JPH07201639A - 積層電子部品の製造方法 - Google Patents
積層電子部品の製造方法Info
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- JPH07201639A JPH07201639A JP35218893A JP35218893A JPH07201639A JP H07201639 A JPH07201639 A JP H07201639A JP 35218893 A JP35218893 A JP 35218893A JP 35218893 A JP35218893 A JP 35218893A JP H07201639 A JPH07201639 A JP H07201639A
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- green sheet
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C10/00—Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition
- C03C10/0036—Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition containing SiO2, Al2O3 and a divalent metal oxide as main constituents
- C03C10/0045—Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition containing SiO2, Al2O3 and a divalent metal oxide as main constituents containing SiO2, Al2O3 and MgO as main constituents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 キャリアフィルム上に形成された金属パター
ン膜をセラミックグリーンシートとともに剥離させる工
程において、大きなプレス設備を必要とせず、設備の動
作速度を低下させることなしに、内部電極の厚みに起因
する段差のない積層電子部品を効率よく製造することを
可能にする。 【構成】 表面に所定の金属パターン膜１が形成された
キャリアフィルム２上にセラミックグリーンシート３を
形成した積層シート４を、ローラ５ａ，５ｂにより押圧
した後、金属パターン膜１とともにセラミックグリーン
シート３をキャリアフィルム２から剥離して積層するこ
とにより、内部の所定の位置に金属パターン膜１が埋設
された積層体６を形成する。
ン膜をセラミックグリーンシートとともに剥離させる工
程において、大きなプレス設備を必要とせず、設備の動
作速度を低下させることなしに、内部電極の厚みに起因
する段差のない積層電子部品を効率よく製造することを
可能にする。 【構成】 表面に所定の金属パターン膜１が形成された
キャリアフィルム２上にセラミックグリーンシート３を
形成した積層シート４を、ローラ５ａ，５ｂにより押圧
した後、金属パターン膜１とともにセラミックグリーン
シート３をキャリアフィルム２から剥離して積層するこ
とにより、内部の所定の位置に金属パターン膜１が埋設
された積層体６を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、セラミック中に内部
電極が埋設された構造を有する積層電子部品の製造方法
に関する。
電極が埋設された構造を有する積層電子部品の製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】積層セ
ラミックコンデンサなどの積層電子部品においては、内
部電極とセラミック層の積層数が多くなると、内部電極
の厚みにより、内部電極のある部分とそうでない部分と
の間に無視できない段差が生じるという問題点がある。
ラミックコンデンサなどの積層電子部品においては、内
部電極とセラミック層の積層数が多くなると、内部電極
の厚みにより、内部電極のある部分とそうでない部分と
の間に無視できない段差が生じるという問題点がある。
【０００３】この問題点を解決するために、キャリアフ
ィルム上に、スパッタリング法などの薄膜形成方法によ
り形成された内部電極となる金属パターン膜の上にセラ
ミックグリーンシートを形成し、その後セラミックグリ
ーンシートを金属パターン膜とともにキャリアフィルム
から剥離させた後、これを積層することにより内部の所
定の位置に内部電極が配設された段差のない積層体を形
成する方法がある。
ィルム上に、スパッタリング法などの薄膜形成方法によ
り形成された内部電極となる金属パターン膜の上にセラ
ミックグリーンシートを形成し、その後セラミックグリ
ーンシートを金属パターン膜とともにキャリアフィルム
から剥離させた後、これを積層することにより内部の所
