JP3549009B2 - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
積層セラミック電子部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3549009B2 JP3549009B2 JP27379495A JP27379495A JP3549009B2 JP 3549009 B2 JP3549009 B2 JP 3549009B2 JP 27379495 A JP27379495 A JP 27379495A JP 27379495 A JP27379495 A JP 27379495A JP 3549009 B2 JP3549009 B2 JP 3549009B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic green
- green sheet
- ceramic
- carrier film
- peeling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、積層セラミック電子部品の製造方法に関するもので、特に、積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体を構成するセラミックグリーンシートがキャリアフィルム上で成形され、このキャリアフィルムからセラミックグリーンシートを剥離する工程を備える、積層セラミック電子部品の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
たとえば積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を製造するとき、複数のセラミックグリーンシートが用意され、これらセラミックグリーンシートを積み重ねて、セラミック積層体が製造される。所定のセラミックグリーンシート上には、得ようとする積層セラミック電子部品の機能に応じて、コンデンサ、抵抗、インダクタ、バリスタ、フィルタ等を構成するための内部電極のような電気的機能要素膜が形成されている。
【0003】
このような積層セラミック電子部品において、その小型化および高性能化を実現するため、セラミックグリーンシートの薄膜化および多層化が進められている。セラミックグリーンシートの薄膜化にあたっては、セラミックグリーンシートが機械的に軟弱であることを考慮しなければならず、その破損を防止するため、セラミックグリーンシートは、キャリアフィルム上で成形され、このキャリアフィルムによって保持されたままの状態で、内部電極のような電気的機能要素膜の印刷等の以後の工程が実施されることがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、薄膜化され軟弱なセラミックグリーンシートは、キャリアフィルムによって保持されたままの状態でいくつかの工程において取り扱われるが、積み重ねてセラミック積層体を得る段階では、キャリアフィルムから剥離されなければならない。当然、この剥離工程においても、セラミックグリーンシートは、破損される可能性があり、たとえば剥離が順調に進まなかった場合には、セラミックグリーンシートが破損されてしまう。
【0005】
上述の剥離を容易にするため、セラミックグリーンシート中に含まれる可塑剤が寄与していることがわかっている。すなわち、可塑剤が多く含まれているほど、容易に剥離されることができる。しかしながら、他方では、可塑剤が多くなればなるほど、セラミック積層体を構成する複数のセラミックグリーンシート間の接着強度が低下することがわかった。
【0006】
セラミックグリーンシート間の接着強度が劣ると、次のような問題を引き起こす。
すなわち、セラミックグリーンシートを積み重ねている段階あるいは積み重ね後に積層体をプレスする段階において、セラミックグリーンシート相互にずれが生じやすく、高い積み重ね精度を得ることができない。
【0007】
また、セラミック積層体は、個々の積層セラミック電子部品のための積層体チップを得るように、必要に応じて、カットされるが、このカット後において、積層体チップを構成するセラミック層間に剥がれが認められることがある。なぜなら、プレス工程において、比較的多くの内部電極のような電気的機能要素膜が重なり合う部分ではプレス作用が十分に及ぼされるが、そうでない部分ではプレス作用が十分でなく、この後者の部分で剥がれが生じやすいためである。特に、この剥がれの問題は、セラミック層の多層化が図られたとき、より顕著に現れる。
【0008】
そこで、この発明の目的は、上述した種々の問題を解決し得る、積層セラミック電子部品の製造方法を提供しようとすることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明は、キャリアフィルム上でセラミックグリーンシートを成形し、キャリアフィルムからセラミックグリーンシートを剥離し、剥離された複数のセラミックグリーンシートを積み重ねて、積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体を得る、各工程を備える、積層セラミック電子部品の製造方法に向けられるものであって、上述の技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
【0010】
すなわち、前記剥離工程は、セラミックグリーンシートを真空吸引に基づき吸引する吸着面およびこの吸着面の周囲から突出する切断刃を備える吸着ヘッドを用いて実施され、この剥離工程において、ヒータが設けられた搬送ステージに沿って吸着ヘッドの下方の位置まで搬送されたキャリアフィルム上のセラミックグリーンシートに向かって前記吸着面を近づけ、前記切断刃によりセラミックグリーンシートを所定の大きさに切断し、切断されたセラミックグリーンシートを前記吸着面上に吸着しながらキャリアフィルムから遠ざけることによりキャリアフィルムから剥離することが行なわれる。そして、この剥離工程において、上述のヒータによって、30℃以上かつセラミックグリーンシート中のバインダのガラス転移点以下の温度にセラミックグリーンシートが加熱される。また、上述の積み重ねる工程は、剥離されたセラミックグリーンシートを吸着ヘッドの動作に従って搬送し、搬送ステージとは別の積み重ねステージ上で積み重ねるように実施される。
