JPH07141868A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH07141868A
JPH07141868A JP6055350A JP5535094A JPH07141868A JP H07141868 A JPH07141868 A JP H07141868A JP 6055350 A JP6055350 A JP 6055350A JP 5535094 A JP5535094 A JP 5535094A JP H07141868 A JPH07141868 A JP H07141868A
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達哉 福田
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 昇圧による消費電流の増大を抑制し、消費電
力を低減することができる半導体装置を提供する。 【構成】 レベル変換部145は制御信号BLIK0、
BLIS0に応答して接地電位GNDまたは昇圧電源V
PPレベルの信号を出力する。第1レベル選択部146は
制御信号BLIMに応答して接地電位GNDまたは電源
電圧VCCレベルの信号を出力する。第2レベル選択部1
47は、レベル変換部145の昇圧電圧V PPレベルの信
号、第1レベル選択部146の接地電位GNDの信号、
および電源電圧VCCレベルの信号から所定の信号を上記
の各制御信号に応答してシェアードセンスアンプ制御信
号BLI0として出力する。この結果、シェアードセン
スアンプ制御信号BLI0を昇圧電圧VPPレベルまで立
上げる際、一旦電源電圧VCCレベルに立上げた後、昇圧
電圧VPPレベルまで立上げることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置に関し、特
に、所定の電圧レベルに昇圧された信号を使用する半導
体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体装置には、内部の回路動作の安定
性等のために、通常の電源電圧レベルの信号ではなく、
所定の電圧レベルに昇圧された信号を使用するものがあ
る。たとえば、DRAM(ダイナミック型半導体記憶装
置)においては、1つのセンスアンプが2つの異なるメ
モリブロックに共有されるシェアードセンスアンプ構成
を有するものがある。シェアードセンスアンプ構成を有
するDRAMでは、センスアンプを2つのメモリブロッ
クのうちの一方に選択的に接続するように制御する制御
信号として上記の昇圧された信号を用いている。
【0003】以下、従来の半導体装置としてDRAMに
ついて図面を参照しながら説明する。図9は、従来のD
RAMの構成を示すブロック図である。
【0004】図9において、DRAM200は、メモリ
セルアレイ1a〜1d、センスアンプ部2a、2b、行
デコーダ3、ワードドライバ4、行アドレスバッファ
5、RASバッファ6、φx発生回路7、φxサブデコ
ーダ12、行プリデコーダ15、列アドレスバッファ1
6、列プリデコーダ17、列デコーダ18、I/Oデコ
ーダ19、R/W制御部20、CASバッファ21、R
/Wバッファ22、入力バッファ23、出力バッファ2
4、センスアンプ制御回路25を含む。
【0005】また、DRAM200は、外部からの信号
を入力または外部へ信号を出力するための端子P1〜P
6を備えている。端子P1には、時分割で与えられる行
アドレスを装置内部に取込むタイミングを与える行アド
レスストローブ信号/RAS(以下、“/”は反転信号
を示す)が入力される。端子P2には、時分割で与えら
れる行アドレスRA0〜RA8と列アドレスCA0〜C
A8とが入力される。端子P3には、列アドレスを装置
内部に取込むタイミングを与える列アドレスストローブ
信号/CASが入力される。端子P4には、読出/書込
動作を規定するリード/ライト制御信号R/Wが入力さ
れる。端子P5には、入力データDINが入力される。端
子P6から、出力データDOUT が出力される。さらに、
基準電圧となる電源電圧VCCを供給する端子および接地
電位GNDを供給する端子が設けられている(図示省
略)。
【0006】行アドレスバッファ5は、端子P2に与え
られた9ビットのアドレス信号A0〜A8を受け、RA
Sバッファ6からの内部制御信号に応答して相補な内部
行アドレス信号RA0、/RA0、〜、RA8、/RA
8を発生する。
【0007】行プリデコーダ15は、行アドレスバッフ
ァ5からの内部行アドレス信号RA2、/RA2、〜、
RA7、/RA7をデコードし、合計12個のプリデコ
ード信号X1〜X4(総称してXiと称す)、X5〜X
8(総称してXjと称す)およびX9〜X12(総称し
てXkと称す)を発生する。
【0008】φx発生回路7は、RASバッファ6から
の内部制御信号に応答してワード線を駆動するためのワ
ード線駆動マスタ信号φxを発生し、φxサブデコーダ
12へ出力する。
【0009】φxサブデコーダ12は、行アドレスバッ
ファ5からの内部行アドレス信号RA0、/RA0、R
A1および/RA1、ならびにワード線駆動マスタ信号
φxに応答してワード線サブデコード信号φx1〜φx
4を発生してワードドライバ4へ出力する。
【0010】行デコーダ3は、行プリデコーダ15から
出力されるプリデコード信号Xi、XjおよびXkをさ
らにデコードし、4本のワード線を選択するデコード信
号を発生する。
【0011】ワードドライバ4は、行デコーダ3から出
力されるデコード信号とφxサブデコーダ12から出力
されるワード線サブデコード信号φx1〜φx4とに応
答して、1本のワード線上にワード線駆動信号WLを出
力する。
【0012】列アドレスバッファ16は、CASバッフ
ァ21から出力される列アドレスストローブ信号/CA
Sに応答して、端子P2へ入力されたアドレスを取込
み、内部列アドレス信号を列プリデコーダ17へ出力す
る。
【0013】列プリデコーダ17は、内部列アドレス信
号に応答し、相補な内部列アドレス信号を列デコーダ1
8へ出力する。
【0014】列デコーダ18は、列プリデコード信号に
応答して4本の列を選択する列選択信号CSを出力す
る。
【0015】センスアンプ制御回路25は、SF信号発
生回路9、第1センスアンプ活性化回路10、第2セン
スアンプ活性化回路11を含む。
【0016】SF信号発生回路9は、φx発生回路7か
ら出力されるワード線駆動マスタ信号φxと行プリデコ
ーダ15から出力されるプリデコード信号Xiに応答し
て、センスアンプ部2a、2bのいずれかのセンスアン
プを活性化する信号をセンスアンプ部2a、2bへ出力
する。
【0017】第1センスアンプ活性化回路10は、SF
信号発生回路9から出力される制御信号に応答して、第
1センスアンプ活性化信号をセンスアンプ部2a、2b
に出力する。
【0018】第2センスアンプ活性化回路11は、第1
のセンスアンプ活性化回路10から出力される活性化信
号に応答して、第2センスアンプ活性化信号をセンスア
ンプ部2a、2bへ出力する。
【0019】ブロック選択信号発生回路26は、行アド
レスバッファ5から出力される内部行アドレス信号RA
0、RA1、およびRASバッファ6を介して入力され
る行アドレスストローブ信号/RASに応答して、ブロ
ック選択信号BS0〜BS3をシェアードセンス制御部
27へ出力する。
【0020】シェアードセンス制御部27は、ブロック
選択信号発生回路26から出力されたブロック選択信号
BS0〜BS3に応答して、シェアードセンス制御信号
BLIS0〜BLIS3、BLIK0〜BLIK3をB
LIドライバ部28へ出力する。
【0021】BLIドライバ部28は、シェアードセン
ス制御部27から出力される制御信号BLIS0〜BL
IS3、BLIK0〜BLIK3に応答して、センスア
ンプ部2a、2bに含まれるセンスアンプ(図示省略)
と、メモリセルアレイ1a〜1dのビット線BL,/B
Lとの接続を制御するシェアードセンスアンプ制御信号
BLI0、BLI1、BLI2、BLI3をセンスアン
プ部2a、2bへ出力する。
【0022】I/Oデコーダ19は、行アドレスバッフ
ァ16からの内部行アドレス信号と列アドレスバッファ
5からの内部列アドレス信号をデコードし、I/Oバス
の4対のバスから1対のバスを選択する。
【0023】R/Wバッファ22は、端子P4を介して
与えられるリード/ライト制御信号R/WとCASバッ
ファ21から与えられる列アドレススローブ信号/CA
Sとに応答して、データの書込/読出を規定するタイミ
ング信号を発生してR/W制御部20へ出力する。
【0024】R/W制御部20は、R/Wバッファ22
からの制御信号に応答して、I/Oデコーダ19により
選択された1対するバス対を入力バッファ23または出
力バッファ24へ接続する。
【0025】入力バッファ23は、端子P5を介して与
えられた入力データDINを受け、対応の内部データを発
生する。
【0026】出力バッファ24は、R/W制御部20か
ら出力される内部データを受け、対応する出力データD
OUT に変換して端子P6へ出力する。
【0027】以上の構成により、端子P2に入力される
行アドレスおよび列アドレスに対応して、端子P5から
入力された入力データDINをメモリセルアレイ1a〜1
dの中の所定のメモリセルに書込んだり、書込んだデー
タを読出して端子P6から出力データDOUT として出力
することが可能となる。
【0028】次に、BLIドライバ部28について図面
を参照しながら詳細に説明する。図10は、BLIドラ
イバ部28およびセンスアンプ部2a、2bの構成を示
すブロック図である。
【0029】図10において、BLIドライバ部28
は、BLIドライバ281〜284を含む。BLIドラ
イバ281は、ブロック選択信号発生回路26から出力
される制御信号BLIS0、BLIK0に応答して、シ
ェアードセンスアンプ制御信号BLI0をセンスアンプ
部2aへ出力する。BLIドライバ282〜284も同
様に動作する。また、BLIドライバ部28は、キャパ
シタのチャージポンプ動作を利用し、電源電圧VCCを所
定の昇圧電圧VPPまで昇圧する昇圧電圧発生部(図示省
略)を具備しており、BLIドライバ281〜284へ
供給している。
【0030】センスアンプ部2aは、センスアンプ2
1、トランジスタQ21〜Q24を含む。トランジスタ
Q21〜Q24は、nチャネルトランジスタである。ト
ランジスタQ21、Q22のゲートは、BLIドライバ
281と接続され、シェアードセンスアンプ制御信号B
LI0が入力される。トランジスタQ23、Q24のゲ
ートはBLIドライバ282と接続され、シェアードセ
ンスアンプ制御信号BLI1が入力される。端子P21
およびP22には、メモリセルアレイ1aのビット線B
L0およびビット線/BL0がそれぞれ接続され、端子
P23およびP24にはメモリセルアレイ1bのビット
線BL1およびビット線/BL1がそれぞれ接続され
る。センスアンプ部2bの構成もセンスアンプ部2aと
同様であるので以下説明を省略する。
【0031】まず、スタンバイ時の動作について説明す
る。スタンバイ時、制御信号BLIS0〜BLIS3は
すべて電源電圧VCC(“H”)の状態であり、制御信号
BLIK0〜BLIK3はすべて接地電位GND
(“L”)の状態である。このとき、BLIドライバ2
81〜284は、シェアードセンスアンプ制御信号BL
I0,BLI1、BLI2、BLI3として電源電圧V
CCから昇圧された昇圧電圧V PPレベル(“H”)の状態
で出力される。
【0032】次に、アクティブ時の動作について説明す
る。たとえば、端子P21、P22が選択される場合
は、制御信号BLIS0が“H”の状態となり、制御信
号BLIK0は“L”の状態となる。また、制御信号B
LIS1〜BLIS3は“L”の状態となり、制御信号
BLIK1〜BLIK3は“H”の状態となる。この場
合、シェアードセンスアンプ制御信号BLI0は昇圧電
圧VPPレベル(選択状態)で出力され、その他のシェア
ードセンスアンプ制御信号はすべて“L”の状態(非選
択状態)となる。シェアードセンスアンプ制御信号BL
I0が“H”の状態になると、トランジスタQ21、Q
22がオンされ、端子P21、P22側がセンスアンプ
21と接続される。一方、トランジスタQ23〜Q28
へは“L”(接地電位GND)の状態のシェアードセン
スアンプ制御信号BLI1〜BLI3が入力されている
ので、すべてオフの状態となり、各端子側はセンスアン
プ21、22から切離した状態となる。
【0033】ここで、シェアードセンスアンプ制御信号
の選択状態として、昇圧電圧VPPの値は、電源電圧VCC
とトランジスタQ21〜Q28のしきい値電圧Vthとを
加算した電圧レベルより高い値に設定している。これ
は、電源電圧VCCの変動時に装置を動作させた場合、あ
る条件下ではビット線電位がシェアードセンスアンプ制
御信号の電位より高くなる場合があり、トランジスタQ
21〜Q28が非導通状態となり、センスアンプの入力
ノードにメモリセルの読出信号が伝達されなくなるおそ
れがあるからである。
【0034】上記のように、シェアードセンスアンプ制
御信号の選択状態として昇圧された電圧VPPレベルの信
号を用いることにより、センスアンプ21または22で
増幅された電源電圧VCCレベルの信号をビット線対に十
分に伝達することができ、装置の信頼性を高めることが
できる。
【0035】次に、BLIドライバについて図面を参照
しながらさらに詳細に説明する。図11は、BLIドラ
イバ281の構成を示す回路図である。
【0036】BLIドライバ281は、レベル変換部2
85、レベル選択部286を含む。レベル変換部285
は、トランジスタQ281〜Q284を含む。レベル選
択部286はトランジスタQ285、Q286を含む。
ここで、トランジスタQ281、Q283、Q285
は、PチャネルMOSトランジスタであり、トランジス
タQ282、Q284、Q286はnチャネルMOSト
ランジスタである。
【0037】トランジスタQ281は昇圧電圧VPPおよ
びトランジスタQ282と接続され、ゲートはトランジ
スタQ283とトランジスタQ284との接続部に接続
される。トランジスタQ282は接地電位GNDと接続
され、ゲートには制御信号BLIK0が入力される。ト
ランジスタQ283は、昇圧電圧VPPと接続され、ゲー
トはトランジスタQ281とトランジスタQ282との
接続部に接続される。トランジスタQ284は接地電位
GNDと接続され、ゲートには制御信号BLIS0が入
力される。
【0038】次に、レベル変換部285の動作について
説明する。制御信号BLIS0が“H”(電源電圧VCC
レベル)、制御信号BLIK0が“L”(接地電位GN
D)の状態にある場合、トランジスタQ281およびQ
284はオンの状態となり、トランジスタQ282およ
びQ283はオフの状態となる。この結果、ノード28
7は“L”(接地電位GND)の状態となる。次に、制
御信号BLIS0が“L”、制御信号BLIK0が
“H”(電源電圧VCCレベル)の状態にある場合、トラ
ンジスタQ281およびQ284はオフされ、トランジ
スタQ282およびQ283はオンされる。この結果、
ノード287は“H”(昇圧電圧VPPレベル)の状態と
なる。したがって、制御信号BLIK0が電源電圧VCC
レベルで入力されると、ノード287では昇圧電圧VPP
レベルの状態となり、電源電圧VCCレベルの信号を昇圧
電圧VPPレベルの信号に変換することが可能となる。
【0039】レベル選択部286は、トランジスタQ2
85、Q286を含む。トランジスタQ285のゲート
はノード287と接続され、昇圧電圧VPPとトランジス
タQ286とに接続される。トランジスタQ286は接
地電位GNDと接続され、ゲートには制御信号BLIK
0が入力される。
【0040】次に、レベル変換部286の動作について
説明する。制御信号BLIK0が“L”の状態にあり、
ノード287が“L”の状態にあるとき、トランジスタ
Q285がオンされ、トランジスタQ286がオフされ
る。この結果、シェアードセンスアンプ制御信号BLI
0として“H”(昇圧電圧VPPレベル)の信号が出力さ
れる。次に、制御信号BLIKが“H”(電源電圧VPP
レベル)、ノード287が“H”(昇圧電圧VPPレベ
ル)の状態にある場合、トランジスタQ285がオフさ
れ、トランジスタQ286がオンされる。この結果、シ
ェアードセンスアンプ制御信号BLI0として“L”の
信号が出力される。
【0041】以上の動作により、電源電圧VCCレベルの
信号である制御信号BLIS0を昇圧電圧VPPレベルの
信号であるシェアードセンスアンプ制御信号BLI0に
変換することができる。以上、BLIドライバ281に
ついて述べたが、BLIドライバ282〜284につい
ても同様の構成であり、同様の動作を実現することがで
きる。
【0042】次に、制御信号BLIS0、BLIK0お
よびシェアードセンスアンプ制御信号BLI0の信号波
形について説明する。図12は、制御信号BLIS0、
BLIK0、およびシェアードセンスアンプ制御信号B
LI0の信号波形を示す図である。図12に示すよう
に、制御信号BLIS0と制御信号BLIK0は相補信
号である。センスアンプのスタンバイ時、制御信号BL
IS0が“H”(電源電圧VCCレベル)の状態にあり、
制御信号BLIK0が“L”の状態にある。このとき、
上記のBLIドライバ281から出力されるシェアード
センスアンプ制御信号BLI0は“H”(昇圧電圧VPP
レベル)の状態にある。次に、アクティブ状態になる
と、制御信号BLIS0が立下がり、制御信号BLIK
0が立上がる。このとき、シェアードセンスアンプ制御
信号BLI0は立下がり、“L”の状態となり、センス
アンプを選択していない状態となる。次に、アクティブ
状態が終了し、スタンバイ状態に戻ると、制御信号BL
IS0は立上がり、制御信号BLIK0は立下がる。こ
のとき、シェアードセンスアンプ制御信号BLIは立上
がり、“H”(昇圧電圧VPPレベル)の状態となり、ス
タンバイ状態となる。
【0043】
【発明が解決しようとする課題】上記のように動作の安
定性を確保するため、電源電圧より高い昇圧された電圧
を用いる場合、電源電圧から昇圧電圧に変換する際、昇
圧による損失が発生し、昇圧電圧VPPレベルまで一気に
立上げようとすると、より大きな電流を消費することに
なる。したがって、上記のように、アクティブ時からス
タンバイ時に移行するとき、シェアードセンスアンプ制
御信号を接地電位レベルから昇圧電圧レベルまで一気に
立上げようとすると、昇圧による損失を補うため、より
大きな電流を流す必要があり、消費電力が増大するとい
う問題点があった。
【0044】また、上記のようなダイナミック型半導体
記憶装置においては、シェアードセンスアンプ制御信号
を伝達する信号線の長さが長く、信号線の負荷容量が大
きくなるため、上記の昇圧による消費電流の増大は非常
に大きなものとなり、装置全体の消費電力を大幅に増大
させるという問題点もあった。
【0045】本発明は上記課題を解決するためのもので
あって、昇圧による消費電流の増大を抑制し、消費電力
を低減することができる半導体装置を提供することを目
的とする。
【0046】本発明の他の目的は、常に安定した昇圧レ
ベルの制御信号を供給し、安定な回路動作を実現するこ
とができる半導体装置を提供することである。
【0047】本発明のさらに他の目的は、制御信号の高
速応答性を改善し、装置の動作速度を向上することがで
きる半導体装置を提供することである。
【0048】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の半導体装
置は、第1および第2制御信号に応答して出力される第
3制御信号が第1電圧レベルから昇圧された第2電圧レ
ベルへ変化することに応答して所定の動作を行なう半導
体装置であって、第1制御信号より遅延した第2制御信
号を出力する出力手段と、第3制御信号を第1電圧レベ
ルから第2電圧レベルへ立上げる際、第3制御信号を第
1制御信号に応答して第1電圧レベルと第2電圧レベル
との間の第3電圧レベルで出力した後、第2制御信号に
応答して第2電圧レベルで出力する制御信号出力手段と
を含む。
【0049】請求項2記載の半導体装置は、請求項1記
載の半導体装置の構成に加え、制御信号出力手段は、第
1制御信号に応答して第1電圧レベルの出力信号または
第3電圧レベルの出力信号を選択して出力する第1選択
手段と、第2制御信号に応答して第1選択手段の出力信
号または第2電圧レベルの出力信号を選択して出力する
第2選択手段とを含む。
【0050】請求項3記載の半導体装置は、請求項1記
載の半導体装置の構成に加え、制御信号出力手段は、第
2制御信号に応答して第1電圧レベルの出力信号または
第2電圧レベルの出力信号を選択して出力する第1選択
手段と、第1制御信号に応答して第1選択手段の出力信
号または第3電圧レベルの出力信号を選択して出力する
第2選択手段とを含む。
【0051】請求項4記載の半導体装置は、請求項2記
載の半導体装置の構成に加え、第1および第2選択手段
はそれぞれ複数設けられ、第1選択手段と第2選択手段
との各接続点は共通接続される。
【0052】請求項5記載の半導体装置は、情報を記憶
する第1および第2記憶手段と、第1または第2記憶手
段から出力される情報信号を増幅する増幅手段と、制御
信号に応答して増幅手段と第1または第2記憶手段とを
選択的に接続する接続手段と、制御信号を第1電圧レベ
ルから昇圧された第2電圧レベルへ立上げる際、制御信
号を第1電圧レベルから一旦第1電圧レベルと第2電圧
レベルとの間の第3電圧レベルへ立上げた後、第3電圧
レベルから第2電圧レベルへ立上げる制御信号出力手段
とを含む。
【0053】
【作用】請求項1記載の半導体装置においては、第3制
御信号を第1電圧レベルから第2電圧レベルへ立上げる
際、一旦第3電圧レベルで出力するので、第3電圧レベ
ルの信号を出力するまでは昇圧による損失の影響を受け
ず、効率よく第3制御信号を出力することができる。
【0054】請求項2記載の半導体装置においては、第
1選択手段が第1電圧レベルの出力信号または第3電圧
レベルの出力信号を選択し、第2選択手段が第1選択手
段の出力信号または第2電圧レベルの出力信号を選択す
るので、第3制御信号を第1、第2および第3電圧レベ
ルで安定に出力することができる。
【0055】請求項3記載の半導体装置においては、第
1選択手段が第1電圧レベルの出力信号または第2電圧
レベルの出力信号を選択し、第2選択手段が第1選択手
段の出力信号または第3電圧レベルの出力信号を選択す
るので、第3制御信号を第1、第2および第3電圧レベ
ルで安定して出力することができる。
【0056】請求項4記載の半導体装置においては、第
1選択手段と第2選択手段との各接続点が共通接続され
ているので、第1制御信号に応答して第1選択手段が並
列に動作し、高速に第3制御信号を第1電圧レベルから
第3電圧レベルへ立上げることが可能となる。
【0057】請求項5記載の半導体装置においては、増
幅手段と第1または第2記憶手段との接続を制御する制
御信号を第1電圧レベルから昇圧された第2電圧レベル
へ立上げる際、第1電圧レベルから一旦第3電圧レベル
へ立上げた後、第3電圧レベルから第2電圧レベルへ立
上げているので、第3電圧レベルの信号を出力するまで
は昇圧による損失の影響を受けず、効率よく制御信号を
出力することができる。
【0058】
【実施例】以下、本発明による第1の実施例の半導体装
置について図面を参照しながら説明する。図1は本発明
が適用されるDRAM(ダイナミック型半導体記憶装
置)の全体の構成を示すブロック図である。
【0059】図1において、DRAM100は、メモリ
セルアレイ1a〜1d、センスアンプ部2a、2b、行
デコーダ3、ワードドライバ4、行アドレスバッファ
5、RASバッファ6、φx発生回路7、ブロック選択
信号発生回路8、φxサブデコーダ12、シェアードセ
ンス制御部13、BLIドライバ部14、行プリデコー
ダ15、列アドレスバッファ16、列プリデコーダ1
7、列デコーダ18、I/Oデコーダ19、R/W制御
部20、CASバッファ21、R/Wバッファ22、入
力バッファ23、出力バッファ24、センスアンプ制御
部25(SF信号発生回路9、第1センスアンプ活性化
回路10、第2センスアンプ活性化回路11を含む)を
含む。
【0060】図1に示すDRAM100と図9に示す従
来のDRAM200とは、ブロック選択信号発生回路
8、シェアードセンス制御部13、BLIドライバ部1
4を除き、ほぼ同様の構成であるので、同一部分に同一
番号を付し、以下その説明を省略する。
【0061】以下、ブロック選択信号発生回路8、シェ
アードセンス制御部13、BLIドライバ部14につい
て詳細に説明する。
【0062】ブロック選択信号発生回路8には、RAS
バッファ6を介して端子P1から入力された行アドレス
ストローブ信号/RAS、および行アドレスバッファ5
から出力される内部行アドレス信号RA0、RA1が入
力される。ブロック選択信号発生回路8は行アドレスス
トローブ信号/RASの反転信号である制御信号BLI
MをBLIドライバ部14へ出力する。また、ブロック
選択信号発生回路8は、行アドレスストローブ信号/R
ASの遅延信号である行アドレスストローブ遅延信号/
RASDを内部で発生させ、行アドレスストローブ遅延
信号/RASD、内部行アドレス信号RA0、RA1に
応答してブロック選択信号BS0〜BS3をシェアード
センス制御部13へ出力する。行アドレスストローブ信
号/RASが“H”の状態(スタンバイの状態)のと
き、ブロック選択信号BS0〜BS3はすべて“L”の
状態で出力される。行アドレスストローブ信号/RAS
が“L”の状態(アクティブの状態)のとき、内部行ア
ドレス信号RA0、RA1の組合わせにより制御信号B
S0〜BS3のうち1つのブロック選択信号のみが
“L”の状態で、その他はすべて“H”の状態で出力さ
れる。ブロック選択信号BS0〜BS3はメモリセルア
レイ1a〜1dにそれぞれ対応しており、ブロック選択
信号が“L”の状態のとき所定のメモリセルアレイが選
択状態となり、“H”の状態のとき非選択状態となる。
【0063】シェアードセンス制御部13には、ブロッ
ク選択信号発生回路8から出力されるブロック選択信号
BS0〜BS3が入力される。シェアードセンス制御部
13はブロック選択信号BS0〜BS3に応答して、ブ
ロック選択信号BS0〜BS3の反転信号である制御信
号BLIS0〜BLIS3、および制御信号BLIS0
〜BLIS3の反転信号である制御信号BLIK0〜B
LIK3をBLIドライバ部14へ出力する。
【0064】BLIドライバ部14は、シェアードセン
ス制御部13から出力された制御信号BLIS0〜BL
IS3、BLIK0〜BLIK3およびブロック選択信
号発生回路から出力された制御信号BLIMに応答し
て、シェアードセンスアンプ制御信号BLI0、BLI
1をセンスアンプ部2aへ出力し、シェアードセンスア
ンプ制御信号BLI2、BLI3をセンスアンプ部2b
へ出力する。制御信号BLIS0〜BLIS3、BLI
K0〜BLIK3、BLIMの“H”の状態は電源電圧
CCレベルであるが、BLIドライバ部14により変換
されたシェアードセンスアンプ制御信号BLI0〜BL
I3の“H”の状態は昇圧電圧VPPレベルとなる。スタ
ンバイ状態のとき、シェアードセンスアンプ制御信号B
LI0〜BLI3は“H”(昇圧電圧VPPレベル)の状
態で出力され、アクティブ時は、シェアードセンスアン
プ制御信号のうち1つが“H”(昇圧電圧VPPレベル)
の状態にあり、所定のメモリセルアレイを選択し、その
他のシェアードセンスアンプ制御信号は“L”の状態と
なり、非選択の状態となる。
【0065】次に、ブロック選択信号発生回路8につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図2は、ブロッ
ク選択信号発生回路8の構成を示す回路図である。
【0066】図2において、ブロック選択信号発生回路
8は、インバータ回路であるゲートG81〜G87、N
AND回路であるゲートG88〜G91、NOR回路で
あるゲートG92〜G99を含む。
【0067】行アドレスストローブ信号/RASはゲー
トG81に入力され、反転信号として制御信号BLIM
が出力される。また、行アドレスストローブ信号/RA
SはゲートG82へ入力され、反転された後ゲートG8
3に入力され、さらに反転され、遅延信号として行アド
レスストローブ遅延信号/RASDがゲートG83から
出力される。ゲートG88には内部行アドレス信号RA
0、RA1が入力され、その論理積の反転信号がゲート
G92へ入力される。ゲートG92には、ゲートG88
の出力信号および行アドレスストローブ遅延信号/RA
SDが入力され、論理和の反転信号がゲートG96へ入
力される。ゲートG96には、ゲートG92の出力信号
および行アドレスストローブ遅延信号/RASDが入力
され、その論理和の反転信号がブロック選択信号BS0
として出力される。
【0068】ゲートG89には、ゲートG84を介して
反転された内部行アドレス信号RA0および内部行アド
レス信号RA1が入力され、その論理積の反転信号がゲ
ートG93へ入力される。ゲートG93には、ゲートG
89の出力信号および行アドレスストローブ信号遅延信
号/RASDが入力され、その論理和の反転信号がゲー
トG97へ入力される。ゲートG97には、ゲートG9
3の出力信号および行アドレスストローブ遅延信号/R
ASDが入力され、それらの論理和の反転信号がブロッ
ク選択信号BS1として出力される。
【0069】ゲートG90は、内部行アドレス信号RA
0およびゲートG85で反転された内部行アドレス信号
RA1が入力され、それらの論理積の反転信号がゲート
G94へ入力される。ゲートG94には、ゲート90の
出力信号および行アドレスストローブ遅延信号/RAS
Dが入力され、これらの論理和の反転信号がゲートG9
8へ出力される。ゲートG98には、ゲートG94の出
力信号および行アドレスストローブ遅延信号/RASD
が入力され、それらの論理和の反転信号がブロック選択
信号BS2として出力される。
【0070】ゲートG91には、ゲートG86を介して
反転された内部行アドレス信号RA0およびゲートG8
7を介して反転された内部行アドレス信号RA1が入力
され、それらの論理積の反転信号がゲートG95へ出力
される。ゲートG95には、ゲートG91の出力信号お
よび行アドレスストローブ遅延信号/RASDが入力さ
れ、それらの論理和の反転信号がゲートG99へ入力さ
れる。ゲートG99には、ゲートG95の出力信号およ
び行アドレスストローブ遅延信号/RASDが入力さ
れ、それらの論理和の反転信号がブロック選択信号BS
3として出力される。
【0071】次に、スタンバイ時のブロック選択信号発
生回路8の動作について説明する。スタンバイ時、行ア
ドレスストローブ遅延信号/RASDは“H”の状態に
あるので、内部行アドレス信号RA0、RA1の状態に
かかわらず、ブロック選択信号BS0〜BS3はすべて
“L”の状態となる。
【0072】次に、アクティブ時の動作について説明す
る。アクティブ時には、行アドレスストローブ遅延信号
/RASDが“L”の状態となるので、ブロック選択信
号発生回路8は活性化される。このとき、内部行アドレ
ス信号RA0、RA1の状態の組合わせによりブロック
選択信号BS0〜BS3のうちの1つのみが“L”の状
態で出力され、その他はすべて“H”の状態となる。た
とえば、内部行アドレス信号RA0、RA1がともに
“H”の状態であったとすると、ブロック選択信号BS
0が“L”の状態となり、その他のブロック選択信号B
S1〜BS3はすべて“H”の状態となる。
【0073】上記の構成により、ブロック選択信号発生
回路8は、行アドレスストローブ信号/RASの遅延信
号である制御信号BLIMを出力し、内部行アドレス信
号RA0、RA1の状態の組合わせによりブロック選択
信号BS0〜BS3のうちの1つが“L”の状態で出力
され、その他のブロック選択信号は“H”の状態で出力
され、所定のメモリセルアレイを選択するブロック選択
信号を出力することができる。
【0074】次に、シェアードセンス制御部13につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図3は、シェア
ードセンス制御部13の構成を示す回路図である。
【0075】図3において、シェアードセンス制御部1
3は、インバータ回路であるゲートG131〜G138
を含む。ブロック選択信号BS0はゲートG131へ入
力され、反転された後、制御信号BLIS0として出力
される。ゲートG131の出力はゲートG135へ入力
され、反転された後、制御信号BLIK0として出力さ
れる。ブロック選択信号BS1〜BS3についても同様
であり、それぞれ制御信号BLIS1〜BLIS3、B
LIK1〜BLIK3として出力される。
【0076】次に、BLIドライバ部14について図面
を参照しながら詳細に説明する。図4は、BLIドライ
バ部14およびセンスアンプ部2a、2bの構成を示す
図である。
【0077】図4において、BLIドライバ部14は、
BLIドライバ141〜144を含む。BLIドライバ
141には、制御信号BLIM、BLIS0、BLIK
0が入力され、センスアンプ21とメモリセルアレイ1
aのビット線BL0、/BL0との接続を制御するシェ
アードセンスアンプ制御信号BLI0がトランジスタQ
21、Q22へ入力される。シェアードセンスアンプ制
御信号BLI0が“H”の状態のとき、トランジスタQ
21、Q22はオンされ、端子P21、P22に接続さ
れるメモリセルアレイ1aのビット線BL0、/BL0
がセンスアンプ21と接続される。シェアードセンスア
ンプ制御信号BLI0が“L”の状態のとき、トランジ
スタQ21、Q22はオフされ、メモリセルアレイ1a
のビット線BL0、/BL0とセンスアンプ21との接
続が切離される。BLIドライバ142〜144もBL
Iドライバ141と同様に構成され、シェアードセンス
アンプ制御信号BLI1〜BLI3により各センスアン
プと各メモリセルアレイのビット線BL1〜BL3、/
BL1〜/BL3との接続が制御される。
【0078】上記の構成により、アクティブ時、シェア
ードセンスアンプ制御信号BLI0〜BLI3のうち1
つが“H”の状態となり、所定のメモリセルアレイのビ
ット線BL、/BLと所定のセンスアンプとを接続する
ことができる。
【0079】次に、図4に示すセンスアンプについてさ
らに詳細に説明する。図13は、図4に示すセンスアン
プの構成を示す回路図である。
【0080】図13を参照して、センスアンプは、セン
スアンプ回路301、トランジスタQ321〜Q325
を含む。
【0081】メモリセルMC0は、トランジスタQ31
0、キャパシタC310を含む。メモリセルMC0は、
ワード線WLおよびビット線BL0と接続される。互い
に相補なビット線対BL0、/BL0は、トランスファ
ゲートとなるトランジスタQ21、Q22を介してセン
スアンプと接続される。また、同様に互いに相補なビッ
ト線対BL1、/BL1もトランジスタQ23、Q24
を介してセンスアンプと接続される。
【0082】センスアンプ回路301は、メモリセルか
らビット線に伝達されたデータをビット線対を構成する
もう一方のビット線との間で差動増幅する。トランジス
タQ321は、ビット線対の電位を互いに等しくするイ
コライザとして機能する。トランジスタQ322、Q3
23は、ビット線対の電位を所定電位VBLにプリチャー
ジするプリチャージ回路として機能する。トランジスタ
Q324、Q325は、互いは相補なデータ入出力線対
IO、/IOとビット線対との接続を制御するI/Oゲ
ートとして機能する。
【0083】上記の構成により、センスアンプは、ビッ
ト線対BL0、/BL0またはBL1、/BL1の一方
とトランジスタQ21〜Q24により接続され、ビット
線対の電位をセンスアンプ回路301で増幅し、データ
入出力線IO、/IOを介して外部へ出力したり、デー
タ入出力線IO、/IOを介して入力された所定のデー
タをメモリセルに書込む。
【0084】次に、BLIドライバについて図面を参照
しながら詳細に説明する。図5は、BLIドライバ14
1の構成を示す回路図である。BLIドライバ142〜
144も図5に示すBLIドライバ141と同様の構成
を有している。
【0085】図5において、BLIドライバ141は、
レベル変換部145、第1レベル選択部146、第2レ
ベル選択部147を含む。
【0086】レベル変換部145は、pチャネルMOS
トランジスタであるトランジスタQ141、Q143、
nチャネルMOSトランジスタであるトランジスタQ1
42、Q144を含む。レベル変換部145は、図11
に示すレベル変換部285と同様の構成であるので、詳
細な説明を省略する。レベル変換部145は、制御信号
BLIK0が“H”(電源電圧VCCレベル)の状態(制
御信号BLIS0が“L”の状態)のとき、出力信号と
して“H”(昇圧電圧VPPレベル)の信号を出力する。
制御信号BLIK0が“L”(接地電位GND)の状態
(制御信号BLIS0が“H”(電源電圧VCCレベル)
の状態)のとき、出力信号として“L”(接地電位GN
D)の信号を出力する。この結果、レベル変換部145
は、電源電圧VCCレベルの信号を昇圧電圧VPPレベルの
信号に変換することができる。昇圧電圧VPPの供給は、
従来例と同様であり、図1では図示していない。
【0087】ここで、昇圧電圧VPPを供給するための昇
圧電圧発生回路について説明する。図14は、昇圧電圧
発生回路の構成を示す回路図である。
【0088】図14を参照して、昇圧電圧発生回路は、
NMOSトランジスタQ300〜Q30n、コンデンサ
C301〜C30nを含む。トランジスタQ300〜Q
30nはダイオード接続され、トランジスタQ301〜
Q30nはさらにキャパシタC301〜C30nとそれ
ぞれ接続される。
【0089】次に、上記の昇圧電圧発生回路の動作につ
いて説明する。図15は、昇圧電圧発生回路に入力され
る互いに相補なクロック信号のタイミングチャートであ
る。
【0090】昇圧電圧発生回路には、互いに相補なクロ
ック信号CK、/CKが入力される。まず、ノードN1
がVCC−Vth(Vthはトランジスタのしきい値電圧)ま
で充電された後、クロック信号CKが入力され、ノード
N1の電位が上昇する。次に、トランジスタQ301が
オンし、ノードN2の電位も上昇する。さらに、クロッ
ク信号/CKが“H”となり、ノードN2の電位がさら
に上昇する。この結果、昇圧電圧発生回路は、コンデン
サC301〜C30nに蓄積された電荷を次々に次段に
送っていくことにより電源電圧VCCより高い昇圧電圧V
PPを発生することができる。以上の動作により、昇圧電
圧発生回路は、安定な昇圧電圧VPPを発生することが可
能となる。
【0091】第1レベル選択部146は、pチャネルM
OSトランジスタであるトランジスタQ145、nチャ
ネルMOSトランジスタであるトランジスタQ146を
含む。トランジスタQ145のゲートには制御信号BL
IMが入力され、電源電圧V CCとトランジスタQ146
と接続される。トランジスタQ146のゲートには制御
信号BLIMが入力され、接地電位GNDと接続され
る。
【0092】制御信号BLIMが“L”の状態のとき、
トランジスタQ145はオンされ、トランジスタQ14
6はオフされる。この結果、第1レベル選択部146は
“H”(電源電圧VCCレベル)の出力信号を出力する。
制御信号BLIMが“H”(電源電圧VCCレベル)の状
態のとき、トランジスタQ145はオフされ、トランジ
スタG146はオンされる。この結果、第1レベル変換
部146は“L”(接地電位GND)の信号を出力す
る。
【0093】第2レベル選択部147は、pチャネルM
OSトランジスタであるトランジスタQ147、nチャ
ネルMOSトランジスタであるトランジスタQ148を
含む。トランジスタQ147は電源電圧VPPとトランジ
スタQ148と接続され、ゲートはレベル変換部145
と接続される。トランジスタQ148は第1レベル変換
部146と接続され、ゲートはレベル変換部145と接
続される。
【0094】レベル変換部145の出力であるノード1
48が“L”(接地電位GND)の状態のとき、トラン
ジスタQ147はオンされ、トランジスタQ148はオ
フされる。この結果、シェアードセンスアンプ制御信号
BLI0は“H”(昇圧電圧VPPレベル)の状態で出力
される。ノード148が“H”(昇圧電圧VPPレベル)
の状態のとき、トランジスタQ147はオフされ、トラ
ンジスタQ148はオンされる。この結果、第1レベル
選択部146の出力であるノード149の状態がシェア
ードセンスアンプ制御信号BLI0として出力される。
つまり、ノード149の状態が“H”(電源電圧VCC
ベル)のとき、シェアードセンスアンプ制御信号BLI
0は“H”(電源電圧VCCレベル)の状態で出力され、
ノード149が“L”(接地電位GND)の状態のと
き、シェアードセンスアンプ制御信号BLI0は“L”
(接地電位GND)の状態で出力される。
【0095】上記のようにBLIドライバ141は構成
されているので、制御信号BLISが“H”(電源電圧
CCレベル)の状態のとき、シェアードセンスアンプ制
御信号BLI0は“H”(昇圧電圧VPPレベル)の状態
で出力される。また、制御信号BLIK0が“L”の状
態であり、かつ、制御信号BLIMが“H”(電源電圧
CCレベル)の状態であるとき、シェアードセンスアン
プ制御信号BLI0は“L”(接地電位GND)の状態
で出力される。一方、制御信号BLIS0が“L”(接
地電位GND)の状態であり、かつ、制御信号BLIM
が“L”(接地電位GND)の状態であるとき、シェア
ードセンスアンプ制御信号BLI0は“H”(電源電圧
CCレベル)の状態で出力される。したがって、制御信
号BLIS、BLIMの状態により、シェアードセンス
アンプ制御信号BLI0として接地電位GND、電源電
圧VCCレベル、昇圧電圧VPPレベルの3つの状態を出力
することができる。
【0096】次に、上記のように構成されたダイナミッ
ク型半導体記憶装置の動作について説明する。図6は、
本装置の動作を説明するタイミングチャートである。
【0097】装置がスタンバイ状態にあるとき、行アド
レスストローブ信号/RASは“H”の状態にある。次
に、行アドレスストローブ信号/RASが“L”に立下
がるり、アクティブ状態となると外部から与えられたア
ドレス信号An(A0〜A8)は行アドレスRAとして
装置内部へ取込まれ、内部行アドレス信号RAnが出力
される。
【0098】また、行アドレスストローブ信号/RAS
が“L”へ立下がると、ワード線駆動マスタ信号φxが
所定の時間遅延された後“H”へ立上がる。φxサブデ
コーダ12は内部行アドレス信号RAnとワード線駆動
マスタ信号φxとに応答して、ワード線サブデコード信
号φx1〜φx4を発生する。この場合、ワード線サブ
デコード信号φx1〜φx4のうちのいずれか1つのみ
が“H”へ立上がる。
【0099】次に、ワード線サブデコード信号φx1〜
φx4に応答して1本のワード線が選択され、ワード線
WLのうちの1つが“H”に立上がる。これにより、選
択されたワード線に接続されるメモリセルの格納する信
号電荷がビット線上に伝達され、センス期間が開始す
る。
【0100】また、行アドレスストローブ信号/RAS
が“L”へ立下がると、所定の時間経過した後、遅延信
号である行アドレスストローブ遅延信号/RASDが
“L”へ立下がる。また、行アドレスストローブ信号/
RASが“L”に立下がると、反転信号である制御信号
BLIMが“H”へ立上がる。
【0101】行アドレスストローブ遅延信号/RASD
が立下がると、ブロック選択信号発生回路8が活性化さ
れ、内部行アドレス信号RA0、RA1の組合わせによ
り選択されたブロック選択信号BS0〜BS3のうちの
1つを除き、他の3つが“H”へ立上がる。
【0102】ブロック選択信号BS0〜BS3のうちの
3つが“H”へ立上がると、シェアードセンス制御部1
3により、制御信号BLIS0〜BLIS3のうち選択
された1つを除き、他の3つが“L”に立下がり、同様
に、制御信号BLIK0〜BLIK3のうちの3つが
“H”へ立上がる。このとき、BLIドライバ部14
は、シェアードセンスアンプ制御信号BLI0〜BLI
3のうち選択された1つを除き、他の3つの信号を
“H”(昇圧電圧VPPレベル)から“L”(接地電位G
ND)へ立下げる。この結果、所定のメモリセルアレイ
が対応するセンスアンプと接続され、選択状態となり、
他のメモリセルアレイは非選択状態となる。
【0103】次に、行アドレスストローブ信号/RAS
が“H”へ立上がると、内部行アドレス信号RAn、ワ
ード線駆動マスタ信号φx、ワード線サブデコード信号
φx1〜φx4およびワード線WLは“L”の状態とな
り、センス期間が終了し、装置は再びスタンバイ状態に
復帰する。
【0104】また、行アドレスストローブ信号/RAS
が“H”へ立上がると、ブロック選択信号発生回路8は
反転信号である制御信号BLIMを“L”へ立下げる。
制御信号BLIMが“L”に立下がると、シェアードセ
ンスアンプ制御信号BLI0〜BLI3のうちの“L”
の状態にある信号は電源電圧VCCレベルまで立上がる。
このとき、昇圧電圧VPPを使用していないので、変換に
よる損失を受けず、消費電流が増加することがなく、消
費電力を低減することができる。
【0105】次に、行アドレスストローブ信号/RAS
が“H”へ立上がり、所定時間経過後遅延信号である行
アドレスストローブ遅延信号/RASDが“H”へ立上
がる。行アドレスストローブ遅延信号/RASDが
“H”へ立上がると、ブロック選択信号BS0〜BS3
は“L”の状態となる。ブロック選択信号BS0〜BS
3が“L”の状態となると、制御信号BLIS0〜BL
IS3は“H”の状態となり、制御信号BLIK0〜B
LIK3は“L”の状態となる。制御信号BLIS0〜
BLIS3が“H”の状態になると、シェアードセンス
アンプ制御信号BLI0〜BLI3が“H”(昇圧電圧
PPレベル)の状態となる。この結果、シェアードセン
スアンプ制御信号BLI0〜BLI3のうち非選択の3
つの信号を電源電圧VCCレベルから昇圧電圧VPPレベル
へ立上げることができる。
【0106】以上のように、本装置は動作するので、ア
クティブ時選択されたシェアードセンスアンプ制御信号
は昇圧電圧VPPレベルでセンスアンプとメモリセルアレ
イのビット線との接続を制御するトランジスタへ入力さ
れるので、電源電圧が変動しても誤動作をすることがな
い。また、非選択のシェアードセンスアンプ制御信号
は、接地電位GNDから昇圧電圧VPPレベルへ立上げる
際、一旦、電源電圧VCCレベルへ立上げた後、昇圧電圧
PPレベルへ立上げているので、電源電圧VCCレベルへ
立上げるまでは昇圧による損失の影響を受けず、消費電
流が増大することなく、BLIドライバ141〜144
での消費電力を大幅に低減することができる。
【0107】次に、本発明による消費電力の低減の効果
について具体的に説明する。接地電位GNDから昇圧電
圧VPPレベルまで立上げる場合に消費する電流Iは次式
で表わされる。
【0108】I=(VPP・CP )/(tC ・a) ここで、CP は立上げする際の負荷容量、tC はサイク
ルタイム、aは昇圧電源VPPレベルを作り出すための効
率である。
【0109】たとえば、VPP=5.5Vとすると、従来
のように、一気に昇圧電圧VPPレベルまで立上げた場合
の消費電流I0 は、変換効率aを0.4とすると、1
3.75CP /tC (mA)となる。一方、本発明のよ
うに一旦電源電圧VCCレベルまで立上げた場合は、電源
電圧VCCを3.3Vとすると、電源電圧VCCレベルまで
立上げる際に消費する電流Ia は、変換による損失がな
いため、変換効率aを1とすることができ、3.3CP
/tC (mA)となる。次に、電源電圧VCCレベルから
昇圧電圧VPPレベルまで立上げる際に消費する電流IB
は、5.5CP /tC (mA)となる。したがって、全
消費電流I1 は8.8CP /tC (mA)となる。この
結果、消費電流は従来の64%となり、消費電力は消費
電流の自乗に比例するので、消費電力は従来の41%と
なり、従来に比べて59%の消費電力を低減することが
可能となる。
【0110】また、本実施例のように、ダイナミック型
半導体記憶装置に本発明を適用した場合、充電時の負荷
となるシェアードセンスアンプ制御信号を伝達する信号
線は長さが長いため、負荷容量が大きくなり、消費電力
の低減の効果はさらに顕著なものとなる。
【0111】次に、リード時、ライト時、リフレッシュ
時等の動作について説明する。リード時は、シェアード
センスアンプ制御信号BLIに応答して選択されたメモ
リセルから読出されたデータがセンスアンプで増幅さ
れ、最終的にデータ入出力線へ出力される。また、ライ
ト時は、データ入出力線から入力されたデータが、セン
スアンプで所定のレベルまで増幅された後、シェアード
センスアンプ制御信号BLIに応じたビット線と接続さ
れるメモリセルに書込まれる。さらに、リフレッシュ時
は、シェアードセンスアンプ制御信号BLIに応じてメ
モリセルからビット線に読出されたデータがセンスアン
プで増幅され、再度、ビット線を介してメモリセルに書
込まれる。
【0112】次に、セルフリフレッシュ時について詳細
に説明する。セルフリフレッシュ時は、上記の各制御信
号の元の信号となる行アドレスストローブ信号/RAS
が入力されないため、セルフリフレッシュ動作を行なう
ことができない。このため、セルフリフレッシュ動作を
指令する信号に応答して擬似的に内部の行アドレススト
ローブ信号/RASを発生させる回路が必要となる。図
16は、セルフリフレッシュ用制御信号発生回路の構成
を示す図である。
【0113】図16を参照して、セルフリフレッシュ用
制御信号発生回路は、基本周期発生回路302、セルフ
リフレッシュ検知回路303、インバータG301、ゲ
ートG302、G303を含む。セルフリフレッシュ用
制御信号発生回路は、たとえば、RASバッファ6とブ
ロック選択信号発生回路8との間に設けられる。
【0114】セルフリフレッシュ検知回路303には、
外部から入力される外部行アドレスストローブ信号/R
ASEおよび外部列アドレスストローブ信号/CASE
が入力される。セルフリフレッシュ検知回路303は、
ここでは一例として、CBR(/CAS before
/RAS)リフレッシュのタイミングに応答して、セ
ルフリフレッシュ動作を検知し、セルフリフレッシュ検
知信号SRを“H”でゲートG302へ出力する。
【0115】基本周期発生回路302には、外部行アド
レスストローブ信号/RASEが入力され、外部行アド
レスストローブ信号/RASEに応答して所定の周期で
クロック信号φR をゲートG302へ出力する。ゲート
G302は、入力したセルフリフレッシュ検知信号SR
とクロック信号φR との論理積をとり、その結果を反転
させた後ゲートG303へ出力する。ゲートG303に
は、インバータG301を介して外部行アドレスストロ
ーブ信号/RASEが入力される。ゲートG303は、
インバータG301およびゲートG302の出力信号の
論理積をとり、さらに反転した後、内部で使用される行
アドレスストローブ信号/RASとして出力する。
【0116】図17は、図16に示すセルフリフレッシ
ュ用制御信号発生回路の動作を説明するためのタイミン
グチャートである。図17を参照して、外部列アドレス
ストローブ信号/CASEが“H”から“L”へ変化し
た後、さらに、外部行アドレスストローブ信号/RAS
Eが“H”から“L”へ立下がると、セルフリフレッシ
ュ検知回路303は、セルフリフレッシュモードに入っ
たことを検知し、セルフリフレッシュ検知信号SRを
“L”から“H”へ立上げる。また、外部行アドレスス
トローブ信号/RASEに応答して基本周期発生回路3
02がクロック信号φR を所定の周波数で出力する。こ
のとき、外部行アドレスストローブ信号/RASEは
“L”の状態にあるので、インバータG301、ゲート
G302およびG303により最終的にクロック信号φ
R と同様の波形が行アドレスストローブ信号/RASと
して出力される。
【0117】以上の動作により、外部から行アドレスス
トローブ信号/RASEが入力されないセルフリフレッ
シュモードにおいても、内部で所定の周期を持つ擬似的
な行アドレスストローブ信号/RASを発生させること
ができる。したがって、発生させた行アドレスストロー
ブ信号/RASに応じて、ブロック選択信号発生回路8
が動作することにより、セルフリフレッシュ時において
も同様に動作することが可能となる。なお、図16に示
すセルフリフレッシュ用制御信号発生回路は、CBRリ
フレッシュについて述べたが、RASオンリリフレッシ
ュ等の他のタイミングでも同様に回路を構成し、セルフ
リフレッシュ動作のタイミングを検出することができれ
ば同様に擬似的な行アドレスストローブ信号/RASを
発生させることができる。
【0118】次に、本発明の第2の実施例の半導体装置
について図面を参照しながら説明する。図7は、本発明
の第2の実施例の半導体装置のBLIドライバ部および
センスアンプ部の構成を示すブロック図である。第2の
実施例において、BLIドライバ部以外は、図1に示す
半導体装置と同様の構成であるので以下その説明を省略
する。
【0119】図7において、BLIドライバ部114
は、BLIドライバ151〜154を含む。BLIドラ
イバ151は、レベル変換部145、第1レベル選択部
146、第2レベル選択部147を含む。レベル変換部
145、第1レベル選択部146、および第2レベル選
択部147の構成は、図5に示すものと同様であるの
で、以下その説明を省略する。本実施例では、第1レベ
ル選択部146と第2レベル選択部147との間のノー
ド149をその他のBLIドライバ152〜154のノ
ード149と接続し、ノード149を各BLIドライバ
が共有している。この場合、第1レベル変換部146の
トランジスタQ145でノード149を電源電圧VCC
ベルに充電し、複数のトランジスタQ146でノード1
49を接地電位GNDに放電できるため、動作速度を向
上することができる。また、ノード149と各電位間の
抵抗が並列に構成されるため、抵抗が小さくなり、消費
電力をさらに低減することが可能となる。
【0120】次に、本発明の第3の実施例である半導体
装置について説明する。図8は、BLIドライバ部に含
まれるBLIドライバの構成を示す回路図である。本実
施例において、BLIドライバ以外は、図1に示す半導
体装置と同様の構成であるので、以下その説明を省略す
る。
【0121】図8において、BLIドライバ161は、
レベル変換部165、第1レベル選択部166、第2レ
ベル選択部167を含む。レベル変換部165は、図5
に示すレベル変換部145と同様の構成を有しているの
で、以下その説明を省略する。
【0122】第1レベル変換部166は、pチャネルM
OSトランジスタであるトランジスタQ165、nチャ
ネルMOSトランジスタであるトランジスタQ166を
含む。トランジスタQ165は、昇圧電圧VPPとトラン
ジスタQ166と接続され、ゲートは、レベル変換部1
65と接続される。トランジスタQ166は接地電位G
NDと接続され、ゲートには制御信号BLIK0が入力
される。
【0123】第2レベル選択部167は、インバータ回
路であるゲートG160、nチャネルMOSトランジス
タであるトランジスタQ167を含む。トランジスタQ
167は、電源電圧VCCと第1レベル選択部166と接
続され、ゲートはゲートG160と接続される。
【0124】制御信号BLIS0が“H”(電源電圧V
CC)の状態であり、制御信号BLIK0が“L”(接地
電位GND)の状態であるとき、レベル変換部165の
出力信号は“L”の状態となり、トランジスタQ165
がオンされ、トランジスタQ166がオフされる。この
結果、第1レベル選択部166の出力信号として“H”
(昇圧電圧VPPレベル)の状態の信号が出力される。こ
の場合、昇圧電圧VPPは電源電圧VCCより大きいので、
トランジスタQ167のオンまたはオフにかかわらず第
2レベル変換部167は“H”(昇圧電圧VPPレベル)
の状態でシェアードセンスアンプ制御信号BLI0を出
力する。
【0125】次に、制御信号BLISが“L”(接地電
位GND)の状態であり、制御信号BLIK0が“H”
(電源電圧VCCレベル)である場合、レベル変換部16
5の出力信号は“H”(昇圧電圧VPPレベル)の状態で
出力され、トランジスタQ165はオフされ、トランジ
スタQ166はオンされる。この結果、第1レベル選択
部166の出力信号は“L”(接地電位GND)の状態
で出力される。この場合、制御信号BLIMが“L”の
状態であると、ゲートG160の出力信号は“H”(電
源電圧VCCレベル)の状態で出力され、トランジスタQ
167はオンされる。この結果、第2レベル選択部16
7は、トランジスタQ167のしきい値電圧をVthとす
ると“H”(VCC−Vthレベル)の状態でシェアードセ
ンスアンプ制御信号BLI0を出力する。一方、制御信
号BLIMが“H”の状態にあるとき、トランジスタQ
167はオフされ、シェアードアンプ制御信号BLI0
は“L”(接地電位GND)の状態で出力される。
【0126】以上のように、BLIドライバ161は制
御信号BLIS0、BLIK0、BLIMの状態に応じ
て、接地電位GND、VCC−Vthレベル、昇圧電圧VPP
レベルの3つの状態でシェアードセンスアンプ制御信号
BLI0を出力することが可能となる。BLIドライバ
161を適用した本実施例の半導体装置の動作はシェア
ードセンスアンプ制御信号を昇圧電圧VPPレベルへ立上
げる際、電源電圧VCCレベルの信号ではなく、VCC−V
thレベルの信号が出力されることを除き、図6に示すタ
イミングチャートと同様であるので以下その説明を省略
する。
【0127】以上のように構成されているので、本実施
例においても、VCC−Vthレベルに立上げるまでは昇圧
により損失を受けずに、消費電流が増大しないため、装
置の消費電力を低減することが可能となる。
【0128】また、本実施例では、BLIドライバ16
1の構成が単純であり、レイアウト面積を縮小すること
ができ、半導体装置の高集積化も併せて行なうことが可
能となる。
【0129】次に、本発明を図1に示すφx発生回路7
に適用した例について説明する。φx発生回路7は、ワ
ード線を駆動するためのワード線駆動マスタ信号φxを
昇圧電圧VPPレベルで出力する場合があり、本発明の各
実施例を同様に適用することが可能である。図18は、
本発明が適用されたφx発生回路の構成を示す回路図で
ある。
【0130】図18を参照して、φx発生回路は、イン
バータG331〜G335、BLIドライバ300を含
む。ここで、BLIドライバ300は、図5に示すBL
Iドライバ141と同様であるので同一部分には同一符
号を付し、以下その説明を省略する。
【0131】インバータG331には、RASバッファ
6から行アドレスストローブ信号/RASが入力され、
インバータG332を介して、インバータG333と第
1レベル選択部146へ出力される。インバータG33
3に入力された信号は、さらにインバータG334に入
力され遅延し、レベル変換部145のトランジスタQ1
42のゲートとインバータG335を介してトランジス
タQ144のゲートへ入力される。したがって、レベル
変換部145へ入力される各信号は、インバータG33
3およびG334による遅延時間だけ第1レベル選択部
146へ入力される信号より遅延して入力される。この
結果、BLIドライバ300は、図5に示すBLIドラ
イバ141と同様に動作し、行アドレスストローブ信号
/RASに応答して、接地電位GNDから電源電圧VCC
レベルまで一旦立上げた後、さらに電源電圧VCCレベル
から昇圧電圧VPPレベルまで立上げられワード線駆動マ
スタ信号φxが出力される。
【0132】従来ワード線駆動マスタ信号φxの発生方
法としては、電源電圧VCCレベルの信号を遅延させキャ
パシタで電荷を蓄積し、昇圧電圧レベルの信号を出力し
ていたが、上記実施例では、安定に供給される電源電圧
CCおよび昇圧電圧VPPを選択することにより同様の波
形を出力しているので、電圧レベルが安定したワード線
駆動マスタ信号φxを発生させることが可能となり、装
置の安定動作を実現することが可能となる。
【0133】上記各実施例では、ダイナミック型半導体
記憶装置についての適用について述べたが、他の半導体
装置であっても、昇圧された電圧を使用し、昇圧電圧の
レベルまで立上げる動作を行なうものであれば、同様の
効果を得ることができ、たとえば、フラッシュメモリ装
置等の他の半導体装置についても適用が可能である。
【0134】
【発明の効果】請求項1記載の半導体装置においては、
第3電圧レベルの信号を出力するまでは昇圧による損失
の影響を受けず、効率よく第3制御信号を出力すること
ができるので、昇圧による消費電流の増大を抑制し、装
置本体の消費電力を低減することが可能となる。
【0135】請求項2および請求項3記載の半導体装置
においては、請求項1記載の半導体装置の効果に加え、
第1、第2、または第3電圧レベルの電圧を選択してい
るので、安定した第3制御信号を出力することができ、
安定な装置の動作を実現することが可能となる。
【0136】請求項4記載の半導体装置においては、請
求項2記載の半導体装置の効果に加え、第3制御信号の
高速応答性を改善することができるので、装置の高速応
答性を改善することが可能となる。
【0137】請求項5記載の半導体装置においては、第
3電圧レベルの信号を出力するまでは昇圧による損失の
影響を受けず、効率よく制御信号を出力することができ
るので、昇圧による消費電流の増大を抑制し、増幅手段
と第1または第2記憶手段との接続を制御する制御信号
を伝達する信号線が長く、負荷容量が大きい場合は、大
幅に消費電力を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の半導体装置の構成を示
すブロック図である。
【図2】本発明の第1の実施例の半導体装置のブロック
選択信号発生回路の構成を示す図である。
【図3】本発明の第1の実施例の半導体装置のシェアー
ドセンス制御部の構成を示す図である。
【図4】本発明の第1の実施例の半導体装置のBLIド
ライバ部およびセンスアンプ部の構成を示す図である。
【図5】本発明の第1の実施例の半導体装置のBLIド
ライバの構成を示す図である。
【図6】本発明の第1の実施例の半導体装置の動作を説
明するタイミングチャートである。
【図7】本発明の第2の実施例の半導体装置のBLIド
ライバ部およびセンスアンプ部の構成を示す図である。
【図8】本発明の第3の実施例の半導体装置のBLIド
ライバの構成を示す図である。
【図9】従来の半導体装置の構成を示すブロック図であ
る。
【図10】従来の半導体装置のBLIドライバ部および
センスアンプ部の構成を示す図である。
【図11】従来の半導体装置のBLIドライバの構成を
示す図である。
【図12】従来の半導体装置のBLIドライバの動作を
説明するタイミングチャートである。
【図13】図4に示すセンスアンプの構成を示す図であ
る。
【図14】昇圧電圧発生回路の構成を示す図である。
【図15】図14に示す昇圧電圧発生回路に入力される
クロック信号のタイミングチャートである。
【図16】セルフリフレッシュ用制御信号発生回路の構
成を示す図である。
【図17】図16に示すセルフリフレッシュ用制御信号
発生回路の動作を説明するためのタイミングチャートで
ある。
【図18】φx発生回路の構成を示す回路図である。
【符号の説明】
1a〜1d メモリセルアレイ 2a、2b センスアンプ部 3 行デコーダ 4 ワードドライバ 5 行アドレスバッファ 6 RASバッファ 7 φx発生回路 8 ブロック選択信号発生回路 9 SF信号発生回路 10 第1センスアンプ活性化回路 11 第2センスアンプ活性化回路 12 φxサブデコーダ 13 シェアードセンス制御部 14 BLIドライバ部 15 行プリデコーダ 16 列アドレスバッファ 17 列プリデコーダ 18 列デコーダ 19 I/Oデコーダ 20 R/W制御部 21 CASバッファ 22 R/Wバッファ 23 入力バッファ 24 出力バッファ 25 センスアンプ制御部 145 レベル変換部 146 第1レベル選択部 147 第2レベル選択部 Q141〜Q148 トランジスタ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1および第2制御信号に応答して出力
    される第3制御信号が第1電圧レベルから昇圧された第
    2電圧レベルへ変化することに応答して所定の動作を行
    なう半導体装置であって、 前記第1制御信号より遅延した前記第2制御信号を出力
    する出力手段と、 前記第3制御信号を前記第1電圧レベルから前記第2電
    圧レベルへ立上げる際、前記第3制御信号を前記第1制
    御信号に応答して前記第1電圧レベルと前記第2電圧レ
    ベルとの間の第3電圧レベルで出力した後、前記第2制
    御信号に応答して前記第2電圧レベルで出力する制御信
    号出力手段とを含む半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記制御信号出力手段は、 前記第1制御信号に応答して前記第1電圧レベルの出力
    信号または前記第3電圧レベルの出力信号を選択して出
    力する第1選択手段と、 前記第2制御信号に応答して前記第1選択手段の出力信
    号または前記第2電圧レベルの出力信号を選択して出力
    する第2選択手段とを含む請求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記制御信号出力手段は、 前記第2制御信号に応答して前記第1電圧レベルの出力
    信号または前記第2電圧レベルの出力信号を選択して出
    力する第1選択手段と、 前記第1制御信号に応答して前記第1選択手段の出力信
    号または前記第3電圧レベルの出力信号を選択して出力
    する第2選択手段とを含む請求項1記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記第1および第2選択手段はそれぞれ
    複数設けられ、 前記第1選択手段と前記第2選択手段との各接続点は共
    通接続される請求項2記載の半導体装置。
  5. 【請求項5】 情報を記憶する第1および第2記憶手段
    と、 前記第1または第2記憶手段から出力される情報信号を
    増幅する増幅手段と、 制御信号に応答して前記増幅手段と前記第1または第2
    記憶手段とを選択的に接続する接続手段と、 前記制御信号を第1電圧レベルから昇圧された第2電圧
    レベルへ立上げる際、 前記制御信号を前記第1電圧レベルから一旦前記第1電
    圧レベルと前記第2電圧レベルとの間の第3電圧レベル
    へ立上げた後、前記第3電圧レベルから前記第2電圧レ
    ベルへ立上げる制御信号出力手段とを含む半導体装置。
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