定の位置に内部電極が配設された段差のない積層体を形
成する方法がある。
【０００４】しかし、この方法においては、薄膜形成方
法により金属パターン膜を形成しているので、金属パタ
ーン膜のキャリアフィルムへの接着力が大きく、容易に
剥離させることができない場合があった。
法により金属パターン膜を形成しているので、金属パタ
ーン膜のキャリアフィルムへの接着力が大きく、容易に
剥離させることができない場合があった。
【０００５】さらに、加工サイズが大きくなると、剥離
させることがさらに困難になるという問題点がある。
させることがさらに困難になるという問題点がある。
【０００６】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、キャリアフィルム上に形成された金属パターン膜
をセラミックグリーンシートとともに剥離させる工程に
おいて、大きな設備を必要とせず、設備の動作速度を低
下させたりすることなしに、内部電極の厚みに起因する
段差のない積層電子部品を効率よく製造することが可能
な積層電子部品の製造方法を提供することを目的とす
る。
あり、キャリアフィルム上に形成された金属パターン膜
をセラミックグリーンシートとともに剥離させる工程に
おいて、大きな設備を必要とせず、設備の動作速度を低
下させたりすることなしに、内部電極の厚みに起因する
段差のない積層電子部品を効率よく製造することが可能
な積層電子部品の製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の積層電子部品の製造方法は、セラミック
中に内部電極が埋設された構造を有する積層電子部品の
製造方法において、表面に所定の金属パターン膜が形成
されたキャリアフィルム上にセラミックグリーンシート
を形成した積層シートをローラにより押圧した後、セラ
ミックグリーンシートを金属パターン膜とともにキャリ
アフィルムから剥離させ、これを積層することにより、
内部の所定の位置に金属パターン膜が埋設された積層体
を形成する工程を含むことを特徴とする。
に、この発明の積層電子部品の製造方法は、セラミック
中に内部電極が埋設された構造を有する積層電子部品の
製造方法において、表面に所定の金属パターン膜が形成
されたキャリアフィルム上にセラミックグリーンシート
を形成した積層シートをローラにより押圧した後、セラ
ミックグリーンシートを金属パターン膜とともにキャリ
アフィルムから剥離させ、これを積層することにより、
内部の所定の位置に金属パターン膜が埋設された積層体
を形成する工程を含むことを特徴とする。
【０００８】
【作用】表面に所定の金属パターン膜が形成されたキャ
リアフィルム上にセラミックグリーンシートを形成した
積層シートをローラにより押圧すると、ローラと積層シ
ートの位置関係が変化して行く過程で、ローラによりキ
ャリアフィルム上の金属パターン膜がしごかれ、金属パ
ターン膜とキャリアフィルムとの接着力が低下する。
リアフィルム上にセラミックグリーンシートを形成した
積層シートをローラにより押圧すると、ローラと積層シ
ートの位置関係が変化して行く過程で、ローラによりキ
ャリアフィルム上の金属パターン膜がしごかれ、金属パ
ターン膜とキャリアフィルムとの接着力が低下する。
【０００９】したがって、キャリアフィルムからグリー
ンシートを剥離させる際に、容易に金属パターン膜をも
剥離させることが可能になる。
ンシートを剥離させる際に、容易に金属パターン膜をも
剥離させることが可能になる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の実施例を示して、その特徴
とするところをさらに詳しく説明する。なお、この実施
例では、積層セラミックコンデンサの製造方法を例にと
って説明する。
とするところをさらに詳しく説明する。なお、この実施
例では、積層セラミックコンデンサの製造方法を例にと
って説明する。
【００１１】まず、キャリアフィルム上に、例えばス
パッタリング法、蒸着法などの薄膜形成方法により金属
薄膜を形成した後、フォトエッチング法により、積層セ
ラミックコンデンサの内部電極となる所定のパターンを
有する金属パターン膜を形成した。 それから、図１に示すように、金属パターン膜１が形
成されたキャリアフィルム２上に、ドクターブレード法
によりセラミックグリーンシート３を形成し、乾燥し
た。 次いで、図２に示すように、このキャリアフィルム２
とセラミックグリーンシート３からなる積層シート４
を、常温で、２つのローラ５ａ，５ｂ間に通すことによ
り、キャリアフィルム２上の金属パターン膜１にしごき
効果を与える。 それから、金属パターン膜１とともに剥離されたセラ
ミックグリーンシート３を複数枚積層して圧着すること
により、図３に示すように、内部の所定の位置に金属パ
ターン膜１が埋設された積層体６を形成し、これをカッ
トして、個々のコンデンサ素子（図示せず）を切り出
し、焼成した後、内部電極と導通する外部電極を付与す
ることにより積層セラミックコンデンサを得た。
パッタリング法、蒸着法などの薄膜形成方法により金属
薄膜を形成した後、フォトエッチング法により、積層セ
ラミックコンデンサの内部電極となる所定のパターンを
有する金属パターン膜を形成した。 それから、図１に示すように、金属パターン膜１が形
成されたキャリアフィルム２上に、ドクターブレード法
によりセラミックグリーンシート３を形成し、乾燥し
た。 次いで、図２に示すように、このキャリアフィルム２
とセラミックグリーンシート３からなる積層シート４
を、常温で、２つのローラ５ａ，５ｂ間に通すことによ
り、キャリアフィルム２上の金属パターン膜１にしごき
効果を与える。 それから、金属パターン膜１とともに剥離されたセラ
ミックグリーンシート３を複数枚積層して圧着すること
により、図３に示すように、内部の所定の位置に金属パ
ターン膜１が埋設された積層体６を形成し、これをカッ
トして、個々のコンデンサ素子（図示せず）を切り出
し、焼成した後、内部電極と導通する外部電極を付与す
ることにより積層セラミックコンデンサを得た。
【００１２】このような積層セラミックコンデンサを得
るにあたって、セラミックグリーンシート３と金属パタ
ーン膜１とをキャリアフィルム２から剥離させる手段と
して吸引チャックを用い、この吸引チャックをセラミッ
クグリーンシート３に当接させて剥離させた場合、実験
によれば、約４０ｋｇ／cm2の力で確実に剥離させるこ
とができた。これに対し、従来のしごき効果を与えてい
ないものでは、約１２０ｋｇ／cm2と約３倍の力で剥離
させないと不良率が一挙に増大することが確認された。
るにあたって、セラミックグリーンシート３と金属パタ
ーン膜１とをキャリアフィルム２から剥離させる手段と
して吸引チャックを用い、この吸引チャックをセラミッ
クグリーンシート３に当接させて剥離させた場合、実験
によれば、約４０ｋｇ／cm2の力で確実に剥離させるこ
とができた。これに対し、従来のしごき効果を与えてい
ないものでは、約１２０ｋｇ／cm2と約３倍の力で剥離
させないと不良率が一挙に増大することが確認された。
【００１３】このように、剥離性が向上したのは、金属
パターン膜が形成されたキャリアフィルム上にセラミッ
クグリーンシートを積層した積層シートをローラにより
押圧して金属パターン膜にしごき効果を与えることによ
り、金属パターン膜とキャリアフィルムとの接着力が低
下したことによるものと考えられる。
パターン膜が形成されたキャリアフィルム上にセラミッ
クグリーンシートを積層した積層シートをローラにより
押圧して金属パターン膜にしごき効果を与えることによ
り、金属パターン膜とキャリアフィルムとの接着力が低
下したことによるものと考えられる。
【００１４】なお、上記実施例では、キャリアフィルム
２とセラミックグリーンシート３からなる積層シート４
を、２つのローラ５ａ，５ｂ間に通した場合について説
明したが、この発明の積層電子部品の製造方法において
は、使用するローラの数や配設位置などに関して特別の
制約はなく、２つ以上のローラを用いて押圧することも
可能である。
２とセラミックグリーンシート３からなる積層シート４
を、２つのローラ５ａ，５ｂ間に通した場合について説
明したが、この発明の積層電子部品の製造方法において
は、使用するローラの数や配設位置などに関して特別の
制約はなく、２つ以上のローラを用いて押圧することも
可能である。
【００１５】また、この発明の積層電子部品の製造方法
においては、例えば、図４に示すように、テーブル７上
に載置された積層シート４を、矢印Ａの方向に移動する
ローラ５ｃにより押圧するように構成することも可能で
あり、また、この場合に、ローラ５ｃを移動させずにテ
ーブル７を矢印Ｂの方向に移動させて積層シート４をロ
ーラ５ｃにより押圧するように構成することも可能であ
る。
においては、例えば、図４に示すように、テーブル７上
に載置された積層シート４を、矢印Ａの方向に移動する
ローラ５ｃにより押圧するように構成することも可能で
あり、また、この場合に、ローラ５ｃを移動させずにテ
ーブル７を矢印Ｂの方向に移動させて積層シート４をロ
ーラ５ｃにより押圧するように構成することも可能であ
る。
【００１６】さらに、上記実施例では、積層セラミック
コンデンサの製造方法を例にとって説明したが、この発
明は積層セラミックコンデンサの製造方法に限られるも
のではなく、ＬＣ複合部品、インダクタ、多層基板な
ど、内部電極が埋設された構造を有する種々の積層電子
部品の製造方法にも適用することが可能であり、その場
合にも上記実施例と同様の効果を得ることが可能であ
る。
コンデンサの製造方法を例にとって説明したが、この発
明は積層セラミックコンデンサの製造方法に限られるも
のではなく、ＬＣ複合部品、インダクタ、多層基板な
ど、内部電極が埋設された構造を有する種々の積層電子
部品の製造方法にも適用することが可能であり、その場
合にも上記実施例と同様の効果を得ることが可能であ
る。
【００１７】また、上記実施例では、キャリアフィルム
上にスパッタリング法や蒸着法などの薄膜形成方法によ
り形成した金属パターン膜をセラミックグリーンシート
とともに剥離させるようにした場合について説明した
が、この発明は、導電ペーストを塗布することにより形
成した金属パターン膜をセラミックグリーンシートとと
もに剥離させるようにした積層電子部品の製造方法にも
適用することが可能である。
上にスパッタリング法や蒸着法などの薄膜形成方法によ
り形成した金属パターン膜をセラミックグリーンシート
とともに剥離させるようにした場合について説明した
が、この発明は、導電ペーストを塗布することにより形
成した金属パターン膜をセラミックグリーンシートとと
もに剥離させるようにした積層電子部品の製造方法にも
適用することが可能である。
【００１８】また、セラミックグリーンシートを吸引チ
ャックなどで真空吸着して取り出し、所定の枚数だけ積
層する工程を含む積層電子部品の製造方法においては、
通常の真空吸着の方法により、スパッタリング法や蒸着
法などの薄膜形成方法によってキャリアフィルム状に形
成された金属パターン膜を確実に剥離させて取り出すこ
とは困難であるが、そのような場合に、この発明の方法
を適用することにより、確実に金属パターン膜をセラミ
ックグリーンシートとともに剥離させることができる。
ャックなどで真空吸着して取り出し、所定の枚数だけ積
層する工程を含む積層電子部品の製造方法においては、
通常の真空吸着の方法により、スパッタリング法や蒸着
法などの薄膜形成方法によってキャリアフィルム状に形
成された金属パターン膜を確実に剥離させて取り出すこ
とは困難であるが、そのような場合に、この発明の方法
を適用することにより、確実に金属パターン膜をセラミ
ックグリーンシートとともに剥離させることができる。
【００１９】したがって、この発明は、セラミックグリ
ーンシートを真空吸着して取り出し、これを積層する工
程を含む積層電子部品の製造方法に適用した場合に特に
有意義である。さらに、この発明は、セラミックグリー
ンシートを個々の、あるいは所定の個数の積層電子部品
用にカットした後、これを真空吸着するようにした製造
方法にも適用することが可能である。なお、その場合の
真空吸着時の温度や真空度あるいは真空吸着ヘッドの構
造やセラミックグリーンシートへの押圧力などについて
も特別の制約はない。
ーンシートを真空吸着して取り出し、これを積層する工
程を含む積層電子部品の製造方法に適用した場合に特に
有意義である。さらに、この発明は、セラミックグリー
ンシートを個々の、あるいは所定の個数の積層電子部品
用にカットした後、これを真空吸着するようにした製造
方法にも適用することが可能である。なお、その場合の
真空吸着時の温度や真空度あるいは真空吸着ヘッドの構
造やセラミックグリーンシートへの押圧力などについて
も特別の制約はない。
【００２０】この発明の積層電子部品の製造方法は、さ
らにその他の点においても上記実施例に限定されるもの
ではなく、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、
変形を加えることができる。
らにその他の点においても上記実施例に限定されるもの
ではなく、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、
変形を加えることができる。
【００２１】
【発明の効果】上述のように、この発明の積層電子部品
の製造方法は、表面に所定の金属パターン膜が形成され
たキャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを形
成した積層シートをローラにより押圧した後、セラミッ
クグリーンシートを金属パターン膜とともにキャリアフ
ィルムから剥離させ、これを積層することにより、内部
の所定の位置に金属パターン膜が埋設された積層体を形
成するようにしているので、キャリアフィルム上に薄膜
形成方法などにより形成された金属パターン膜を容易か
つ確実に剥離させることが可能になる。
の製造方法は、表面に所定の金属パターン膜が形成され
たキャリアフィルム上にセラミックグリーンシートを形
成した積層シートをローラにより押圧した後、セラミッ
クグリーンシートを金属パターン膜とともにキャリアフ
ィルムから剥離させ、これを積層することにより、内部
の所定の位置に金属パターン膜が埋設された積層体を形
成するようにしているので、キャリアフィルム上に薄膜
形成方法などにより形成された金属パターン膜を容易か
つ確実に剥離させることが可能になる。
【００２２】したがって、設備の動作速度を低下させる
ことなく、内部電極の厚みに起因する段差のない積層電
子部品を効率よく製造することが可能になる。
ことなく、内部電極の厚みに起因する段差のない積層電
子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００２３】また、この発明では、積層シートをローラ
により押圧するようにしているので、押圧工程におい
て、同時にセラミックグリーンシートも押圧される結果
となり、仮にセラミックグリーンシート中にピンホール
が存在するような場合にも、ピンホールが押し潰され
る。したがって、ショート不良などのセラミックグリー
ンシートの欠陥を減少させて製品の信頼性を向上させる
ことが可能になる。
により押圧するようにしているので、押圧工程におい
て、同時にセラミックグリーンシートも押圧される結果
となり、仮にセラミックグリーンシート中にピンホール
が存在するような場合にも、ピンホールが押し潰され
る。したがって、ショート不良などのセラミックグリー
ンシートの欠陥を減少させて製品の信頼性を向上させる
ことが可能になる。
【００２４】さらに、セラミックグリーンシートを取り
出して積層する工程で、真空吸着による取出・積層方法
を使用することが可能になり、生産性を向上させること
ができる。
出して積層する工程で、真空吸着による取出・積層方法
を使用することが可能になり、生産性を向上させること
ができる。
【図１】この発明の積層電子部品の製造方法の一実施例
において形成された積層シートを示す図である。
において形成された積層シートを示す図である。
【図２】この発明の積層電子部品の製造方法の一実施例
において積層シートをローラにより押圧している状態を
示す図である。
において積層シートをローラにより押圧している状態を
示す図である。
【図３】この発明の積層電子部品の製造方法の一実施例
において形成された積層体を示す断面図である。
において形成された積層体を示す断面図である。
【図４】この発明の他の実施例を示す図である。
１ 金属パターン膜 ２ キャリアフィルム ３ セラミックグリーンシート ４ 積層シート ５ａ，５ｂ，５ｃ ローラ ６ 積層体
Claims (1)
- 【請求項１】 セラミック中に内部電極が埋設された構
造を有する積層電子部品の製造方法において、 表面に所定の金属パターン膜が形成されたキャリアフィ
ルム上にセラミックグリーンシートを形成した積層シー
トをローラにより押圧した後、セラミックグリーンシー
トを金属パターン膜とともにキャリアフィルムから剥離
させ、これを積層することにより、内部の所定の位置に
金属パターン膜が埋設された積層体を形成する工程を含
むことを特徴とする積層電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35218893A JPH07201639A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 積層電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35218893A JPH07201639A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 積層電子部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07201639A true JPH07201639A (ja) | 1995-08-04 |
Family
ID=18422390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35218893A Withdrawn JPH07201639A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 積層電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07201639A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10051388B4 (de) * | 1999-10-18 | 2009-02-12 | Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo-shi | Verfahren zur Herstellung einer keramischen Grünfolie und Verfahren zur Herstellung eines keramischen Vielschichtbauelements |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP35218893A patent/JPH07201639A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10051388B4 (de) * | 1999-10-18 | 2009-02-12 | Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo-shi | Verfahren zur Herstellung einer keramischen Grünfolie und Verfahren zur Herstellung eines keramischen Vielschichtbauelements |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |