JPH06753A - ロット分割・合流方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、ロットの分割および合流を行うロ
ット分割・合流方法に関し、ロット単位に加工を行って
不良品が発生したときにロット分割を行って不良品の再
生加工を行い、良品化したときにロットの合流を行い、
コンピュータシステムを利用してロット単位の良品／不
良品および再生加工を合理的に管理することを目的とす
る。 【構成】 不良品が発生したときに自動的に、あるいは
画面上に不良品が発生した旨のメッセージを表示して分
割指示されたことに対応して、新たなロットを生成し、
良品と不良品とを元のロットおよび新たなロットに分割
する分割部２を備え、良品と不良品を元のロットおよび
新たなロットに分割して加工状態を管理するように構成
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロットの分割および合
流を行うロット分割・合流方法に関するものである。

【０００２】半導体製造業などの製造工程管理部門にお
いて、ウェハなどの加工物に不良品が発生し、この不良
品の再生処理を行う際に、コンピュータシステムを使用
して効率的に管理することが望まれている。

【０００３】

【従来の技術】従来、複数のウェハなどの加工物をロッ
ト単位に加工する製造工程管理部門では、不良品が発生
した場合、人手により１つのロットを良品と不良品に分
け、不良品群を元のロットとして再生加工して良品化す
る。良品は、不良品が良品化されるのを待ち、良品化さ
れるタイミングで良品と不良品を再生加工した良品とを
元のロットに合流し、次の工程に進めるようにしてい
た。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の管理方法は、複数のウェハなどをロット単位に加工す
る際に、一部に不良品が発生した場合、元々１つのロッ
トであったものを人手で複数のロットに分割して再生加
工を行うために管理が複雑となってしまうという問題が
あると共に、この再生加工で良品化したものを元の良品
と合流するときに間違いが多発するという問題が発生し
た。また、経理上の仕掛品の管理のために、更に膨大な
人手と時間が必要となってしまうという問題もあった。

【０００５】本発明は、これらの問題を解決するため、
ロット単位に加工を行って不良品が発生したときにロッ
ト分割を行って不良品の再生加工を行い、良品化したと
きにロットの合流を行い、コンピュータシステムを利用
してロット単位の良品／不良品および再生加工を合理的
に管理することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】図１を参照して課題を解
決するための手段を説明する。図１において、ロット
は、複数の加工物をまとめて管理する単位である。

【０００７】分割部２は、ロット単位に加工を行い、不
良品が発生したときに新たなロットを生成して良品と不
良品とを元のロットおよび新たなロットに分割するもの
である。

【０００８】合流部４は、不良品のロットの再生加工を
行って再生した良品について元の良品のロットに合流す
るものである。

【０００９】

【作用】本発明は、図１に示すように、不良品が発生し
たときに自動的に、あるいは画面上に不良品が発生した
旨のメッセージを表示して分割指示されたことに対応し
て、新たなロットを生成し、分割部２が良品と不良品と
を元のロットおよび新たなロットに分割し、それぞれ管
理するようにしている。

【００１０】また、複数の加工物をまとめて管理するロ
ット単位に加工を行い、不良品が発生したときに新たな
ロットを生成して分割部２が良品と不良品とを元のロッ
トおよび新たなロットに分割し、不良品のロットの再生
加工を行って再生した良品について合流部４が良品のロ
ットに合流すると共に不良品について繰り返し再生加工
を行い、良品のロットに合流するようにしている。

【００１１】従って、ロット単位に加工を行って不良品
が発生したときにロット分割を行って不良品の再生加工
を行い、良品化したときにロットの合流を行うことによ
り、コンピュータシステムを利用してロット単位の良品
／不良品および再生加工を合理的に管理し、従来のロッ
ト分割管理の困難性や良品の合流時の間違いを無くすこ
とが可能となる。

【００１２】

【実施例】次に、図１から図６を用いて本発明の実施例
の構成および動作を順次詳細に説明する。

【００１３】図１は、本発明の１実施例構成図を示す。
ここで、図１の上段の部分は実作業の流れの様子を表
し、下段の部分は処理装置によるロットの分割、合流な
どのロット管理の流れを表す。

【００１４】図１において、判断部１は、実作業によっ
てロット単位に加工を行い、その結果通知（不良品の発
生通知、不良品のロットを再生加工して良品となった旨
の通知など）をもとに、ロット分割を分割部２に指示し
たり、不良品のロットの合流指示を合流部４に指示した
りなどの判断を行うものである（図３、図４参照）。

【００１５】分割部２は、判断部１からの不良品が発生
したのでロット分割する旨の指示に対応して新たなロッ
トをロット発生部３に生成させ、ここでは、元のロット
（ロットＡ）に不良品、新たに発生させたロット（ロッ
トＢ）に良品のデータ（個数）を設定して管理したりな
どするものである。２度目の不良品の発生時には、既に
ロット（ロットＢ）が発生されているので、新たなロッ
トを発生させないで、良品を既に発生させたロットにそ
のデータを加算して格納する（図３、図４参照）。

【００１６】ロット発生部３は、ロットに不良品が発生
したときに、分割部２からの指示に対応して、新たなロ
ットを発生するものである。合流部４は、不良品のロッ
トの再生加工を行い、良品化できたときに以前の良品の
ロットに合流させるものである（図３、図４参照）。

【００１７】ロットマスタ５は、ロット単位に良品およ
び不良品を管理するレコード群である（図５参照）。次
に、図１の構成について、Ｓ１からＳ１３の順序で詳細
に説明する。

【００１８】図１において、Ｓ１は、ロットＡを指定し
て作業の開始を指示する。Ｓ２は、Ｓ１で指示されたロ
ットＡ内の複数の加工物（例えば１００枚のウェア）の
加工の作業を行う。

【００１９】Ｓ３は、Ｓ２でロットＡの複数の加工物の
作業を終了し、不良品が発生したので、Ｓ４でその不良
品の発生の旨および個数を判断部１に通知する。Ｓ５
は、Ｓ４で不良品の発生通知を受けた判断部１が不良品
と良品のロットに分割すると判断し、ロットの分割指示
を分割部２に通知する。

【００２０】Ｓ６は、ロットの分割指示を受けた分割部
２がロットマスタ５中のロットＡの他に新たなロットＢ
をＳ７でロット発生部３に指示して発生させ、ここで
は、良品データをロットＢ、不良品データを元のロット
Ａに格納する。そして、Ｓ８で分割指示を実作業に通知
する。

【００２１】Ｓ９は、Ｓ８の分割指示に対応して、実作
業の分割／合流機構によって良品を自動的にロットＢ
に、不良品を元のロットＡに格納、あるいは画面に分割
指示を表示して作業員に良品をロットＢに、不良品を元
のロットＡに格納させる。

【００２２】Ｓ１０は、不良品を格納したロットＡにつ
いて、再生加工を行うために、Ｓ２の作業に進む。そし
て、Ｓ２でこの再生加工の作業を行い、不良品が発生し
ない場合には、不良品発生しない旨を判断部１に通知
し、判断部１が合流指示を合流部４に指示して良品化し
た良品データをここではロットＢに加算すると共に、Ｓ
１１で合流指示を実作業に通知し、実作業の分割／合流
機構によって良品を自動的にロットＢに格納、あるいは
画面に分割指示を表示して作業員に良品をロットＢに格
納させる。尚、不良品のロットＢの再生加工を行って
も、再度、不良品が発生した場合には、Ｓ３からＳ１０
によって繰り返し再生加工を行う。この際、新たなロッ
トＢが既に作成されているので、Ｓ７で新たなロットを
発生してロット分割は行わない。

【００２３】Ｓ１２は、全ての不良品が再生加工によっ
て良品化したので、良品の格納されたロットＢについ
て、次の作業を行う。以上によって、ロットＡの加工を
行い、不良品が発生したときに新たなロットＢを発生
し、ここでは、良品データを新たに発生したロットＢに
格納し、不良品データを元のロットＡに格納すると共
に、実作業の良品を新たに発生させたロットＢ、不良品
を元のロットＡに格納し、再生加工を繰り返し、良品
（良品データ）をロットＢに格納することを繰り返し、
全てが良品化したときにロットＢを次の工程（作業）に
渡す。これらにより、不良品発生時のロット分割および
不良品の再生加工時のロット合流の際に間違いの発生を
防止し、コンピュータシステムを使用して正確、簡単か
つ効率的に管理することが可能となる。特に、仕掛品の
整理などのときに迅速かつ簡単にロット毎の不良品、良
品などを算出することが可能となる。以下順次詳細に説
明する。

【００２４】図２は、本発明の概念説明図を示す。ここ
で、上段の処理は図１の下段の部分の処理装置による処
理を表し、下段の実作業は図１の上段の部分の実作業を
表す。

【００２５】図２において、は、処理でロットＡとロ
ットＢにデータが格納され、実作業でロットＡとロット
Ｂに物（例えば複数のウェハ）が格納されている様子を
示す。このの状態では、処理で管理するロットＡとロ
ットＢのデータと、実作業のロットＡとロットＢの物の
数が１対１の整合となっている。

【００２６】は、処理において合流部４によってロッ
トＡとロットＢのデータをロットＡに合流しての状態
にすると共に、合流指示して実作業においてロットＡと
ロットＢの物を合流しての状態にする様子を示す。こ
の、の合流という操作によって、処理で管理するロ
ットＡとロットＢのデータと、実作業のロットＡとロッ
トＢの物の数が１対１の整合となっている（ここでは、
ロットＢは空である）。

【００２７】は、処理において分割部２によってロッ
トＡのデータをロットＡとロットＢのデータに分割して
の状態にすると共に、実作業においてロットＡの物を
ロットＡとロットＢの物に分割しての状態にする様子
を示す。この、の分割という操作によって、処理で
管理するロットＡとロットＢのデータと、実作業のロッ
トＡとロットＢの物の数が１対１の整合となっている。

【００２８】従って、不良品が発生したときに分割によ
って、に示すように良品のロットと、不良品のロッ
トに分けて管理し、不良品のロットの再生加工を行って
良品化したときに合流によって、に示すように良品
のロットのみにまとめて管理する。これらにより、常に
処理におけるロットの管理データと、実作業におけるロ
ットの物とを１対１に整合を取って管理することが可能
となり、仕掛品の整理などのときに迅速かつ正確に現状
を把握することができる。

【００２９】次に、図３の動作説明に示す順序に従い、
不良品の発生時にロット分割する手順を詳細に説明す
る。図３において、Ｓ２１は、入力条件１（１００）を
入力する。これは、入力条件１として、例えば図６に示
すように、ロットＡで物（例えばウェハなど）を１００
個加工するという入力条件を入力する。

【００３０】Ｓ２２は、Ｓ２１で入力された入力条件１
について加工を行う。これは、例えばロットＡの物を１
００個加工する。Ｓ２３は、Ｓ２２の加工結果として、 不良品（５０） 良品（５０） を得たので、判断部１に通知する。

【００３１】Ｓ２４は、判断部１が不良品発生か判断す
る。ここでは、ＹＥＳであるので、Ｓ２５に進む。一
方、ＮＯの場合には、不良品が発生しないと判明したの
で、終了する（ＥＮＤ）。

【００３２】Ｓ２５は、再生回数≦設定値か判別する。
これは、不良品をロットに設定して再帰的に再生加工を
繰り返し行った再生回数が設定値以下で良品化可能か判
別する。ＹＥＳの場合には、再生可能と判別されたの
で、Ｓ２６で判断部１が分割する旨を決定し、Ｓ２７で
分割決定をディスプレイ上に表示する。一方、Ｓ２５の
ＮＯの場合には、再生不可と判別されたので、Ｓ３２で
当該ロットのロットマスタ５のレコードを削除し、ロッ
ト分割して再生加工を行うという操作を終了する（ＥＮ
Ｄ）。

【００３３】Ｓ２８は、Ｓ２７でロット分割決定の旨の
表示に対応して、操作員が画面上から分割指示を入力す
る。尚、Ｓ２７でディスプレイ上に分割決定の旨を表示
した際に操作員からの指示を待つことなく自動的に分割
指示を発行するようにしてもよい。

【００３４】Ｓ２９は、Ｓ２８で分割指示（あるいは自
動的な分割指示）されたことに対応して、分割用に新た
なロットマスタ５のレコードを割り当てる。これは、例
えば図５のロットマスタ５に示すように、ロットＡの１
００個（枚）の加工を行い、不良品が発生したときに、
新たなロットとして図示新ロットＡのレコードを割り当
てる。

【００３５】Ｓ３０は、不良品データを元のロットのレ
コードに格納する。良品データを新ロットのレコードに
格納する。これらは、例えば図５のロットマスタ５の元
のロットＡに不良品データを格納および新ロットＡに良
品データを格納する。

【００３６】Ｓ３１は、Ｓ２８で操作員が分割指示を分
割部２に指示した後、ここでは、操作員が手作業でロッ
トを複数個に分割、即ち元のロットＡに不良品を格納
し、新たな新ロットＡに良品を格納し、分割する。尚、
これら分割は、既述した図１のＳ９で分割／合流機構に
よって自動的に行うようにしてもよい。

【００３７】以上によって、入力条件１（１００）をも
とにロットＡの１００個の加工を行い、不良品が発生し
たときに、ロットＡの他に新ロットＡを作成し、処理に
おいて不良品データを元のロットＡに格納および良品デ
ータを新ロットＡに格納すると共に、実作業において不
良品をロットＡに格納および良品を新ロットＡに格納す
る。これらにより、不良品発生時に不良品および良品を
１対１の対応づけて整合を取って管理することが可能と
なる（図２の、参照）。

【００３８】次に、図４の動作説明に示す順序に従い、
不良品の再生加工して良品化できたなどして合流すると
きの手順を詳細に説明する。図４において、Ｓ４１は、
入力条件２（５０）を入力する。これは、入力条件２と
して、例えば図６に示すように、ロットＡで不良品の物
（例えばウェハなど）を５０個再生加工するという入力
条件を入力する。

【００３９】Ｓ４２は、Ｓ４１で入力された入力条件２
について再生加工を行う。これは、例えばロットＡの物
を５０個再生加工する。Ｓ４３は、Ｓ４２の加工結果と
して、 良品（５０） を得たので、判断部１に通知する。

【００４０】Ｓ４４は、判断部１が合流可能ロットあり
か判断する。ここでは、図３で不良品が発生してロット
分割し、不良品５０個を格納したロットＡについて再生
加工を行い、ここでは全部、良品であったので、合流可
能ロットとして良品を格納する新ロットＡを見つけ、Ｓ
４５に進む。一方、ＮＯの場合には、合流可能ロットな
しと判明したので、ここでは終了する（ＥＮＤ）。

【００４１】Ｓ４５は、合流決定し、Ｓ４６で合流決定
をディスプレイ上に表示する。Ｓ４７は、Ｓ４６で合流
決定の旨の表示に対応して、操作員が画面上から合流指
示を入力する。尚、Ｓ４６でディスプレイ上に合流決定
の旨を表示した際に操作員からの指示を待つことなく自
動的に合流指示を発行するようにしてもよい。

【００４２】Ｓ４８は、Ｓ４７で合流指示（あるいは自
動的な合流指示）されたことに対応して、当該ロットの
数量を合流するロットのロットマスタ５のレコードの数
量に合計する。

【００４３】Ｓ４９は、当該ロットのロットマスタ５の
レコードを削除する。これらＳ４８、Ｓ４９によって、
例えば図５のロットマスタ５の新ロットＡに良品データ
を加算して格納し、元のロットＡは不要となったので削
除する。

【００４４】Ｓ５０は、Ｓ４７で操作員が合流指示を合
流部４に指示した後、ここでは、操作員が手作業でロッ
トを合流、即ち新ロットＡに良品を格納して合流し、元
のロットＡを空とする。尚、これら合流は、既述した図
１の分割／合流機構によって自動的に合流するようにし
てもよい。

【００４５】以上によって、不良品５０個を再生加工す
るという入力条件２（５０）をもとにロットＡの５０個
の再生加工を行い、良品化したときに、処理において良
品データを新ロットＡに格納および元の空のロットＡを
削除すると共に、実作業において良品を新ロットＡに合
流および元のロットＡを空とする。これらにより、不良
品を再生加工して良品化したときの良品ついて、１対１
の対応づけて整合を取って管理することが可能となる
（図２の、、参照）。

【００４６】図５は、本発明のロットマスタ例を示す。
ロットマスタ５は、既述したロットＡ、新ロットＡなど
のレコードを登録し、ロット単位にウェハなどの物を管
理するマスタである。ここでは、ロット番号、数量、種
別、工程などのデータを設定し、ロット単位に物（ウェ
ハなど）を管理するようにしている。

【００４７】図６は、本発明の具体例説明図を示す。こ
れは、ロットＡの１００個を加工し、不良品が５０個発
生し、この不良品５０を再生加工して良品２０個、不良
品３０個の場合のときのロット分割、ロット合流の手順
を示したものであって、からの順序に従って説明す
る。

【００４８】図６の（ａ）は処理の流れ図を示し、図６
の（ｂ）は実作業の流れ図を示す。以下順次説明する。
ここで、最初、ロットＡ、１００個の加工を行う。図６
の（ａ）において、は、ロットＡの加工を行い、その
得られた結果、不良品５０個、良品５０を入力して判断
部１に通知する（あるいは自動的に判断部１に通知す
る）。

【００４９】は、判断部１が分割決定し、分割部２に
分割指示する（図３のＳ２４のＹＥＳ、Ｓ２５のＹＥ
Ｓ、Ｓ２６、Ｓ２７、Ｓ２８参照）。は、分割部２が
分割指示を出し、ここでは、元のロットＡの他に、新た
にロットＢをロット発生部３に発生させる。

【００５０】は、分割指示に従い、ロットＡに不良品
５０個、新たなロットＢに良品５０個のデータを格納す
る。は、不良品５０個を格納したロットＡの再生加工
を行い、その得られた結果、不良品２０個、良品３０個
を入力して判断部１に通知する（あるいは自動的に判断
部１に通知する）。

【００５１】は、判断部１が分割決定し、分割部２に
分割指示する。は、分割部２が分割指示を出し、ここ
では、元のロットＡの他に、新たなロットＣをロット発
生部３に発生させる。

【００５２】は、分割指示に従い、ロットＡに不良品
２０個、新たなロットＣに良品３０個のデータを格納す
る。尚、、、で新たなロットＣを発生させること
なく、下記のようにしてもよい。

【００５３】’は、判断部１が合流決定し、合流部４
に合流指示する。’は、合流部４が合流指示を出す。
’は、合流指示に従い、ロットＡに不良品２０個、ロ
ットＢに良品３０個のデータを加算して８０個とする。

【００５４】図６の（ｂ）は、実作業の流れ図を示す。
これは、図６の（ａ）の処理の流れ図中のから、更
に’、’、’に対応した実作業における流れ図を
示す。

【００５５】、は、ロットＡの１００個の加工を行
い、不良品が発生したので、ロットＡの分割を決定す
る。、は、不良品５０個をロットＡ、良品５０個を
ロットＢに格納する。

【００５６】は、不良品のロットＡの再生加工を行
い、不良品２０個、良品３０個の結果を得る。、、
は、分割決定し、ロットＡに不良品２０個、新たに発
生させたロットＣに良品３０個を格納する。

【００５７】尚、’、’、’は、、、の代
わりであって、合流決定し、ロットＡに不良品２０個、
ロットＢに良品３０個を加算して８０個とする。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ロット単位に加工を行って不良品が発生したときにロッ
ト分割を行って不良品の再生加工を行い、良品化したと
きにロットの合流を行う構成を採用しているため、コン
ピュータシステムを利用してロット単位の良品／不良品
および再生加工を合理的に管理することができ、従来の
ロット分割管理の困難性や良品の合流時の間違いを無く
すことが可能となる。これらにより、 （１） 不良品が発生したときに、直ちに不良品のロッ
トを再生加工して良品化することができる。

【００５９】（２） 不良品のロットを再生加工して良
品化したときに、直ちに良品のロットに間違いなく合流
させることができる。 （３） これらにより、管理におけるロット単位の良品
データ、不良品データと、実作業におけるロット単位の
良品、不良品と１対１に対応づけて常に整合した状態で
管理でき、間違いなく簡単な操作、更に自動的に管理で
きる。特に仕掛品の整理時などに迅速かつ正確にその数
量を把握することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例構成図である。

【図２】本発明の概念説明図である。

【図３】本発明の動作説明図（その１）である。

【図４】本発明の動作説明図（その２）である。

【図５】本発明のロットマスタ例である。

【図６】本発明の具体例説明図である。

【符号の説明】

１：判断部 ２：分割部 ３：ロット発生部 ４：合流部 ５：ロットマスタ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ロットの分割および合流を行うロット分割
   ・合流方法において、 不良品が発生したときに自動的に、あるいは画面上に不
   良品が発生した旨のメッセージを表示して分割指示され
   たことに対応して、新たなロットを生成し、良品と不良
   品とを元のロットおよび新たなロットに分割する分割部
   （２）を備え、 良品と不良品を元のロットおよび新たなロットに分割し
   て加工状態を管理するように構成したことを特徴とする
   請求項１記載のロット分割・合流方法。
2. 【請求項２】ロットの分割および合流を行うロット分割
   ・合流方法において、 複数の加工物をまとめて管理するロット単位に加工を行
   い、不良品が発生したときに新たなロットを生成して良
   品と不良品とを元のロットおよび新たなロットに分割す
   る分割部（２）と、 この分割した不良品のロットの再生加工を行って再生し
   た良品について、良品のロットに合流する合流部（４）
   とを備え、 不良品のロットについて繰り返して再生加工を行い、良
   品のロットに合流するように構成したことを特徴とする
   ロット分割・合流方法。