JPH07161973A - トランジスタ回路 - Google Patents

トランジスタ回路

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JPH07161973A
JPH07161973A JP5302820A JP30282093A JPH07161973A JP H07161973 A JPH07161973 A JP H07161973A JP 5302820 A JP5302820 A JP 5302820A JP 30282093 A JP30282093 A JP 30282093A JP H07161973 A JPH07161973 A JP H07161973A
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宏 茂原
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Abstract

(57)【要約】 【目的】バックゲート・オープンMOSトランジスタの
アバランシェ降伏電圧制御。 【構成】バックゲートがオープン状態のMOSトランジ
スタと、このトランジスタのフロントゲートの印加電圧
を制御する制御手段とを具備し、前記MOSトランジス
タのドレイン、バックゲート、ソースで形成される寄生
バイポーラトランジスタのアバランシェ降伏電圧を、前
記制御手段で制御することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、MOSトランジスタの
ドレイン・ソース間降伏電圧を制御可能としたトランジ
スタ回路に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、バイポーラ・トランジスタにお
いて、ベースをオープン状態にして、コレクタ・エミッ
タ間電圧を印加していくと、ある電圧でアバランシェ降
伏が起こり、コレクタ、エミッタ端子間に大電流が流れ
ることが知られている。これは、コレクタ・エミッタ間
の暗電流がベース領域での電子なだれ現象を引き起こ
し、過大な電流となって流れるのである。これは、例え
ば A.S.Groveの“Phisicsand Technology of Semicondu
ctor Devices ”(John Wiley and Sons,Inc.1976)の231
-233 頁に記載されている。
【0003】従来は、上記アバランシェ降伏が生じるメ
カニズムは知られていたものの、このアバランシェ降伏
電圧は、ベースの不純物濃度などのデバイス構造によっ
て決まるので、一旦デバイス構造を決めてしまうと、降
伏電圧の変更ができないという問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記実情に
鑑みてなされたもので、上記デバイス構造を決めた後で
も、電気的にアバランシェ降伏電圧を制御することがで
きるトランジスタ回路を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段と作用】本発明は、バック
ゲートがオープン状態のMOSトランジスタと、このト
ランジスタのフロントゲートの印加電圧を制御する制御
手段とを具備し、前記MOSトランジスタのドレイン、
バックゲート、ソースで形成される寄生バイポーラトラ
ンジスタのアバランシェ降伏電圧を、前記制御手段で制
御することを特徴とする。
【0006】すなわち本発明らは、MOSトランジスタ
のソース、バックゲート(基板)、ドレインで形成され
る寄生のバイポーラトランジスタのアバランシェ降伏電
圧は、上記MOSトランジスタのゲート電圧を変化させ
ると、制御可能であるという事実を見出だしたことによ
りなされた。つまり、アバランシェ降伏電圧が調整でき
ると、上記MOSトランジスタのアバランシェ降伏を生
じないようにもできるし、アバランシェ降伏が早期に生
じるようにもできるし、アバランシェ降伏がなるべく遅
く生じるようにもできるなど、アバランシェ降伏電圧を
所望の値になるように適宜の調整ができるようになり、
用途範囲が広がるなどで、非常に便利なトランジスタ回
路が実現できるようになるものである。
【0007】
【実施例】以下本発明の実施例を説明していく。本発明
者らは、MOSトランジスタにおいて、そのバックゲー
ト(基板)をオープン状態にしてドレイン・ソース間に
電圧を印加し、更にゲート電圧を印加すると、MOSト
ランジスタのドレイン・バックゲート・ソースで構成さ
れる寄生のバイポーラトランジスタのアバランシェ降伏
電圧が低下することを見いだした。例えばバックゲート
(この場合、Pウエル基板)をオープン状態にしたNM
OSトランジスタN1を用いた図6の測定回路で、ゲー
トにVgs=0V、0.2V、0.3V、0.4Vを印
加したときのドレイン・ソース間電圧Vdsとドレイン
・ソース間電流Idsの関係を調べてみると、この事実
(アバランシェ降伏電圧の低下)が確認できる。ここに
於いて、NMOSトランジスタN1は、しきい値電圧V
th=0.6V、W/Leff=630μm/1.0μ
m(Wはチャネル幅、Leffは実行チャネル長)のサ
ンプルを用いた。B1は、ドレイン・バックゲート・ソ
ースで構成される、NMOSトランジスタN1に寄生す
るnpnバイポーラトランジスタである。
【0008】図7には、温度依存性(Ta=−40、2
5、85℃)も含めて、図6の測定結果を示す。これを
見れば、あるゲート電位から、電流が急激に流れること
が分かる。この非常に大きな電流(下記の降伏電流)が
流れるので、デバイス破壊を防止するため、測定では、
10μAで電流リミットをかけているが、このグラフの
特性の急俊な立ち上がりを見れば、降伏が起こっている
ことは充分に分かる。ゲート・ソース間電圧Vgs=0
Vのときは、バイポーラトランジスタそのもののアバラ
ンシェ降伏電圧が観測されるが、Vgs>0Vにする
と、降伏電圧が低くなることが分かる。
【0009】図8に、図7の結果から得た、降伏電圧対
ゲート電位の関係を示す。即ちトランジスタN1のゲー
トに正のゲート電圧を印加したことによって、ゲート直
下の半導体表面のエネルギー・バンド構造と電荷分布が
変化し、ゲート直下にサブ・スレッショルド電流が流
れ、この電流が引き金となって、より低いゲート電圧で
あるVdsにおいて、半導体表面でアバランシェ降伏が
起こっていると考えられる。
【0010】上記NMOSとは反対のPMOSトランジ
スタの場合は、ゲート電位をソースよりも低くすること
によって、降伏電圧の制御が可能である。図1は本発明
の実施例の回路図であり、本発明を信号のリミッタに用
いた場合の例を示す。この例のNMOSトランジスタN
1において、ソースを接地電位(Vss)に接続し、ド
レインは信号線12(例えば出力ライン)、バックゲー
ト(ベース)はオープン状態とし、ゲート(フロントゲ
ート)には制御信号を印加する。ここでは、このゲート
にD/A(デジタル−アナログ)コンバータ11の出力
が接続され、従ってゲート電位をデジタル的に制御す
る。例えばD/Aコンバータ11の出力として、0.4
Vを印加すれば、ドレインに4.3Vを越える電圧がか
かると、アバランシェ降伏が起こるので、この回路は、
4.3Vのリミット電位を持つ。D/Aコンバータ11
の変わりに、何らかのバイアス発生器等を用いてもよい
ことはもちろんである。
【0011】上記のようにすれば、バックゲートがオー
プンのMOSトランジスタにおいて、ゲート・ソース間
電圧Vgsを制御できることにより、ドレイン・ソース
間降伏電圧を制御でき、あたかも降伏電圧可変機構を持
ったツェナーダイオードのような作用を行わせることが
できる。この時、例えばトランジスタN1の構造が決ま
ったものであっても、トランジスタN1はそのゲート電
圧を調整することにより、所望のアバランシェ降伏電圧
を持つことが可能であり、トランジスタN1の製造を変
える必要がないものである。
【0012】図2は、本発明を、静電破壊(ESD)に
対する保護回路に用いた場合の例である。ここでNMO
SトランジスタN1は、ソースを接地電位(Vss)に
接続し、バックゲート(Pウエルであり、寄生バイポー
ラトランジスタのベース)はオープンとし、ゲートはト
ランジスタBP1のベースに接続され、そのコレクタは
NMOSトランジスタN1のドレインに接続されてい
る。トランジスタBP1のベースは、自己の抵抗成分R
p(例えば、PウエルのVss電位へのバイアス部まで
の抵抗成分)を介して接地Vssに接続されている。ト
ランジスタN1のドレインは、例えば本回路を形成する
集積回路の外部端子21につながり、さらには内部回路
中の素子、例えばMOSトランジスタN5のゲートに接
続されている。
【0013】図2において、外部端子21を介してトラ
ンジスタN1のドレイン・ノードに正のサージ電圧(電
源電圧より大)がかかったとき、トランジスタBP1の
ベースには、コレクタ・ベース間のPN接合ダイオード
のブレイクダウンにより電流が流れ込み、ベース自身の
抵抗成分Rpによりベース電位はVssより上昇し、ベ
ース・エミッタが順方向(例えば0.6V以上)にバイ
アスされる。この結果、トランジスタBP1がオンし、
正のサージをVssに逃がそうとする。一方、ベース電
位が上昇したので、NMOSトランジスタN1のゲート
電位も、同時に上昇する。従って前述したように、トラ
ンジスタN1のバックゲートが接地電位にあるときのア
バランシェ降伏電圧よりも、ずっと低い電圧で降伏をお
こし、上記サージをVssに逃がそうとする。つまりト
ランジスタBP1のみのときよりも、図2の場合のほう
が、サージを逃がす力が強くなるものである。
【0014】負のサージが、外部端子21に印加された
ときは、Rp、BP1を介して負のサージが流れるが、
この電流はBP1のベース電流となり、BP1はオン
(エミッタ・コレクタの関係が逆転する)し、更に、ト
ランジスタN1のゲート・バイアスが大きくなる(ソー
ス・ドレインの関係が逆転する)ので、アバランシェ降
伏電圧は下がり、結果として、負のサージは、BP1の
オン及びN1のアバランシェ降伏によってVssへにが
される。
【0015】図3は、外部端子21を境に、Vss側の
みでなく、電源Vcc側にも本発明を適用した場合の例
である。もし、Vssがオープンで、Vccのみ印加さ
れている場合でも、サージ(正)をVcc側に逃がすこ
とができる。サージが入ってトランジスタBP2がオン
(サージ電圧が高いため、トランジスタBP2のエミッ
タ、コレクタの関係が逆転)した場合、NMOSトラン
ジスタN2のゲートが上昇し、トランジスタN2の降伏
電位が下がり、サージをVcc側に逃がすものである。
【0016】図2、図3において、トランジスタBP
1、BP2は、例えばP基板(ウエル)上で、N拡散層
を近接しておくことによって実現できる。この場合、N
MOSトランジスタN1、N2の基板と分離するため、
N基板上のPウエル構造が必要となるものである。
【0017】図4、図5のように、図2、図3のトラン
ジスタBP1、BP2は、NMOSトランジスタN1、
N2とは別のPウエル上に形成されたNMOSトランジ
スタN3、N4としても実現できる。これらMOSトラ
ンジスタのソース、ドレインがエミッタ、コレクタとな
り、バックゲート(基板)がベースとなる。トランジス
タN3、N4のゲートはVssに接続し、トランジスタ
の降伏電圧を上げて、オフ状態にしておく。この場合、
図2、図3の場合のごとく、単にP基板上でN拡散層を
近接しておくよりも、その間隔を狭くでき、すなわちベ
ース長を短くできるので、サージを逃がす能力が高くな
る。
【0018】なお、本発明は上記実施例のみに限られ
ず、種々の応用が可能である。例えば、実施例ではNM
OSトランジスタの場合に本発明を適用したが、PMO
Sトランジスタを用いた場合でも、原理的に同様に適用
できる。
【0019】
【発明の効果】以上説明したごとく本発明によれば、M
OSトランジスタのアバランシェ降伏電圧が調整できる
ため、上記MOSトランジスタのアバランシェ降伏を生
じないようにもできるし、アバランシェ降伏が早期に生
じるようにもできるし、アバランシェ降伏がなるべく遅
く生じるようにもできるなど、アバランシェ降伏電圧を
所望の値になるように適宜の調整ができるようになり、
用途範囲が広がるなどで、非常に便利なトランジスタ回
路が実現できるようになるものである。すなわち、バッ
クゲートがオープン状態のMOSトランジスタのドレイ
ン・ソース間アバランシェ降伏電圧を制御し、あたかも
降伏電圧可変機能を持ったツェナーダイオードのような
動作を行わせることができるし、MOSトランジスタ、
バイポーラトランジスタの両方の機能を利用して、従来
より低い降伏電圧を得ることにより、高い静電破壊耐圧
が実現できるなどの機能を有したトランジスタ回路が提
供できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の回路図。
【図2】本発明の異なる実施例の回路図。
【図3】本発明の異なる実施例の回路図。
【図4】本発明の異なる実施例の回路図。
【図5】本発明の異なる実施例の回路図。
【図6】本発明で用いるトランジスタの試験回路図。
【図7】同回路で得られた特性図。
【図8】同回路で得られた特性図。
【符号の説明】
11…D−Aコンバータ(制御手段)、12…信号線、
21…外部端子、N1、N2…バックゲート・オープン
NMOSトランジスタ、BP1、BP2…サージ検出用
バイポーラトランジスタ、Rp、Rp1、RP2…サー
ジ検出用抵抗、N3、N4…サージ検出用MOSトラン
ジスタ。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】バックゲートがオープン状態のMOSトラ
    ンジスタと、このトランジスタのフロントゲートの印加
    電圧を制御する制御手段とを具備し、前記MOSトラン
    ジスタのドレイン、バックゲート、ソースで形成される
    寄生バイポーラトランジスタのアバランシェ降伏電圧
    を、前記制御手段で制御することを特徴とするトランジ
    スタ回路。
  2. 【請求項2】前記MOSトランジスタのチャネル導電路
    の一方は電源電極Vcc、Vssのいずれか一方に接続
    され、前記チャネル導電路の他方は信号線に接続される
    請求項1に記載のトランジスタ回路。
  3. 【請求項3】前記制御手段による前記フロントゲートへ
    の印加電圧は、可変である請求項1に記載のトランジス
    タ回路。
  4. 【請求項4】バックゲートがオープン状態のMOSトラ
    ンジスタと、このトランジスタのフロントゲートに接続
    され、サージ電圧を検出して該サージ電圧の検出結果に
    応じた電圧を前記MOSトランジスタのフロントゲート
    に印加するサージ検出手段とを具備し、前記MOSトラ
    ンジスタのドレイン、バックゲート、ソースで形成され
    る寄生バイポーラトランジスタのアバランシェ降伏電圧
    を、前記サージ検出手段で制御することを特徴とするト
    ランジスタ回路。
  5. 【請求項5】前記サージ検出手段は、バイポーラトラン
    ジスタ、及びそのベースと電源電極Vcc、Vssのい
    ずれか一方との間の抵抗で形成されており、前記バイポ
    ーラトランジスタのコレクタ、エミッタの一方、及び前
    記MOSトランジスタのチャネル導電路の一方は、少な
    くとも前記MOSトランジスタ、サージ検出手段を形成
    した集積回路の外部端子に接続され、前記バイポーラト
    ランジスタのコレクタ、エミッタの他方、及び前記MO
    Sトランジスタのチャネル導電路の他方は、前記電源電
    極のいずれか一方に接続されている請求項4に記載のト
    ランジスタ回路。
  6. 【請求項6】バックゲートがオープン状態の第1のMO
    Sトランジスタと、このトランジスタのフロントゲート
    に接続され、サージ電圧を検出して該サージ電圧の検出
    結果に応じた電圧を前記第1のMOSトランジスタのフ
    ロントゲートに印加する第1のサージ検出手段と、バッ
    クゲートがオープン状態の第2のMOSトランジスタ
    と、このトランジスタのフロントゲートに接続され、前
    記サージ電圧を検出して該サージ電圧の検出結果に応じ
    た電圧を前記第2のMOSトランジスタのフロントゲー
    トに印加する第2のサージ検出手段とを具備し、前記第
    1のサージ検出手段は、第1のバイポーラトランジス
    タ、及びそのベースと電源電極Vcc、Vssの一方と
    の間の第1の抵抗で形成されており、前記第1のバイポ
    ーラトランジスタのコレクタ、エミッタの一方、及び前
    記第1のMOSトランジスタのチャネル導電路の一方
    は、少なくとも前記第1のMOSトランジスタ、第1の
    サージ検出手段を形成した集積回路の外部端子に接続さ
    れ、前記第1のバイポーラトランジスタのコレクタ、エ
    ミッタの他方、及び前記第1のMOSトランジスタのチ
    ャネル導電路の他方は、前記電源電極の一方に接続され
    ており、前記第2のサージ検出手段は、第2のバイポー
    ラトランジスタ、及びそのベースと電源電極の一方との
    間の第2の抵抗で形成されており、前記第2のバイポー
    ラトランジスタのコレクタ、エミッタの一方、及び前記
    第2のMOSトランジスタのチャネル導電路の一方は、
    前記集積回路の外部端子に接続され、前記第2のバイポ
    ーラトランジスタのコレクタ、エミッタの他方、及び前
    記第2のMOSトランジスタのチャネル導電路の他方
    は、前記電源電極の他方に接続されてなり、前記第1、
    第2のMOSトランジスタのドレイン、バックゲート、
    ソースで形成される寄生バイポーラトランジスタのアバ
    ランシェ降伏電圧を、それぞれ前記第1、第2のサージ
    検出手段で制御することを特徴とするトランジスタ回
    路。
  7. 【請求項7】請求項5において、そのサージ検出手段
    は、MOSトランジスタの寄生バイポーラトランジスタ
    で構成され、この寄生バイポーラトランジスタが請求項
    5のバイポーラトランジスタとして用いられるトランジ
    スタ回路。
  8. 【請求項8】請求項6において、その第1、第2のサー
    ジ検出手段は、それぞれMOSトランジスタの寄生バイ
    ポーラトランジスタで構成され、これら寄生バイポーラ
    トランジスタが請求項6のそれぞれ第1、第2のバイポ
    ーラトランジスタとして用いられるトランジスタ回路。
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