【0011】
【発明の効果】
この発明によれば、剥離工程において、30℃以上かつセラミックグリーンシート中のバインダのガラス転移点以下の温度にセラミックグリーンシートが加熱されるので、セラミックグリーンシートに含まれるバインダに可塑性をもたせることができ、その分、セラミックグリーンシートに含有されるべき可塑剤の量を減らしても、キャリアフィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を容易に行なうことができる。
【0012】
また、上述のように剥離の容易性を保証しながら、可塑剤の量を減らすことができるので、積み重ねられたセラミックグリーンシート相互間の接着強度を増すことができる。
その結果、セラミックグリーンシートを積み重ねている段階あるいは積み重ね後に積層体をプレスする段階において、セラミックグリーンシート相互にずれが生じにくくなり、高い積み重ね精度を得ることができるようになる。したがって、内部電極のような電気的機能要素膜の位置に対する精度も向上し、また、セラミック積層体から個々の積層セラミック電子部品のための積層体チップを得るときに実施されるカット工程での精度も向上する。そのため、製造の歩留りが増すばかりでなく、積層体チップの内部にある電気的機能要素膜とカット面との間のギャップ寸法を小さくすることができ、たとえば積層セラミックコンデンサにあっては、製品面積あたりの取得静電容量を増すことができる。
【0013】
また、セラミック積層体をカットして得られた積層体チップにおいて、セラミック層間の剥がれが生じにくくなる。そのため、セラミック層の多層化を図り、積層セラミック電子部品の小型化および高性能化を実現することが容易になる。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の一実施形態による積層セラミック電子部品の製造方法に含まれる剥離工程および積み重ね工程を実施している状態を示す図解的断面図である。
図1には、キャリアフィルム1上に保持されたセラミックグリーンシート2が図示されている。このセラミックグリーンシート2は、キャリアフィルム1上で、たとえばドクターブレード法により成形されたものである。セラミックグリーンシート2上には、図示しないが、内部電極のような電気的機能要素膜が形成される。
【0015】
上述したセラミックグリーンシート2は、キャリアフィルム1によって保持されたまま、搬送ステージ3に沿って、吸着ヘッド4の下方の位置まで搬送される。吸着ヘッド4は、セラミックグリーンシート2を真空吸引に基づき吸着する吸着面5を備える。吸着面5には、概略的に図示するように、負圧を与える複数の吸引穴6が設けられている。また、吸着ヘッド4には、吸着面5の周囲から突出する切断刃7が設けられている。
【0016】
吸着ヘッド4は、矢印8、9および10で示す方向に順次往復動作する。すなわち、矢印8で示す方向における下方への動作に従って、キャリアフィルム1上のセラミックグリーンシート2に向かって吸着面5が近づけられ、切断刃7によりセラミックグリーンシート2が所定の大きさに切断される。そして、矢印8で示す方向における上方への動作に従って、切断されたセラミックグリーンシート2は、吸着面5上に吸着されながらキャリアフィルム1から遠ざけられることにより、キャリアフィルム1から剥離される。
【0017】
剥離されたセラミックグリーンシート2は、吸着面5上に吸着されたまま、吸着ヘッド4の矢印9で示す方向における図による右方への動作に従って、積み重ねステージ11の上方の位置まで搬送される。次いで、吸着ヘッド4の矢印10で示す方向における下方への動作の終端において、搬送されて来たセラミックグリーンシート2が、積み重ねステージ11上で、順次積み重ねられる。
【0018】
このように、積み重ねステージ11へのセラミックグリーンシート2の供給を終えた吸着ヘッド4は、逆に、矢印10で示す方向における上方への動作および矢印9で示す方向における左方への動作を経て、図1に示した位置まで戻り、以後、上述した動作を繰り返す。
この図1に示した装置において、剥離工程にあるセラミックグリーンシート2を加熱するため、想像線で示すように、搬送ステージ3における吸着ヘッド4に対向する部分には、ヒータ12が内蔵される。このヒータ12は、30℃以上であってセラミックグリーンシート2中のバインダのガラス転移点以下の温度にセラミックグリーンシート2を加熱するように制御される。
【0019】
なお、上述のヒータ12は、搬送ステージ3および吸着ヘッド4の双方の側に設けられてもよい。
このようにして、剥離工程がセラミックグリーンシート2を所定の温度に加熱した状態で実施されることにより、セラミックグリーンシート2に含まれるバインダに可塑性をもたせることができ、その分、セラミックグリーンシート2に含有されるべき可塑剤の量を減らしても、キャリアフィルム1からのセラミックグリーンシート2の剥離を容易に行なうことができる。また、剥離の容易性を保証しながら、セラミックグリーンシート2中の可塑剤の量を減らすことができるので、積み重ねステージ11上で積み重ねられたセラミックグリーンシート2相互間の接着強度を増すことができる。
【0020】
次に、この発明の効果を確認するため実施した実験例について記載する。
この実験例では、積層セラミックコンデンサのためのセラミック積層体が、図1に示すような剥離および積み重ね工程を経て製造された。ここにおいて用いられたセラミックグリーンシートは、チタン酸バリウム系のセラミック粉末およびポリビニルブチラール系の樹脂(ガラス転移点=62℃)からなるバインダを含むセラミックスラリをキャリアフィルム上で成形して得られたもので、ここに添加される可塑剤の含有量を種々に変えることによって、種々の試料を得た。
【0021】
