン11の下側直線部は、その大
部分がチェンガイド14により摺動自在に案内されている
が、そのチェンガイド14の途中よりスプロケット15を経
て搬送チェン11を下方へ引出し、下降チェン部11a を形
成する。
部分がチェンガイド14により摺動自在に案内されている
が、そのチェンガイド14の途中よりスプロケット15を経
て搬送チェン11を下方へ引出し、下降チェン部11a を形
成する。
【００１７】この下降チェン部11a から下端に位置する
スプロケット17を経て上方へ折返した搬送チェンを、ス
プロケット18によりチェンガイド14内へ引込むことによ
り、上昇チェン部11b を形成する。
スプロケット17を経て上方へ折返した搬送チェンを、ス
プロケット18によりチェンガイド14内へ引込むことによ
り、上昇チェン部11b を形成する。
【００１８】下降チェン部11a および上昇チェン部11b
は洗浄ラインを構成し、下降チェン部11a から上昇チェ
ン部11b への折返し部分の下側に洗浄槽21を設ける。こ
の洗浄槽21は、底部に洗浄液流出口22を有し、この洗浄
液流出口22を洗浄液タンク23に連通し、この洗浄液タン
ク23内にポンプ24の吸込口を挿入し、このポンプ24の吐
出口に洗浄液供給管25を接続する。
は洗浄ラインを構成し、下降チェン部11a から上昇チェ
ン部11b への折返し部分の下側に洗浄槽21を設ける。こ
の洗浄槽21は、底部に洗浄液流出口22を有し、この洗浄
液流出口22を洗浄液タンク23に連通し、この洗浄液タン
ク23内にポンプ24の吸込口を挿入し、このポンプ24の吐
出口に洗浄液供給管25を接続する。
【００１９】前記下降チェン部11a には、前記洗浄液供
給管25より洗浄液の供給を受ける洗浄部としての一対の
洗浄ブラシ26を、この下降チェン部11a を両側から挟む
形で設ける。
給管25より洗浄液の供給を受ける洗浄部としての一対の
洗浄ブラシ26を、この下降チェン部11a を両側から挟む
形で設ける。
【００２０】前記上昇チェン部11b には、この上昇チェ
ン部11b の移動方向に対向するようにエアを斜め下方へ
噴出する複数のエアノズル27を、上昇チェン部11b の両
側に交互に配置し、この各エアノズル27に対しコンプレ
ッサ等の空圧源28から圧縮空気を供給する。
ン部11b の移動方向に対向するようにエアを斜め下方へ
噴出する複数のエアノズル27を、上昇チェン部11b の両
側に交互に配置し、この各エアノズル27に対しコンプレ
ッサ等の空圧源28から圧縮空気を供給する。
【００２１】次に、この図１に示された実施例の作用を
説明すると、フラックス塗布ラインのチェンガイド14内
から引出された下降チェン部11a にて、洗浄液Ｌの供給
を受ける洗浄ブラシ26を搬送チェン11のチェン本体およ
び基板搬送ピン部の全体に当て、この洗浄ブラシ26で搬
送チェン全体をこするようにして洗浄する。
説明すると、フラックス塗布ラインのチェンガイド14内
から引出された下降チェン部11a にて、洗浄液Ｌの供給
を受ける洗浄ブラシ26を搬送チェン11のチェン本体およ
び基板搬送ピン部の全体に当て、この洗浄ブラシ26で搬
送チェン全体をこするようにして洗浄する。
【００２２】さらに、上昇チェン部11b にてエアノズル
27からチェン移送方向と対向して噴出されるエアによ
り、搬送チェンに付着している洗浄液を吹飛ばして液切
りするとともに、エア吹付けにより強制的に乾燥する。
27からチェン移送方向と対向して噴出されるエアによ
り、搬送チェンに付着している洗浄液を吹飛ばして液切
りするとともに、エア吹付けにより強制的に乾燥する。
【００２３】なお、エアノズル27への空気配管中にヒー
タを設けるなどして、エアノズル27から熱風を噴出させ
ると、搬送チェンの洗浄液をより効果的に乾燥できる。
タを設けるなどして、エアノズル27から熱風を噴出させ
ると、搬送チェンの洗浄液をより効果的に乾燥できる。
【００２４】図２は、請求項３に記載された発明に係る
搬送チェン洗浄装置であり、図１に示された実施例とほ
ぼ同様の構成であるから、同一部分は同一符号を付して
その説明を省略するが、洗浄槽21の比較的上部に洗浄液
Ｌをオーバーフローさせるオーバーフロー流出口29が設
けられているため、洗浄槽21内に一定深さの洗浄液Ｌが
貯溜される。
搬送チェン洗浄装置であり、図１に示された実施例とほ
ぼ同様の構成であるから、同一部分は同一符号を付して
その説明を省略するが、洗浄槽21の比較的上部に洗浄液
Ｌをオーバーフローさせるオーバーフロー流出口29が設
けられているため、洗浄槽21内に一定深さの洗浄液Ｌが
貯溜される。
【００２５】このため、下降チェン部11a から上昇チェ
ン部11b への折返し部分が、洗浄槽21内に貯溜された洗
浄液Ｌに完全に浸漬された構成となっている。
ン部11b への折返し部分が、洗浄槽21内に貯溜された洗
浄液Ｌに完全に浸漬された構成となっている。
【００２６】そして、搬送チェン11の汚れがひどい時に
は、このように洗浄槽21内に洗浄液Ｌを溜め、下降チェ
ン部11a から上昇チェン部11b への折返し部分を洗浄槽
21内の洗浄液Ｌに浸漬して、この洗浄液Ｌの中で洗浄ブ
ラシ26により搬送チェン11を洗浄する。
は、このように洗浄槽21内に洗浄液Ｌを溜め、下降チェ
ン部11a から上昇チェン部11b への折返し部分を洗浄槽
21内の洗浄液Ｌに浸漬して、この洗浄液Ｌの中で洗浄ブ
ラシ26により搬送チェン11を洗浄する。
【００２７】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、搬送チ
ェンをチェンガイドから下方へ引出して洗浄するように
したから、基板が接触する搬送ピン部分だけでなく、チ
ェンガイド内から完全に解放されたチェン本体を含む搬
送チェン全体を洗浄でき、チェン本体のフラックス汚れ
にも対応できる。また、下降チェン部および上昇チェン
部からなる洗浄ラインを下方に引出したので、フラック
ス塗布ラインの全長を短くでき、洗浄槽内への搬送チェ
ンの引込みおよび浸漬を容易に行え、洗浄槽が小さくて
も洗浄槽からの洗浄液の持出しが少なくてすむ等の効果
がある。
ェンをチェンガイドから下方へ引出して洗浄するように
したから、基板が接触する搬送ピン部分だけでなく、チ
ェンガイド内から完全に解放されたチェン本体を含む搬
送チェン全体を洗浄でき、チェン本体のフラックス汚れ
にも対応できる。また、下降チェン部および上昇チェン
部からなる洗浄ラインを下方に引出したので、フラック
ス塗布ラインの全長を短くでき、洗浄槽内への搬送チェ
ンの引込みおよび浸漬を容易に行え、洗浄槽が小さくて
も洗浄槽からの洗浄液の持出しが少なくてすむ等の効果
がある。
【００２８】請求項２に記載の発明によれば、下降チェ
ン部に対して洗浄液の供給を受ける洗浄部が設けられ、
上昇チェン部に対してエアを噴出するエアノズルが設け
られたから、搬送チェンの洗浄液をエア吹付けにより液
切りするとともに強制的に乾燥でき、搬送チェンから基
板への洗浄液の付着を防止できる。また、搬送チェンの
乾燥時間を短縮でき、下降チェン部および上昇チェン部
の搬送長さも短くすることができる。
ン部に対して洗浄液の供給を受ける洗浄部が設けられ、
上昇チェン部に対してエアを噴出するエアノズルが設け
られたから、搬送チェンの洗浄液をエア吹付けにより液
切りするとともに強制的に乾燥でき、搬送チェンから基
板への洗浄液の付着を防止できる。また、搬送チェンの
乾燥時間を短縮でき、下降チェン部および上昇チェン部
の搬送長さも短くすることができる。
【００２９】請求項３に記載の発明によれば、下降チェ
ン部から上昇チェン部への折返し部分が洗浄槽内の洗浄
液に浸漬されたから、搬送チェンの汚れが特にひどい時
は、搬送チェンを洗浄槽内の洗浄液中に浸漬しながら効
果的に洗浄できる。
ン部から上昇チェン部への折返し部分が洗浄槽内の洗浄
液に浸漬されたから、搬送チェンの汚れが特にひどい時
は、搬送チェンを洗浄槽内の洗浄液中に浸漬しながら効
果的に洗浄できる。
【図１】本発明の搬送チェン洗浄装置の一実施例を示す
概要図である。
概要図である。
【図２】同上搬送チェン洗浄装置の他の実施例を示す概
要図である。
要図である。
【図３】従来の搬送チェン洗浄装置を示す概要図であ
る。
る。
11 搬送チェン 11a 下降チェン部 11b 上昇チェン部 14 チェンガイド 21 洗浄槽 26 洗浄部としての洗浄ブラシ 27 エアノズル Ｌ 洗浄液
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 45/24 9245−3Ｆ
Claims (3)
- 【請求項１】 フラックス塗布ラインにてチェンガイド
内で移動される無端状の基板搬送チェンを洗浄液にて洗
浄する搬送チェン洗浄装置において、 搬送チェンをチェンガイドから下方へ引出して形成した
下降チェン部と、 この下降チェン部から上方へ折返してチェンガイド内へ
引込んだ上昇チェン部と、 下降チェン部から上昇チェン部への折返し部分の下側に
設けた洗浄槽とを具備したことを特徴とする搬送チェン
洗浄装置。 - 【請求項２】 下降チェン部に対して洗浄液の供給を受
ける洗浄部を設け、上昇チェン部に対してエアを噴出す
るエアノズルを設けたことを特徴とする請求項１記載の
搬送チェン洗浄装置。 - 【請求項３】 下降チェン部から上昇チェン部への折返
し部分が、洗浄槽内に貯溜された洗浄液に浸漬されたこ
とを特徴とする請求項１または２記載の搬送チェン洗浄
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP470194A JPH07206138A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | 搬送チェン洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP470194A JPH07206138A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | 搬送チェン洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07206138A true JPH07206138A (ja) | 1995-08-08 |
Family
ID=11591194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP470194A Pending JPH07206138A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | 搬送チェン洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07206138A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007109841A (ja) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | Yokota Technica:Kk | リフロー半田付け装置の洗浄方法及びリフロー半田付け装置 |
| CN104003145A (zh) * | 2014-04-30 | 2014-08-27 | 楚天科技股份有限公司 | 一种进出料设备及其轨道清洁方法 |
| CN108543731A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-09-18 | 舒润潭 | 一种施工机械传动链条清洁设备 |
| CN112374036A (zh) * | 2020-12-02 | 2021-02-19 | 淮北合众机械设备有限公司 | 一种带式输送机自动纠偏托辊 |
| KR20230037186A (ko) * | 2021-09-09 | 2023-03-16 | 주식회사 한진기공 | 벨트컨베이어의 습식 벨트세정장치 |
-
1994
- 1994-01-20 JP JP470194A patent/JPH07206138A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007109841A (ja) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | Yokota Technica:Kk | リフロー半田付け装置の洗浄方法及びリフロー半田付け装置 |
| CN104003145A (zh) * | 2014-04-30 | 2014-08-27 | 楚天科技股份有限公司 | 一种进出料设备及其轨道清洁方法 |
| CN108543731A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-09-18 | 舒润潭 | 一种施工机械传动链条清洁设备 |
| CN108543731B (zh) * | 2018-03-30 | 2021-02-26 | 鲁首佳(山东)工业设计有限公司 | 一种施工机械传动链条清洁设备 |
| CN112374036A (zh) * | 2020-12-02 | 2021-02-19 | 淮北合众机械设备有限公司 | 一种带式输送机自动纠偏托辊 |
| CN112374036B (zh) * | 2020-12-02 | 2022-02-01 | 淮北合众机械设备有限公司 | 一种带式输送机自动纠偏托辊 |
| KR20230037186A (ko) * | 2021-09-09 | 2023-03-16 | 주식회사 한진기공 | 벨트컨베이어의 습식 벨트세정장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4579268B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH10189528A (ja) | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | |
| JPH07206138A (ja) | 搬送チェン洗浄装置 | |
| US5072478A (en) | Vertical blind cleaning machine | |
| JP2874659B2 (ja) | 基板表面処理装置 | |
| JP2000016566A (ja) | 移動体の洗浄設備 | |
| JP3436785B2 (ja) | 基板の洗浄装置 | |
| JPH10175515A (ja) | 車両洗浄装置 | |
| JP3826966B2 (ja) | シート状物の洗浄装置とシート状物の洗浄方法 | |
| JP2005144430A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2003209337A (ja) | 印刷配線板用現像装置の洗浄方法 | |
| JP2988828B2 (ja) | 基板の液切り乾燥装置 | |
| JP3766968B2 (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
| JPH04153355A (ja) | 長尺被染物用洗浄装置 | |
| JP4261424B2 (ja) | 函の処理装置 | |
| JP4541684B2 (ja) | 電池缶洗浄装置 | |
| JPH06339336A (ja) | 魚体の鱗取り方法 | |
| JPH02310989A (ja) | プリント基板の洗浄方法およびその装置 | |
| JPH03176096A (ja) | メタルの洗滌方法及び装置 | |
| JPH09122425A (ja) | フィルタの洗浄装置 | |
| JP3108711B1 (ja) | メダル洗浄装置 | |
| KR101973267B1 (ko) | 매거진 세정 장치 | |
| JPH10295973A (ja) | マット洗浄装置 | |
| JPH06261637A (ja) | 苗箱洗浄機における消毒装置 | |
| JP3661316B2 (ja) | 上下階連絡タイプの洗びん機 |