JPH05334642A - 浮上型磁気ヘッド装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スライダのコンスタント・フライング・ハイ
ト特性を可能とし、ゾーンビット記録を有効なものとす
るとともに記録密度の増大が望める浮上型磁気ヘッド装
置を提供する。 【構成】 スライダと磁気ヘッド素子とを有してなる浮
上型磁気ヘッド装置である。スライダの磁気記録媒体対
向面に該スライダの走行方向に連通する深さ０．５〜５
μｍの溝部が形成されている。該溝部の幅が空気流入端
及び空気流出端に向かって拡大されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ハードディスクドライ
ブ装置等に用いられる浮上型磁気ヘッド装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ハードディスクドライブ装置等
の磁気ディスクドライブ装置に搭載され、ハードディス
ク等の磁気記録媒体に対して情報信号の記録／再生を行
う浮上型磁気ヘッド装置は、磁気記録媒体が高速回転す
るに際してその磁気記録媒体に対して微小な間隙を持っ
て浮上させる必要のあることから、磁気ヘッド素子が、
前記磁気記録媒体表面に発生する空気流により静圧を発
生して浮上するべく構成された基体、いわゆるスライダ
に取り付けられている。

【０００３】すなわちスライダは、例えば図１０に示す
如く平面矩形状の平板状を呈してなり、該スライダ２１
の磁気記録媒体と対向する一主面２１ａには、該スライ
ダ２１の長手方向、すなわち前記図１０中矢印Ｘで示す
空気導入方向に沿って空気流入端２１ｂから空気流出端
２１ｃに亘り空気流入用溝２３及びスライダレール２
４、２５が形成されている。すなわち、前記対向面２１
ａの略中央位置には空気流を導入して該スライダ２１の
浮上姿勢を安定したものとすべく所定の深さを持った断
面矩形状の溝として空気流入用溝２３が形成され、また
前記対向面２１ａの両端、すなわち前記空気流入用溝２
３の両側には、空気流を導入して静圧を発生して該スラ
イダ２１を浮上させるべく磁気記録媒体と対向する一面
２４ａ、２５ａを平滑面、いわゆるエア・ベアリング・
サーフェス（以下、ＡＢＳと略する。）としたスライダ
レール２４、２５が突出形成されている。そして、一方
のスライダレール２４の走行方向後端２１ｃに磁気ヘッ
ド素子２２がその磁気ギャップをＡＢＳ２４ａに臨ませ
て配設されている。なお、前記図１０中には薄膜磁気ヘ
ッドを図示した。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前述したような浮上型
磁気ヘッド装置が磁気ディスクドライブ装置（以下、ド
ライブ装置と略する。）に搭載されると、スライダ２１
は高速回転する磁気記録媒体表面の空気流を受けて浮上
し、例えば図１１に示す如くロータリアクチュエータ
（図示を省略する。）の回動軸Ｏを支点として磁気記録
媒体２７の信号記録領域、いわゆるデータゾーン２７ａ
上をその内周側から外周側へ、逆に外周側から内周側へ
径方向に操作される。

【０００５】ところが、前記図１１に示す如く該スライ
ダ２１は前記信号記録領域２７ａ上を円弧状の軌跡を描
きながら操作されるため、該スライダ２１が前記信号記
録領域２７ａの任意の記録トラック上に操作されると、
前記任意の記録トラックの走行方向、すなわち空気流の
進行方向に対して角度θ（以下、これをスキュー角θと
称する。）を持って浮上する。すなわち該スライダ２１
は、前記信号記録領域２７ａの径方向略中央位置、すな
わち該スライダ２１の長手方向と空気流進入方向とが略
一致するスキュー角θ零位置より内周側では負スキュー
角θを、また外周側では正スキュー角θを持って操作さ
れている。さらに、図１２に示す如く前記信号記録領域
２７ａの任意の記録トラック位置における磁気記録媒体
の周速は、前記信号記録領域２７ａの内周側より外周側
へ行く程大きくなっている。

【０００６】この結果、例えば図１３に示す如くスライ
ダ２１の浮上量が磁気記録媒体２７の内周より外周に亘
って大きく変化する。すなわちスキュー角θが零度とな
る位置では、導入した空気流がＡＢＳ２４ａ、２５ａ上
で効率よく正圧に変換されて最大浮上量が得られるもの
の、スライダ２１が負スキュー角θを持って磁気記録媒
体２７の信号記録領域２７ａ内周側に操作された場合に
は、磁気記録媒体の周速の低下及び空気流の正圧発生効
率の低下により浮上量が低下する。またスライダ２１が
正スキュー角θを持って磁気記録媒体２７の信号記録領
域２７ａ外周側に操作されたときには、磁気記録媒体の
周速は上昇しているものの、スライダ２１が空気進行方
向に対して正スキュー角θだけ傾斜しているためやはり
浮上量は低下してしまう。

【０００７】このように、スライダ２１の浮上量が磁気
記録媒体２７の内周より外周に亘って大きく変化する
と、情報信号の書込み或いは読出し時に出力がばらつ
き、高密度記録化を図る上で不利となる。また今日にお
いては、ドライブ装置を小型化することが要求されてお
り、これを実現すべく前記磁気記録媒体の小径化に伴っ
てスライダ２１とロータリアクチュエータを接続する支
持体、いわゆるアクチュエータ・アームの長さを短くす
ることが行われている。この結果、磁気記録媒体の任意
の記録トラックに対する磁気ヘッド素子のアクセス時間
が短縮化される。ところが、アクチュエータ・アーム長
が短縮されると、スライダ２１が磁気記録媒体上を操作
される範囲、すなわちスキュー角θ範囲が拡大されてし
まい、この結果、さらにスライダ２１の浮上量が信号記
録領域２７ａの内周より外周に亘って大きく変化してし
まう。

【０００８】また、前記磁気ディスクドライブ装置にお
いては記録密度を上げるために、磁気記録媒体の内周よ
り外周に亘って周波数を上げて記録する所謂ゾーンビッ
ト記録が行われている。この場合、信号記録領域２７ａ
を幾つかのゾーンに分け同等の記録密度で記録するた
め、信号記録領域２７ａ全域に亘りスライダ２１の浮上
量が一定であることが望ましいが、上述したようにスラ
イダ２１の浮上量が磁気記録媒体２７の内周より外周に
亘って大きく変化する場合、このゾーンビット記録を有
効なものとすることができない。

【０００９】そこで本発明は、上述の従来技術が有する
問題点を解決するため提案されたものであって、磁気記
録媒体の信号記録領域全域に亘りスライダの浮上量を一
定なものと成すとともにゾーンビット記録を有効なもの
とし、記録密度の増大が望める浮上型磁気ヘッド装置を
提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し上記
目的を達成するために、本発明に係る第一の浮上型磁気
ヘッド装置は、スライダと磁気ヘッド素子とを有してな
る浮上型磁気ヘッド装置において、前記スライダの磁気
記録媒体対向面に当該スライダの走行方向に連通する深
さ０．５〜５μｍの溝部が形成され、前記溝部の幅が空
気流入端及び空気流出端に向かって拡大されていること
を特徴とするものである。

【００１１】また、本発明に係る第二の浮上型磁気ヘッ
ド装置は、スライダと磁気ヘッド素子とを有してなる浮
上型磁気ヘッド装置において、前記スライダの磁気記録
媒体対向面に当該スライダの走行方向に連通する深さ
０．５〜５μｍの溝部が形成され、前記溝部の空気流入
端近傍または空気流出端近傍の少なくともいずれか一方
に段差部が形成されていることを特徴とするものであ
る。

【００１２】また、本発明に係る第三の浮上型磁気ヘッ
ド装置は、スライダと磁気ヘッド素子とを有してなる浮
上型磁気ヘッド装置において、前記スライダの磁気記録
媒体対向面に当該スライダの走行方向に連通する深さ
０．５〜５μｍの溝部が形成され、前記溝部の底面が空
気流入端近傍または空気流出端近傍の少なくともいずれ
か一方において外方に向かって傾斜する傾斜面とされて
いることを特徴とするものである。

【００１３】さらに、本発明に係る浮上型磁気ヘッド装
置の装置製造方法は、磁気ヘッド素子が形成されてなる
スライダの磁気記録媒体対向面に溝部の形状に応じてレ
ジスト層を形成した後、このレジスト層をマスクとして
微粒子粉を高速噴射して、深さ０．５〜５μｍの溝部を
形成することを特徴とするものである。

【００１４】

【作用】本発明に係る第一の浮上型磁気ヘッド装置によ
れば、スライダの磁気記録媒体対向面に当該スライダの
走行方向に連通する深さ０．５〜５μｍの溝部が形成さ
れ、この溝部の幅が空気流入端及び空気流出端に向かっ
て拡大されているので、空気流の導入に際して前記溝部
の空気流入端にて生じた正圧及び前記溝部の空気流出端
にて生じた負圧により、或いはこれら正圧及び負圧のバ
ランスによって該スライダの浮上量が制御され、該スラ
イダが磁気記録媒体の信号記録領域上を操作されるにあ
たって、磁気記録媒体の周速や該スライダのスキュー角
θ等に依らず信号記録領域全域に亘って一定したフライ
ングハイトを持って操作でき、いわゆるコンスタント・
フライング・ハイト特性を得ることができる。

【００１５】本発明に係る第二の浮上型磁気ヘッド装置
によれば、スライダの磁気記録媒体対向面に当該スライ
ダの走行方向に連通する深さ０．５〜５μｍの溝部が形
成され、この溝部の空気流入端近傍または空気流出端近
傍の少なくともいずれか一方に段差部が形成されている
ので、空気流の導入に際して前記空気流入端近傍の段差
部にて生じた正圧または空気流出端近傍の段差部にて生
じた負圧によって、或いはこれら正圧及び負圧のバラン
スによって、いわゆるコンスタント・フライング・ハイ
ト特性を得ることができる。

【００１６】本発明に係る第三の浮上型磁気ヘッド装置
によれば、スライダの磁気記録媒体対向面に当該スライ
ダの走行方向に連通する深さ０．５〜５μｍの溝部が形
成され、この溝部の底面が空気流入端近傍または空気流
出端近傍の少なくともいずれか一方において外方に向か
って傾斜する傾斜面とされているので、空気流の導入に
際して前記傾斜面において生じた正圧或いは負圧、並び
にこれら正圧及び負圧のバランスによって、いわゆるコ
ンスタント・フライング・ハイト特性を得ることができ
る。

【００１７】また、本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置
の製造方法によれば、スライダの磁気記録媒体対向面に
溝部の形状に応じてマスクとしてレジスト層を形成した
後、このレジスト層の上部から微粒子粉を高速噴射する
ことによって、深さ０．５〜５μｍの溝部が形成される
ので、所望する溝部形状を容易に得られるだけでなく、
作業性等を向上することができる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。本実施例の浮
上型磁気ヘッド装置は、スライダ１と、磁気ヘッド素子
２とから構成されている。

【００１９】第１の実施例 図１に示す如くスライダ１は、例えばセラミックス等の
非磁性材料等より形成され、略矩形状の平板として形成
されている。該スライダ１のハードディスク等の磁気記
録媒体（図示は省略する。）との対向面１ａには、該ス
ライダ１の長手方向、すなわち、前記図１中矢印Ｘで示
す走行方向に沿って空気流入端１ｂより空気流出端１ｃ
に亘って前記対向面１ａの略中央位置に該スライダ１の
浮上状態を安定させるための空気流入用溝３が、深さ
０．５〜５μｍの断面矩形状の溝として形成されてい
る。この空気流入用溝３は、溝内に空気を導入すること
により、スライダ１の左右方向の振れを防止し浮上状態
を安定なものとなす役目をするものである。

【００２０】また、前記スライダ１の空気流入用溝３の
両側には、磁気記録媒体と対向する面１ａを平滑面とす
るスライダレール４、５が突出形成されている。上記平
滑面はエア・ベアリング・サーフェス（以下、ＡＢＳと
略する。）４ａ、５ａと称されており、空気を導入した
際、前記ＡＢＳ４ａ、５ａと磁気記録媒体との間の空気
層の剛性が高められて、当該スライダ１を前記磁気記録
媒体に対して微小な間隙、いわゆるフライング・ハイト
ＦＨをもって浮上させる役目をする。例えば、スライダ
レール４、５のレール幅を大きくすれば、空気層の剛性
が高まってフライング・ハイトＦＨが大きくなり、逆に
レール幅を小さくすれば空気層の剛性が弱まってフライ
ング・ハイトＦＨが小さくなる。

【００２１】そして、前述した一方のスライダレール５
の空気流出端１ｃには、その磁気ギャップ２ａをＡＢＳ
５ａに臨ませて磁気ヘッド素子２が配設されており、前
記磁気ギャップ２ａが磁気記録媒体の記録トラックに対
して略直交するようになっている。なお本実施例では、
磁気ヘッド素子２は、上層コア、及び下層コア、並びに
巻線より構成される磁気回路部が真空薄膜形成技術等に
より形成される薄膜磁気ヘッド２を適用したが、矩形状
の平板よりなる一対の磁気コア半体同士をギャップ膜を
介して突合わせてなるバルク型の磁気ヘッドや、前記一
対の磁気コア半体の突合わせ面に金属磁性薄膜を被着形
成し、この金属磁性薄膜同士を突合わせて形成したメタ
ル・イン・ギャップ（以下、ＭＩＧと略する。）型の磁
気ヘッド等であってもよく、この場合、やはりスライダ
レール５の空気流出端１ｃより前述した磁気ヘッドのコ
ア幅で持って挿入溝を形成し、該挿入溝に前記磁気ヘッ
ドを融着ガラス等によって嵌合配設して形成されていて
も問題はない。

【００２２】そして、特に本実施例においては、前述し
たスライダレール４、５の一面、すなわち前記空気流入
用溝３を挟んで対向するスライダレール４、５の内面４
ｈ、５ｈの空気流入端１ｂ及び空気流出端１ｃ側には、
前記空気流入用溝３内へ空気流をスムーズに導入するた
めに、或いは前記空気流入用溝３から空気流をスムーズ
に流出するために、それぞれ前記空気流入端１ｂ或いは
前記空気流出端１ｃに向かって当該空気流入用溝３の溝
幅を拡大するよう、傾斜面４ｂ、４ｃ、５ｂ、５ｃとさ
されている。この傾斜面４ｂ、４ｃ、５ｂ、５ｃは、当
該スライダ１が磁気記録媒体の信号記録領域上を、前記
磁気記録媒体に対して一定した微小間隙で操作されるよ
うに、該スライダ１の走行方向、すなわち前記図１中破
線で示す該スライダ１の長手方向中心線Ａに対して傾斜
角度α、β、γ、δを持って形成されている。

【００２３】これにより、該スライダ１が前記磁気記録
媒体が高速回転して発生する空気流を空気流入用溝３内
へ流入または空気流入用溝３より流出するとき、前記空
気流が前記空気流入用溝３の空気流入端１ｂ或いは前記
空気流出端１ｃにて二次元的な圧縮作用或いは膨張作用
を受けて、当該スライダ１が磁気記録媒体の信号記録領
域上を、前記磁気記録媒体に対して一定したフライング
・ハイトＦＨを持って操作される。

【００２４】すなわち、空気流が空気流入用溝３内に導
入されると、前記スライダレール４、５の空気流入端１
ｂ側の傾斜面４ｂ、５ｂにより二次元的、すなわち前記
空気流入用溝３幅方向の圧縮作用を受ける。この結果、
該スライダ１の磁気記録媒体との対向面１ａに対して鉛
直方向に正圧が生じる。また、前記空気流が空気流入用
溝３内を通過して流出される際には、スライダレール
４、５の空気流出端１ｃ側の傾斜面４ｃ、５ｃによって
同じく二次元的な膨張作用を受け、この結果前記対向面
１ａより鉛直方向に負圧が生じる。

【００２５】そして、これら正圧及び負圧は、磁気記録
媒体の任意の記録トラック位置の周速により変化する空
気流、すなわち空気流の強弱に対して、またスキュー角
θの変化に対して、前述した傾斜面４ｂ、４ｃ、５ｂ、
５ｃの傾斜角度α、β、γ、δによって制御されてい
る。この結果、該スライダ１は磁気記録媒体の信号記録
領域全域に亘り、前記磁気記録媒体に対して一定したフ
ライング・ハイトＦＨを持って操作することができ、所
謂コンスタント・フライング・ハイト（以下、ＣＦＨと
略する。) 化が可能とされる。なお、ハードディスクド
ライブ装置等の磁気ディスクドライブ装置（以下、ドラ
イブ装置と略する。）によっては、前記傾斜面４ｂ、４
ｃ、５ｂ、５ｃは、空気流入端１ｂ或いは空気流出端１
ｃの何れか一方のみに形成されていてもよい。

【００２６】また、前述したように、スライダ１のＣＦ
Ｈ化が可能となるため、磁気記録媒体の信号記録領域全
域に亘って情報信号の記録／再生時の出力特性が略一定
とされ、ゾーン・ビット記録が可能となるとともに記録
密度が増大される。また、ドライブ装置の構成要件等に
依らないで前述したスライダ１のＣＦＨ化が達成される
ため、スライダ１の浮上量等を考慮せずとも所望するド
ライブ装置に適当なアクチュエータ・アーム長さが決定
でき、この結果、アクセス時間の短縮化、並びにドライ
ブ装置の小型化、低電力化が図ることができる。

【００２７】次に、前述した本実施例の浮上型磁気ヘッ
ド装置の、特にスライダの製造方法について図２乃至図
３を参照しながら説明する。本実施例の浮上型磁気ヘッ
ド装置のスライダを作製するにあたり、図２に示すよう
な非磁性材料等よりなる平面矩形状の所定の厚さを持っ
た平板、すなわちスライダコア１ｄを準備する。そし
て、前記スライダコア１ｄの一主面、すなわち磁気記録
媒体と対向する浮上面に相当する一面１ａに、空気流入
用溝３に相当する面（以下、空気流入用溝３形成面）３
ａを残してフォトリゾグラフィー技術を適用してレジス
ト層１１を塗布する。すなわち、前記図２に示すよう
に、スライダコア１ｄの一主面１ａの長手方向中央部に
空気流入用溝３形成面３ａを露出させたまま、該空気流
入用溝３形成面３ａを除くスライダコア１ｄの一主面１
ａ全面に亘ってレジスト層１１を塗布する。

【００２８】次に、図３に示すように、前記スライダコ
ア１ｄの一主面１ａに、ドライ・エッチングにより空気
流入用溝３を形成する。すなわち該スライダコア１ｄを
密閉された活性ガス充填槽、すなわちエッチング室に載
置する。そして前記スライダコア１ｄを、減圧下で、活
性ガスプラズマ等を利用して、空気流入用溝３を形成す
る。

【００２９】次に、スライダコア１ｄの一主面１ａのレ
ジスト層１１を除去し、前記空気流入用溝３を含んで前
記一主面１ａ全面に亘って、例えば砥石等による機械的
手段にて、所定の表面精度を得るまで研削加工を施す。
特に、前記空気流入用溝３を構成する底面、並びに側面
を除いた一主面１ａ、すなわちスライダレール４、５の
磁気記録媒体との対向面４ａ、５ａにエア・ベアリング
・サーフェス加工を施す。さらに、必要に応じて諸々の
機械的加工等を施して前記図１に示す本実施例の浮上型
磁気ヘッド装置のスライダを完成する。

【００３０】第２の実施例 図４に示す如くスライダ１は、例えばセラミックス等の
非磁性材料等より形成され、略矩形状の平板として形成
されている。該スライダ１のハードディスク等の磁気記
録媒体との対向面１ａには、該スライダ１の長手方向、
すなわち、図４中矢印Ｘで示す走行方向に沿って空気流
入端１ｂより空気流出端１ｃに亘って前記対向面１ａの
略中央位置に該スライダ１の浮上状態を安定させるため
の空気流入用溝３が、後述するスライダレール４、５の
ＡＢＳ面４ａ、５ａより深さ０．５〜５μｍの断面矩形
状の溝として形成されている。この空気流入用溝３は、
第１の実施例にても詳述したように、該溝３内に空気を
導入してスライダ１の左右方向の振れを防止し浮上状態
を安定なものとなす役目をするものである。

【００３１】また、前記スライダ１の空気流入用溝３の
両側には、磁気記録媒体と対向する面１ａを平滑面、い
わゆるＡＢＳ４ａ、５ａとするスライダレール４、５が
突出形成されている。そして、第１の実施例にても詳述
したように、空気を導入した際、前記ＡＢＳ４ａ、５ａ
と磁気記録媒体との間の空気層の剛性が高められて、当
該スライダ１を前記磁気記録媒体に対して微小な間隙、
いわゆるフライング・ハイトＦＨをもって浮上させる役
目をする。

【００３２】また、前述した一方のスライダレール５の
空気流出端１ｃには、第１の実施例にても詳述したよう
に、その磁気ギャップ２ａをＡＢＳ５ａに臨ませて磁気
ヘッド素子２が配設されており、前記磁気ギャップ２ａ
が磁気記録媒体の記録トラックに対して略直交するよう
になっている。

【００３３】そして、特に本実施例において、前述した
空気流入用溝３の空気流入端１ｂ近傍及び空気流出端１
ｃ近傍には、該スライダ１を磁気記録媒体の信号記録領
域上を一定した浮上量で操作せしめるために、スライダ
レール４、５のＡＢＳ４ａ、５ａより所定深さｄを持っ
て、本実施例においては前記空気流入用溝３の底面３ａ
より幾分深くして段差部３ｂ、３ｃが形成されている。
なお段差部３ｂ、３ｃは、該スライダ１の浮上量、ピッ
チ及びその他諸要件により決定されるものである。

【００３４】なお、本実施例では第１の実施例のよう
に、スライダレール４、５の一面４ｈ、５ｈの空気流入
端１ｂ及び空気流出端１ｃ側に、それぞれ前記空気流入
端１ｂ、前記空気流出端１ｃに向かって当該空気流入用
溝３の溝幅を拡大して傾斜面４ｂ、４ｃ、５ｂ、５ｃが
形成されている。

【００３５】前述したことより、該スライダ１が前記磁
気記録媒体が高速回転して発生する空気流を空気流入用
溝３内へ流入または空気流入用溝３より流出するとき、
前記空気流が前記空気流入用溝３の空気流入端１ｂ近傍
の段差部３ｂ、或いは前記空気流出端１ｃ近傍の段差部
３ｃにて三次元的な圧縮作用或いは膨張作用を被って、
当該スライダ１が磁気記録媒体の信号記録領域上を前記
磁気記録媒体に対して一定したフライング・ハイトＦＨ
を持って操作される。

【００３６】すなわち、空気流が空気流入用溝３内に導
入されると、該空気流が、前記スライダレール４、５の
空気流入端１ｂ側の傾斜面４ｂ、５ｂ、並びに空気流入
端１ｂ近傍の段差部３ｂによって、前記空気流入用溝３
幅方向、及び鉛直方向に三次元的な圧縮作用を受ける。
これによって該スライダ１の磁気記録媒体との対向面１
ａに対して鉛直方向の正圧が生じる。また、前記空気流
が空気流入用溝３内を通過して流出される際には、スラ
イダレール４、５の空気流出端１ｃ側の傾斜面４ｃ、５
ｃ、並びにに空気流出端１ｃ近傍の段差部３ｃによっ
て、同じく前記空気流入用溝３幅方向、及び鉛直方向に
三次元的な膨張作用を受け、この結果、前記対向面１ａ
より鉛直方向の負圧が生じる。

【００３７】そして、これら正圧及び負圧は、スキュー
角θの変化及び磁気記録媒体の任意記録トラック位置に
おける周速（以下、磁気記録媒体の周速）の変化に対し
て空気流入端１ｂ近傍の段差部３ｂ、或いは前記空気流
出端１ｃ近傍の段差部３ｃにより制御される。この結
果、該スライダ１は磁気記録媒体の信号記録領域全域に
亘り、前記磁気記録媒体に対して一定した浮上量にて走
査することができる。勿論、ドライブ装置、すなわち該
スライダ１が操作されるスキュー角θ範囲や、磁気記録
媒体の周速等によって、段差部が空気流入端１ｂ或いは
空気流出端１ｃの何れか一方のみに形成されていてもよ
い。

【００３８】また第１の実施例と同じように、スライダ
１がＣＦＨ化されるため、信号記録領域全域に亘って情
報信号の記録／再生時の出力特性が一定とされ、この結
果ゾーン・ビット記録が可能となるとともに記録密度が
増大される。また、適切なアクチュエータのアーム長さ
が決定でき、アクセス時間の短縮化、並びにドライブ装
置の小型化、低電力化が図ることができる。

【００３９】次に、前述した本実施例の浮上型磁気ヘッ
ド装置の、特にスライダの製造方法について図５乃至図
６を参照しながら説明する。本実施例の浮上型磁気ヘッ
ド装置のスライダの作製にあたっては、先の実施例に準
じて行われる。

【００４０】まず、図５に示すような非磁性材料等より
なる平面矩形状の所定の厚さを持った平板、すなわちス
ライダコア１ｄを準備する。そして、前記スライダコア
１ｄの一主面、すなわち磁気記録媒体と対向する浮上面
に相当する一面１ａにおいて、空気流入用溝３の空気流
入端１ｂ近傍の段差部３ｂに相当する面（以下、段差部
３ｂ形成面）３ｄ、及び空気流出端１ｃ近傍の段差部３
ｃに相当する面（以下、段差部３ｃ形成面）３ｅを露出
させたまま、該段差部３ｂ形成面３ｄ及び段差部３ｃ形
成面３ｅを除くスライダコア１ｄの一主面１ａ全面に亘
ってフォトリゾグラフィー技術を適用してレジスト層１
１を塗布する。

【００４１】次に、前記スライダコア１ｄを密閉された
エッチング室に載置し、減圧下で、活性ガスプラズマ等
を利用したドライ・エッチングにより、前記段差部３ｂ
形成面３ｄ及び段差部３ｃ形成面３ｅを所定の深さまで
エッチング除去する。

【００４２】次に、図６に示すように、前記段差部３ｂ
形成面３ｄ及び段差部３ｃ形成面３ｅを含んで空気流入
用溝３に相当する面（以下、空気流入用溝３形成面）３
ａを露出させたまま、該空気流入用溝３形成面３ａを除
くスライダコア１ｄの一主面１ａ全面に亘って再度レジ
スト層１１を塗布する。

【００４３】次に、前述したとおなじように、前記スラ
イダコア１ｄを密閉されたエッチング室に載置し、減圧
下で、活性ガスプラズマ等を利用したドライ・エッチン
グにより、前記段差部３ｂ形成面３ｄ及び段差部３ｃ形
成面３ｅを含んで空気流入用溝３形成面３ａを所定の深
さまでエッチング除去する。

【００４４】次に、スライダコア１ｄの一主面１ａのレ
ジスト層１１を除去し、前記空気流入用溝３を構成する
底面、並びに側面全面に亘って、例えば砥石等による機
械的手段にて、所定の表面精度を得るまで研削加工を施
す。またスライダレール４、５の磁気記録媒体との対向
面４ａ、５ａにエア・ベアリング・サーフェス加工を施
す。さらに、必要に応じて諸々の機械的加工等を施して
前記図４に示す如く本実施例の浮上型磁気ヘッド装置の
スライダを完成する。

【００４５】第３の実施例 図７に示す如くスライダ１は、例えばセラミックス等の
非磁性材料等より形成され、略矩形状の平板として形成
されている。該スライダ１のハードディスク等の磁気記
録媒体（図示は省略する。）との対向面１ａには、該ス
ライダ１の長手方向、すなわち、前記図７中矢印Ｘで示
す走行方向に沿って空気流入端１ｂより空気流出端１ｃ
に亘って前記対向面１ａの略中央位置に該スライダ１の
浮上状態を安定させるための空気流入用溝３が、深さ
０．５〜５μｍの断面矩形状の溝として形成されてい
る。この空気流入用溝３は、第１の実施例及び第２の実
施例にても詳述したように、溝内に空気を導入すること
により、スライダ１の左右方向の振れを防止し浮上状態
を安定なものとなす役目をするものである。

【００４６】また、前記スライダ１の空気流入用溝３の
両側には、磁気記録媒体と対向する面１ａを平滑面、い
わゆるＡＢＳ４ａ、５ａとするスライダレール４、５が
突出形成されている。そして、第１の実施例及び第２の
実施例にても詳述したように、空気を導入した際、前記
ＡＢＳ４ａ、５ａと磁気記録媒体との間の空気層の剛性
が高められて、当該スライダ１を前記磁気記録媒体に対
して微小な間隙、いわゆるフライング・ハイトＦＨをも
って浮上させる役目をする。

【００４７】また、前述した一方のスライダレール５の
空気流出端１ｃには、第１の実施例及び第２の実施例に
ても詳述したように、その磁気ギャップ２ａをＡＢＳ５
ａに臨ませて磁気ヘッド素子２が配設されており、前記
磁気ギャップ２ａが磁気記録媒体の記録トラックに対し
て略直交するようになっている。

【００４８】そして、特に本実施例においては、前記空
気流入用溝３の底面が、該スライダ１を磁気記録媒体の
信号記録領域上を一定した浮上量で操作せしめるため
に、空気流入端１ｂから空気流出端１ｃに向かって所定
の傾斜度を持って緩やかに下降する傾斜面３ａとされて
いる。すなわち、傾斜面３ａの傾斜度はやはり該スライ
ダ１の磁気記録媒体に対する浮上量、ピッチ及びその他
諸要件により決定される。

【００４９】なお、本実施例では第１の実施例のよう
に、スライダレール４、５の一面４ｈ、５ｈの空気流入
端１ｂ及び空気流出端１ｃ側に、それぞれ前記空気流入
端１ｂ、前記空気流出端１ｃに向かって当該空気流入用
溝３の溝幅を拡大して傾斜面４ｂ、４ｃ、５ｂ、５ｃが
形成されている。

【００５０】これにより、該スライダ１が前記磁気記録
媒体が高速回転して発生する空気流を空気流入用溝３内
へ流入または空気流入用溝３より流出するとき、前記空
気流が前記空気流入用溝３の底面、すなわち傾斜面３ａ
にて三次元的な圧縮作用或いは膨張作用を被って、当該
スライダ１が磁気記録媒体の信号記録領域上を前記磁気
記録媒体に対して一定したフライング・ハイトＦＨを持
って操作される。

【００５１】すなわち、空気流が空気流入用溝３内に導
入されると、該空気流が前記スライダレール４、５の空
気流入端１ｂ側の傾斜面４ｂ、５ｂによって前記空気流
入用溝３幅方向に二次元的な圧縮作用を受け、これによ
って該スライダ１の磁気記録媒体との対向面１ａより鉛
直方向の正圧が生じる。また、前記空気流が空気流入用
溝３内を通過して流出される途中、前記空気流入用溝３
の底面３ａが空気流入端１ｂより空気流出端１ｃに向か
って緩やかに降下する傾斜面３ａとされているため、次
第に該空気流が膨張され、この結果、前記対向面１ａよ
り鉛直方向に負圧が生じる。

【００５２】そして、これら正圧及び負圧が、スキュー
角θ及び磁気記録媒体の周速の変化に対して傾斜面３ａ
により制御されるため、この結果、該スライダ１は磁気
記録媒体の信号記録領域全域に亘り、前記磁気記録媒体
に対して一定した浮上量にて走査することができる。勿
論、ドライブ装置、すなわち該スライダ１が操作される
スキュー角θ範囲や、磁気記録媒体の周速等によって、
傾斜面３ａは、逆方向に向かって、すなわち該スライダ
１のスキュー角θ範囲や磁気記録媒体の周速等により空
気流入端１ｂより空気流出端１ｃに向かって形成されて
いてもよい。

【００５３】また第１の実施例及び第２の実施例と同じ
ように、スライダ１がＣＦＨ化されるため、信号記録領
域全域に亘って情報信号の記録／再生時の出力特性が一
定となり、この結果ゾーン・ビット記録が可能となると
ともに記録密度が増大される。また、適切なアクチュエ
ータのアーム長さが決定でき、アクセス時間の短縮化、
並びにドライブ装置の小型化、低電力化が図ることがで
きる。

【００５４】次に、前述した浮上型磁気ヘッド装置の製
造方法、特にスライダ１の製造方法について図８及び図
９を参照しながら説明する。本実施例の浮上型磁気ヘッ
ド装置のスライダ１を作製するにあたり、図８に示す如
く非磁性材料等よりなる平面矩形上のスライダコアを準
備する。そして、前記スライダコア１ｄの一主面、すな
わち磁気記録媒体と対向する浮上面に相当する一面１ａ
に、空気流入用溝３に相当する面（以下、空気流入用溝
３形成面）３ａを残してフォトリゾグラフィー技術を適
用してレジスト層１１を塗布する。すなわち、前記図２
に示すように、スライダコア１ｄの一主面１ａの長手方
向中央部に空気流入用溝３形成面３ａを露出させたま
ま、該空気流入用溝３形成面３ａを除くスライダコア１
ｄの一主面１ａ全面に亘ってレジスト層１１を塗布する
ものである。

【００５５】次に、図９に示すように、レジスト層１１
をマスクとして、スライダコア１ｄの空気流入用溝３形
成面３ａに対してアルミナ等の微粒子粉、いわゆるパウ
ダー・ビームを高速噴射する。このとき、アルミナ等の
微粒子粉を噴射するノズルは、空気流入用溝３形成方
向、すなわち前記図９中矢印Ｘで示す方向に沿って移動
させる。さらに、例えば微粒子粉の噴射速度が一定とで
きれば、ノズルの走査速度は空気流入用溝３の空気流入
端に相当する端面（以下、空気流入端）１ｂより空気流
出端に相当する端面（以下、空気流出端）１ｃにかけて
徐々に遅くする。また、ノズルの走査速度が一定とされ
るときには、微粒子粉の噴射速度を該空気流入用溝３の
空気流入端１ｂから空気流出端１ｃにかけて徐々に強く
する。この結果、前記図 に示す本実施例の浮上型磁気
ヘッド装置において、スライダ１の磁気記録対向面１ａ
の空気流入用溝３が形成できる。

【００５６】次に、スライダコア１ｄの一主面１ａのレ
ジスト層１１を除去し、前記空気流入用溝３の底面及び
側面を砥石等による機械的手段にて、研削加工を施す。
この結果、空気流を導入した際、スムーズな流入／流出
が行われる。またスライダレール４、５の磁気記録媒体
対向面をやはり砥石等による機械的手段にて、平滑面と
なるよう研削加工、すなわちエア・ベアリング・サーフ
ェス加工を施す。さらに、必要に応じた諸加工を施して
前記図７に示す如く本実施例の浮上型磁気ヘッド装置の
スライダを完成する。

【００５７】なお、本実施例の浮上型磁気ヘッド装置の
スライダを作製するにあたり、アルミナ等の微粒子粉を
高速噴射する作製方法は、先に説明した第１の実施例、
及び第２の実施例における浮上型磁気ヘッド装置のスラ
イダを作製する場合においても適用可能な方法であり、
例えば第１の実施例の浮上型磁気ヘッド装置のスライダ
の作製にあたっては、微粒子粉の噴射速度、並びにノズ
ルの走査速度を、空気流入用溝３の空気流入端１ｂから
空気流出端１ｃにかけて略一定とすればよく、また、第
２の実施例の浮上型磁気ヘッド装置のスライダの作製に
あたっては、例えばノズルの走査速度が一定のときに
は、空気流入用溝３の空気流入端１ｂ近傍の段差部３ｂ
及び空気流出端１ｃ近傍の段差部３ｃを形成するときの
み、微粒子粉の噴射速度を強くし、前記段差部３ｂ及び
段差部３ｃを除く空気流入用溝３形成時は、微粒子粉の
噴射速度を弱くして行えば、何ら問題等なく形成でき
る。

【００５８】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、本
発明の思想を逸脱することのない範囲で種々変更可能で
ある。

【００５９】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明に係る浮上型磁気ヘッド装置によれば、情報信号の記
録／再生に際してスライダが磁気記録媒体の信号記録領
域上を操作されるとき、前記スライダは磁気記録媒体の
周速及びスキュー角θの変化に依らず、磁気記録媒体に
対して一定のフライング・ハイトを持って操作して可能
となる。これにより、ゾーン・ビット記録が可能とな
り、記録密度を大幅に向上させることができる。またア
クチュエータの適切なアーム長さが決定でき、したがっ
て、アクセス時間の短縮化が図れるとともにドライブ装
置の小型化並びに低電力化が図れる。

【００６０】また、本発明の製造方法によれば、磁気ヘ
ッド素子が形成されてなるスライダの磁気記録媒体対向
面に溝部の形状に応じてマスクとしてレジスト層を形成
した後、このレジスト層をマスクとして微粒子粉を高速
噴射して、深さ０．５〜５μｍの溝部を形成するので、
所望する溝部形状が容易に得られることになり、製造工
程の簡略化並びに作業性等の向上が図れることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置の一実施例
を示す概略斜視図である。

【図２】図１に示す浮上型磁気ヘッド装置の、特にスラ
イダの製造方法の一例を示すものであり、スライダコア
にレジスト層を塗布する工程を示す概略斜視図である。

【図３】溝部形成面のエッチング除去工程を示す概略斜
視図である。

【図４】本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置の他の実施
例を示す概略斜視図である。

【図５】図４に示す浮上型磁気ヘッド装置の、特にスラ
イダの製造方法の一例を示すものであり、段差部形成面
を除くスライダコアの主面にレジスト層を塗布する工程
を示す概略斜視図である。

【図６】溝部形成面を除くスライダコアの主面にレジス
ト層を塗布する工程を示す概略斜視図である。

【図７】本発明に係る浮上型磁気ヘッド装置のさらに他
の実施例の構成を示す概略斜視図である。

【図８】図７に示す浮上型磁気ヘッド装置の、特にスラ
イダの製造方法の一例を示すものであり、スライダコア
にレジスト層を塗布する工程を示す概略斜視図である。

【図９】溝部形成面に微粒子粉を高速噴射する工程を示
す概略斜視図である。

【図１０】従来の浮上型磁気ヘッド装置の構成例を示す
概略斜視図である。

【図１１】従来の浮上型磁気ヘッド装置を磁気記録媒体
上でアクセスさせた状態を示す模式図である。

【図１２】磁気記録媒体を高速回転させたときの該磁気
記録媒体の周速を示す特性図である。

【図１３】従来の浮上型磁気ヘッド装置を磁気記録媒体
に対してアクセスさせたときのスライダの浮上量を示す
特性図である。

【符号の説明】

１ ・・・・・ スライダ ２ ・・・・・ 磁気ヘッド素子 ３ ・・・・・ 空気流入用溝 ３ａ ・・・・・ 傾斜面 ３ｂ、３ｃ ・・・・・ 段差部 ４、５ ・・・・・ スライダレール

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スライダと磁気ヘッド素子とを有してな
   る浮上型磁気ヘッド装置において、 前記スライダの磁気記録媒体対向面に当該スライダの走
   行方向に連通する深さ０．５〜５μｍの溝部が形成さ
   れ、前記溝部の幅が空気流入端及び空気流出端に向かっ
   て拡大されていることを特徴とする浮上型磁気ヘッド装
   置。
2. 【請求項２】 スライダと磁気ヘッド素子とを有してな
   る浮上型磁気ヘッド装置において、 前記スライダの磁気記録媒体対向面に当該スライダの走
   行方向に連通する深さ０．５〜５μｍの溝部が形成さ
   れ、前記溝部の空気流入端近傍または空気流出端近傍の
   少なくともいずれか一方に段差部が形成されていること
   を特徴とする浮上型磁気ヘッド装置。
3. 【請求項３】 スライダと磁気ヘッド素子とを有してな
   る浮上型磁気ヘッド装置において、 前記スライダの磁気記録媒体対向面に当該スライダの走
   行方向に連通する深さ０．５〜５μｍの溝部が形成さ
   れ、前記溝部の底面が空気流入端近傍または空気流出端
   近傍の少なくともいずれか一方において外方に向かって
   傾斜する傾斜面とされていることを特徴とする浮上型磁
   気ヘッド装置。
4. 【請求項４】 磁気ヘッド素子が形成されてなるスライ
   ダの磁気記録媒体対向面に溝部の形状に応じてレジスト
   層を形成した後、このレジスト層をマスクとして微粒子
   粉を高速噴射して、深さ０．５〜５μｍの溝部を形成す
   ることを特徴とする浮上型磁気ヘッド装置の製造方法。