これらの試料のうち、常温でのセラミックグリーンシートの引っ張り試験における破断伸びが、3%、5%、8%、12%、15%、19%、24%となったものを選び、それぞれ、試料1、2、3、4、5、6、7とした。なお、この破断伸びが大きいほど、セラミックグリーンシートの可塑性が多い。これら試料1〜7の各々について、図1に示したヒータ12によるセラミックグリーンシート2の加熱温度を種々に変え、剥離工程での剥離安定性、積み重ねかつプレス後の内部電極の積層精度、およびカットされた積層体チップにおけるセラミック層間の剥がれの有無を評価した。
【0022】
これらの結果が、以下の表1、表2および表3にそれぞれ示されている。なお、表1では、剥離工程で剥離ミスが生じた試料の割合が百分率で示され、表2では、内部電極のずれの平均値が示され、表3では、セラミック層間の剥がれが生じた試料の割合が百分率で示されている。
【0023】
【表1】
【0024】
【表2】
【0025】
【表3】
【0026】
表1からわかるように、常温での破断伸びがより小さい試料ほど、常温ないし比較的低温の加熱温度下における剥離で多くミスが生じているが、これら常温での破断伸びがより小さい試料の方が、加熱温度が高くなるほど、剥離ミスが生じていない。このように剥離ミスが生じなかった試料についてのみ、表2に示した内部電極の積層精度および表3に示したセラミック層間の剥がれが評価されている。これら表2および表3からわかるように、常温での破断伸びが比較的小さい試料において、加熱温度を、30℃、40℃、50℃、60℃というように、より高くすることにより、内部電極の積層精度およびセラミック層の剥がれ防止の点でより改善されている。なお、バインダのガラス転移点である62℃を超える加熱温度を適用した場合には、剥離ミスおよび積層精度の低下を招く傾向があり、好ましくない。
【0027】
この発明は、積層セラミックコンデンサのようにコンデンサとして機能するものに限らず、抵抗、インダクタ、バリスタ、フィルタ等として機能する積層セラミック電子部品にも、これら機能素子が複合された積層セラミック電子部品にも適用することができる。したがって、セラミック積層体の内部に形成される電気的機能要素膜は、積層セラミックコンデンサの場合には内部電極であったが、電気的機能要素膜としては、種々の態様が考えられる。たとえば、電気的機能要素膜は、内部電極のような良好な導電性を有する膜である以外に、たとえば比較的大きな電気抵抗性あるいは他の電気的特性を有する膜であることもある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態による積層セラミック電子部品の製造方法に含まれる剥離工程および積み重ね工程を実施している状態を示す図解的断面図である。
【符号の説明】
1 キャリアフィルム
2 セラミックグリーンシート
3 搬送ステージ
4 吸着ヘッド
5 吸着面
7 切断刃
11 積み重ねステージ
12 ヒータ
Claims (1)
- キャリアフィルム上でセラミックグリーンシートを成形し、
前記キャリアフィルムから前記セラミックグリーンシートを剥離し、
剥離された複数の前記セラミックグリーンシートを積み重ねて、積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体を得る、
各工程を備える、積層セラミック電子部品の製造方法において、
前記剥離工程は、前記セラミックグリーンシートを真空吸引に基づき吸引する吸着面および前記吸着面の周囲から突出する切断刃を備える吸着ヘッドを用い、ヒータが設けられた搬送ステージに沿って前記吸着ヘッドの下方の位置まで搬送された前記キャリアフィルム上の前記セラミックグリーンシートに向かって前記吸着面を近づけ、前記切断刃により前記セラミックグリーンシートを所定の大きさに切断し、切断された前記セラミックグリーンシートを前記吸着面上に吸着しながら前記キャリアフィルムから遠ざけることにより前記キャリアフィルムから剥離する、各工程を備え、
前記剥離工程は、前記ヒータによって、30℃以上かつ前記セラミックグリーンシート中のバインダのガラス転移点以下の温度に前記セラミックグリーンシートを加熱した状態で実施されることを特徴とするとともに、
前記積み重ねる工程は、剥離された前記セラミックグリーンシートを前記吸着ヘッドの動作に従って搬送し、前記搬送ステージとは別の積み重ねステージ上で積み重ねるように実施されることを特徴とする、積層セラミック電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27379495A JP3549009B2 (ja) | 1995-10-23 | 1995-10-23 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27379495A JP3549009B2 (ja) | 1995-10-23 | 1995-10-23 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09115765A JPH09115765A (ja) | 1997-05-02 |
JP3549009B2 true JP3549009B2 (ja) | 2004-08-04 |
Family
ID=17532679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27379495A Expired - Lifetime JP3549009B2 (ja) | 1995-10-23 | 1995-10-23 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3549009B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4543447B2 (ja) * | 1999-04-13 | 2010-09-15 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
JP3506086B2 (ja) * | 2000-01-17 | 2004-03-15 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
JP6943231B2 (ja) * | 2018-10-02 | 2021-09-29 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造装置および製造方法 |
JP2022113194A (ja) * | 2021-01-25 | 2022-08-04 | Teem株式会社 | セラミックグリーンシートの積層方法及び積層装置 |
KR102363046B1 (ko) * | 2021-08-18 | 2022-02-15 | 주식회사 21세기 | 펨토초 레이저를 이용한 박막시트 적층용 상부금형의 마이크로 홀 가공방법 |
-
1995
- 1995-10-23 JP JP27379495A patent/JP3549009B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09115765A (ja) | 1997-05-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2002170736A (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
JPH0562860A (ja) | 積層電子部品の製造方法 | |
JP3549009B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
WO2003036667A1 (fr) | Procede de fabrication de composant electronique en ceramique multicouche | |
JP3740991B2 (ja) | グリーンシート積層装置、グリーンシートの積層方法及び積層セラミック電子部品の製造方法 | |
WO2004095479A1 (ja) | 積層電子部品用の積層体ユニットの製造方法 | |
JP4508342B2 (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
JP3489445B2 (ja) | 積層体の製造方法及び積層体の製造装置 | |
JP3460620B2 (ja) | セラミック積層電子部品の製造方法 | |
JP2000243650A (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
JP3506086B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP3417376B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法および製造装置 | |
JP2970238B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
JPH06231996A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JPH071428A (ja) | 積層セラミック部品の製造方法とその装置 | |
JP4696410B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JPH0536568A (ja) | 積層セラミツク電子部品の製造方法 | |
JP2006324606A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造装置および製造方法 | |
JP3367184B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP4134729B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP3954792B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP3789170B2 (ja) | セラミックグリーンシート裁断積層方法 | |
JP2001217140A (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
WO2024070607A1 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法および積層セラミック電子部品 | |
JP3625401B2 (ja) | 積層インダクタ素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040304 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040413 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090430 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090430 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100430 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110430 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110430 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120430 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140430 Year of fee payment: 10 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |