JP2001209919A - 浮上ヘッドスライダとディスクドライブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐ダスト性に非常に優れた浮上ヘッドスライ
ダを得ること。 【解決手段】 浮上ヘッドスライダのベース面３上にス
テップ面４とレール面５をそれぞれ段差Ｇ１、Ｇ２を有
して形成し、これらステップ面４及びレール面５の前側
段差面６、７を中央部から両側部にかけてほぼ放物線に
沿って湾曲された形状に形成し、ステップ面４とベース
面３の段差Ｇ１を２μｍ以上に構成し、レール面５とス
テップ面４の段差を０．４μｍ以上に構成したもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク、光
ディスクや光磁気ディスク等の回転型の記憶メディアを
用いて大容量のデータの記録及び／又は再生を行うこと
ができる大容量記憶装置に適用するのに最適な浮上ヘッ
ドスライダと、その浮上ヘッドスライダを用いるディス
クドライブ装置の技術分野に属するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、図１７及び図１８に示すよう
に、ディスクドライブ装置の一例であるリムーバルハー
ドディスク・ドライブ装置（以下、Ｒ−ＨＤＤと記載す
る）３１では、回動型のヘッドアクチュエータ３２が使
用されていて、そのヘッドアクチュエータ３２の先端に
は板厚が薄い板バネで構成されたサスペンション３３が
取り付けられ、そのサスペンション３３の先端に浮上ヘ
ッドスライダ３４がジンバルプレート等を介して支持さ
れている。そして、回転型の大容量記憶メディアの一例
であって、磁気ディスクで構成されているハードディス
ク３５がカートリッジ３６内に回転自在に収容されてい
て、そのカートリッジ３６によってハードデイ３５がＲ
−ＨＤＤ３１内に交換可能（脱着自在）に装填されるよ
うに構成されている。

【０００３】そして、Ｒ−ＨＤＤ３１内にはスピンドル
モータ３７が搭載されていて、カートリッジ３６によっ
てＲ−ＨＤＤ３１内に装填されたハードディスク３５の
強磁性体で構成されているセンタコア３８がスピンドル
モータ３７の頂部のチャッキングマグネット３９上にマ
グネットチャッキングされる。そして、スピンドルモー
タ３７によってハードディスク３５を矢印ａ方向に高速
で回転駆動して、そのハードディスク３５の記録面３５
ａの表面に動圧軸受として利用する矢印ａ方向に流れる
空気流ＡＳを発生させる。そして、ヘッドアクチュエー
タ３２のサスペンション３３のばね力によって浮上ヘッ
ドスライダ３４をそのハードディスク３５の記録面の空
気流ＡＳ上に押圧させるようにして、その浮上ヘッドス
ライダ３４をハードディスク３５の記録面の表面上に数
１０ｎｍの値に浮上させる。そして、ヘッドアクチュエ
ータ３２によってその浮上ヘッドスライダ３４をハード
ディスク３５の内外周方向である矢印ｂ、ｃ方向にシー
クしながら、情報の高密度の記録、再生を行うように構
成されている。なお、図１８は、ヘッドアクチュエータ
３２によって浮上ヘッドスライダ３４がハードディスク
３５の内外周に矢印ｂ、ｃ方向にシークされる際のスキ
ュー角（記録トラックの接線に対する浮上ヘッドスライ
ダ３４の開き角度を言う）θを説明していて、このスキ
ュー角θは記録トラックの半径方向の中間点でプラスス
キュー角＋θとマイナススキュー角−θに反転され、浮
上ヘッドスライダ３４が記録トラックの最外周にシーク
された時に、そのスキュー角θは最大のプラススキュー
角＋θとなり、その逆に、浮上ヘッドスライダ３４が記
録トラックの最内周にシークされた時には、そのスキュ
ー角θが最大のマイナススキュー角−θとなる。

【０００４】ところで、図１９及び図２０に示すよう
に、従来の一般的な浮上ヘッドスライダ３４は、扁平な
直方体形状に構成されているスライダ本体４１のハード
ディスク３５の記録面３５ａと対向するベース面４２上
で、空気流ＡＳの流入方向（＝ハードディスク３５の回
転方向）ａの上流側（矢印ａ方向の逆方向側を言う）の
端面であるスライダ本体４１の前端面４１ａ側に偏位さ
れた位置にステップ面４３をそのベース面４２に対して
段差を有する平行面状（ステップ面４３とベース面４２
が平行であること）に形成し、そのベース面４２上でス
テップ面４３より下流側（矢印ａ方向側の前方側を言
う）に偏位された位置に平面形状がコ字状のレール面４
４をステップ面４３及びベース面４２に対して段差を有
する平行面状（レール面４４がステップ面４３及びベー
ス面４２に対して平行であること）に形成している。こ
の際、レール面４４はスライダセンターＰに対して直角
な前側レール面４４ａと、スライダセンターＰと平行な
一対の後側レール面４４ｂとによって平面形状がコ字状
に形成されていて、ステップ面４３とレール面４４の前
側レール面４４ａとの間の段差面４５がスライダセンタ
ーＰに対して直角に形成されている。そして、その段差
面４５とステップ面４３の直角なコーナ部分が正圧発生
部４６に形成され、レール面４４の前側レール面４４ａ
と一対の後側レール面４４ｂとの間でコ字状に囲まれた
凹所が負圧発生部４７に形成されている。なお、スライ
ダ本体４１の空気流の流入方向ａの下流側の端面である
後端面４１ｂの近傍位置でレール面４４の一方の後側レ
ール面４４ｂの後端近傍位置にはハードディスク３５の
記録面に情報を記録、再生する磁気ヘッド４８のヘッド
チップが露呈されている。

【０００５】そして、図２０に示すように、矢印ａ方向
に高速で回転されるハードディスク３５の記録面３５ａ
の表面に発生されている空気流ＡＳの流入方向ａの上流
側へ浮上ヘッドスライダ３４のスライダ本体４１の前端
面４１ａがほぼ直角状に向くようにして、その浮上ヘッ
ドスライダ３４のレール面４４をその空気流ＡＳ上にサ
スペンション３３のばね力によって矢印ｄ方向からほぼ
直角状に押圧させることによって、正圧発生部４６で正
圧を発生させて、そのレール面４４をハードディスク３
５の記録面３５ａから数１０ｎｍの浮上量Ｈに浮上させ
る一方、負圧発生部４７で発生される負圧によって記録
面３５ａに対するレール面４４の浮上量Ｈの適正化を図
るようにして、磁気ヘッド４８で記録面３５ａに情報を
記録、再生するように構成されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ハードディ
スク３５の交換が不能な固定型のハードディスク・ドラ
イブ装置では、ドライブ本体の外筐を密封ケースに構成
して、ダストに対してクリーンな環境下で、浮上ヘッド
スライダ３４をハードディスク３５の記録面３５ａ上に
浮上させることができるので、ダストがその浮上ヘッド
スライダ３４と記録面３５ａとの間に挟み込まれて、浮
上ヘッドスライダ３４の浮上姿勢に悪影響を及ぼすこと
が殆んどない。

【０００７】しかし、ハードディスク３５の交換が必要
なＲ−ＨＤＤ３１では、カートリッジ３６の装填及び排
出時に、Ｒ−ＨＤＤ３１内にダストが侵入され易く、そ
の侵入されたダストは、ハードディスク３５の記録、再
生中に、そのハードディスク３５の記録面３５ａに発生
する空気流ＡＳに混って浮上ヘッドスライダ３４とハー
ドディスク３５の記録面３５ａとの間に流入され易くな
る。この際、従来の一般的な浮上ヘッドスライダ３４の
正圧発生部４６を形成している段差面４５がスライダセ
ンターＰに対して直角状に形成されていたために、ダス
トがその正圧発生部４６の段差面４５の前面に堆積し易
かった。そして、その堆積されたダストはやがて剥れて
流出され、そのレール面４４とハードディスク３５の記
録面３５ａとの間に挟み込まれる事態が発生すると、浮
上ヘッドスライダ３４にピッチングやローリング等の浮
上姿勢の不安定化が発生して、情報の録再不良を生じた
り、最悪の場合には、浮上ヘッドスライダ３４のレール
面４４や磁気ヘッド４８等が高速回転中のハードディス
ク３５の記録面３５ａに接触して、これら両者がクラッ
シュされてしまう等の事態も発生し易いと言う問題があ
った。

【０００８】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたものであって、耐ダイス性に非常に優れた浮上ヘ
ッドスライダを提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の浮上ヘッドスライダは、スライダ本体のベ
ース面上に順次段差を有してほぼ平行面状に形成された
ステップ面及びレール面の空気流の流入方向の上流側に
位置するベース面及びステップ面に対する各前側段差面
をその空気流の下流側に進むに従ってベース面の幅方向
のほぼ中央部から両側部にかけてほぼ放物線に沿って湾
曲された形状に構成し、その上に、レール面に対するベ
ース面の段差を２μｍ以上に構成したものである。

【００１０】上記のように構成された本発明の浮上ヘッ
ドスライダによれば、空気流に混ってその浮上ヘッドス
ライダと記憶メディアの表面との間に侵入されるダスト
をステップ面とレール面の空気流の流入方向の上流側に
形成されていて、ほぼ放物線に沿って湾曲されている前
側段差面に沿ってこれらステップ面及びレール面の両側
方へスムーズに排出することができ、これらステップ面
及びレール面上に侵入されるダストの量を著しく少なく
することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明をリムーバルハード
ディスク・ドライブ装置（Ｒ−ＨＤＤ）に適用された浮
上ヘッドスライダの実施の形態を図１〜図１６を参照し
て説明する。なお、図１８及び図１９と同一構造部には
同一の符号を付して説明の重複を省く。

【００１２】「第１の実施形態」本発明の浮上ヘッドス
ライダの第１の実施形態を図１〜図３によって説明する
と、この浮上ヘッドスライダ１は、扁平な直方体形状に
構成されているスライダ本体２のハードディスク３５の
記録面３５ａと対向するベース面３上にステップ面４が
段差Ｇ１を有する状態でそのベース面３に対して平行面
状（平行な面であること）に形成され、そのステップ面
４上にレール面５が段差Ｇ２を有する状態でそのステッ
プ面４に対して平行面状（平行な面であること）に形成
されている。そして、ベース面３とレール面５の段差が
Ｇ３で示されている。この際、ステップ面４及びレール
面５は空気流ＡＳの流入方向ａの上流側に配置された第
１のステップ面４ａ及び第１のレール面５ａと、下流側
に配置された第２のステップ面４ｂ及び第２のレール面
５ｂで構成されている。そして、ステップ面４の第１の
ステップ面４ａが空気流ＡＳの流入方向ａの上流側であ
るスライダ本体２の前端面２ａ側へ偏位された位置に配
置されていて、レール面５の第１のレール面５ａがその
第１のステップ面４ａの前端に対して空気流ＡＳの流入
方向ａの下流側へ距離Ｌ１相当分偏位された位置に配置
されている。

【００１３】そして、ベース面３の幅方向をＸ方向と
し、長さ方向をＹ方向とした時に、ステップ面４の第１
のステップ面４ａの空気流ＡＳの流入方向ａの上流側に
位置し、ベース面３に対する段差Ｇ１を有する前側段差
面６と、レール面５の第１のレール面５ａの空気流ＡＳ
の流入方向ａの上流側に位置し、第１のステップ面４ａ
に対する段差Ｇ２を有する前側段差面７がその空気流Ａ
Ｓの流入方向側に進むに従ってベース面３の幅方向（Ｘ
方向）のほぼ中央部から両側部にかけて連続した曲線に
よってほぼ放物線に沿って湾曲されたほぼ相似形状に形
成されている。また、ステップ面４の第１のステップ面
４ａの空気流ＡＳの流入方向ａの下流側に位置し、ベー
ス面３に対する段差Ｇ１を有する後側段差面８と、レー
ル面５の第１のレール面５ａの空気流ＡＳの流入方向ａ
の下流側に位置し、ステップ面４に対する段差Ｇ２を有
する後側段差面９もその空気流ＡＳの流入方向ａの下流
側に進むに従ってベース面３の幅方向（Ｘ方向）のほぼ
中央部から両側部にかけて連続した曲線によってほぼ放
物線に沿って湾曲されたほぼ相似形状に形成されてい
る。但し、これらの後側段差面８、９の空気流ＡＳの流
入方向ａの上流側部分での曲率半径が前側段差面６、７
の空気流ＡＳの流入方向ａの上流側部分の曲率半径より
も小さく構成されていて、これら前側段差面６、７及び
後側段差面８、９によって、これら第１のステップ面４
ａ及び第１のレール面５ａの輪郭線１０、１１がほぼ後
退翼形状（又はほぼブーメラン形状）に形成されてい
る。

【００１４】そして、ステップ面４の第２のステップ面
４ｂは第１のステップ面４ａの後側段差面８のほぼ中央
部に接続されていて、ベース面３上のスライダ本体２の
後端面２ｂの近傍位置との間にスライダセンターＰに沿
って配置されていて、この第２のステップ面４ｂのベー
ス面３に対する段差Ｇ１を有する段差面である輪郭線１
２は空気流ＡＳの流入方向ａの上流側で小幅Ｗ１であ
り、下流側に進むに従って大幅Ｗ２となるほぼテーパ状
に形成されている。また、レール面５の第２のレール面
５ｂは第１のレール面５ａの後側段差面９のほぼ中央部
に対して距離Ｌ２分離間されて第２のステップ面４ｂ上
に配置されていて、この第２のレール面５ｂの第２のス
テップ面４ｂに対する段差Ｇ２を有する段差面である輪
郭線１３も空気流ＡＳの流入方向ａの上流側で小幅Ｗ３
であり、下流側に進むに従って大幅Ｗ４となるほぼテー
パ状に形成されている。但し、スライダ本体２の一方の
側面２ｃ側をハードディスク３５の内周側ＩＳとし、他
方の側面２ｄ側をハードディスク３５の外周側ＯＳとし
た時に、第２のレール面５ｂの輪郭線１３の内周側ＩＳ
には凹形状部１３ａが形成されている。そして、磁気ヘ
ッド１４のヘッドチップがスライダセンターＰ上で第２
のレール面５ｂの後端から例えば３０μｍ前方へ離れた
位置に露呈されている。

【００１５】そして、第１のステップ面４ａの前側段差
面６とベース面３とのコーナ部分及び第１のレール面５
ａの前側段差面７と第１のステップ面４ａとのコーナ部
分が正圧発生部１５に形成されていて、図１にハッチン
グで示した第１のステップ面４ａ及び第１のレール面５
ａの後側段差面８、９とベース面３とのコーナ部分が負
圧発生部１６に形成されている。

【００１６】そして、図３に示すように、矢印ａ方向に
高速で回転駆動されるハードディスク３５の記録面３５
ａの表面に発生されている空気流ＡＳの流入方向ａの上
流側へ浮上ヘッドスライダ１のスライダ本体２の前端面
２ａがほぼ直角状に向くようにして、その浮上ヘッドス
ライダ１の第１及び第２のレール面５ａ、５ｂをその空
気流ＡＳ上にサスペンション３３のばね力によって矢印
ｄ方向からほぼ直角状に押圧させることによって、正圧
発生部１５で正圧を発生させて、その第１及び第２のレ
ール面５ａ、５ｂにその空気流ＡＳの流入方向ａの上流
側に向く仰角を与えて、その第１及び第２のレール面５
ａ、５ｂをハードディスク３５の記録面３５ａから浮上
量Ｈに浮上させる一方、負圧発生部１６で発生される負
圧によって記録面３５ａに対する第１及び第２のレール
面５ａ、５ｂの浮上量Ｈの適正化を図るようにして、磁
気ヘッド１４で記録面３５ａに情報の記録、再生を行う
ように構成されている。

【００１７】この際、浮上ヘッドスライダ１のスライダ
サイズは３０％（ピコスライダ）に構成されていて、ハ
ードディスク３５の回転数が２，７００ｒｐｍ等の高速
回転仕様であり、サスペンション３３のばね力による浮
上ヘッドスライダ１の矢印ｄ方向への押圧荷重が３ｇｆ
（ＩＳ単位）である時、記録面３５ａに対する浮上ヘッ
ドスライダ１の浮上量Ｈは２０ｎｍとなるように構成さ
れている。

【００１８】ところで、スライダ本体２のベース面３、
第１及び第２のステップ面４ａ、４ｂ、第１及び第２の
レール面５ａ、５ｂは、その第１及び第２のレール面５
ａ、５ｂを最上層の基準面として、これら第１及び第２
のレール面５ａ、５ｂから輪郭線１１、１３の外周部分
を段差Ｇ２に掘り下げ、次に、第１及び第２のステップ
面４ａ、４ｂの輪郭線１０、１２の外周部分を段差Ｇ１
に掘り下げるイオンエッチング等の加工方法で掘り下げ
ることによって、前述したようにベース面３上に段差Ｇ
１の第１及び第２のステップ面４ａ、４ｂを形成し、こ
れら第１及び第２のステップ面４ａ、４ｂ上に段差Ｇ２
の第１及び第２のレール面５ａ、５ｂを形成されるのが
一般的である。

【００１９】そこで、本発明では、耐ダスト性に優れた
浮上ヘッドスライダ１を得ることができるように、レー
ル面５に対するベース面３の掘り下げ量である段差Ｇ３
を２μｍ〜１０μｍに構成し、そのうち、ベース面３と
ステップ面４との段差Ｇ１を２μｍ以上に構成し、ステ
ップ面４とレール面５の段差Ｇ２を０．４μｍ以上に構
成したものである。

【００２０】ここで、図４〜図９は、ステップ面４とレ
ール面５の段差Ｇ２を０．４μｍに固定し、ベース面３
とステップ面４の段差Ｇ１を１μｍ（図４）、２μｍ
（図５）、３μｍ（図６）、４μｍ（図７）、５μｍ
（図８）、１０μｍ（図９）に変化させた場合のダスト
の流れる様子を表したダスト流れ線（ＤＳ）を測定した
シュミレーション結果を示したものであり、この時のハ
ードディスク３５に対する浮上ヘッドスライダ１の浮上
位置の半径は１５．６４１ｍｍであり、スキュー角θは
４．２６７５°である。また、ここではダスト流れ線Ｄ
Ｓを６０本に統一して示していて、実際のダストの量の
比を忠実に再現したものではないが、実際の耐ダスト対
策としては、ステップ面４及びレール面５上へ侵入する
ように流れるダスト流れ線ＤＳの侵入幅であるダスト侵
入幅が問題となる。即ち、ステップ面４の最大幅をＷ１
１とし、そのステップ面４及びレール面５上に侵入され
るダスト流れ線ＤＳの幅であるダスト侵入幅をＷ１２と
した時のダスト侵入幅比であるＷ１１／Ｗ１２が何パー
セント（％）であるかが重要である。なお、図１０は、
横幅にレール面５に対するベース面３の段差（深さ）Ｇ
３の変化（μｍ）を表し、縦軸のダスト侵入幅比（％）
を表したグラフである。

【００２１】ここで、図４〜図９と、図１０のグラフに
よって、ステップ面４及びレール面５の前側段差面６、
７によるダストの排出性能と、ステップ面４及びレール
面５上へのダスト侵入幅比との関係について観察する
と、図４（Ｇ１＝１μｍ）では、前側段差面６、７によ
るダストのスライダ両側方への排出性能及びダスト侵入
幅比が共に悪いことが判る。

【００２２】次に、図２（Ｇ１＝２μｍ）では、前側段
差面６、７によるダストのスライダ両側方への排出性能
はやや改善されたものの、ダスト侵入幅比はまだ悪いこ
とが判る。

【００２３】一方、図３（Ｇ１＝３μｍ）〜図９（Ｇ１
＝１０μｍ）では、前側段差面６、７によるダストのス
ライダ両側方への排出性能及びダスト侵入幅比が共に良
いこと（耐ダスト効果が著しく改善されていること）が
判る。

【００２４】そして、図９のグラフで明白なように、Ｇ
１＝１μｍからＧ１＝２μｍまではダスト侵入幅比が急
速に下がるが、Ｇ１＝２μｍからＧ１＝１０μｍまでは
ダスト侵入幅比が次第に頭打ちになる傾向を示してい
る。従って、この浮上ヘッドスライダ１ではレール面５
に対するベース面３の段差（深さ）Ｇ３を２μｍ以上に
構成することが最も効果的と言える。そして、段差Ｇ３
を１０μｍ以上に深く構成しても、イオンエッチング等
による加工時間や加工工数のわりには得られる効果が僅
かなものとなることから、その段差Ｇ３＝２μｍ〜１０
μｍの構成にするのが最適であると言える

【００２５】なお、図５〜図９で明白なように、第１の
ステップ面４ａ及び第１のレール面５ａの輪郭線１０、
１１の後側段差面８、９も前側段差面６、７に似たほぼ
放物線に沿って湾曲させた形状に構成し、第２のステッ
プ面４ｂ及び第２のレール面５ｂの輪郭線１２、１３を
空気流ＡＳの流入方向ａの上流側で小幅Ｗ１、Ｗ３に構
成し、下流側に進むに従って大幅Ｗ２、Ｗ４となるよう
に形成することによって、前側段差面６、７に沿って両
側方へ排出されたダストが負荷発生部１６内に巻き込ま
れることを極力防止できる。また、第２のレール面５ｂ
の輪郭線１３の内周側ＩＳに形成されている凹形状部１
３ａはこの浮上ヘッドスライダ１のマイナススキュー角
−θを一定限度内に抑制する効果がある。

【００２６】「第２の実施形態」次に、本発明の浮上ヘ
ッドスライダの第２の実施形態を図１１によって説明す
ると、この場合は、第２のステップ面４ｂの前端（空気
流ＡＳの流入方向ａの上流側の端部）を第１のステップ
面４ａの後側段差面８のほぼ中央部から切り離して、負
圧発生部１６の面積を拡大して、負圧効果を増大させた
ものである。

【００２７】「第３の実施形態」次に、本発明の浮上ヘ
ッドスライダの第３の実施形態を図１２によって説明す
ると、この場合は、輪郭線１０、１１、１２、１３を連
続した曲線ではなく、その曲線に近似する多数の直線で
構成したものであり、同等の耐ダスト効果を得ることが
できる。

【００２８】「第４の実施形態」次に、本発明の浮上ヘ
ッドスライダの第４の実施形態を図１３によって説明す
ると、この場合は、Ｘ方向に分割された一対の第１のレ
ール面５ａを第１のステップ面４ａの両側位置にスライ
ダセンターＰに対してほぼ等間隔であるテーパ状に配置
（空気流ＡＳの流入方向ａの上流側の間隔Ｓ１が小さ
く、下流側に進むに従って間隔Ｓ２が拡大されること）
し、第２のレール面５ｂを第１及び第２のステップ面４
ａ、４ｂのほぼ中央位置であるスライダセンターＰに沿
って配置し、かつ、この第２のレール面５ｂの空気流Ａ
Ｓの流入方向ａの上流側が小幅Ｗ３で、下流側に進むに
従って大幅Ｗ４となるように構成したものであり、ほぼ
同等の耐ダスト効果を得ることができる。

【００２９】「第５の実施形態」次に、本発明の浮上ヘ
ッドスライダの第５の実施形態を図１４によって説明す
ると、この場合は、ステップ面４をほぼＵ字状に形成
し、Ｘ方向に分割された一対のレール面５をスライダセ
ンターＰに対してほぼ等間隔でステップ面４の両側部上
に形成したものであり、ほぼ同等の耐ダスト効果を得る
ことができる。

【００３０】「第６の実施形態」次に、本発明の浮上ヘ
ッドスライダの第６の実施形態を図１５によって説明す
ると、この場合は、回転型の大容量記録メディアである
ＭＯ等の光磁気ディスク２１をその光磁気膜２１ａ側か
ら情報を記録、再生する浮上ヘッドスライダ１を構成す
るものであり、レール面５に対物レンズ２２とコイル２
３を埋設し、コイル２３への通電方向の切り換えによっ
て光磁気膜２１ａの磁極を反転させながら、対物レンズ
２２でビームスポットＢＳを光磁気膜２１ａに集光させ
て情報の記録、再生を行うようにしたものである。な
お、再生専用のＤＶＤ等の光ディスクを再生する浮上ヘ
ッドスライダ１であれば、コイル２３を不要にすること
ができる。

【００３１】「第７の実施形態」次に、本発明の浮上ヘ
ッドスライダの第７の実施形態を図１６によって説明す
ると、この場合は、ＭＯ等の光磁気ディスク２１の光磁
気膜２１ａ側とは反対側に配置したスレッド２４の対物
レンズ２２によってビームスポットＢＳをその光磁気膜
２１ａに集光させる一方、その光磁気膜２１ａ側に配置
された浮上ヘッドスライダ１のコイル２３への通電方向
の切り換えによってその光磁気膜２１ａの磁極を反転さ
せるようにして、情報の記録、再生を行うようにしたも
のである。そして、この場合は、浮上ヘッドスライダ１
がスレッド２４にサスペンション３３で連続されてスレ
ッド２４と一体にシークされるように構成されている。
このように、本発明の浮上ヘッドスライダ１は、磁気デ
ィスク、光ディスクや光磁気ディスク等の各種の回転型
の記憶メディアを用いる各種のディスクドライブ装置に
適用可能である。

【００３２】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明は上記した実施の形態に限定されることな
く、本発明の技術的思想に基づいて各種の偏光が可能で
ある。

【００３３】以上のように構成された本発明の浮上ヘッ
ドスライダとディスクドライブ装置は、浮上ヘッドスラ
イダのスライダ本体のベース面上に順次段差を有してほ
ぼ平行面状に形成されたステップ面及びレール面の空気
流の流入方向の上流側に位置するベース面及びステップ
面に対する各前側段差面をその空気流の下流側に進むに
従ってベース面の幅方向のほぼ中央部から両側部にかけ
てほぼ放物線に沿って湾曲された形状に構成し、その上
に、レール面に対するベース面の段差を２μｍ以上に構
成したことにより、空気流に混ってその浮上ヘッドスラ
イダと記憶メディアの表面との間に侵入されるダストを
ステップ面とレール面の空気流の流入方向の上流側に形
成されていて、ほぼ放物線に沿って湾曲されている前側
段差面に沿ってこれらステップ面及びレール面の両側方
へスムーズに排出することができ、これらステップ面及
びレール面上に侵入されるダストの量を著しく少なくす
ることができるので、耐ダスト性に非常に優れた浮上ヘ
ッドスライダを実現することができ、ダストがレール面
等に付着、体積等することによる浮上ヘッドスライダの
浮上姿勢の安定化を図ることができ、情報の録再不良
や、浮上ヘッドスライダと記録メディアのクラッシュ等
を未然に防止することができて、高品質、高信頼性の浮
上ヘッドスライダやディスクドライブ装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した浮上ヘッドスライダの第１の
実施形態を説明する斜視図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】図２のＡ−Ａ矢視での断面側面図である。

【図４】同上の浮上ヘッドスライダのステップ面とベー
ス面の段差を１μｍに構成した時のダスト流れ線のシュ
ミレーションを表した図面である。

【図５】同上の浮上ヘッドスライダのステップ面とベー
ス面の段差を２μｍに構成した時のダスト流れ線のシュ
ミレーションを表した図面である。

【図６】同上の浮上ヘッドスライダのステップ面とベー
ス面の段差を３μｍに構成した時のダスト流れ線のシュ
ミレーションを表した図面である。

【図７】同上の浮上ヘッドスライダのステップ面とベー
ス面の段差を４μｍに構成した時のダスト流れ線のシュ
ミレーションを表した図面である。

【図８】同上の浮上ヘッドスライダのステップ面とベー
ス面の段差を５μｍに構成した時のダスト流れ線のシュ
ミレーションを表した図面である。

【図９】同上の浮上ヘッドスライダのステップ面とベー
ス面の段差を１０μｍに構成した時のダスト流れ線のシ
ュミレーションを表した図面である。

【図１０】図４〜図１０に示された各浮上ヘッドスライ
ダについてベース面の深さ（段差）とダスト侵入幅比の
関係を測定して表したグラフである。

【図１１】本発明を適用した浮上ヘッドスライダの第２
の実施形態を説明する平面図である。

【図１２】本発明を適用した浮上ヘッドスライダの第３
の実施形態を説明する平面図である。

【図１３】本発明を適用した浮上ヘッドスライダの第４
の実施形態を説明する平面図である。

【図１４】本発明を適用した浮上ヘッドスライダの第５
の実施形態を説明する平面図である。

【図１５】本発明を適用した浮上ヘッドスライダの第６
の実施形態を説明する側面図である。

【図１６】本発明を適用した浮上ヘッドスライダの第７
の実施形態を説明する側面図である。

【図１７】従来の一般的なＲ−ＨＤＤを説明する斜視図
である。

【図１８】同上のＲ−ＨＤＤにおける浮上ヘッドスライ
ダのスキュー角を説明する平面図である。

【図１９】同上のＲ−ＨＤＤに使用されている一般的な
浮上ヘッドスライダを説明する斜視図である。

【図２０】図１９のＢ−Ｂ矢視での縦断面側面図であ
る。

【符号の説明】

１は浮上ヘッドスライダ、２はスライダ本体、３はベー
ス面、４はステップ面、４ａは第１のステップ面、４ｂ
は第２のステップ面、５はレール面、５ａは第１のレー
ル面、５ｂは第２のレール面、６はステップ面の前側段
差面、７はレール面の前側段差面、１０は第１のステッ
プ面４ａの輪郭線、１１は第１のレール面５ａの輪郭
線、１２は第２のステップ面４ｂの輪郭線、１３は第２
のレール面５ｂの輪郭線、１５は正圧発生部、１６は負
圧発生部、２１は記憶メディアである光磁気ディスク、
Ｒ−ＨＤＤはディスクドライブ装置であるリムーバルハ
ードディスク・ドライブ装置、３５は記憶メディアであ
るハードディスクである。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】記憶メディアの回転によって発生する空気
   流によりその記憶メディアに対して浮上された状態で情
   報の記録及び／又は再生を行う浮上ヘッドスライダにお
   いて、 スライダ本体に形成され、上記記憶メディアと対向され
   るベース面と、 上記ベース面上に段差を有するほぼ平行面状に形成され
   たステップ面と、 上記ステップ面上の上記空気流の流入方向の下流側へや
   や偏位された位置に段差を有するほぼ平行面状に形成さ
   れたレール面とを有し、 上記ステップ面及び上記レール面の上記空気流の流入方
   向の上流側に位置する前側段差面をその下流側に進むに
   従って上記ベース面の幅方向のほぼ中央部から両側部に
   かけてほぼ放物線に沿って湾曲された形状に構成し、 上記レール面に対する上記ベース面の段差を２μｍ以上
   に構成した、ことを特徴とする浮上ヘッドスライダ。
2. 【請求項２】記憶メディアの回転によって発生する空気
   流によりその記憶メディアに対して浮上された状態で情
   報の記録及び／又は再生を行う浮上ヘッドスライダにお
   いて、 スライダ本体に形成され、上記記憶メディアと対向され
   るベース面と、 上記ベース面上に段差を有するほぼ平行面状に形成され
   たステップ面と、 上記ステップ面上の上記空気流の流入方向の下流側へや
   や偏位された位置に段差を有するほぼ平行面状に形成さ
   れた第１のレール面と、 上記ステップ面上の上記第１のレール面より上記空気流
   の流入方向の下流側へ偏位された位置に段差を有するほ
   ぼ平行面状に形成された第２のレール面とを有し、 上記ステップ面及び上記第１のレール面の上記空気流の
   流入方向の上流側に位置する前側段差面をその下流側に
   進むに従って上記ベース面の幅方向のほぼ中央部から両
   側部にかけてほぼ放物線に沿って湾曲されたほぼ相似形
   状に構成し、 上記第２のレール面を上記空気流の流入方向の上流側が
   小幅で、下流側に進むに従って大幅となる形状に形成
   し、 上記第１及び第２のレール面に対する上記ベース面の段
   差を２μｍ以上に構成した、ことを特徴とする浮上ヘッ
   ドスライダ。
3. 【請求項３】記憶メディアの回転によって発生する空気
   流によりその記憶メディアに対して浮上された状態で情
   報の記録及び／又は再生を行う浮上ヘッドスライダにお
   いて、 スライダ本体に形成され、上記記憶メディアと対向され
   るベース面と、 上記ベース面上に段差を有するほぼ平行面状に形成さ
   れ、上記空気流の流入方向の上流側に位置する前側段差
   面がその下流側に進むに従って上記ベース面の幅方向の
   ほぼ中央から両側部にかけてほぼ放物線に沿って湾曲さ
   れた形状に形成されているステップ面と、 上記ステップ面上の両側位置に段差を有するほぼ平行面
   状に形成され、上記空気流の流入方向の下流側に進むに
   従って間隔が拡大されるテーパ状に形成された一対の第
   １のレール面と、 上記ステップ面上のほぼ中央位置に沿って段差を有する
   ほぼ平行面状に形成され、上記空気流の流入方向の上流
   側が小幅で、下流側に進むに従って大幅となる形状に形
   成された第２のレール面とを有し、 上記第１及び第２のレール面に対する上記ベース面の段
   差を２μｍ以上に構成した、ことを特徴とする浮上ヘッ
   ドスライダ。
4. 【請求項４】記憶メディアの回転によって発生する空気
   流によりその記憶メディアに対して浮上された状態で情
   報の記録及び／又は再生を行う浮上ヘッドスライダにお
   いて、 スライダ本体に形成され、上記記憶メディアと対向され
   るベース面と、 上記ベース面上に段差を有するほぼ平行面状に形成さ
   れ、上記空気流の流入方向の上流側に位置する前側段差
   面がその下流側に進むに従って上記ベース面の幅方向の
   ほぼ中央から両側部にかけてほぼ放物線に沿って湾曲さ
   れた形状に形成されているステップ面と、 上記ステップ面上の両側位置に沿って段差を有するほぼ
   平行面状に形成された一対のレール面とを有し、 上記一対のレール面に対する上記ベース面の段差を２μ
   ｍ以上に構成した、ことを特徴とする浮上ヘッドスライ
   ダ。
5. 【請求項５】上記ベース面と上記ステップ面の段差を２
   μｍ以上に構成し、 上記ステップ面と上記レール面の段差を０．４μｍ以上
   に構成したことを特徴とする請求項１又は請求項２又は
   請求項３又は請求項４に記載の浮上ヘッドスライダ。
6. 【請求項６】請求項１又は請求項２又は請求項３又は請
   求項４又は請求項５に記載の浮上ヘッドスライダが回動
   型のヘッドアクチュエータにサスペンションを介して支
   持され、そのサスペンションによって上記浮上ヘッドス
   ライダが上記記憶メディアの空気流上に押圧されるよう
   に構成されたことを特徴とするディスクドライブ装置。