JPH0684155A - 磁気ヘッドスライダ - Google Patents
磁気ヘッドスライダInfo
- Publication number
- JPH0684155A JPH0684155A JP25586692A JP25586692A JPH0684155A JP H0684155 A JPH0684155 A JP H0684155A JP 25586692 A JP25586692 A JP 25586692A JP 25586692 A JP25586692 A JP 25586692A JP H0684155 A JPH0684155 A JP H0684155A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- magnetic head
- magnetic
- head slider
- recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高密度記録再生に適した磁気ヘッドスライダ
を提供する。 【構成】 スライダ面２１ａをエッチングにより切削
し、磁気ギャップ部２２ａを含む近傍を凸出部２１ｃと
して形成することにより、スライダ面２１ａを磁気ディ
スク４面から安定領域に浮上させ、なおかつ、磁気ギャ
ップ部２２ａを磁気ディスク４に近接又は接触させるこ
とができるので、より高密度記録再生を可能にすると共
に、構成を簡略化し、製造がし易すく、安価な製品を提
供する。
を提供する。 【構成】 スライダ面２１ａをエッチングにより切削
し、磁気ギャップ部２２ａを含む近傍を凸出部２１ｃと
して形成することにより、スライダ面２１ａを磁気ディ
スク４面から安定領域に浮上させ、なおかつ、磁気ギャ
ップ部２２ａを磁気ディスク４に近接又は接触させるこ
とができるので、より高密度記録再生を可能にすると共
に、構成を簡略化し、製造がし易すく、安価な製品を提
供する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置に用
いられる浮上型の磁気ヘッドスライダに関する。
いられる浮上型の磁気ヘッドスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】図７（Ａ）〜（Ｃ）は従来の浮上型の磁
気ヘッドスライダの概略構成図で、図７（Ａ）は概略側
面断面図、７（Ｂ）は概略底面図、７（Ｃ）は概略正面
図を夫々示す。これらの図において１はスライダの基台
部で、この基台部１の前方には、例えば、記録再生用の
薄膜ヘッド２が一対設けられており、２ａはそのギャッ
プ部である。３は基台部１の両側部に設けられたスライ
ダ部であり、３ａは磁気ディスク４に対するスライダ面
である。３ｂはこのスライダ部３の空気流入側に設けら
れた傾斜部である。そして、この磁気ヘッドスライダは
磁気ディスク４に対して所定量（Ｆ）浮上されて矢印方
向に移動して記録再生を行う構成のものである。
気ヘッドスライダの概略構成図で、図７（Ａ）は概略側
面断面図、７（Ｂ）は概略底面図、７（Ｃ）は概略正面
図を夫々示す。これらの図において１はスライダの基台
部で、この基台部１の前方には、例えば、記録再生用の
薄膜ヘッド２が一対設けられており、２ａはそのギャッ
プ部である。３は基台部１の両側部に設けられたスライ
ダ部であり、３ａは磁気ディスク４に対するスライダ面
である。３ｂはこのスライダ部３の空気流入側に設けら
れた傾斜部である。そして、この磁気ヘッドスライダは
磁気ディスク４に対して所定量（Ｆ）浮上されて矢印方
向に移動して記録再生を行う構成のものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年固定磁
気ディスクの記録再生の高密度化競争は、激化の一途を
たっどっており、磁気記録において高密度記録再生を達
成するには、多種の損失を低減していかなければならな
い。その中でも、最も重要な要因としてヘッドと媒体間
の間隔距離により生じるスペ−シング損失がある。そし
て、近年固定磁気ディスクの浮上型ヘッドの浮上量は高
密度記録化と共にμｍオ−ダ−からサブミクロンオ−ダ
−へと移っており、この低浮上量化により高密度記録が
達成できるようになってきた。ところが、浮上量を低下
させると磁気ヘッドスライダの追随性が悪いという問題
が指摘されている。それに加え、浮上量が接近してくる
と磁気ディスクの表面粗さとの関係で浮上姿勢が不安定
になるという問題がある。
気ディスクの記録再生の高密度化競争は、激化の一途を
たっどっており、磁気記録において高密度記録再生を達
成するには、多種の損失を低減していかなければならな
い。その中でも、最も重要な要因としてヘッドと媒体間
の間隔距離により生じるスペ−シング損失がある。そし
て、近年固定磁気ディスクの浮上型ヘッドの浮上量は高
密度記録化と共にμｍオ−ダ−からサブミクロンオ−ダ
−へと移っており、この低浮上量化により高密度記録が
達成できるようになってきた。ところが、浮上量を低下
させると磁気ヘッドスライダの追随性が悪いという問題
が指摘されている。それに加え、浮上量が接近してくる
と磁気ディスクの表面粗さとの関係で浮上姿勢が不安定
になるという問題がある。
【０００４】一方、磁気ヘッドスライダのスライダ面と
媒体とを接触させて記録再生を行うことが考えられる
が、接触面積が多くゴミの付着が問題になる。また、ス
ライダ面と媒体との貼着の問題が発生する。
媒体とを接触させて記録再生を行うことが考えられる
が、接触面積が多くゴミの付着が問題になる。また、ス
ライダ面と媒体との貼着の問題が発生する。
【０００５】これらの問題を解決するための一つの手段
として、図８に示した磁気ヘッドスライダがある。この
磁気ヘッドスライダはIEEE TRANSACTIONS ON MAGNETIC
S, vOL26,NO5,SEPTEMBER 1990 P-2478 にて提案、発表
されているものである。図中、１０は基台部、１０ａは
スライダ面、１１は薄膜磁気ヘッド、１２は圧電素子、
４は磁気ディスクである。記録再生時に圧電素子１２に
電圧を加えると圧電素子１２が矢印方向に伸長し、その
結果、磁気ヘッド１１が矢印で示される磁気ディスク４
方向に曲げられる構成となっているものである。
として、図８に示した磁気ヘッドスライダがある。この
磁気ヘッドスライダはIEEE TRANSACTIONS ON MAGNETIC
S, vOL26,NO5,SEPTEMBER 1990 P-2478 にて提案、発表
されているものである。図中、１０は基台部、１０ａは
スライダ面、１１は薄膜磁気ヘッド、１２は圧電素子、
４は磁気ディスクである。記録再生時に圧電素子１２に
電圧を加えると圧電素子１２が矢印方向に伸長し、その
結果、磁気ヘッド１１が矢印で示される磁気ディスク４
方向に曲げられる構成となっているものである。
【０００６】従って、この構成のものによれば磁気ヘッ
ド１１のみを磁気ディスク４に近接させ、スライダ面１
０ａを安定領域に浮上させることができるものである。
しかしながら、この構成の場合、圧電素子１２を組み入
れたり、これを駆動させるための構成が複雑になるた
め、生産性が悪くなると共に、生産コストが高くなると
いう問題が発生する。そこで、本発明は前記問題点を解
決した磁気ヘッドスライダを提供することを目的とす
る。
ド１１のみを磁気ディスク４に近接させ、スライダ面１
０ａを安定領域に浮上させることができるものである。
しかしながら、この構成の場合、圧電素子１２を組み入
れたり、これを駆動させるための構成が複雑になるた
め、生産性が悪くなると共に、生産コストが高くなると
いう問題が発生する。そこで、本発明は前記問題点を解
決した磁気ヘッドスライダを提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドスラ
イダは、前記問題点を解決するために以下の構成とした
ものである。即ち、装置に装着されて回転する記録媒体
面に対して平行なスライダ面を有して、このスライダ面
側に埋設された磁気ヘッドの前面を前記記録媒体面側に
臨ませて、前記記録媒体に信号を記録し、或いは、記録
され信号を再生するための磁気ヘッドスライダにおい
て、前記前面を含む近傍をエッチングにより凸出部とし
たことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
イダは、前記問題点を解決するために以下の構成とした
ものである。即ち、装置に装着されて回転する記録媒体
面に対して平行なスライダ面を有して、このスライダ面
側に埋設された磁気ヘッドの前面を前記記録媒体面側に
臨ませて、前記記録媒体に信号を記録し、或いは、記録
され信号を再生するための磁気ヘッドスライダにおい
て、前記前面を含む近傍をエッチングにより凸出部とし
たことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の一実施例に
つき説明する。図１は本発明の実施例に係る磁気ヘッド
スライダを形成するための工程図で、磁気ヘッドスライ
ダを底面側から見た図である。この状態時における外形
は、前記図７に示した従来の磁気ヘッドスライダと同様
な形状である。２０は基台、２１は夫々基台２０の両側
に凸出形状に設けたスライダ部、２１ａはスライダ面、
２２は磁気記録再生を行わせるための薄膜磁気ヘッド
で、コア本体が基台２０内に埋設されて磁気ギャップ部
２２ａのみを表面に露出してスライダ部２１の前面側に
夫々設けられている。２１ｂは空気流入をスム−ズに誘
導させるためのスライダ部２１に形成された傾斜部であ
る。
つき説明する。図１は本発明の実施例に係る磁気ヘッド
スライダを形成するための工程図で、磁気ヘッドスライ
ダを底面側から見た図である。この状態時における外形
は、前記図７に示した従来の磁気ヘッドスライダと同様
な形状である。２０は基台、２１は夫々基台２０の両側
に凸出形状に設けたスライダ部、２１ａはスライダ面、
２２は磁気記録再生を行わせるための薄膜磁気ヘッド
で、コア本体が基台２０内に埋設されて磁気ギャップ部
２２ａのみを表面に露出してスライダ部２１の前面側に
夫々設けられている。２１ｂは空気流入をスム−ズに誘
導させるためのスライダ部２１に形成された傾斜部であ
る。
【０００９】そして、この形状時の磁気ヘッドスライダ
の磁気ギャップ部２２ａに、これを含む近傍をフォトレ
ジスト（斜線部分）２３で覆い、図２の概略側面図で示
すように、例えば、公知のイオンミリング法により底面
側全体に亘りエッチング処理を施す。この時のエッチン
グ量は、エッチング量をＸ、浮上量をＦとすると、Ｘ≦
Ｆの範囲でエッチングを行う。その後、フォトレジスト
２３を除去して、例えば、図３及び図４に示すように磁
気ギャップ２２ａの近傍に凸出部２１ｃが形成された磁
気ヘッドスライダが得られる。図３はその磁気ヘッドス
ライダの概略側面断面図で、図４は磁気ギャップ２２ａ
近傍の概略部分斜視図である。
の磁気ギャップ部２２ａに、これを含む近傍をフォトレ
ジスト（斜線部分）２３で覆い、図２の概略側面図で示
すように、例えば、公知のイオンミリング法により底面
側全体に亘りエッチング処理を施す。この時のエッチン
グ量は、エッチング量をＸ、浮上量をＦとすると、Ｘ≦
Ｆの範囲でエッチングを行う。その後、フォトレジスト
２３を除去して、例えば、図３及び図４に示すように磁
気ギャップ２２ａの近傍に凸出部２１ｃが形成された磁
気ヘッドスライダが得られる。図３はその磁気ヘッドス
ライダの概略側面断面図で、図４は磁気ギャップ２２ａ
近傍の概略部分斜視図である。
【００１０】この時のより具体的なエッチング量は、エ
ッチング精度、最終的に得られるスペ−シング量、スラ
イダ面での負圧等を総合的に考慮すると、１μｍ以下が
望ましい。この方法によれば、エッチングにてギャップ
近傍の凸出量をコントロ−ルして、容易に０．１μｍ以
下のスペ−シングを保持し得る磁気ヘッドスライダを得
ることができる。
ッチング精度、最終的に得られるスペ−シング量、スラ
イダ面での負圧等を総合的に考慮すると、１μｍ以下が
望ましい。この方法によれば、エッチングにてギャップ
近傍の凸出量をコントロ−ルして、容易に０．１μｍ以
下のスペ−シングを保持し得る磁気ヘッドスライダを得
ることができる。
【００１１】図５及び図６は凸出部２１ｃを別形状にし
た場合の他実施例の底面図で、これらの形状によれば、
前記実施例の形状に比べ、空気流入側（スライダの後部
側）の形状を鋭角状にしたり、円弧状にしているので空
気流入をよりスム−ズに誘導できるので、この凸出部２
１ｃの回りに不要な対流が発生するのを防止でき、磁気
ヘッドスライダへの悪影響を未然に防ぐことができる。
た場合の他実施例の底面図で、これらの形状によれば、
前記実施例の形状に比べ、空気流入側（スライダの後部
側）の形状を鋭角状にしたり、円弧状にしているので空
気流入をよりスム−ズに誘導できるので、この凸出部２
１ｃの回りに不要な対流が発生するのを防止でき、磁気
ヘッドスライダへの悪影響を未然に防ぐことができる。
【００１２】従って、これらの実施例によれば、スライ
ダ面２１ｂをエッチングし、磁気ギャップ部２２ａの近
傍面のみを凸出させたので、スライダ面２１ａを安定領
域に浮上させて、磁気ギャップ２２ａのみを磁気ディス
ク４面に近接させることができるため、より高密度記録
再生に適した磁気ヘッドスライダを提供できる。また、
この磁気ギャップ２２ａを含む近傍面を磁気ディスク４
面に接触させた場合にも、スライダ面２１ａと磁気ディ
スク４面とが離れているためにスライダ面２１ａと磁気
ディスク４とが貼着して記録再生動作に支障をきたすよ
うなことがなくなる。更に、この接触の場合には、スラ
イダ面２１ｂが磁気ディスク４面から離れているめにゴ
ミ等の付着率も少なく、これによる不都合も生じにく
い。また更に、エッチングにより磁気ギャップ２２ａを
含む近傍面を凸出させる構成にしたので、構成が複雑と
ならず、製造がし易すく、製品を安価に提供できる。
ダ面２１ｂをエッチングし、磁気ギャップ部２２ａの近
傍面のみを凸出させたので、スライダ面２１ａを安定領
域に浮上させて、磁気ギャップ２２ａのみを磁気ディス
ク４面に近接させることができるため、より高密度記録
再生に適した磁気ヘッドスライダを提供できる。また、
この磁気ギャップ２２ａを含む近傍面を磁気ディスク４
面に接触させた場合にも、スライダ面２１ａと磁気ディ
スク４面とが離れているためにスライダ面２１ａと磁気
ディスク４とが貼着して記録再生動作に支障をきたすよ
うなことがなくなる。更に、この接触の場合には、スラ
イダ面２１ｂが磁気ディスク４面から離れているめにゴ
ミ等の付着率も少なく、これによる不都合も生じにく
い。また更に、エッチングにより磁気ギャップ２２ａを
含む近傍面を凸出させる構成にしたので、構成が複雑と
ならず、製造がし易すく、製品を安価に提供できる。
【００１３】尚、上述の実施例では、いわゆる面内記録
再生用の薄膜磁気ヘッドを採用した磁気ヘッドスライダ
で説明したが、これに限らず、単磁極型の垂直磁気記録
用ヘッド、ＭＲヘッド、ＭＩＧヘッド、モノシリックヘ
ッド等を採用した磁気ヘッドスライダにも当然に適用で
きるものである。
再生用の薄膜磁気ヘッドを採用した磁気ヘッドスライダ
で説明したが、これに限らず、単磁極型の垂直磁気記録
用ヘッド、ＭＲヘッド、ＭＩＧヘッド、モノシリックヘ
ッド等を採用した磁気ヘッドスライダにも当然に適用で
きるものである。
【００１３】
【発明の効果】本発明の磁気ヘッドスライダによれば、
スライダ面を安定領域に浮上させて磁気ギャップを記録
媒体に近接又は接触させることができるので、より高密
度記録再生に適した磁気ヘッドスライダを提供できる。
また、磁気ヘッドの前面を含む近傍面を磁気ディスク面
に接触させた場合にも、スライダ面と記録媒体とを離す
ことが出来るので、スライダ面と記録媒体とが貼着して
記録再生動作に支障をきたすようなことがなくなると共
に、スライダ面が記録媒体から離れているめにゴミ等の
付着率も少なく、記録再生動作に支障をきたすようなこ
ともない。更に、エッチングにより凸出部を形成してい
るので、構成が複雑とならず、製造がし易すく、製品を
安価に提供できる。
スライダ面を安定領域に浮上させて磁気ギャップを記録
媒体に近接又は接触させることができるので、より高密
度記録再生に適した磁気ヘッドスライダを提供できる。
また、磁気ヘッドの前面を含む近傍面を磁気ディスク面
に接触させた場合にも、スライダ面と記録媒体とを離す
ことが出来るので、スライダ面と記録媒体とが貼着して
記録再生動作に支障をきたすようなことがなくなると共
に、スライダ面が記録媒体から離れているめにゴミ等の
付着率も少なく、記録再生動作に支障をきたすようなこ
ともない。更に、エッチングにより凸出部を形成してい
るので、構成が複雑とならず、製造がし易すく、製品を
安価に提供できる。
【図１】本発明の実施例に係る磁気ヘッドスライダを形
成するための工程図である。
成するための工程図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】本発明の実施例に係る磁気ヘッドスライダの概
略側面断面図である。
略側面断面図である。
【図４】本発明の実施例に係る磁気ヘッドスライダの磁
気ギャップ部近傍の概略部分斜視図である。
気ギャップ部近傍の概略部分斜視図である。
【図５】他実施例を示した図である。
【図６】他実施例を示した図である。
【図７】従来の浮上型の磁気ヘッドスライダの概略構成
図である。
図である。
【図８】他の従来の浮上型の磁気ヘッドスライダの概略
構成図である。。
構成図である。。
２０ 基台 ２１ スライダ部 ２１ａ スライダ面 ２１ｂ 傾斜部 ２１ｃ 凸出部 ２２ 薄膜磁気ヘッド ２２ａ 磁気ギャップ部 ２３ フォトレジスト
Claims (1)
- 【請求項１】 装置に装着されて回転する記録媒体面に
対して平行なスライダ面を有して、このスライダ面側に
埋設された磁気ヘッドの前面を前記記録媒体面側に臨ま
せて、前記記録媒体に信号を記録し、或いは、記録され
信号を再生するための磁気ヘッドスライダにおいて、 前記前面を含む近傍をエッチングにより凸出部としたこ
とを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25586692A JPH0684155A (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | 磁気ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25586692A JPH0684155A (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | 磁気ヘッドスライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684155A true JPH0684155A (ja) | 1994-03-25 |
Family
ID=17284671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25586692A Pending JPH0684155A (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | 磁気ヘッドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0684155A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6219200B1 (en) * | 1993-06-29 | 2001-04-17 | Hitachi, Ltd. | Thin film magnetic head with air bearing end face of magnetic film protruding beyond air bearing end face of substrate |
-
1992
- 1992-08-31 JP JP25586692A patent/JPH0684155A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6219200B1 (en) * | 1993-06-29 | 2001-04-17 | Hitachi, Ltd. | Thin film magnetic head with air bearing end face of magnetic film protruding beyond air bearing end face of substrate |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2715808B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS59132416A (ja) | 磁気ヘツド・スライダ・アセンブリ | |
| JPH0440795B2 (ja) | ||
| US6416935B1 (en) | Method for forming the air bearing surface of a slider | |
| JPH0684155A (ja) | 磁気ヘッドスライダ | |
| JPH11353774A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH06349025A (ja) | 浮動高さを減少させた薄膜トランスジューサ | |
| JPH11283347A (ja) | スライダの製造方法およびスライダ | |
| JPH04281209A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH11353773A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH06111508A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2002197608A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及び薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH03127317A (ja) | 浮上型磁気ヘッド | |
| JPS5979411A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JP3924715B2 (ja) | 磁気ヘッドスライダ | |
| JPS6241392Y2 (ja) | ||
| JP3097699B2 (ja) | フライングヘッドを用いた情報信号記録再生装置 | |
| JPH05347008A (ja) | 垂直記録再生磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH06139540A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2001209919A (ja) | 浮上ヘッドスライダとディスクドライブ装置 | |
| JPH05334642A (ja) | 浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法 | |
| JP2001057040A (ja) | ヘッドサスペンション、ヘッド・ジンバル組立体、およびアクチュエータ | |
| JP2000353304A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS61110324A (ja) | 垂直磁気記録用ヘツド | |
| JPS61227210A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |