JPH07146242A

JPH07146242A - ウェハ検査装置

Info

Publication number: JPH07146242A
Application number: JP29587593A
Authority: JP
Inventors: Manabu Komatsu; 小松　　学
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1993-11-26
Filing date: 1993-11-26
Publication date: 1995-06-06

Abstract

(57)【要約】【目的】ウェハを載置するウェハ載置台を常に安定した
状態て保持できるウェハ検査装置を提供することを目的
とする。【構成】ウェハ１を載置する載置面を備えたウェハ載置
台４２と、ウェハ載置台４２を上昇又は下降させる昇降
機構３と、昇降機構３に連結されるシャフト３８と、ウ
ェハ載置台４２とシャフト３８とを互いに引きつけるよ
うに連結する引張りバネ部材５０とを備え、ハウジング
１０には、昇降機構３がウェハ載置台４２を下降した
際、ウェハ載置台４２の載置面がアーム６０に対して常
に平行になるようにな受け皿５８を設けた。そして、さ
らに昇降機構３で、ウェハ載置台４２を下降すると引張
りバネの作用で受け皿５８にウェハ載置台４２が押しつ
けられるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウェハ検査装置に関
し、特にウェハを揺動させる目視検査機能を備えたウェ
ハ検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェハ検査装置は、ウェハ表面の欠陥を
目視で見出す為に、ウェハを揺動又は回転させる為のウ
ェハ目視検査機構を備えている。ウェハ目視検査機構を
図３に示す。図３に示す様に、紙面上下方向に移動する
基台１０８がハウジング１００の開口１２０から突設し
ている。

【０００３】基台１０８は、不図示の第１モータに取り
付けられており、不図示の第１モータの回転により基台
１０８の中心軸を中心に回転する。基台１０８には、一
対の案内ガイド１０９、１１０が配設されており、一対
の直線ガイド１０９、１１０の間に昇降可能に昇降軸１
１１が案内されている。昇降軸１１１は不図示の第２モ
ータを有しており、不図示の第２モータの回転運動を往
復直線運動に変換して昇降軸１１１を紙面上下方向に往
復運動させている。

【０００４】昇降軸１１１の一端には、アーム軸１０６
の一端が第１ピン１０７により、昇降軸１１１に対して
回転可能に支持されており、アーム軸１０６の他端に
は、シャフト１０３の一端が第２ピン１０５により、ア
ーム軸１０６に対して回転可能に支持されている。シャ
フト１０３は、シャフト１０３の中央部が第３ピン１０
４により基台１０８に回転可能に支持されており、シャ
フト１０３の他端にはウェハチャック部１０２が取り付
けられている。

【０００５】ウェハチャック部１０２には、不図示の真
空源に通じる吸着口が形成されており、この吸着口から
の真空圧によってウェハ１０１を吸着している。この様
な構成において、昇降軸１１１を往復直線運動させる
と、その往復直線運動がアーム軸１０６を介し、第３ピ
ン１０４を枢支点としてシャフト１０３が揺動する。

【０００６】シャフト１０３が揺動すると、ウェハチャ
ック部１０２に吸着されたウェハ１０１が第３ピン１０
４を枢支点として揺動する。また、ウェハ１０１を所定
の角度で傾斜させて停止し、不図示の第１モータを回転
させた時でもウェハ１０１を揺動させたまま、不図示の
第１モータを回転しても、傾斜の枢支点は第３ピン１０
４になる。

【０００７】すなわち、ウェハ１０１の中心点１０１ａ
から離れた位置が傾斜又は揺動の枢支点になる。上記の
様に、ウェハ１０１の中心点１０１ａから離れた位置に
枢支点がある目視検査機構は、特開昭６１−２７０８３
９号公報に記載されている。そして、ウェハ１０１が中
心点１０１ａを中心に揺動した後、ウェハ１０１を図４
に示すようにアーム１３０に対して平行になるように、
すなわち、ウェハチャック部１０２の吸着面１０２ａが
アーム１３０に対して平行になるように、昇降軸１１１
を移動し、アーム１３０が紙面上方向に移動することに
より、ウェハ１０１の受渡しが行われる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
において、ウェハ検査装置を構成する各部材の加工精度
が寸法公差をもっている為、ウェハチャック部１０２の
吸着面１０２ａをアーム１３０に対して平行にすること
が困難であった。すなわち、吸着面１０２ａとアーム１
３０とが平行になっていないと、アーム１３０がウェハ
１０１に対する受渡しに影響を及ぼす要因となった。

【０００９】即ち、アーム１３０が行うウェハ１０１の
受渡しの時、ウェハ１０１がアーム１３０で、ばたつい
たり（踊る）、アーム１３０がウェハ１０１に傷を付け
る可能性もあった。本発明は、この様な従来の問題点に
鑑みてなされたもので、ウェハを載置するウェハ載置台
を常に安定した状態て保持できるウェハ検査装置を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、ウェハ（１）を載置する載置面を備えたウェハ載置
台（４２）と、ウェハ載置台（４２）を上昇又は下降さ
せる昇降機構（３）と、昇降機構（３）に連結されるシ
ャフト（３８）と、ウェハ載置台（４２）とシャフト
（３８）とを互いに引きつけるように連結する連結バネ
部材（５０）と、ハウジング（１０）に形成され、ウェ
ハ載置台（４２）を所定の角度で保持可能な保持部（５
８）と、ウェハ載置台（４２）が保持部（５８）に保持
された時、ウェハ載置台（４２）とシャフト（３８）と
の連結状態を解除するように昇降機構（３）を駆動する
昇降機構駆動手段（１９、２０、２１、１８）とを有す
る構成にした。

【００１１】また、請求項２に記載の本発明は、請求項
１に記載のウェハ検査装置において、シャフト（３８）
に連結される回転機構（４６）と、回転機構（４６）の
回転をシャフト（３８）からウェハ載置台に伝える連結
ピン（５５）とを有し、連結ピン（５５）は、一端がシ
ャフト（３８）もしくはウェハ載置台（４２）の一方に
圧入され、他端がシャフト（３８）もしくはウェハ載置
台（４２）の他方に挿入されるようにした。

【００１２】

【作用】本発明において、ウェハを載置する載置面を備
えたウェハ載置台と、ウェハ載置台を上昇又は下降させ
る昇降機構と、昇降機構に連結されるシャフトと、シャ
フトとウェハ載置台とを互いに引きつけるように連結す
る連結バネ部材と、ハウジングに形成され、昇降機構が
ウェハ載置台を下降した際、ウェハ載置台を所定の角度
で保持する保持部とを備えているので、ウェハの載置面
がハウジングに対して常に同じ角度で保持されることに
なる。

【００１３】

【実施例】図１は本発明の目視検査機能を備えたウェハ
検査装置を示す。図１に示す様に、開口１０ａを備えた
ハウジング１０の内部には、ウェハ１を回転させる回転
機構４６と、ウェハ１を紙面上下方向に移動させる昇降
機構３と、ウェハ１を傾斜させる揺動傾斜機構２８と、
ウェハ１を真空吸着するウェハチャック部４２と、を備
えている。

【００１４】ウェハチャック部４２は、ウェハ１を吸着
して載置するウェハ載置台でもある。回転機構４６、昇
降機構３及び揺動傾斜機構２８は、スプライン軸５と、
スプライン軸５に嵌合するスプライン６、７とを利用し
てそれぞれの機構が持つ機能を果たしている。

【００１５】スプライン軸５に対するスプライン６、７
は、スプライン軸５と同時に回転すると共に、スプライ
ン軸５の軸方向に摺動可能である。スプライン６は、ス
タンド８の内部に嵌合し、スプライン７は、プーリ９の
内部に嵌合する。また、スプライン軸５の一端には、基
台３９が固定された回転部材２０が取り付けられてい
る。

【００１６】スタンド８は、上記のスプライン６と、ス
プライン６の外周に嵌合された中空状の円柱部材６ｂと
から構成される。ハウジング１０内には、コの字形状部
材１３が直線ガイド１４を介して紙面上下方向に直線移
動可能に取り付けられている。この直線ガイド１４は、
ハウジング内に固定された案内部材１４ａと、コの字形
状部材１３の側面に固定された移動部１４ｂと、案内部
材１４ａと移動部材１４ｂとの間に配列されたローラ又
は球とから構成されている。

【００１７】さらに、ハウジング１０の内部には、コの
字形状部材１３の上面１３ａと下面１３ｂとの間に存在
する突出部１５が形成されている。コの字形状部材１３
の上面１３ａ及び下面１３ｂと、ハウジング１０内部の
突出部１５には、貫通孔４７、４８、４９が形成されて
おり、貫通孔４７にはベアリング２０ｃを介して回転部
材２が取り付けられ、貫通孔４８にはベアリング２０ｂ
を介してスプライン軸５の他端が取り付けられている。

【００１８】さらに、ハウジング１０の突出部１５に形
成された貫通孔４９にはベアリング２０ａを介してプー
リ９が取り付けられ、スプライン軸５は、ハウジング１
０とコの字形状部材１３とに対して回転する。昇降機構
３の構成を説明する。昇降機構３は、コの字形状部材１
３に軸４ａを介して固定された昇降ピン４と、昇降ピン
４と係合する円筒カム１６と、モータ軸１７に円筒カム
１６が取り付けられ、ハウジング１０内に固設されたＤ
Ｃモータ１８とから構成される。

【００１９】円筒カム１６は、段付きの円筒カムであ
り、外周に段が形成されたものである。さらに、昇降機
構３には、発光部と受光部とからなり、円筒カム１６に
対して相対回転移動するセンサ感知手段としてのフォト
インタラプタ１９、２０と、円筒カム１６に取り付けら
れ、フォトインタラプタ１９、２０の発光部と受光部と
の間を円筒カム１６と共に回転移動する遮光部材２１と
が設けられている。フォトインタラプタ１９、２０は、
円筒カム１６に取り付けられた遮光部材２１の通過を検
出するものである。

【００２０】次に、回転機構４６の構成を説明する。ハ
ウジング１０には、パルスモータ１１が固設され、パル
スモータ１１の回転軸１１ａにプーリ１２が取り付けら
れている。プーリ１２と、スプライン７に固定されたプ
ーリ９との間には、第１ベルト２２が渡設してあり、さ
らに回転機構４６には、ハウジング１０に固定され、セ
ンサ感知手段としてのフォトインタラプタ２３ａと、プ
ーリ９に固定され、フォトインタラプタ２３ａの発光部
と受光部との間をプーリ９と共に回転移動する遮光部材
２３ｂとが設けられている。フォトインタラプタ２３ａ
は、プーリ９に取り付けられた遮光部材２３ｂの通過を
検出するものである。

【００２１】次に、揺動傾斜機構２８の構成を説明す
る。揺動傾斜機構２８は、コの字形状部材１３の上面１
３ａの端部に案内ガイド２７を備えた連結部材３４を介
して固定された揺動傾斜機構本体部３１と、揺動傾斜機
構本体部３１に配設された第２ＤＣモータ３２と、第２
ＤＣモータ３２と同様に揺動傾斜機構本体部２８に回転
可能に取り付けられたポテンションメータ３３とを備え
ている。

【００２２】第２ＤＣモータ３２とポテンションメータ
３３との間には、第２ベルト２９が渡設されており、第
２ベルト２９には取り付け部材３０を介して支持棒２４
の一端が固定されている。支持棒２４は、支持棒２４に
固定された移動部材２６が案内ガイド２７に案内される
ことにより、紙面上下方向に案内される。

【００２３】スプライン６に固定されたスタンド８（円
柱部材６ｂ）の外周には、スプライン軸５の軸方向に対
して垂直方向に円周溝６ａが形成されており、円周溝６
ａには、支持棒２４の他端がベアリング２５を介して配
設されており、スプライン軸５の回転力が揺動傾斜機構
本体部３１に影響しないように構成してある。さらに、
スタンド８の一端面には、摺動方向に突出した突出部８
ａが形成されており、突出部８ａにはリンク部材３５の
一端がピン４０ａにより回転移動可能に支持されてい
る。

【００２４】リンク部材３５は、回転部材２に形成され
た貫通孔３６に遊挿されており、遊挿後にリンク部材３
５の他端にＬ字型リンク部材３７の一端がピン４０ｂに
より移動可能に支持される。Ｌ字型リンク部材３７は、
Ｌ字型を構成する短部及び長部との交差点をピン４０ｃ
より基台３９に対して回転可能に取り付けられ、Ｌ字型
リンク部材３７の他端は、ピン４０ｄによりシャフト３
８の溝３８ａ（図２参照）に揺動可能に係合している。

【００２５】シャフト３８には、３個のローラ４１が回
転可能に取り付けられ、さらに、シャフト３８の長手方
向に対し、垂直な方向に突出して形成された２つの第１
のバネ固定部５７に引張りバネ５０の一端が取り付けら
れている。ウェハチャック部４２は、ウェハ吸着面（載
置面）を有する吸着部４２ａと、吸着部４２ａより小さ
い径からなるベアリング取り付け部４２ｂと、ベアリン
グ取り付け部４２ｂに取り付けられる円筒ベアリング５
２とを有し、ベアリング取り付け部４２ｂには、ベアリ
ング取り付け部４２ｂより大きい径を有するベアリング
固定部材５３が固定ネジ５４で固定される。

【００２６】ベアリング固定部材５３を詳述すると、ベ
アリング固定部材５３は、中央部にシャフト３８が挿脱
可能な移動孔が形成され、さらに、引張りバネ５０の他
端が取り付けられる第２のバネ固定部５９が形成されて
いる。第２のバネ固定部５９は、ベアリング固定部材５
３の移動孔を除いた部分で、かつシャフト３８の第１の
バネ固定部５７に向かって形成されている。

【００２７】そして、円筒ベアリング５２は、ベアリン
グ固定部材５３がベアリング取り付け部４２ｂに固定さ
れる際に、ベアリング固定部材５３ベアリング取り付け
部４２ｂとの間に円筒ベアリング５２の内輪が挟まれる
ように取り付けられる。この様に、円筒ベアリング５２
を備えたウェハチャック部４２と、シャフト３８との関
係は、シャフト３８が上記移動孔内を移動可能（紙面上
下方向）に配設されると共に、ウェハチャック部４２と
シャフト３８とを互いに引きつける連結バネ部材として
の引張りバネ５０により、連結されている。

【００２８】すなわち、引張りバネ５０の一端がシャフ
ト３８の第１のバネ固定部５７にピン５１により取り付
けられ、引張りバネ５０の他端がウェハチャック部４２
の第２のバネ固定部５９にピン５１により取り付けられ
ている。さらに、シャフト３８とウェハチャック部４２
との間には、連結ピン５５が配設されており、この連結
ピン５５は、一端がシャフト３８に圧入されると共に、
他端がベアリング固定部材５３、すなわちウェハチャッ
ク部４２に少々の空間を有して挿入されている。

【００２９】従って、シャフト３８とウェハチャック部
４２とは、シャフト３８の回転力が連結ピン５５によっ
て伝えられると共に、ウェハチャック部４２に対するシ
ャフト３８の上下移動が引張りバネ５０によって抑制さ
れる。ハウジング１０に形成された開口１０ａの周囲に
は、ウェハチャック部支持台５８が取り付けられてい
る。

【００３０】ウェハチャック部支持台５８は、ウェハチ
ャック部４２の挿通が円筒ベアリング５２によって阻ま
れる開口部６１（図２参照）を有している。詳述すれ
ば、開口部６１は、円筒ベアリング５２の外輪底面が嵌
まり込む受け皿５８を備えており、この受け皿５８にウ
ェハチャック部４２の円筒ベアリング５２の外輪が係合
して、ウェハチャック部４２の挿通が円筒ベアリング５
２によって阻まれる。

【００３１】この受け皿５８には、本装置の外部に広が
るテーパが形成され、ハウジング１０に対して以下のよ
うに取り付けられる。すなわち、ウェハ１の受渡しを行
うアーム６０と、ウェハ１を載置する吸着面とが互いに
平行になるように、受け皿５８をウェハチャック部支持
台５６に形成する。

【００３２】ウェハチャック部４２は、その中心部に不
図示の真空源に通じている真空用供給管４３が到達して
おり、真空供給管４３は、スプライン軸５の中央部を通
っており、ウェハチャック部４２には、検査対象である
ウェハ１が真空状態で吸着されている。次にシャフト３
８と基台３９との関係を説明する。

【００３３】基台３９には、曲率の異なる２つの円弧案
内面４４ａ、４４ｂが形成された円弧状案内部４４が設
けられている。基台３９と円弧状案内部４４との間に
は、シャフト３８が移動する為の空間を有しており、そ
の空間にシャフト３８が配設される。円弧状案内部４４
の一方の円弧案内面４４ａにはシャフト３８に取り付け
られた２個のローラ４１が接触し、また円弧状案内部４
４の他方の円弧案内面４４ｂには残りの１個のローラ４
１が接触している。

【００３４】円弧状案内部４４の各円弧案内面４４ａ、
４４ｂの曲率中心は、ウェハ１及びウェハチャック吸着
部４２の中心部４５になる。以上の様に構成された目視
検査機能を備えたウェハ検査装置の動作を説明をする。
回転機構４６の動作を説明する。

【００３５】パルスモータ１１の回転は、プーリ１２と
第１ベルト２２とを介して、プーリ９を回転させる。プ
ーリ９の回転はスプライン軸５に伝えられ、スプライン
軸５は、端部のベアリング２０ｂと、プーリ９のベアリ
ング２０ａと、スタンド８のベアリング２５と、回転部
材２のベアリング２とで回転し、スプライン軸５の回転
力は、基台３９及びシャフト３８に伝えられ、さらに、
連結ピン５５により、ウェハチャック部４２と共にウェ
ハ１が回転する。

【００３６】プーリ９の回転は、フォトインタラプタ２
３ａと遮光部材２３とによりパルスモータ１１の駆動が
制御されており、例えば、フォトインタラプタ２３ａの
光を遮光部材２３ｂが遮ったら、パルスモータ１１の回
転を停止させることにより制御されている。従って、遮
光部材２３ｂの取り付け位置に応じて、ウェハ１の回転
位置が所定の位置で停止するように制御できる。

【００３７】即ち、フォトインタラプタ２３ａの光を遮
光部材２３ｂが遮光した時を基準とし、パルスモータ１
１に特定のパルス数の信号を常に与えておけば、フォト
インタラプタ２３ａの光を遮光部材２３ｂが遮光した位
置から何度回転させればよいのかが特定することができ
る。次に昇降機構３の動作を説明する。

【００３８】尚、図１ではウェハ１が下降している状態
を示している。ＤＣモータ１８が回転すると、モータ回
転軸１７に取り付けられた円筒カム１６が回転する。円
筒カム１６には、昇降ピン４が係合しており、円筒カム
１６の回転により昇降ピン４が上昇し、昇降ピン４の上
昇に伴って、昇降ピン４に固定されているコの字形状部
材１３が直線ガイド１４を介して上昇する。

【００３９】コの字形状部材１３の上昇は、スプライン
軸５と、揺動傾斜機構２８とを同時に上昇させるもので
ある。すなわち、コの字形状部材２８が上昇すると、基
台３９と共にシャフト３８が上昇し、ウェハチャック部
４２を受け皿５８から押し上げる。その時、ウェハチャ
ック部４２とシャフト３８とは、引張りバネ５０で互い
に引き寄せられて一体となって上昇する。

【００４０】また、円筒カム１６を逆回転すると昇降ピ
ン４が下降し、昇降ピン４の下降に伴って、昇降ピン４
に固定されているコの字形状部材１３が直線ガイド１４
を介して下降する。コの字形状部材１３が下降すると、
スプライン軸５と、揺動傾斜機構２８とが同時に下降す
る。そして、ウェハチャック部４２の円筒ベアリング５
２が受け皿５８のテーパに接触した後、受け皿５８に嵌
まり込み、さらにコの字形状部材１３を下降させるとウ
ェハチャック部４２とシャフト３８との係合状態が解除
される。

【００４１】すなわち、ウェハチャック部４２が受け皿
５８に嵌まり込み、シャフト３８が引張りバネ５０の作
用でさらに下降し、ウェハチャック部４２とシャフト３
８との係合状態が解除され、ウェハチャック部４２は、
引張りバネ５０により受け皿５８に押しつけられる。ま
た、円筒カム１６の回転は、フォトインタラプタ１９、
２０と、遮光部材２１とによりＤＣモータ１８の駆動が
制御されており、例えば、フォトインタラプタ１９、２
０の光を遮光部材２１が遮ったら、ＤＣモータ１８の回
転を停止することにより、制御されている。

【００４２】すなわち、フォトインタラプタ１９、２０
と、遮光部材２１と、ＤＣモータ１８とで、昇降機構３
の駆動を制御している。従って、遮光部材２１とフォト
インタラプタ１９、２０との位置関係で、ウェハ１の上
昇又は下降を制御することができる。即ち、遮光部材２
１の円筒カム１６に対して取り付けられる取り付け位置
は、ウェハ１が最も下降している時に、遮光部材２１が
一方のフォトインタラプタ１９の光を遮光し、また、ウ
ェハ１が最も上昇している時に、遮光部材２１が他方の
フォトインタラプタ２０の光を遮光するようにする。

【００４３】従って、フォトインタラプタ１９、２０を
遮光部材２１が通過したか否かで、ウェハ１が最も上昇
している位置又は最も下降している位置でＤＣモータ１
８を停止することができる。揺動傾斜機構の動作を説明
する。ＤＣモータ３２の回転は、第２ベルト２９とポテ
ンションメータ３３とを介して支持棒２４を直線案内ガ
イド２７に沿って上下移動させる。

【００４４】支持棒２４の上下移動に伴って、スタンド
８がスプライン６を介してスプライン軸５を摺動する。
スタンド８がスプライン６を摺動した場合、スタンド８
の突出部８ａに支持されているリンク部材３５がピン４
０ｃを支点としてＬ字型リンク部材３７を回転させる。
Ｌ字型リンク部材３７の回転は、シャフト３８を揺動さ
せる。

【００４５】また、シャフト３８の揺動は、連結ピン５
５を介してチャック部４２に伝えられ、シャフト３８に
取り付けられたローラ４１が基台３９に固定された円弧
状案内部４４に案内されている為、円弧状案内部４４の
案内面４４ａ、４４ｂの曲率中心である中心点４５を枢
支点として揺動することになる。尚、ウェハ１の傾斜量
は、ポテンションメータ３３により制御することができ
る。

【００４６】また、ＤＣモータ３２を正転、逆転を行う
ことによりウェハを揺動（振る）ことができる。従っ
て、昇降機構３と、揺動傾斜機構２８とを組み合わせる
ことにより、ウェハ１を傾斜させたまま一定量だけ回転
することができる。すなわち、ウェハ１の傾斜方向を任
意に変えることができる。

【００４７】また、揺動傾斜機構２８を構成する部品の
加工誤差により、ウェハチャック部４２の吸着面の水平
方向の位置決めに誤差を有していても、ウェハ１の受渡
しの際には、必ず、受け皿５８にウェハチャック部４２
が嵌まり込むので、水平方向の位置決めが正確に行え
る。次に装置全体を検査内容に応じて説明する。

【００４８】検査対象であるウェハ１を水平回転させ
て、ウェハ１の表面を目視検査する場合を図１に基づい
て説明する。ウェハ１を水平回転させる場合は、パルス
モータ１１を回転させる。パルスモータ１１を回転させ
ると、第１ベルト２２を介してプーリ１２が回転し、プ
ーリ１２の回転がスプライン７を介してスプライン軸５
に伝えらる。

【００４９】スプライン軸５が回転すると、端部のベア
リング２０ｂと、プーリ９のベアリング９と、スタンド
８のベアリング２５と、回転部材２のベアリング２とに
より、基台３９及びシャフト３８が回転する。シャフト
３８の回転は、連結ピン５５によりウェハチャック部４
２に伝えられる。従って、スプライン軸５が回転する
と、円筒ベアリング５２も回転し、ウェハ１をスプライ
ン軸５を回転中心として水平方向に回転させることがで
きる。

【００５０】検査対象であるウェハ１を紙面上方向に上
昇後、傾斜させて、ウェハ１の表面を目視検査する場合
を図２に基づいて説明する。ウェハ１を図１の状態から
傾斜させると、ウェハ１とハウジング１０とが接触して
しまう可能性があるので、ウェハ１をハウジング１０に
対して傾斜させた時に接触しない位置までハウジングか
ら上昇させる必要がある。

【００５１】従って、ウェハ１を傾斜させるには、始め
にウェハ１をハウジング１０から上昇させる。また、ウ
ェハ１を傾斜させたままハウジング１０から上昇させて
もよい。即ち、ＤＣモータ１８によりカム１６を回転
し、カム１の回転で昇降ピン４を介してコの字形状部材
１３を直線案内ガイド１４に沿って上昇させる。

【００５２】コの字形状部材１３が上昇すると、揺動傾
斜機構２８と、スプライン軸５と共にウェハ１が水平状
態のまま上昇する。ウェハ１がハウジング１０から所定
の位置まで上昇したら、ウェハ１を揺動傾斜機構２８で
傾斜させる。即ち、ＤＣモータ３２が回転すると、第２
ベルト２９が回転して支持棒２４の上昇と共に、スタン
ド８が上昇する。

【００５３】スタンド８が上昇するとＬ字型リンク部材
３７がピン４０ｃを支点として回転し、シャフト８が有
するローラ４１が円弧状部材４４の案内面４４ａ、４４
ｂに案内されてシャフト８が揺動する。シャフト８が揺
動するとウェハチャック部４２に吸着されているウェハ
１が傾斜することになる。

【００５４】ウェハ１が傾斜した状態で、パルスモータ
１１を回転させると前述したような動作でウェハ１を中
心点４５を中心として回転させることができる。また、
パルスモータ１１とＤＣモータ３２とを連動させれば、
ウェハ１を中心点４５を枢支点として揺動できると共
に、中心点４５を中心軸として回転させることができ
る。

【００５５】ウェハ１を上昇及び傾斜させた目視検査が
終了した後、ウェハ１を交換する場合を説明する。ま
ず、傾斜していたウェハ１を揺動傾斜機構２８で水平位
置まで戻す。次に、ＤＣモータ１８によりカム１６を回
転し、カム１の回転で昇降ピン４を介してコの字形状部
材１３を直線案内ガイド１４に沿って下降させる。

【００５６】すなわち、ウェハチャック部４２が受け皿
５８に嵌まり込み、シャフト３８が引張りバネ５０の作
用でさらに下降し、ウェハチャック部４２とシャフト３
８との係合状態が解除されるまで、ＤＣモータ１８を回
転させる。ウェハチャック部４２が受け皿５８に嵌まり
込んだ後、アーム６０により、次のウェハに交換され
る。

【００５７】この時、前述したように、受け皿５８によ
ってウェハチャック部４２の吸着面の水平方向の位置決
めを行うことができる。尚、本実施例では、ローラ４１
の数は、案内面４４ａに対して２個、案内面４４ｂに対
して１個案内されているが、この数に限られるなくとも
よい。また、パルスモータ１１、ＤＣモータ１８及びＤ
Ｃモータ３２をプログラム制御することにより、ウェハ
回転速度、ウェハの傾斜速度、ウェハの傾斜角度及び傾
斜方向を常に一定にすることができる。

【００５８】本実施例によれば、ウェハ検査装置を構成
する各部材の加工精度が寸法公差をもち、ウェハチャッ
ク部４２の吸着面をアーム６０に対して平行になってい
なくとも、ウェハチャック部４２が受け皿５８に嵌まり
込むので、常にアーム６０とウェハチャック部４２の吸
着面とを水平にすることができる。従って、ウェハ１の
受渡しの際に、ウェハ１の受け渡しを行うアーム６０
と、ウェハチャック部４２の吸着面との位置関係（本実
施例では互いが平行になっている）を定めておけば、ウ
ェハ１がアーム６０で、ばたついたり（踊る）、アーム
６０がウェハ１を傷付けることがなくなる。

【００５９】また、円筒ベアリング５２が受け皿５８に
嵌まり込むので、ウェハ１を回転させる時、ウェハチャ
ック部４２の偏心が小さくなり、オリフラ検出等の回転
による位置決め機能も容易に行える。尚、本実施例で
は、ウェハチャック部４２にシャフト３８が移動する為
の移動孔を設けたが、移動孔は必ず必要なものではな
い。

【００６０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ウェハ載
置台のウェハを載置する載置面を所定の角度で、かつ常
に安定した状態で保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による実施例を示すウェハ検査装置の断
面図である。

【図２】図１のウェハ検査装置のウェハを傾斜させた場
合を示す図である。

【図３】従来のウェハ検査装置で、ウェハを傾斜又は揺
動させる機構の一部分を示す図である。

【図４】従来のウェハ検査装置で、ウェハを水平状態に
した場合を示す図である。

【符号の説明】

１ウェハ５スプライン軸６、７スプライン８スタンド３５リンク部材３７Ｌ字型リンク部材３８シャフト４１ローラ４２ウェハチャック部４４円弧状案内部材４５ウェハ又はウェハチャック部の中心点４６回転機構３昇降機構５２円筒ベアリング５０引張りバネ６０アーム

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェハを載置する載置面を備えたウェハ載
置台と、前記ウェハ載置台を上昇又は下降させる昇降機構と、前記昇降機構に連結されるシャフトと、前記シャフトと前記ウェハ載置台とを互いに引きつけ、
連結状態にする連結バネ部材と、ハウジングに形成され、前記ウェハ載置台を所定の角度
で保持可能な保持部と、前記ウェハ載置台が前記保持部に保持された時、前記ウ
ェハ載置台と前記シャフトとの連結状態を解除するよう
に前記昇降機構を駆動する昇降機構駆動手段と、を有す
ることを特徴とするウェハ検査装置。
【請求項２】請求項１に記載のウェハ検査装置におい
て、前記シャフトに連結される回転機構と、前記回転機構の回転を前記シャフトから前記ウェハ載置
台に伝える連結ピンと、を有し、前記連結ピンは、一端が前記シャフトもしくは前記ウェ
ハ載置台の一方に圧入され、他端が前記シャフトもしく
は前記ウェハ載置台の他方に挿入されることを特徴とす
るウェハ検査装置。