JPH0712468A - 物品熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置設置面積を節約でき、熱処理槽内の温度
乱れが少なく、例えば窒素ガス導入による無酸化雰囲気
等も維持し易く、被処理物が例えば板状体のような場合
でも、熱処理槽内の容積を有効に利用して大量に処理す
ることができ、それだけランニングコストを低く抑える
ことができる物品熱処理装置を提供する。 【構成】 熱処理槽１Ａ内の物品搬入口１１に近い空間
部及び物品搬出口１２に近い空間部のそれぞれに物品支
持パレット２を縦方向に積み重ね、第１及び第２のパレ
ット支持部材３Ａ、３０Ａ、第１及び第２のパレット昇
降部材４Ａ、４０Ａ、上側のパレット横移動部材５Ａ、
及び下側のパレット横移動部材６Ａにより各パレットを
搬入口１１に臨む位置から順次上昇、横移動、下降及び
戻し横移動させることで循環させ、搬入口１１に臨むパ
レットへは被処理物を搬入部材７Ａ及び第１の受け取り
部材８Ａにより支持させ、搬入口１２に臨むパレットか
らは搬出部材７０Ａ及び第２の受け取り部材８０Ａによ
り処理済みパレットを取り出す物品熱処理装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、各種電気、電子装置、
その部品、各種材料等を所定の温度にさらしてその耐環
境性、耐熱性、耐冷性を試験したり、所望の加熱処理を
加える等の物品熱処理を行う装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の物品熱処理装置として従来知ら
れている代表的なものを例示すると、図４２に示すとお
りである。図４２の（Ａ）図に示す従来装置は、所定温
度雰囲気を得る処理槽Ｈの中にチエーンコンベアのよう
なコンベアＣ１を循環させ、このコンベアに物品Ａを載
せて処理雰囲気中を通過させるものである。

【０００３】（Ｂ）図に示す従来装置は、処理槽Ｈ内に
ローラコンベアＣ２を配置し、このコンベアに物品Ｂを
載せて処理雰囲気中に通過させるものである。（Ｃ）図
に示す従来装置は、処理槽Ｈ中にベッドｂを配置すると
ともに、このベッドに一部嵌入したり、該ベッド面より
上方に突出することができる物品搬送ビームａを配置
し、該ビームａを側方から見て矩形軌道を描くように回
動させることにより、ベッドｂ上に配置した物品Ｃを間
欠的に前進させ、処理雰囲気中に通過させるものであ
る。

【０００４】このほか、実公平３−２８４０号公報に開
示された搬送装置を利用したものもある。この搬送装置
は、図４３にその原理を示すように、恒温装置の中に配
置した物品挾持案内用のレールＲと、このレールと平行
で軸線方向に移動可能且つ円周方向に回動可能のシャフ
トＳと、シャフトＳにその半径方向に突設した突出片Ｐ
とを含み、レールＲに挾持案内される物品Ｔにシャフト
Ｓの回動にて突出片Ｐを臨ませ、その状態でシャフトＳ
を軸方向に移動させることで物品Ｔを所定距離送り、そ
のあとシャフトＳを戻し回動させて突出片Ｐを物品Ｔの
下に配置し、シャフトＳを初期位置へ後退させて次の搬
送に備えるものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来装置によると、物品が水平方向に搬送されるため、該
物品を所定時間、処理雰囲気にさらすためには処理槽を
水平方向に長く形成しなければならず、その結果、熱処
理装置の設置面積が大きくなるという問題がある。

【０００６】また、このように処理槽が水平に長く、低
く形成されるため、処理槽内の高さに比べ、物品の搬入
搬出口寸法の割合が大きくなり、その結果、搬入搬出口
からの外気侵入による処理槽内の温度乱れが大きくな
り、処理装置の信頼性が低下するという問題がある。さ
らに、物品が例えば板状体のもので、水平に配置しなけ
ればならない場合、処理槽内容積が物品熱処理量に対し
大きくなってしまうので、それだけ処理量に比べ、処理
槽に付設される送風機、加熱器容量等が大きくなり、ラ
ンニングコストが高くつくという問題がある。

【０００７】また、実公平３−２８４０号公報記載の搬
送装置を利用したものでは、物品搬送時に物品Ｔと案内
レールＲ間等における摺動のため発塵し易く、塵埃付着
を嫌う物品の処理に供し難いという問題もある。そこで
本発明は、従来の物品熱処理装置に比べ、装置設置面積
を節約でき、熱処理槽内の温度乱れを抑制し易く、被処
理物が例えば板状体のような場合でも、熱処理槽内の内
容積を有効に利用して大量に処理することができ、それ
だけ熱処理装置のランニングコストを低く抑制すること
ができ、また、物品搬送時の発塵も少ない物品熱処理装
置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的に従い
次の二つのタイプの物品熱処理装置を提供するものであ
る。一つは次の第１の物品熱処理装置である。一側部に
物品搬入口を、他側部に物品搬出口を有する熱処理槽
と、被処理物を支持したまま積み重ね可能の複数の物品
支持パレットと、前記物品搬入口及び物品搬出口に臨む
前記熱処理槽内の空間部のそれぞれにおける定位置で前
記パレットを複数段に積み重ねた状態で支持するパレッ
ト支持位置又はそれから後退した後退位置をとることが
できる第１及び第２のパレット支持部材と、前記物品搬
入口に臨む位置に配置される空のパレットを上昇させる
とともに被処理物を掬い上げさせ、それより上方の、前
記第１パレット支持部材に支持されるパレット群に下か
ら重ねることができ、該第１パレット支持部材による支
持に代わって自ら縦パレット群を支持し、昇降させるこ
ともできる第１のパレット昇降部材と、前記第１パレッ
ト昇降部材により支持される縦パレット群のうち上部の
パレットから、前記物品搬出口に臨む位置の上方へ横移
動させる上側の横移動部材と、前記第２パレット支持部
材による支持に代わって自ら縦パレット群を支持し、昇
降させることができる第２のパレット昇降部材で、前記
上側横移動部材により送られてくるパレットを、それよ
り下方のパレット群上に重ねて受けとることができ、該
縦パレット群のうち下部のパレットを、それより上側の
パレット群が前記第２パレット支持部材により支持され
る状態で前記物品搬出口に臨む位置へ下降せることもで
きる第２のパレット昇降部材と、前記物品搬出口に臨む
位置へ降ろされて被処理物を除去されたあとの空パレッ
トを前記物品搬入口に臨む位置へ移動させる横移動部材
で、前記上側の横移動部材と同じ方向に連動移動する下
側の横移動部材と、前記物品搬入口に臨み、前記第１パ
レット昇降部材により前記下側の横移動部材から持ち上
げられて支持される空パレットの上方に前記物品搬入口
から被処理物を搬入する搬入部材で、前記横移動部材と
同方向に連動して前記熱処理槽に出入する搬入部材と、
前記搬入部材により搬入されてきた被処理物を、上昇動
作により一時的に受け取り、前記搬入部材の出退後に下
降して前記空パレットに支持させる昇降可能の第１の受
け取り部材と、前記物品搬出口に臨む位置へ降ろされて
くるパレットから、上昇動作により一時的に被処理物を
受け取る部材で、前記第１受け取り部材と連動昇降する
第２の受け取り部材と、前記第２受け取り部材に支持さ
れ、下降せしめられる被処理物を受け取り、前記物品搬
出口から搬出する搬出部材で、前記搬入部材と同方向に
連動して前記熱処理槽に出入する搬出部材と、前記熱処
理槽外において被処理物を支持し、下降動作により前記
搬入部材上に載置する昇降可能の物品載置用部材と、前
記熱処理槽外において、前記搬出部材により搬出されて
くる被処理物を上昇動作により持ち上げる昇降可能の除
去部材とを備えたことを特徴とする物品熱処理装置。

【０００９】この装置における前記物品支持パレットと
しては、例えば、四隅部のそれぞれに該パレットの搬入
搬出方向に対し横方向に突出して前記上側及び下側の横
移動部材が下から当接支持できる突出部を有するととも
に中央部に被処理物を上方から嵌脱できる上下に貫通す
る中空部を有する枠体と、該枠体の中空部に臨む内縁に
設けられ、被処理物の周縁を線接触又は略線接触状態で
下方から支持できる下り傾斜面を備えている被処理物支
持部と、前記枠体の前記突出部の近傍位置にそれぞれ設
けられた、パレットを一定の間隔をあけて積み重ねるた
めの支柱とを備えているものを挙げることができる。

【００１０】本発明に係るもう一つの第２物品熱処理装
置は次のものである。一側部に物品搬入口を、他側部に
物品搬出口を有する熱処理槽と、被処理物を支持したま
ま積み重ね可能の複数の物品支持パレットと、前記物品
搬入口に臨む前記熱処理槽内の空間部において前記パレ
ットを複数段に積み重ねた状態で支持するパレット支持
位置又はそれから後退した後退位置をとることができ、
前記後退位置に置かれた状態で縦パレット群に対し上下
方向動作可能で、さらに、前記物品搬入口に臨む位置に
配置される空のパレットに、それより上のパレット群を
下降させて積み重ねることができる第１のパレット支持
部材と、前記第１パレット支持部材の若干下方に設けら
れて該パレット支持部材と連動して被処理物を支持でき
る位置又はそれから後退した位置をとることができると
ともに昇降可能であり、前記物品搬入口に臨む位置に配
置されたあと搬入されてくる被処理物を上昇により持ち
上げることができる第１の被処理物支持部材と、前記物
品搬入口に臨む位置に配置される空のパレットに、前記
第１パレット支持部材によって該空パレットより上のパ
レット群が下降せしめられるとき、前記第１の被処理物
支持部材に支持された被処理物を、上昇動作により一時
的に受け取ることができる昇降可能の第１の受け取り部
材と、前記第１パレット支持部材により支持される縦パ
レット群のうち上部のパレットから前記物品搬出口に臨
む位置の上方へ横移動させる上側の横移動部材と、前記
物品搬出口に臨む前記熱処理槽内の空間部において前記
パレットを複数段に積み重ねた状態で支持するパレット
支持位置又はそれから後退した後退位置をとることがで
き、前記後退位置に置かれた状態で縦パレット群に対し
上下方向動作可能で、さらに、縦パレット群のうち下部
のパレットを前記物品搬出口に臨む位置に配置して、そ
れより上のパレット群を上昇させることができ、前記上
側横移動部材により送られてくるパレットを、それより
下方のパレット群上に重ねて受けとることができる第２
のパレット支持部材と、前記物品搬出口に臨む位置へ降
ろされて被処理物を除去されたあとの空パレットを前記
物品搬入口に臨む位置へ移動させる横移動部材で、前記
上側の横移動部材と同じ方向に連動移動する下側の横移
動部材と、前記物品搬出口に臨む位置へ降ろさるパレッ
トから、上昇動作により被処理物を一時的に受け取るこ
とがでる部材で、前記第１の受け取り部材と連動昇降す
る第２の受け取り部材と、前記第２パレット支持部材の
若干下方に設けられて該パレット支持部材と連動して被
処理物を支持できる位置又はそれから後退した位置をと
ることができるとともに昇降可能であり、前記物品搬出
口へのパレットの下降に伴って前記第２受け取り部材上
に支持される被処理物を、それより上のパレット群が前
記第２パレット支持部材により上昇せしめられるときに
共に上昇させることができ、そのあと空パレットが前記
物品搬入口に臨む位置へ横移動せしめられると下降し
て、前記第２受け取り部材に再支持させることができる
第２の被処理物支持部材と、前記物品搬入口に臨む位置
に配置される前記第１の被処理物支持部材の上方へ前記
物品搬入口から被処理物を搬入する搬入部材で、前記横
移動部材と同方向に連動して前記熱処理槽に出入する搬
入部材と、前記第２受け取り部材に再支持される被処理
物を、該第２受け取り部材下へ入り込むことで、該部材
の下降動作に伴って受け取り、前記物品搬出口から搬出
する搬出部材で、前記搬入部材と同方向に連動する搬出
部材と、前記熱処理槽外において被処理物を支持し、下
降により前記搬入部材上に載置する昇降可能の物品載置
用部材と、前記熱処理槽外において、前記搬出部材によ
り搬出されてくる被処理物を上昇動作により持ち上げ
る、前記物品載置用部材と同時的に昇降する除去部材と
を備えたことを特徴とする物品熱処理装置。

【００１１】この第２装置においても、物品支持パレッ
トとして、前記第１装置において例示したパレットを採
用できる。但し、被処理物の周縁を支持する被処理物支
持部は、前記第１及び第２の被処理物支持部材がパレッ
ト上の被処理物を支持するための位置へ入り込むための
空間を残して設けておく。第１及び第２のいずれの物品
熱処理装置においても、前記縦パレット群において前記
物品支持パレットと交互に積み重ねられる通気邪魔部材
を備えてもよい。この場合、この通気邪魔部材は、それ
より上の物品支持パレットに支持される被処理物の下面
に沿う通気を許す空間を提供する一方、それより下方の
物品支持パレットに支持される被処理物の上面に沿う通
気を抑制する部分を備え、前記物品支持パレットと同様
に前記熱処理槽内で循環移動せしめられるものとする。

【００１２】また、パレット及び被処理物を熱処理槽内
で移動させるための各部材を駆動する駆動部が熱にさら
されて劣化したり、作動不良を起こすことをできるだけ
防止するために、さらに、熱処理槽内における発塵を抑
制して、できるだけクリーン状態に維持するために、該
駆動部を該熱処理槽外に設けておくことが望ましい。こ
こに言う駆動部とは、電動モータ、ピストンシリンダ装
置等のモータ及び該モータに接続される伝動装置の全部
又は一部等を含む部分である。

【００１３】また、前記物品搬入口に被処理物の予熱装
置を連設してもよく、前記物品搬出口に被処理物の徐冷
装置を連設してもよい。なお、本発明による物品熱処理
装置における熱処理は、加熱処理、冷却処理等の各種熱
処理を含む概念である。

【００１４】

【作用】次に本発明に係る各物品熱処理装置の動作を説
明するが、その説明において示す参照図は装置動作の理
解を容易にするためのものであり、本発明装置が該図に
示す動作に限定されるものではない。先ず、第１の物品
熱処理装置によると、空のパレットは物品搬入口に臨む
位置で第１パレット昇降部材により支持されて物品の搬
入を待つ（図２０）。一方、搬入口外では物品載置用部
材から、その下降により、搬入部材上に被処理物が載置
され（図２０）、そのあと該搬入部材が熱処理槽内へ進
入し、該被処理物を空パレット上方に配置する（図２
１）。引き続き第１受け取り部材が上昇して搬入部材か
ら被処理物を一時的に持ち上げ（図２２）、その持ち上
げ後、搬入部材は再び熱処理槽外へ出退する（図２
３）。その後 第１受け取り部材が第１パレット昇降部
材に対し相対的に下降するとともに第１パレット昇降部
材が第１受け取り部材に対し相対的に上昇することで空
パレットが持ち上げられ、その途中、被処理物が該パレ
ットに掬い上げられ、さらに、既に第１パレット支持部
材により支持されている縦パレット群の最下段パレット
に下から重ねられる（図２４）。第１パレット昇降部材
はさらに若干上昇せしめられ、それによって縦パレット
群から開放された第１パレット支持部材がその後退位置
に後退する。このとき既に、搬入部材に連動する上側の
横移動部材が該縦パレット群における最上段のパレット
の下に位置している。この状態から第１パレット昇降部
材が下降せしめられ、それによって最上段のパレットは
上側横移動部材に支持され、それより下の縦パレット群
から分離される（図２５）。次に、上側横移動部材及び
それに支持されたパレットが、物品搬出口側の空間部に
おいて第２パレット昇降部材により支持されている縦パ
レット群の上方に移される（図２６）。次に第２パレッ
ト昇降部材が縦パレット群を支持したまま上昇せしめら
れ、それによって該縦パレット群が前述のように横移動
されてきたパレットに下から重ねられ、第２パレット昇
降部材はさらに若干上昇して該パレットを上側横移動部
材の上方へ持ち上げる（図２７、図１１）。この状態で
上側の横移動部材がパレット支持位置から外れる位置へ
移動せしめられ、その後、第２パレット昇降部材が下降
し、かくして第２パレット昇降部材により支持される縦
パレット群のうち最下段のパレットが第２パレット支持
部材より下方に位置すると（図１２）、該第２パレット
支持部材をパレット支持位置へ配置する（図１３）。次
に、最下段のパレットを支持した第２パレット昇降部材
をそのまま下降させて物品搬出口に臨む位置に配置する
とともに、それより上のパレット群を第２パレット支持
部材に支持させる（図１４）。また、最下段のこのよう
なパレットの下降に対し第２受け取り部材を上昇させ、
処理済みの物品を一時的に支持させる（図１４）。この
状態で物品搬出部材を物品搬入口から熱処理槽内へ進入
させ、第２受け取り部材に支持されている被処理物の下
方に配置させる（図１５）。その後、第２受け取り部材
を下降させて今まで支持していた被処理物を搬出部材上
に載置する（図１６）。しかるのち搬出部材を熱処理槽
外へ移動させる（図１７）。またこのように搬出部材を
熱処理槽外へ移動させることにより、これと連動する下
側の横移動部材が空になったパレットを支持する位置に
到来する（図１７）。そこで第２パレット昇降部材を下
降させ、該下側横移動部材上に空のパレットを載置する
（図１８）。しかるのち下側横移動部材を物品搬出口に
臨む位置に移動させ（図１９）、次いで該空パレットを
当初の説明のように第１パレット昇降部材により持ち上
げ支持させる（図２０）。以上説明した工程を繰り返す
ことにより、処理前の被処理物を熱処理槽内に搬入して
空パレットに支持させ、このように被処理物を支持した
パレットを熱処理槽内において上昇させ、横移動させ、
下降させて物品搬出口に臨ませ、そこで搬出部材により
処理済みの被処理物を搬出させたのち、再び空になった
パレットを物品搬入口に移動させるのである。

【００１５】次に第２の物品熱処理装置の動作を説明す
る。この装置では、熱処理槽内の物品搬入口に近い空間
部において第１パレット支持部材上に複数の物品支持パ
レットを積み重ね支持させ、さらにその上方において上
側横移動部材上に一つのパレットを支持させ、第１パレ
ット支持部材の若干下方に置かれている第１の被処理物
支持部材は空の状態にしておく（図３３）。次に、熱処
理槽外で物品載置用部材から、これを下降させることで
物品搬入部材上に処理前の被処理物を載置させる（図３
４）。しかるのち該搬入部材を熱処理槽内へ進入させ、
その上に支持された被処理物を第１被処理物支持部材の
上方に配置する（図３４）。このときの搬入部材に連動
する上側横移動部材は物品搬出口に近い空間部において
第２パレット支持部材に支持されている縦パレット群の
上方に移動せしめられる（図３４）。この状態から第１
パレット支持部材が上昇せしめられ、それによって搬入
部材から被処理物が第１の被処理物支持部材によって持
ち上げられる（図３６）。また、第２パレット支持部材
が下降せしめられ、該部材に支持されている縦パレット
群のうち最下段のパレットが横移動部材上に載置され、
その後、第２パレット支持部材はさらに若干下降せしめ
られたのち、その後退位置に配置される（図３６）。次
いで第２受け取り部材が上昇して下側横移動部材上に配
置されたパレットから処理済みの被処理物を持ち上げ
る。また、第２のパレット支持部材が再び上昇せしめら
れ、下から二段目のパレットを支持できる位置に配置さ
れる（図３７）。その後、第２パレット支持部材が上昇
せしめられる一方、第２受け取り部材が下降せしめら
れ、それよって第２受け取り部材上に支持されていた被
処理物が第２パレット支持部材の若干下方にある第２被
処理物支持部材に持ち上げられ、かくして下側横移動部
材上に空のパレットが残される（図３８）。また、上側
横移動部材に支持されていたパレットにそれより下のパ
レット群が下から重ねられ、さらに若干も持ち上げられ
ることで、該上側横移動部材からそこに支持されていた
パレットが持ち上げられる（図３８）。この状態で下側
の横移動部材が物品搬入口に臨む位置に移動せしめられ
る。このとき上側横移動部材も同時に移動し、第１パレ
ット支持部材上に支持されているパレット群のうち最上
段のパレットとその下の段のパレットの間に入り込み、
上段のパレットを支持できる状態となる（図３９）。し
かるのち第１パレット支持部材が下降せしめられ、それ
に支持されたパレット群が空のパレットに上方から積み
重ねられる。またこのとき第１受け取り部材が上昇せし
められ、それまで第２被処理物支持部材に支持されてい
た被処理物を一時的に持ち上げる（図４０）。また、第
１パレット支持部材に支持されたパレット群が空のパレ
ットの上に積み重ねられたのち、第１パレット支持部材
はその後退位置に配置される（図４０）。このように後
退位置に配置された第１パレット支持部材はさらに空の
パレットの下方まで下降せしめられ、そこで再びパレッ
トを支持できる位置に配置される（図４１）。しかるの
ち第１パレット支持部材が上昇せしめられ、それによっ
て今まで空であったパレットがその上のパレット群とと
もに持ち上げられ、且つ、その持ち上げ途中において空
のパレットが第１受け取り部材上に支持されていた被処
理物を持ち上げる（図３３）。かくして第１パレット支
持部材下方の第１被処理物支持部材が再び当初のように
物品搬入を受け入れる空の状態で配置される（図３
３）。このようにして熱処理槽内では物品支持パレット
が循環せしめられ、物品搬入口に臨む位置に配置される
第１の被処理物支持部材には順次処理前の被処理物が搬
入される一方、物品搬出口に臨む位置に配置され、処理
済みの被処理物を支持する第２被処理物支持部材からは
順次処理済みの被処理物が搬出される。

【００１６】

【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。図１から図２７は本発明の１実施例を示し、図２８
から図４１は本発明の他の実施例を示している。まず１
実施例物品熱処理装置について説明する。図１はその正
面から見た概略断面図であり、図２は被処理物を搬入搬
出し、物品支持パレットを熱処理槽内で循環させるため
の部分の平面図である。図３は一つのパレット支持部材
３Ａ（３０Ａ）の斜視図であり、図４は装置全体の側面
から見た概略断面図であって、一部を省略して示すもの
である。図５はパレット支持部材３Ａ及び３０Ａの駆動
部３ａ及び３０ａを示す平面図であり、図６は第１及び
第２の受け取り部材８Ａ、８０Ａの駆動部８ａを示すも
ので、（Ａ）図はその左側面図、（Ｂ）図は正面図、
（Ｃ）図は右側面図である。図７は物品支持パレット２
の斜視図、図８は該パレットを積み重ねた状態の概略側
面図、図９は通気邪魔部材２０の斜視図、図１０はパレ
ット２と通気邪魔部材２０を交互に積み重ねるときの概
略側面図である。図１１から図２７は装置の動作を説明
する図である。

【００１７】この物品熱処理装置は、図１及び図４に示
すように、断熱壁で囲まれた熱処理槽１Ａを備え、その
正面開口は図４に示すように断熱扉１０９により開閉で
きる。熱処理槽１Ａ内には物品処理空間１０１とこれに
隣合う空調部１０２とが設けられており、これら両者は
物品処理空間１０１背後のヘパフィルタと呼ばれている
高集塵性能フィルタ１０４及び該フィルタの上端から扉
側へ連続する上側仕切板１０５とによって互いに仕切ら
れている。空調部１０２には、前記仕切板１０５の上方
において一対の加熱ヒータ１０６が配置されているとと
もに、その後方にそれぞれ空気循環用ファン１０７が配
置されている。各ファン１０７は熱処理槽１Ａの天井壁
に外装したモータＭによって回転駆動される。両モータ
Ｍはボックス１０８に囲まれており、図示しない集塵機
に接続され、該モータからの発塵が速やかに排除される
ようになっている。

【００１８】熱処理槽１Ａはその下部において一側壁に
物品搬入口１１を有しているとともに、他側壁に搬入口
１１に対向する位置で物品搬出口１２を有している。熱
処理槽１Ａ内の空間のうち物品搬入口１１に近い空間部
には物品支持パレット２が積み上げられるとともに搬出
口１２に近い空間部にも同じパレット２が積み上げられ
る。

【００１９】図７に示すように、各パレット２は板体か
らなる四角形状の枠体２１を備えており、該枠体はその
四隅部のそれぞれにパレットの搬入搬出方向Ｘに対し直
交する方向に突出する突出部２１１を備えている。各突
出部２１１には小孔２１１ａを形成してある。枠体２１
はその中央部に上下に貫通する四角形状の中空部２２を
有しており、該中空部２２は上方から被処理物Ｓを嵌脱
できるサイズに形成されている。また枠体２１の、中空
部２２に臨む各内縁には被処理物Ｓの下周縁を線接触状
態で下方から支持できる下り傾斜面２３１を有する被処
理物支持部２３を一体的に形成してある。該支持部２３
の下り傾斜面２３１は前述の突出部２１１よりも若干低
い位置に配置されている。また、支持部２３はこれに支
持される被処理物Ｓの四隅部分Ｓ１がこの支持部２３か
ら開放される状態で物品Ｓが支持されるようにその大き
さ及び位置が決定されている。

【００２０】さらに、枠体２１には各突出部２１１の近
傍において支柱２４が立設されている。各支柱２４はそ
の上端部２４１が枠体２１の上面から上方へ山形状に突
出しているとともに残りの部分が枠体２１の下面から下
方へ延び、その底面にはこのパレットに重ねられる次の
パレットの支柱の山形突出部２４１が嵌まり込むこめの
凹所２４２を形成してある。

【００２１】なお図７において枠体２１の外縁から上方
へ突出した部分２５は枠体２１と一体に形成された補強
部分である。熱処理槽１Ａの物品搬入口１１に近い空間
部に積み重ねられるパレットに対しては第１パレット支
持部材３Ａ、第１パレット昇降部材４Ａ及び第１受け取
り部材８Ａが設けられている。

【００２２】第１パレット支持部材３Ａは、図７に示す
パレットにおける４本の支柱２４のそれぞれに対応して
４個設けられており、各支持部材３Ａは水平部材からな
っている。各部材３Ａは縦方向に延びるロッド３１の上
端に連結されており、ロッド３１は熱処理槽底壁１１０
に設けた軸受３ａ及び該底壁下方の定位置の板状部材２
００を貫通してさらにその下まで若干延び、駆動部３０
に連結されている。

【００２３】この駆動部３０は、各部材３Ａの下端に連
結したアームリンク３２、定位置に固定されるモータ３
４の回転軸に連結されたモータリンク３３、モータリン
ク３３とこれに隣合うアームリンク３２とを連結するロ
ッドリンク３５、及び隣合うアームリンク３２同士を連
結するロッドリンク３６からなっている。図５中、モー
タ３４によりモータリンク３３が反時計方向ＣＣＷに駆
動されることで各支持部材３Ａがパレットを支持する位
置Ｐ１まで回され、モータリンク３３がモータ駆動にて
逆方向に回されることで、各パレット支持部材３Ａが図
５に示すように後退した位置（図３に示す後退位置Ｒ１
も参照）に配置される。

【００２４】各パレット支持部材３Ａは、図３に示すよ
うに、その先端部に凹所形成部３０１を備えており、部
材３Ａがパレット支持位置に配置されると、この凹所形
成部３０１がパレット２における支柱２４に嵌合しつつ
パレット枠体２１の下面に当接して該パレットを支持で
きるようになっている。第１パレット昇降部材４Ａは、
図７に示すパレットの支柱２４の底面凹所２４２に嵌入
できる図示しない山形突起を有する縦方向ロッドからな
り、該部材４Ａはパレット２の４本の支柱２４に対応さ
せて４本設けられている。それぞれの部材４Ａはその駆
動部４０に連結されている。すなわち、各部材４Ａは、
熱処理槽１Ａの底壁１１０及び該底壁下方の板状部材２
００をも貫通してその下方まで延びている。各部材４Ａ
は熱処理槽底壁１１０から板状部材２００に至る軸受４
１により支持され、昇降可能となっている。かくして板
状部材２００の下方まで突出した各部材４Ａの下端部は
１枚の水平部材４２に連結されており、該水平部材４２
はこれに設けた雌ねじ部材４３に螺合するねじ棒４４の
回転によって熱処理槽１Ａ内を昇降できる。ねじ棒４４
は板状部材２００とこれに架設された下方の板状部材２
０１に回転可能に支持され、板状部材２０１下面に設け
たモータ４５により正転又は逆転駆動される。これらモ
ータ４５等は部材４Ａの駆動部４０を構成しており、モ
ータ４５の正転又は逆転により各部材４Ａが昇降する。

【００２５】第１受け取り部材８Ａは被処理物Ｓを下か
ら支えるためのもので、縦方向ロッドからなり、４本設
けられている。これら部材は図２に示すように、平面か
らみると、４角形の四隅に配置された格好となってい
る。各部材８Ａは、熱処理槽１０１の底壁１１０に設け
た軸受８１により昇降自在とされている。この部材の駆
動部８０については後述する。

【００２６】一方、熱処理槽１Ａ内の物品搬出口１２に
近い空間部に積み重ねられるパレット２に対応させて、
第２パレット支持部材３０Ａ、第２パレット昇降部材４
０Ａ及び第２受け取り部材８０Ａがそれぞれ設けられて
いる。第２パレット支持部材３０Ａは、第１パレット支
持部材３Ａと同様に水平部材からなり（図３も参照）、
パレット２の４本の支柱２４に対応させて４本設けられ
ている。各部材３０Ａは前記第１部材３Ａと同様に縦方
向に延びるロッド３１に支持され、各ロッドは前記第１
部材３Ａを回動駆動する駆動部３０と左右対称である点
を除いて同構成の駆動部３０ａにより往復回動せしめら
れ、パレットを支持する位置Ｐ１又はそれから後退した
位置Ｒ１に配置される（図５及び図３参照）。

【００２７】第２パレット昇降部材４０Ａは、前記第１
パレット昇降部材４Ａと同様に縦方向ロッドからなり、
パレットの４本の支柱２４に対応させて４本設けられて
いる。これら部材４０Ａは、前記第１部材４Ａの駆動部
４０と同構成の駆動部４０ａにより熱処理槽内を昇降駆
動される。第２受け取り部材８０Ａは被処理物Ｓを下か
ら支えるためのもので、４本設けられており、それぞれ
は前記第１の受け取り部材８Ａの場合と同様に、熱処理
槽１Ａの底壁１１０に設けた軸受８１により昇降自在と
されている。

【００２８】前述した第１受け取り部材８Ａ及びこの第
２受け取り部材８０Ａはこれらに共通する駆動部８０に
より熱処理槽内で昇降駆動される。図６に示すように、
部材８Ａ、８０Ａのうち、熱処理槽扉側の部材は、それ
らの下端部が被処理物の搬入搬出方向Ｘに延びる水平部
材８２に連結されており、反対側（奥側）の部材８Ａ、
８０Ａは前記水平部材８２と対をなす水平部材８３に連
結されている。駆動部８０は、モータ８Ｍにより正逆駆
動される、熱処理槽扉側の左右一対の往復スライダクラ
ンク機構８４により水平部材８２を昇降させると同時
に、該機構に連動可能に連結された奥側の左右一対の往
復スライダクランク機構８５により水平部材８３を昇降
させ、それによって部材８Ａ、８０Ａを同時に昇降させ
るものである。

【００２９】以上説明した第１及び第２のパレット支持
部材３Ａ、３０Ａ、第１及び第２のパレット昇降部材４
Ａ、４０Ａ、第１及び第２の受け取り部材８Ａ、８０Ａ
の位置関係は、図２及び図４から分かるように、第１及
び第２のパレット支持部材３Ａ、３０Ａが被処理物の搬
入搬出方向Ｘに直角な方向において一番外側の両側に、
第１及び第２パレット昇降部材４Ａ、４０Ａがそれより
内側に、第１及び第２受け取り部材８Ａ、８０Ａがさら
にそれより内側に配置されている。

【００３０】上記の他、熱処理槽１Ａの物品搬入口１
１、物品搬出口１２を貫通する一対の平行な水平ビーム
５０が設けられているとともに、それらビームの内側に
もビーム５０と同じ長さの一対の平行な水平ビーム６０
が設けられている。熱処理槽１Ａの扉側に近い位置にあ
るビーム５０、６０は互いに接近しており、これらビー
ムの間を、扉側の第１、第２パレット支持部材３Ａ、３
０Ａを支持する各縦方向ロッド３１が上下に貫通してい
る。また、奥側のビーム５０、６０も互いに接近してお
り、これらビームの間を、奥側の第１、第２パレット支
持部材３Ａ、３０Ａを支持する各縦方向のロッド３１が
上下に貫通している。

【００３１】前記第１、第２パレット昇降部材４Ａ、４
０Ａ並びに第１、第２受け取り部材８Ａ、８０Ａは内側
のビーム６０、６０の間に配置されている。以上説明し
た４本のビーム５０、６０はその駆動部Ｄにより往復駆
動される。駆動部Ｄは次のように構成されている。すな
わち、物品搬入口１１側の端部及び物品搬出口１２側の
端部のそれぞれがこれらビームに対して直角な方向に延
びる横部材７０によって相互に連結されており、さらに
各部材７０から２本ずつ下方へ延びる脚部材７０１の下
端部が前記板状部材２００の上面に設けた一対のレール
（物品搬入搬出方向に延びるレール）７０２に沿って物
品搬入搬出方向に往復動できるようになっている。そし
て、物品搬入口１１に近い位置にある一対の脚部材７０
２の下端部には横部材７０３が固定されており、その中
央部に雌ねじ部材７０４が固定され、この雌ねじ部材に
ねじ棒７０５が螺合している。また、このねじ棒７０５
は板状部材２００に設けた軸受け部材７０６に回転自在
に支持されている。該ねじ棒７０５は板状部材２００に
架設したモータ７０７により伝動装置７０８を介して正
転逆転駆動される。従って、モータ７０７を正転又は逆
転することにより４本のビーム５０、６０を同時に往復
動させることができる。

【００３２】これらビームのうち内側の一対のビーム６
０のそれぞれには搬入部材７Ａが２本ずつ立設されてい
る。一方のビーム６０における搬入部材７Ａと他方のビ
ーム６０における搬入部材７Ａは互いに向かい合ってい
る。また各ビーム６０には搬入部材７Ａよりもビーム端
部側において２本の補助搬入部材７Ａａが立設されてい
る。これら補助搬入部材７Ａａは一方のビームと他方の
ビームにおいて互いに向かい合っている。また、これら
一対のビーム６０のそれぞれには、前記搬入部材７Ａを
設けた側とは反対側の端部においてそれぞれ搬出部材７
０Ａが２本ずつ立設されており、これら搬出部材７０Ａ
は２本のビーム６０において互いに向かい合っている。
さらにそれら搬出部材７０Ａよりもさらにビーム端部側
において補助搬出部材７０Ａａが各ビームに２本ずつ立
設されており、これら補助搬出部材もビーム６０、６０
間において互いに向かい合っている。

【００３３】本例では４本一組の搬入部材７Ａと４本一
組の補助搬入部材７Ａａ間の間隔は、４本一組の搬出部
材７０Ａと４本一組の補助搬出部材７０Ａａとの間隔と
等しくされている。また一対のビーム６０のそれぞれに
は前記搬入部材７Ａ及び搬出部材７０Ａの間において下
側の横移動部材６Ａが２個ずつ設けられている。両ビー
ム６０、６０間において、これら横移動部材６Ａは互い
に向かい合っている。また、これら横移動部材６Ａは、
図７に示すパレットにおける枠体の突出部２１１におけ
る小孔２１１ａに嵌合できる上面突起部（図示せず）を
備えており、該図示しない突起部が小孔２１１ａに嵌合
して突出部２１１を下側から支持できるようにそれぞれ
内側へ向けビーム６０から突出している。さらに、各下
側横移動部材６Ａの上方には、内側へ同突出量を持つ上
側横移動部材５Ａが配置されており、それら上側横移動
部材５Ａは外側のビーム５０に立設した柱５００の上端
部に水平に支持されている。各部材５Ａも、図７に示す
パレットにおける枠体の突出部２１１における小孔２１
１ａに嵌合できる上面突起部（図示せず）を備えてお
り、該図示しない突起部が小孔２１１ａに嵌合して突出
部２１１を下側から支持できる。

【００３４】以上説明した、搬入部材７Ａ、搬出部材７
０Ａ、上側横移動部材５Ａ、下側横移動部材６Ａの物品
搬入搬出方向における間隔は、搬入部材７Ａが熱処理槽
１Ａ内の物品搬入口１１に近い空間部に配置される縦パ
レット群に対応して配置されるとき、搬入部材７０Ａが
物品搬出口１２の外にあり、上側及び下側の横移動部材
５Ａ、６Ａが共に熱処理槽１Ａ内の搬出口１２に近い空
間部に配置される縦パレット群に対応する位置におか
れ、また搬出部材７０Ａが熱処理槽１Ａ内の搬出口１２
に近い空間部における縦パレット群に対応する位置に配
置されるとき、搬入部材７Ａが搬入口１１Ａの外に配置
されるとともに、上側及び下側の横移動部材５Ａ及び６
Ａが共に搬入口１１に近い空間部における縦パレット群
に対応する位置に配置されるように設定されいる。

【００３５】また、物品搬入口１１の外側にはそれぞれ
が上下に延びる４本のロッドからなる物品載置用部材９
Ａが二組、物品搬入搬出方向において相前後して設けて
あり、これら物品載置用部材９Ａは前述した第１及び第
２の受け取り部材８Ａ、８０Ａを昇降駆動する駆動部８
０と同様の駆動部９０によって昇降せしめられ、その上
端は搬入部材７Ａ及び補助搬入部材７Ａａの物品支持面
よりも高い位置又はそれより低い位置の間を往復昇降で
きる。そしてこれら載置用部材９Ａは図２に示すように
搬入部材及び補助搬入部材よりもさらに内側に配置され
ている。

【００３６】一方、物品搬出口１２の外側にはそれぞれ
が４本の縦方向に延びるロッドからなる除去部材９０Ａ
が二組、物品搬入搬出方向において相前後して設けられ
ており、これら除去部材も前述した第１及び第２の受け
取り部材８Ａ、８０Ａの駆動部８０と同様の駆動部９０
０によって昇降せしめられる。このとき除去部材９０Ａ
は搬出部材及び補助搬出部材の物品支持面より高い位置
又はそれより低い位置の間を往復昇降できる。そしてこ
れら除去部材９０Ａは搬出部材及び補助搬出部材よりさ
らに内側に配置されている。

【００３７】前述した二組の物品載置用部材９Ａ、９Ａ
は、搬入部材７Ａ及び補助搬入部材７Ａａが共に物品搬
入口１１の外に配置されているとき、それらに対応する
位置をとり、搬入部材７Ａが熱処理槽１Ａ内に進入した
状態では搬入口１１に近い方の載置用部材９Ａが搬入口
１１の外に残された補助搬入部材７Ａａに対応する位置
をとるようにその位置が設定されている。

【００３８】また二組の除去部材９０Ａ、９０Ａは、搬
出部材７０Ａ及び補助搬出部材７０Ａａが共に物品搬出
口１２の外側に配置されているときは、これらに対応す
るように、そして搬出部材７０Ａが熱処理槽１Ａ内に入
っていて補助搬出部材７０Ａａが搬出口１２の外側に残
されているときには、搬出口１２に近い側の除去部材９
０Ａがこの補助搬出部材に対応するようにその位置が設
定されている。

【００３９】また、物品搬入口１１には熱処理槽１Ａ内
に搬入される前の被処理物を予熱するための予熱装置Ｐ
Ｈが連設されているとともに物品搬出口１２は熱処理槽
１Ａから搬出されてきた被処理物を徐冷するための徐冷
装置ＡＣが連結されている。予熱装置ＰＨや徐冷装置Ａ
Ｃの構造は被処理物の搬入や搬出を妨げない限り特に限
定はない。

【００４０】なお、前述したパレット支持部材３Ａ、３
０Ａの駆動部３０、３０ａ、パレット昇降部材４Ａ、４
０Ａの駆動部４０、４０ａ、受け取り部材８Ａ、８０Ａ
の駆動部８０、水平ビーム５０、６０の往復駆動部Ｄ、
物品載置用部材９Ａの駆動部９０、除去部材９０Ａの駆
動部９００等の駆動部は前述したものに限定されるもの
ではなく、ピストンシリンダ装置その他の手段を用いた
ものでもよいことは勿論である。

【００４１】次に、以上説明した第１実施例の装置の動
作を、図１１から図２７を参照して、また、被処理物Ｓ
として液晶表示装置のガラス基板の上面に塗膜を形成し
てこれを加熱乾燥処理する場合を例にとって説明する。
なお、熱処理中、熱処理槽１Ａにおいては、ヒータ１０
６及びファン１０７の運転により、物品処理空間１０１
の略全域に所定温度の熱風がフィルタ１０４から扉１０
９側へ向け吹き出され、再び空調部１０２に吸い込まれ
るように循環する。この空気流れは、図７及び図９にお
いてＡｉで示してある。 〔図１１のステップ〕この状態ではパレット昇降部材４
Ａ上にガラス基板Ｓを支持したパレット２が積み重ねら
れているとともにパレット昇降部材４０Ａ上にもガラス
基板Ｓを支持したパレット２が積み重ねられている。パ
レット支持部材３Ａ、３０Ａは共に縦パレット群の最下
段のパレットよりさらに下方にあって後退位置に配置さ
れている。上側横移動部材５Ａは左側パレット群の最上
段パレットとその下のパレットとの間に配置されてい
る。搬入部材７Ａは熱処理槽内に入って右側のパレット
群の下方に配置されているが、搬出部材７０Ａは処理槽
の外に置かれている。物品載置用部材９Ａは上昇して処
理前の２枚のガラス基板Ｓを支持している。除去部材９
０Ａも上昇して熱処理後のガラス基板Ｓを搬入部材７０
Ａの上方に支持している。受け取り部材８Ａ、８０Ａは
共に下降している。 〔図１２のステップ〕ビーム５０、６０が図中右方向に
若干移動し、上側横移動部材５Ａが左側の最上段パレッ
トにおける左右の突出部２１１（図７参照）の間に配置
されるとともに２つのパレット群の間に配置され、かく
して左側のパレット群の下降を許す状態とされる。この
状態からパレット昇降部材４０Ａが下降し、パレット支
持部材３０Ａが最下段のパレットとその上のパレットの
間に位置する。 〔図１３のステップ〕パレット支持部材３０Ａはパレッ
ト支持位置へ回動する。また、このとき受け取り部材８
Ａ、８０Ａが上昇する。 〔図１４のステップ〕パレット昇降部材４０Ａが下降
し、左側パレット群の最下段のパレット２をそれより上
のパレットから分離させる。このときこのパレット２に
支持されていたガラス基板Ｓは受け取り部材８０Ａに支
持される。 〔図１５のステップ〕ビーム５０、６０が図中右方向に
移動し、搬入部材７Ａが搬入口の外で待ち受ける処理前
のガラス基板Ｓの下に位置する。また同時に搬出部材７
０Ａが受け取り部材８０Ａに支持されているガラス基板
Ｓの下方に配置される。さらに補助搬出部材７０Ａａが
除去部材９０Ａに支持されている処理済みのガラス基板
Ｓの下方に配置される。 〔図１６のステップ〕受け取り部材８０Ａが下降し、そ
れによってガラス基板Ｓが搬出部材７０Ａに載置され
る。またこれと同時的に除去部材９０Ａが下降し、それ
に支持されていた処理済みのガラス基板Ｓが補助搬出部
材７０Ａａ上に載置される。 〔図１７のステップ〕ビーム５０、６０が図中左方向に
移動し、今まで熱処理槽内にあった処理済みのガラス基
板Ｓが槽外へ搬出される。またビーム５０、６０が左方
向へ移動することにより下側横移動部材６Ａが左側の空
になったパレット２を支持できる位置に移動する。 〔図１８のステップ〕パレット昇降部材４０Ａを下降さ
せ、それによって空のパレット２を下側横移動部材６Ａ
上に載置する。また除去部材９０Ａが上昇し、搬出部材
７０Ａ、７０Ａａ上にあった処理済みのガラス基板Ｓを
支持する。 〔図１９のステップ〕ビームが図中右方向に移動し、空
のパレット２が右側のパレット群の下方に配置されると
ともに搬入部材７Ａが物品搬入口の外で待ち受けるガラ
ス基板Ｓの下に配置される。 〔図２０のステップ〕パレット昇降部材４Ａが上昇して
今まで下側横移動部材６Ａに支持されていた空パレット
２を持ち上げる。また物品載置用部材９Ａが下降し、そ
れによって搬入部材７Ａ上にガラス基板Ｓが載置され
る。 〔図２１のステップ〕ビームが図中左方向に移動し、搬
入部材７Ａがガラス基板Ｓを支持したまま熱処理槽内に
進入する。 〔図２２のステップ〕受け取り部材８Ａが上昇し、搬入
部材７Ａに支持されていたガラス基板Ｓを持ち上げる。 〔図２３のステップ〕ビームが再び図中右方向に移動
し、搬入部材７Ａが槽外へ出されるとともに、上側横移
動部材５Ａが右側の縦パレット群の最上段のパレット２
とその下のパレットとの間に配置される。 〔図２４のステップ〕パレット昇降部材４Ａが上昇する
とともに受け取り部材８Ａが下降し、今まで空であった
パレットが上昇せしめられ、それによって今まで受け取
り部材８Ａに支持されていたガラス基板Ｓをそれに支持
し、該パレットはそれより上のパレット群に下から重ね
られ、さらに若干持ち上げられる。一方、左側のパレッ
ト群においてもパレット昇降部材４０Ａが上昇して左側
のパレット群を支持する。かくして左右のパレット群が
パレット昇降部材４Ａ、４０Ａに支持された状態でパレ
ット支持部材３Ａ、３０Ａがその後退位置に回動せしめ
られる。 〔図２５のステップ〕パレット昇降部材４Ａが下降し、
それによって最上段のパレット２が上側横移動部材５Ａ
に載置される。また左側のパレット昇降部材４０Ａも下
降してそれに支持されるパレット群の上方に右側最上段
のパレットが移動してくる空間を形成する。 〔図２６のステップ〕ビームが図中左方向に移動し、上
側横移動部材５Ａに支持されたパレット２が左側のパレ
ット群の上方に位置する。 〔図２７のステップ〕左側のパレット昇降部材４０Ａが
上昇し、上側横移動部材５Ａに支持されていたパレット
２にそれより下方のパレット群を下から重ねて持ち上げ
る。またパレット昇降部材４Ａも上昇して図１１に示す
当初の状態へ到来する。一方、熱処理槽外では新たなガ
ラス基板Ｓが図示しない搬送手段により空いた物品載置
用部材９Ａに載置される。一方、補助搬出部材７０Ａａ
の上方に除去部材９０Ａによって支持されていた処理済
みのガラス基板Ｓが図示しない搬送手段により搬出され
る。

【００４２】以上の動作の繰り返しによりガラス基板の
搬入搬出、並びにパレット及びガラス基板の熱量槽内で
の循環移動が繰り返され、ガラス基板が加熱乾燥処理さ
れる。次に本発明の他の実施例である物品熱処理装置を
図２８から図４１を参照して説明する。図２８はこの物
品熱処理装置の正面側から見た概略断面図であり、図２
９は該装置における物品搬入搬出のための部分及び熱処
理槽内において物品支持パレットや被処理物を循環移動
させるための部分を平面から見て示す図である。また、
図３０はパレット支持部材及びこれに連動する被処理物
支持部材の斜視図であり、図３１は図２８に示す装置の
側面側から見た断面を一部省略して示す図である。図３
２は物品搬入部材及び補助搬入部材と物品搬出部材及び
補助搬出部材を連動させる場合の一例の説明図である。
図３３から図４１はこの装置の動作説明図である。

【００４３】この装置は図１から図２７に示す物品熱処
理装置に類似した構造を有する。この装置は、図１に示
す装置における熱処理槽１Ａ、物品支持パレット２、上
側横移動部材５Ａ、下側横移動部材６Ａ、搬入部材７
Ａ、補助搬入部材７Ａａ、搬出部材７０Ａ、補助搬出部
材７０Ａａ、部材５Ａ、６Ａ、７Ａ、７Ａａ、７０Ａ、
７０Ａａを搭載するビーム５０、６０、ビーム駆動部
Ｄ、受け取り部材８Ａ、８０Ａ、部材８Ａ、８０Ａの駆
動部８０、物品載置用部材９Ａ、部材９Ａの駆動部９
０、除去部材９０Ａ、部材９０Ａの駆動部９００、予熱
装置ＰＨ、徐冷装置ＡＣにそれぞれ相当し、サイズ、形
状、動作距離等が若干ことなることがある点を除けば実
質上同構造の熱処理槽１Ｂ、物品支持パレット２、上側
横移動部材５Ｂ、下側横移動部材６Ｂ、搬入部材７Ｂ、
補助搬入部材７Ｂｂ、搬出部材７０Ｂ、補助搬出部材７
０Ｂｂ、部材５Ｂ、６Ｂ、７Ｂ、７Ｂｂ、７０Ｂ、７０
Ｂｂを搭載するビーム５０、６０、ビーム駆動部Ｄ、受
け取り部材８Ｂ、８０Ｂ、部材８Ｂ、８０Ｂの駆動部８
０、物品載置用部材９Ｂ、部材９Ｂの駆動部９０、除去
部材９０Ｂ、部材９０Ｂの駆動部９００、予熱装置Ｐ
Ｈ、徐冷装置ＡＣを備えている。

【００４４】なお、ビーム６０に搭載される部材７Ｂ、
７Ｂｂ、７０Ｂ、７０Ｂｂは他の部材との衝突を避ける
ため屈曲して立ち上がっている（図３１参照）。また、
熱処理槽１Ｂの物品搬入口１３、物品搬出口１４は図１
に示す熱処理槽１Ａとは図面において位置を左右反対に
して設けてある。従って、この装置では物品搬入搬出方
向は図２８以降の図面において示すＹ方向となる。ま
た、この実施例では搬入部材・補助搬入部材、搬出部材
・補助搬出部材は同時に上昇せしめられ、同時に下降せ
しめられる。従って搬入部材、搬出部材等は例えば図３
２に示すように、一つの駆動機構７Ｄにより互いに連動
して昇降するように構成しても構わない。

【００４５】この装置が図１に示す装置と大きく異なる
点は、図１の装置における、定位置で回動してパレット
支持位置又は後退位置をとるパレット支持部材３Ａ、３
０Ａに代えて、昇降可能で、パレット支持位置−後退位
置間を回動できるパレット支持部材３Ｂ、３０Ｂを採用
するとともに、該部材と連動して昇降、回動する被処理
物支持部材４Ｂ、４０Ｂを採用した点である。

【００４６】この装置においても熱処理槽１Ｂ内におけ
る物品搬入口１３に近い空間部には図７に示すパレット
２が縦方向に積み重ね配置され、物品搬出口１４に近い
空間部にもパレット２が積み重ねられる。そして搬入口
１３に近い側の縦パレット群に対して、第１パレット支
持部材３Ｂ及び第１の被処理物支持部材４Ｂが設けら
れ、搬出口１４に近い縦パレット群に対して、第２のパ
レット支持部材３０Ｂ及び第２の被処理物支持部材４０
Ｂが設けられている。

【００４７】パレット支持部材３Ｂ、３０Ｂは、それぞ
れ、パレット２の４本の支柱２４に対応させて４個ずつ
設けられている。各部材３Ｂ、３０Ｂは、図３０に示す
ように、水平部材からなり、その先端部に凹所形成部３
０１を有し、後端部が縦方向ロッド３８の上端に連結、
支持されている。また、支持部材３Ｂには、そのパレッ
ト支持上面より少し低い位置に被処理物支持面を有する
第１の被処理物支持部材４Ｂが一体的に、且つ、支持部
材３Ｂに対し略９０°の角度をなして形成さている。支
持部材３０Ｂに対しても同様に第２の被処理物支持部材
４０Ｂが設けられている。各支持ロッド３８は図２９及
び図３１に示すように、ビーム５０、６０の間を上下に
貫通している。

【００４８】パレット支持部材３Ｂ及び被処理物支持部
材４Ｂを支持するロッド３８は回動駆動部３Ｄに連結さ
れているとともに昇降駆動部４Ｄに連結されている。回
動駆動部３Ｄは、昇降駆動部４Ｄに支持され、部材３
Ｂ、４Ｂとともに昇降せしめられる。また、パレット支
持部材３０Ｂ及び被処理物支持部材４０Ｂを支持するロ
ッド３８は回動駆動部３０Ｄに連結されているとともに
昇降駆動部４０Ｄに連結されている。回動駆動部３０Ｄ
は、昇降駆動部４０Ｄに支持され、部材３０Ｂ、４０Ｂ
とともに昇降せしめられる。回動駆動部３Ｄ、３０Ｄ
は、図１の装置におけるパレット支持部材駆動部３０、
３０ａと同様に、モータ駆動されるリンク機構を利用す
るものであり、昇降駆動部４Ｄ、４０Ｄは、図１の装置
におけるパレット昇降部材駆動部４０、４０ａと同様に
モータ駆動されるねじ機構を利用するものである。

【００４９】これら駆動部により、各部材３Ｂ、４Ｂは
共に昇降され、回動される。そして図３０に示すよう
に、回動により部材３Ｂが、その凹所形成部３０１をパ
レット支柱２４に嵌合させつつパレット枠体２１の下面
を支持することができる、或いは部材４Ｂが被処理物Ｓ
の四隅部分Ｓ１（図７参照）を支持することができる支
持位置Ｐ１をとることができ、また、後退してパレット
や被処理物に衝突しない位置Ｒ１をとることができる。
部材３０Ｂ、４０Ｂについても同様である。

【００５０】次に、以上説明した第２実施例装置の動作
を、図３３から図４１を参照して、また、被処理物Ｓと
して液晶表示装置のガラス基板の上面に塗膜を形成して
これを加熱乾燥処理する場合を例にとって説明する。な
お、熱処理中、熱処理槽１Ｂにおいては、ヒータ１０６
及びファン１０７の運転により、物品処理空間１０１の
略全域に所定温度の熱風がフィルタ１０４から扉１０９
側へ向け吹き出され、再び空調部１０２に吸い込まれる
ように循環する。 〔図３３のステップ〕熱処理槽内ではパレット支持部材
３Ｂ上に物品支持パレット２が積み上げ支持されてお
り、さらにその上方において上側横移動部材５Ｂがパレ
ット２を支持している。また右側のパレット支持部材３
０Ｂ上にも複数のパレット２が積み上げ支持されてい
る。さらに受け取り部材８Ｂ、８０Ｂが上昇しており、
右側の受け取り部材８０Ｂは処理済みのガラス基板Ｓを
支持している。また搬出部材７０Ｂが該ガラス基板の下
方に配置されている。

【００５１】熱処理槽の外側では物品載置用部材９Ｂ及
び除去部材９０Ｂが共に上昇しており、物品載置用部材
９Ｂには２枚の処理前のガラス基板Ｓが支持されてい
る。除去部材９０Ｂには１枚の被処理済みのガラス基板
Ｓが支持されている。 〔図３４のステップ〕受け取り部材８Ｂ及び８０Ｂが下
降し、それよって受け取り部材８０Ｂに支持されていた
ガラス基板Ｓが搬出部材７０Ｂに載置される。また物品
載置用部材９Ｂ及び除去部材９０Ｂが共に下降し、搬入
部材７Ｂ及び補助搬入部材７Ｂｂ上にそれぞれ処理前の
ガラス基板Ｓが載置されるとともに補助搬出部材７０Ｂ
ｂ上に処理済みのガラス基板Ｓが載置される。 〔図３５のステップ〕ビーム５０、６０が図中右方向に
移動し、それまで搬入部材７Ｂ上に支持されていたガラ
ス基板が熱処理槽内に搬入され、被処理物支持部材４Ｂ
上方に配置されるとともに上側横移動部材５Ｂも右側へ
移動することでそれに支持されているパレット２も右側
のパレット群の上方に配置される。さらに搬出部材７０
Ｂが槽外へ出ることで、それに支持されている処理済み
のガラス基板Ｓも槽外へ搬出される。 〔図３６のステップ〕パレット支持部材３Ｂ及び被処理
物支持部材４Ｂが上昇することで左側のパレット群が持
ち上げられるとともに、その途中で被処理物支持部材４
Ｂによって搬入部材７Ｂからガラス基板Ｓが持ち上げら
れる。一方、右側のパレット支持部材３０Ｂは下降し、
これによって右側のパレット群が下側の横移動部材６Ｂ
上に置かれ、その後、パレット支持部材３０Ｂは後退位
置に置かれる。また物品搬入口の外側では物品載置用部
材９Ｂが上昇し、それまで補助搬入部材７Ｂｂに支持さ
れていたガラス基板を持ち上げる。さらに空になってい
る物品載置用部材９Ｂ上に新たなガラス基板Ｓが図示し
ない手段により載置される。また物品搬出口の外側でも
除去部材９０Ｂが上昇し、搬出部材７０Ｂ及び補助搬出
部材７０Ｂｂ上に支持されていた処理済みのガラス基板
Ｓを持ち上げる。 〔図３７のステップ〕受け取り部材８０Ｂが上昇し、右
側パレット群のうち最下段のパレットからそれに乗って
いた処理済みのガラス基板Ｓを持ち上げる。また補助搬
出部材７０Ｂｂ上にあった処理済みガラス基板が図示し
ない手段により搬出される。またパレット支持部材３０
Ｂが最下段パレットとその上のパレットの間まで上昇し
てパレット支持位置へ回動する。 〔図３８のステップ〕支持部材３０Ｂがさらに上昇して
それが支持しているパレット群を上方の上側横移動部材
５Ｂに支持されていたパレットに下から重ねる。またパ
レット支持部材３０Ｂの上昇に伴って被処理物支持部材
４０Ｂも上昇し、さらに、受け取り部材８０Ｂが下降す
ることで、該被処理物支持部材４０Ｂが、それまで受け
取り部材上に支持されていたガラス基板Ｓを持ち上げ
る。そして下側横移動部材６Ｂ上には空のパレット２が
残される。 〔図３９のステップ〕ビームが図中左方向に移動し、そ
れによって下側横移動部材６Ｂに支持されていた空のパ
レット２が搬入口に臨む位置に配置される。またこれと
同時に上側横移動部材５Ｂが移動して左側パレット群の
うち最上段のパレットとその下のパレットの間に位置す
る。 〔図４０のステップ〕パレット支持部材３Ｂが下降し、
それによって左側のパレット群が下側横移動部材６Ｂ上
にある空のパレット２に積み重ねられる。このとき最上
段のパレットは上側横移動部材５Ｂに支持される。また
パレット支持部材３Ｂの下降に対し、受け取り部材８Ｂ
が上昇し、被処理物支持部材４Ｂに支持されていたガラ
ス基板Ｓを持ち上げ支持する。また右側のパレット群に
おいては、パレット支持部材３０Ｂが下降するとともに
受け取り部材８０Ｂが上昇することで、右側の被処理物
支持部材４０Ｂに支持されていたガラス基板Ｓが受け取
り部材８０Ｂに持ち上げ支持される。さらに、左側のパ
レット支持部材３Ｂはそれが支持していたパレット群が
空のパレットに重ねられた後、若干下降してその後退位
置に回動する。 〔図４１のステップＳ〕パレット支持部材４Ｂがさらに
下降し、空のパレット２より下位置に到来し、そこで再
びパレット支持位置へ回動する。かくしてパレット支持
部材４Ｂが再び上昇するとともに受け取り部材８Ｂが下
降することで今まで空であったパレット２にガラス基板
Ｓが支持され、図３３に示す状態となる。

【００５２】以上の動作の繰り返しによりガラス基板の
搬入搬出、並びにパレット及びガラス基板の熱量槽内で
の循環移動が繰り返され、ガラス基板が加熱乾燥処理さ
れる。以上説明した第１及び第２のいずれの実施例装置
においても、従来の物品熱処理装置に比べ、装置設置面
積を節約でき、熱処理槽内の温度乱れを抑制し易く、被
処理物が例えば板状体のような場合でも、熱処理槽内の
内容積を有効に利用して大量に処理することができ、そ
れだけ熱処理装置のランニングコストを低く抑制するこ
とができる。また、無酸化雰囲気等、所望する雰囲気を
作り出し、維持し易い。

【００５３】また、被処理物の搬入搬出にローラコンベ
ア、ベルトコンベア等の発塵し易い搬送手段を用いてい
ないので、熱処理槽内での発塵が抑制されており、さら
に、各駆動部が熱処理槽該に配置されていることで一
層、槽内での発塵が少なく、塵埃を嫌う被処理物の処理
に適している。前記第２実施例装置では、第１実施例装
置に比べて各部動作工程数が少なくなっているから、第
１実施例装置に比べ、被処理物の搬入から搬出に至る時
間を短縮することができる。

【００５４】以上説明した第１、第２実施例装置の何れ
においても、熱処理槽１Ａ、１Ｂ内では物品支持パレッ
ト２が互いに隣合う状態で積み重ねられ循環されたが、
図９に示すような通気邪魔部材２０をパレット２と交互
に積み重ねるようにしてもよい。図９に示す通気邪魔部
材２０は図７に示すパレット支持部材におけると同じ構
造の枠体２１や支柱２４を備えている。図７に示すパレ
ットと異なる点は、パレット２における物品支持部２３
に代えて、空気流れＡｉ方向に沿う側板２６が枠体２１
から下方へ延びており、側板２６下端に水平板２８が渡
され、さらに、水平板体２８の手前側及び奥側の縁から
若干垂下する通気邪魔板２７を備えている点である。こ
の部材２０を図１０に示すようにパレット２と交互に積
み重ねることにより、該部材２０の上側のパレット２に
支持される被処理物Ｓの下側空間には処理気体が通過す
る空間が形成される一方、邪魔部材２０の下方に配置さ
れるパレット２上の被処理物Ｓの上面には通気邪魔板２
７が邪魔をして気体の通過を抑制する効果がある。従っ
て、例えば、この被処理物Ｓが前述のようにガラス基板
で、その上に塗膜が形成してあり、これを乾燥処理する
ときは、主として該ガラス基板の下面側からこの塗膜を
加熱することができ、それによって最終塗膜内に気泡の
残らない良質な乾燥膜を形成することができるので有利
である。なお、この通気邪魔部材２０はパレット２と同
様に熱処理槽内で循環されるが、この通気邪魔部材２０
についてはこれが物品搬入口や物品搬出口に配置される
とき、これに衝突する恐れのある部材の動作を停止させ
るか、衝突しない位置へ移せばよい。或いは、通気邪魔
部材に予め、衝突を回避する凹所や切欠部等を設けてお
くことも考えられる。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように本発明物品熱処理装
置によると、従来の物品熱処理装置に比べ、装置設置面
積を節約でき、熱処理槽内の温度乱れを抑制し易く、被
処理物が例えば板状体のような場合でも、熱処理槽内の
内容積を有効に利用して大量に処理することができ、そ
れだけ熱処理装置のランニングコストを低く抑制するこ
とができる。また、熱処理槽内での発塵を抑制すること
ができる。

【００５６】請求項３に記載の装置では、さらに、被処
理物の搬入から搬出に至る時間を短縮して効率良く熱処
理できる利点がある。いずれにしても、駆動部を熱処理
槽外に配置するときは、さらに確実に槽内発塵を抑制す
ることができる。また、物品搬入口に予熱装置を連設す
るときは、それによって被処理物を搬入前の待機時間を
利用して予熱できる。物品搬出口に徐冷装置を連設する
ときは、それによって被処理物を、さらに他の装置や手
段、場所等に搬出されるまでの待機時間を利用して徐冷
できる。

【００５７】物品支持パレットと請求項６に記載の通気
邪魔部材を交互に積み重ねして循環させるときは、主と
して下面側から熱処理されることが望まれる被処理物に
ついて、この熱処理を実施できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例の正面から見た概略断面図で
ある。

【図２】図１の装置における、被処理物を搬入搬出し、
物品支持パレットを熱処理槽内で循環させるための部分
の平面図である。

【図３】一つのパレット支持部材の斜視図である。

【図４】図１に示す装置の側面から見た概略断面図であ
って、一部を省略して示すものである。

【図５】第１及び第２のパレット支持部材の駆動部を示
す平面図である。

【図６】第１及び第２の受け取り部材の駆動部を示すも
ので、（Ａ）図はその左側面図、（Ｂ）図は正面図、
（Ｃ）図は右側面図である。

【図７】物品支持パレットの斜視図である。

【図８】パレットを積み重ねた状態の概略側面図であ
る。

【図９】通気邪魔部材の斜視図である。

【図１０】パレットと通気邪魔部材を交互に積み重ねる
ときの概略側面図である。

【図１１】図１に示す装置の動作の一部を説明する図で
ある。

【図１２】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図１３】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図１４】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図１５】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図１６】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図１７】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図１８】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図１９】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図２０】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図２１】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図２２】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図２３】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図２４】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図２５】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図２６】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図２７】図１に示す装置の動作のさらに一部を説明す
る図である。

【図２８】本発明の他の実施例の正面から見た概略断面
図である。

【図２９】図２８の装置における、被処理物を搬入搬出
し、物品支持パレットを熱処理槽内で循環させるための
部分の平面図である。

【図３０】一つのパレット支持部材及びこれと一体の被
処理物支持部材の斜視図である。

【図３１】図２８に示す装置の側面から見た概略断面図
であって、一部を省略して示すものである。

【図３２】搬入部材、補助搬入部材、搬出部材及び補助
搬出部材の連動機構例を示す説明図である。

【図３３】図２８に示す装置の動作の一部を説明する図
である。

【図３４】図２８に示す装置の動作のさらに一部を説明
する図である。

【図３５】図２８に示す装置の動作のさらに一部を説明
する図である。

【図３６】図２８に示す装置の動作のさらに一部を説明
する図である。

【図３７】図２８に示す装置の動作のさらに一部を説明
する図である。

【図３８】図２８に示す装置の動作のさらに一部を説明
する図である。

【図３９】図２８に示す装置の動作のさらに一部を説明
する図である。

【図４０】図２８に示す装置の動作のさらに一部を説明
する図である。

【図４１】図２８に示す装置の動作のさらに一部を説明
する図である。

【図４２】従来例を概略的に示す図で、（Ａ）図はその
１例を、（Ｂ）図は他の例を、（Ｃ）図はさらに他の例
を示すものである。

【図４３】さらに他の従来例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１Ａ 熱処理槽 １１ 物品搬入口 １２
物品搬出口 ２ 物品支持パレット ２１ パレット枠体 ２１
１ 突出部 ２１１ａ 小孔 ２２ 中空部 ２３ 被処理物支持部 ２３１ 支持部２３の下り傾
斜面 ２４ 支柱 ２４１ 山形突起部 ２４
２ 支柱底面凹所 ２０ 通気邪魔部材 ２６ 側板 ２７
邪魔板 ３Ａ 第１のパレット支持部材 ３０ 部材３Ａの
駆動部 ３０Ａ 第２のパレット支持部材 ３０ａ 部材３０
Ａの駆動部 ４Ａ 第１のパレット昇降部材 ４０ 部材４Ａの
駆動部 ４０Ａ 第２のパレット昇降部材 ４０ａ 部材４０
Ａの駆動部 ５Ａ 上側の横移動部材 ６Ａ 下側の横移
動部材 ７Ａ 搬入部材 ７Ａａ 補助搬入
部材 ７０Ａ 搬出部材 ７０Ａａ 補助搬
出部材 ５０、６０ 熱処理槽１Ａを貫通する水平ビーム Ｄ ビーム駆動部 ８Ａ 第１の受け取り部材 ８０Ａ 第２の受
け取り部材 ８０ 部材８Ａ、８０Ａの駆動部 ９Ａ 物品載置用部材 ９０ 部材９Ａの
駆動部 ９０Ａ 除去部材 ９００ 部材９０
Ａの駆動部 ＰＨ 予熱装置 ＡＣ 除冷装置 ３Ｂ 第１のパレット支持部材 ３０Ｂ 第２のパ
レット支持部材 ４Ｂ 第１の被処理物支持部材 ４０Ｂ 第２の被
処理物支持部材 ３Ｄ 部材３Ｂ、４Ｂの回動駆動部 ４Ｄ 部材３Ｂ、
４Ｂの昇降駆動部 ３０Ｄ 部材３０Ｂ、４０Ｂの回動駆動部 ４０Ｄ 部材３０Ｂ、４０Ｂの昇降駆動部 ５Ｂ 上側の横移動部材 ６Ｂ 下側の横移
動部材 ７Ｂ 搬入部材 ７Ｂｂ 補助搬入
部材 ７０Ｂ 搬出部材 ７０Ｂｂ 補助搬
出部材 ７Ｄ 部材７Ｂ、７Ｂｂ、７０Ｂ、７０Ｂｂの昇降駆動
部 ８Ｂ 第１の受け取り部材 ８０Ｂ 第２の受
け取り部材 ９Ｂ 物品載置用部材 ９０Ｂ 除去部
材 Ｓ 被処理物

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年６月２９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１４】

【作用】次に本発明に係る各物品熱処理装置の動作を説
明するが、その説明において示す参照図は装置動作の理
解を容易にするためのものであり、本発明装置が該図に
示す動作に限定されるものではない。先ず、第１の物品
熱処理装置によると、空のパレットは物品搬入口に臨む
位置で第１パレット昇降部材により支持されて物品の搬
入を待つ（図２０）。一方、搬入口外では物品載置用部
材から、その下降により、搬入部材上に被処理物が載置
され（図２０）、そのあと該搬入部材が熱処理槽内へ進
入し、該被処理物を空パレット上方に配置する（図２
１）。引き続き第１受け取り部材が上昇して搬入部材か
ら被処理物を一時的に持ち上げ（図２２）、その持ち上
げ後、搬入部材は再び熱処理槽外へ出退する（図２
３）。その後 第１受け取り部材が第１パレット昇降部
材に対し相対的に下降するとともに第１パレット昇降部
材が第１受け取り部材に対し相対的に上昇することで空
パレットが持ち上げられ、その途中、被処理物が該パレ
ットに掬い上げられ、さらに、既に第１パレット支持部
材により支持されている縦パレット群の最下段パレット
に下から重ねられる（図２４）。第１パレット昇降部材
はさらに若干上昇せしめられ、それによって縦パレット
群から開放された第１パレット支持部材がその後退位置
に後退する。このとき既に、搬入部材に連動する上側の
横移動部材が該縦パレット群における最上段のパレット
の下に位置している。この状態から第１パレット昇降部
材が下降せしめられ、それによって最上段のパレットは
上側横移動部材に支持され、それより下の縦パレット群
から分離される（図２５）。次に、上側横移動部材及び
それに支持されたパレットが、物品搬出口側の空間部に
おいて第２パレット昇降部材により支持されている縦パ
レット群の上方に移される（図２６）。次に第２パレッ
ト昇降部材が縦パレット群を支持したまま上昇せしめら
れ、それによって該縦パレット群が前述のように横移動
されてきたパレットに下から重ねられ、第２パレット昇
降部材はさらに若干上昇して該パレットを上側横移動部
材の上方へ持ち上げる（図２７、図１１）。この状態で
上側の横移動部材がパレット支持位置から外れる位置へ
移動せしめられ、その後、第２パレット昇降部材が下降
し、かくして第２パレット昇降部材により支持される縦
パレット群のうち最下段のパレットが第２パレット支持
部材より下方に位置すると（図１２）、該第２パレット
支持部材をパレット支持位置へ配置する（図１３）。次
に、最下段のパレットを支持した第２パレット昇降部材
をそのまま下降させて物品搬出口に臨む位置に配置する
とともに、それより上のパレット群を第２パレット支持
部材に支持させる（図１４）。また、最下段のこのよう
なパレットの下降に対し第２受け取り部材を上昇させ、
処理済みの物品を一時的に支持させる（図１４）。この
状態で物品搬出部材を物品搬出口から熱処理槽内へ進入
させ、第２受け取り部材に支持されている被処理物の下
方に配置させる（図１５）。その後、第２受け取り部材
を下降させて今まで支持していた被処理物を搬出部材上
に載置する（図１６）。しかるのち搬出部材を熱処理槽
外へ移動させる（図１７）。またこのように搬出部材を
熱処理槽外へ移動させることにより、これと連動する下
側の横移動部材が空になったパレットを支持する位置に
到来する（図１７）。そこで第２パレット昇降部材を下
降させ、該下側横移動部材上に空のパレットを載置する
（図１８）。しかるのち下側横移動部材を物品搬入口に
臨む位置に移動させ（図１９）、次いで該空パレットを
当初の説明のように第１パレット昇降部材により持ち上
げ支持させる（図２０）。以上説明した工程を繰り返す
ことにより、処理前の被処理物を熱処理槽内に搬入して
空パレットに支持させ、このように被処理物を支持した
パレットを熱処理槽内において上昇させ、横移動させ、
下降させて物品搬出口に臨ませ、そこで搬出部材により
処理済みの被処理物を搬出させたのち、再び空になった
パレットを物品搬入口に移動させるのである。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１５】次に第２の物品熱処理装置の動作を説明す
る。この装置では、熱処理槽内の物品搬入口に近い空間
部において第１パレット支持部材上に複数の物品支持パ
レットを積み重ね支持させ、さらにその上方において上
側横移動部材上に一つのパレットを支持させ、第１パレ
ット支持部材の若干下方に置かれている第１の被処理物
支持部材は空の状態にしておく（図３３）。次に、熱処
理槽外で物品載置用部材から、これを下降させることで
物品搬入部材上に処理前の被処理物を載置させる（図３
４）。しかるのち該搬入部材を熱処理槽内へ進入させ、
その上に支持された被処理物を第１被処理物支持部材の
上方に配置する（図３５）。このときの搬入部材に連動
する上側横移動部材は物品搬出口に近い空間部において
第２パレット支持部材に支持されている縦パレット群の
上方に移動せしめられる（図３５）。この状態から第１
パレット支持部材が上昇せしめられ、それによって搬入
部材から被処理物が第１の被処理物支持部材によって持
ち上げられる（図３６）。また、第２パレット支持部材
が下降せしめられ、該部材に支持されている縦パレット
群のうち最下段のパレットが横移動部材上に載置され、
その後、第２パレット支持部材はさらに若干下降せしめ
られたのち、その後退位置に配置される（図３６）。次
いで第２受け取り部材が上昇して下側横移動部材上に配
置されたパレットから処理済みの被処理物を持ち上げ
る。また、第２のパレット支持部材が再び上昇せしめら
れ、下から二段目のパレットを支持できる位置に配置さ
れる（図３７）。その後、第２パレット支持部材が上昇
せしめられる一方、第２受け取り部材が下降せしめら
れ、それよって第２受け取り部材上に支持されていた被
処理物が第２パレット支持部材の若干下方にある第２被
処理物支持部材に持ち上げられ、かくして下側横移動部
材上に空のパレットが残される（図３８）。また、上側
横移動部材に支持されていたパレットにそれより下のパ
レット群が下から重ねられ、さらに若干も持ち上げられ
ることで、該上側横移動部材からそこに支持されていた
パレットが持ち上げられる（図３８）。この状態で下側
の横移動部材が物品搬入口に臨む位置に移動せしめられ
る。このとき上側横移動部材も同時に移動し、第１パレ
ット支持部材上に支持されているパレット群のうち最上
段のパレットとその下の段のパレットの間に入り込み、
上段のパレットを支持できる状態となる（図３９）。し
かるのち第１パレット支持部材が下降せしめられ、それ
に支持されたパレット群が空のパレットに上方から積み
重ねられる。またこのとき第１受け取り部材が上昇せし
められ、それまで第２被処理物支持部材に支持されてい
た被処理物を一時的に持ち上げる（図４０）。また、第
１パレット支持部材に支持されたパレット群が空のパレ
ットの上に積み重ねられたのち、第１パレット支持部材
はその後退位置に配置される（図４０）。このように後
退位置に配置された第１パレット支持部材はさらに空の
パレットの下方まで下降せしめられ、そこで再びパレッ
トを支持できる位置に配置される（図４１）。しかるの
ち第１パレット支持部材が上昇せしめられ、それによっ
て今まで空であったパレットがその上のパレット群とと
もに持ち上げられ、且つ、その持ち上げ途中において空
のパレットが第１受け取り部材上に支持されていた被処
理物を持ち上げる（図３３）。かくして第１パレット支
持部材下方の第１被処理物支持部材が再び当初のように
物品搬入を受け入れる空の状態で配置される（図３
３）。このようにして熱処理槽内では物品支持パレット
が循環せしめられ、物品搬入口に臨む位置に配置される
第１の被処理物支持部材には順次処理前の被処理物が搬
入される一方、物品搬出口に臨む位置に配置され、処理
済みの被処理物を支持する第２被処理物支持部材からは
順次処理済みの被処理物が搬出される。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４１】次に、以上説明した第１実施例の装置の動
作を、図１１から図２７を参照して、また、被処理物Ｓ
として液晶表示装置のガラス基板の上面に塗膜を形成し
てこれを加熱乾燥処理する場合を例にとって説明する。
なお、熱処理中、熱処理槽１Ａにおいては、ヒータ１０
６及びファン１０７の運転により、物品処理空間１０１
の略全域に所定温度の熱風がフィルタ１０４から扉１０
９側へ向け吹き出され、再び空調部１０２に循環する。
この空気流れは、図７及び図９においてＡｉで示してあ
る。 〔図１１のステップ〕この状態ではパレット昇降部材４
Ａ上にガラス基板Ｓを支持したパレット２が積み重ねら
れているとともにパレット昇降部材４０Ａ上にもガラス
基板Ｓを支持したパレット２が積み重ねられている。パ
レット支持部材３Ａ、３０Ａは共に縦パレット群の最下
段のパレットよりさらに下方にあって後退位置に配置さ
れている。上側横移動部材５Ａは左側パレット群の最上
段パレットとその下のパレットとの間に配置されてい
る。搬入部材７Ａは熱処理槽内に入って右側のパレット
群の下方に配置されているが、搬出部材７０Ａは処理槽
の外に置かれている。物品載置用部材９Ａは上昇して処
理前の２枚のガラス基板Ｓを支持している。除去部材９
０Ａも上昇して熱処理後のガラス基板Ｓを搬入部材７０
Ａの上方に支持している。受け取り部材８Ａ、８０Ａは
共に下降している。 〔図１２のステップ〕ビーム５０、６０が図中右方向に
若干移動し、上側横移動部材５Ａが左側の最上段パレッ
トにおける左右の突出部２１１（図７参照）の間に配置
されるとともに２つのパレット群の間に配置され、かく
して左側のパレット群の下降を許す状態とされる。この
状態からパレット昇降部材４０Ａが下降し、パレット支
持部材３０Ａが最下段のパレットとその上のパレットの
間に位置する。 〔図１３のステップ〕パレット支持部材３０Ａはパレッ
ト支持位置へ回動する。また、このとき受け取り部材８
Ａ、８０Ａが上昇する。 〔図１４のステップ〕パレット昇降部材４０Ａが下降
し、左側パレット群の最下段のパレット２をそれより上
のパレットから分離させる。このときこのパレット２に
支持されていたガラス基板Ｓは受け取り部材８０Ａに支
持される。 〔図１５のステップ〕ビーム５０、６０が図中右方向に
移動し、搬入部材７Ａが搬入口の外で待ち受ける処理前
のガラス基板Ｓの下に位置する。また同時に搬出部材７
０Ａが受け取り部材８０Ａに支持されているガラス基板
Ｓの下方に配置される。さらに補助搬出部材７０Ａａが
除去部材９０Ａに支持されている処理済みのガラス基板
Ｓの下方に配置される。 〔図１６のステップ〕受け取り部材８０Ａが下降し、そ
れによってガラス基板Ｓが搬出部材７０Ａに載置され
る。またこれと同時的に除去部材９０Ａが下降し、それ
に支持されていた処理済みのガラス基板Ｓが補助搬出部
材７０Ａａ上に載置される。 〔図１７のステップ〕ビーム５０、６０が図中左方向に
移動し、今まで熱処理槽内にあった処理済みのガラス基
板Ｓが槽外へ搬出される。またビーム５０、６０が左方
向へ移動することにより下側横移動部材６Ａが左側の空
になったパレット２を支持できる位置に移動する。 〔図１８のステップ〕パレット昇降部材４０Ａを下降さ
せ、それによって空のパレット２を下側横移動部材６Ａ
上に載置する。また除去部材９０Ａが上昇し、搬出部材
７０Ａ、７０Ａａ上にあった処理済みのガラス基板Ｓを
支持する。 〔図１９のステップ〕ビームが図中右方向に移動し、空
のパレット２が右側のパレット群の下方に配置されると
ともに搬入部材７Ａが物品搬入口の外で待ち受けるガラ
ス基板Ｓの下に配置される。 〔図２０のステップ〕パレット昇降部材４Ａが上昇して
今まで下側横移動部材６Ａに支持されていた空パレット
２を持ち上げる。また物品載置用部材９Ａが下降し、そ
れによって搬入部材７Ａ上にガラス基板Ｓが載置され
る。 〔図２１のステップ〕ビームが図中左方向に移動し、搬
入部材７Ａがガラス基板Ｓを支持したまま熱処理槽内に
進入する。 〔図２２のステップ〕受け取り部材８Ａが上昇し、搬入
部材７Ａに支持されていたガラス基板Ｓを持ち上げる。 〔図２３のステップ〕ビームが再び図中右方向に移動
し、搬入部材７Ａが槽外へ出されるとともに、上側横移
動部材５Ａが右側の縦パレット群の最上段のパレット２
とその下のパレットとの間に配置される。 〔図２４のステップ〕パレット昇降部材４Ａが上昇する
とともに受け取り部材８Ａが下降し、今まで空であった
パレットが上昇せしめられ、それによって今まで受け取
り部材８Ａに支持されていたガラス基板Ｓをそれに支持
し、該パレットはそれより上のパレット群に下から重ね
られ、さらに若干持ち上げられる。一方、左側のパレッ
ト群においてもパレット昇降部材４０Ａが上昇して左側
のパレット群を支持する。かくして左右のパレット群が
パレット昇降部材４Ａ、４０Ａに支持された状態でパレ
ット支持部材３Ａ、３０Ａがその後退位置に回動せしめ
られる。 〔図２５のステップ〕パレット昇降部材４Ａが下降し、
それによって最上段のパレット２が上側横移動部材５Ａ
に載置される。また左側のパレット昇降部材４０Ａも下
降してそれに支持されるパレット群の上方に右側最上段
のパレットが移動してくる空間を形成する。 〔図２６のステップ〕ビームが図中左方向に移動し、上
側横移動部材５Ａに支持されたパレット２が左側のパレ
ット群の上方に位置する。 〔図２７のステップ〕左側のパレット昇降部材４０Ａが
上昇し、上側横移動部材５Ａに支持されていたパレット
２にそれより下方のパレット群を下から重ねて持ち上げ
る。またパレット昇降部材４Ａも上昇して図１１に示す
当初の状態へ到来する。一方、熱処理槽外では新たなガ
ラス基板Ｓが図示しない搬送手段により空いた物品載置
用部材９Ａに載置される。一方、補助搬出部材７０Ａａ
の上方に除去部材９０Ａによって支持されていた処理済
みのガラス基板Ｓが図示しない搬送手段により搬出され
る。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５０】次に、以上説明した第２実施例装置の動作
を、図３３から図４１を参照して、また、被処理物Ｓと
して液晶表示装置のガラス基板の上面に塗膜を形成して
これを加熱乾燥処理する場合を例にとって説明する。な
お、熱処理中、熱処理槽１Ｂにおいては、ヒータ１０６
及びファン１０７の運転により、物品処理空間１０１の
略全域に所定温度の熱風がフィルタ１０４から扉１０９
側へ向け吹き出され、再び空調部１０２に循環する。 〔図３３のステップ〕熱処理槽内ではパレット支持部材
３Ｂ上に物品支持パレット２が積み上げ支持されてお
り、さらにその上方において上側横移動部材５Ｂがパレ
ット２を支持している。また右側のパレット支持部材３
０Ｂ上にも複数のパレット２が積み上げ支持されてい
る。さらに受け取り部材８Ｂ、８０Ｂが上昇しており、
右側の受け取り部材８０Ｂは処理済みのガラス基板Ｓを
支持している。また搬出部材７０Ｂが該ガラス基板の下
方に配置されている。 ─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年６月２９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【図３】

【図１】

【図４】

【図５】

【図６】

【図７】

【図８】

【図１０】

【図９】

【図１１】

【図１２】

【図１３】

【図１４】

【図１５】

【図１６】

【図１７】

【図１８】

【図１９】

【図２０】

【図２１】

【図２２】

【図２３】

【図２４】

【図２５】

【図２６】

【図２７】

【図２９】

【図３０】

【図２８】

【図３１】

【図３２】

【図３３】

【図３４】

【図３５】

【図３６】

【図３７】

【図３８】

【図３９】

【図４０】

【図４１】

【図４２】

【図４３】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｒ 31/26 Ｈ 9214−2Ｇ 31/28 31/30 6912−2Ｇ Ｈ０１Ｌ 21/324 Ｄ 8617−4Ｍ 21/66 Ｈ 7630−4Ｍ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一側部に物品搬入口を、他側部に物品搬
   出口を有する熱処理槽と、 被処理物を支持したまま積み重ね可能の複数の物品支持
   パレットと、 前記物品搬入口及び物品搬出口に臨む前記熱処理槽内の
   空間部のそれぞれにおける定位置で前記パレットを複数
   段に積み重ねた状態で支持するパレット支持位置又はそ
   れから後退した後退位置をとることができる第１及び第
   ２のパレット支持部材と、 前記物品搬入口に臨む位置に配置される空のパレットを
   上昇させるとともに被処理物を掬い上げさせ、それより
   上方の、前記第１パレット支持部材に支持されるパレッ
   ト群に下から重ねることができ、該第１パレット支持部
   材による支持に代わって自ら縦パレット群を支持し、昇
   降させることもできる第１のパレット昇降部材と、 前記第１パレット昇降部材により支持される縦パレット
   群のうち上部のパレットから、前記物品搬出口に臨む位
   置の上方へ横移動させる上側の横移動部材と、 前記第２パレット支持部材による支持に代わって自ら縦
   パレット群を支持し、昇降させることができる第２のパ
   レット昇降部材で、前記上側横移動部材により送られて
   くるパレットを、それより下方のパレット群上に重ねて
   受けとることができ、該縦パレット群のうち下部のパレ
   ットを、それより上側のパレット群が前記第２パレット
   支持部材により支持される状態で前記物品搬出口に臨む
   位置へ下降せることもできる第２のパレット昇降部材
   と、 前記物品搬出口に臨む位置へ降ろされて被処理物を除去
   されたあとの空パレットを前記物品搬入口に臨む位置へ
   移動させる横移動部材で、前記上側の横移動部材と同じ
   方向に連動移動する下側の横移動部材と、 前記物品搬入口に臨み、前記第１パレット昇降部材によ
   り前記下側の横移動部材から持ち上げられて支持される
   空パレットの上方に前記物品搬入口から被処理物を搬入
   する搬入部材で、前記横移動部材と同方向に連動して前
   記熱処理槽に出入する搬入部材と、 前記搬入部材により搬入されてきた被処理物を、上昇動
   作により一時的に受け取り、前記搬入部材の出退後に下
   降して前記空パレットに支持させる昇降可能の第１の受
   け取り部材と、 前記物品搬出口に臨む位置へ降ろされてくるパレットか
   ら、上昇動作により一時的に被処理物を受け取る部材
   で、前記第１受け取り部材と連動昇降する第２の受け取
   り部材と、 前記第２受け取り部材に支持され、下降せしめられる被
   処理物を受け取り、前記物品搬出口から搬出する搬出部
   材で、前記搬入部材と同方向に連動して前記熱処理槽に
   出入する搬出部材と、 前記熱処理槽外において被処理物を支持し、下降動作に
   より前記搬入部材上に載置する昇降可能の物品載置用部
   材と、 前記熱処理槽外において、前記搬出部材により搬出され
   てくる被処理物を上昇動作により持ち上げる昇降可能の
   除去部材とを備えたことを特徴とする物品熱処理装置。
2. 【請求項２】 前記物品支持パレットは、その四隅部の
   それぞれに該パレットの搬入搬出方向に対し横方向に突
   出して前記上側及び下側の横移動部材が下から当接支持
   できる突出部を有するとともに中央部に被処理物を上方
   から嵌脱できる上下に貫通する中空部を有する枠体と、
   該枠体の中空部に臨む内縁に設けられ、被処理物の周縁
   を線接触又は略線接触状態で下方から支持できる下り傾
   斜面を備えている被処理物支持部と、前記枠体の前記突
   出部の近傍位置にそれぞれ設けられた、パレットを一定
   の間隔をあけて積み重ねるための支柱とを備えている請
   求項１記載の物品熱処理装置。
3. 【請求項３】 一側部に物品搬入口を、他側部に物品搬
   出口を有する熱処理槽と、 被処理物を支持したまま積み重ね可能の複数の物品支持
   パレットと、 前記物品搬入口に臨む前記熱処理槽内の空間部において
   前記パレットを複数段に積み重ねた状態で支持するパレ
   ット支持位置又はそれから後退した後退位置をとること
   ができ、前記後退位置に置かれた状態で縦パレット群に
   対し上下方向動作可能で、さらに、前記物品搬入口に臨
   む位置に配置される空のパレットに、それより上のパレ
   ット群を下降させて積み重ねることができる第１のパレ
   ット支持部材と、 前記第１パレット支持部材の若干下方に設けられて該パ
   レット支持部材と連動して被処理物を支持できる位置又
   はそれから後退した位置をとることができるとともに昇
   降可能であり、前記物品搬入口に臨む位置に配置された
   あと搬入されてくる被処理物を上昇により持ち上げるこ
   とができる第１の被処理物支持部材と、 前記物品搬入口に臨む位置に配置される空のパレット
   に、前記第１パレット支持部材によって該空パレットよ
   り上のパレット群が下降せしめられるとき、前記第１の
   被処理物支持部材に支持された被処理物を、上昇動作に
   より一時的に受け取ることができる昇降可能の第１の受
   け取り部材と、 前記第１パレット支持部材により支持される縦パレット
   群のうち上部のパレットから前記物品搬出口に臨む位置
   の上方へ横移動させる上側の横移動部材と、 前記物品搬出口に臨む前記熱処理槽内の空間部において
   前記パレットを複数段に積み重ねた状態で支持するパレ
   ット支持位置又はそれから後退した後退位置をとること
   ができ、前記後退位置に置かれた状態で縦パレット群に
   対し上下方向動作可能で、さらに、縦パレット群のうち
   下部のパレットを前記物品搬出口に臨む位置に配置し
   て、それより上のパレット群を上昇させることができ、
   前記上側横移動部材により送られてくるパレットを、そ
   れより下方のパレット群上に重ねて受けとることができ
   る第２のパレット支持部材と、 前記物品搬出口に臨む位置へ降ろされて被処理物を除去
   されたあとの空パレットを前記物品搬入口に臨む位置へ
   移動させる横移動部材で、前記上側の横移動部材と同じ
   方向に連動移動する下側の横移動部材と、 前記物品搬出口に臨む位置へ降ろさるパレットから、上
   昇動作により被処理物を一時的に受け取ることがでる部
   材で、前記第１の受け取り部材と連動昇降する第２の受
   け取り部材と、 前記第２パレット支持部材の若干下方に設けられて該パ
   レット支持部材と連動して被処理物を支持できる位置又
   はそれから後退した位置をとることができるとともに昇
   降可能であり、前記物品搬出口へのパレットの下降に伴
   って前記第２受け取り部材上に支持される被処理物を、
   それより上のパレット群が前記第２パレット支持部材に
   より上昇せしめられるときに共に上昇させることがで
   き、そのあと空パレットが前記物品搬入口に臨む位置へ
   横移動せしめられると下降して、前記第２受け取り部材
   に再支持させることができる第２の被処理物支持部材
   と、 前記物品搬入口に臨む位置に配置される前記第１の被処
   理物支持部材の上方へ前記物品搬入口から被処理物を搬
   入する搬入部材で、前記横移動部材と同方向に連動して
   前記熱処理槽に出入する搬入部材と、 前記第２受け取り部材に再支持される被処理物を、該第
   ２受け取り部材下へ入り込むことで、該部材の下降動作
   に伴って受け取り、前記物品搬出口から搬出する搬出部
   材で、前記搬入部材と同方向に連動する搬出部材と、 前記熱処理槽外において被処理物を支持し、下降により
   前記搬入部材上に載置する昇降可能の物品載置用部材
   と、 前記熱処理槽外において、前記搬出部材により搬出され
   てくる被処理物を上昇動作により持ち上げる、前記物品
   載置用部材と同時的に昇降する除去部材とを備えたこと
   を特徴とする物品熱処理装置。
4. 【請求項４】 前記物品支持パレットは、 その四隅部のそれぞれに該パレットの搬入搬出方向に対
   し横方向に突出して前記上側及び下側の横移動部材が下
   から当接支持できる突出部を有するとともに中央部に被
   処理物を上方から嵌脱できる上下に貫通する中空部を有
   する枠体と、 該枠体の中空部に臨む内縁に設けられ、被処理物の周縁
   を線接触又は略線接触状態で、且つ、前記突出部より若
   干低位置で下方から支持できる下り傾斜面を有する被処
   理物支持部であって、前記第１及び第２の被処理物支持
   部材がパレット上の被処理物を支持するための位置へ入
   り込むための空間を残して設けられた被処理物支持部
   と、 前記枠体の前記突出部の近傍位置にそれぞれ設けられ
   た、パレットを一定の間隔をあけて積み重ねるための支
   柱とを備えている請求項３記載の物品熱処理装置。
5. 【請求項５】 前記熱処理槽内における前記物品支持パ
   レット及び被処理物を移動させる前記各部材を駆動する
   駆動部が該熱処理槽外に設けられている請求項１、２、
   ３又は４記載の物品熱処理装置。
6. 【請求項６】 前記縦パレット群において前記物品支持
   パレットと交互に積み重ねられる通気邪魔部材であっ
   て、それより上の物品支持パレットに支持される被処理
   物の下面に沿う通気を許す空間を提供する一方、それよ
   り下方の物品支持パレットに支持される被処理物の上面
   に沿う通気を抑制する部分を備え、前記物品支持パレッ
   トと同様に前記熱処理槽内で循環移動せしめられる部材
   を備えている請求項１から５のいずれかに記載の物品熱
   処理装置。
7. 【請求項７】 前記物品搬入口に被処理物の予熱装置を
   連設した請求項１から６のいずれかに記載の物品熱処理
   装置。
8. 【請求項８】 前記物品搬出口に被処理物の徐冷装置を
   連設した請求項１から７のいずれかに記載の物品熱処理
   装置。