JPH0672681U - 立体式洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 環境破壊等の問題を生じることなく、精密機
器部品、なかでも油付着した精密機器部品の洗浄を、続
けて行うことを可能とし、かつ空間の有効利用により、
装置の占有面積も小さくすることが可能とした立体式洗
浄装置を提供する。 【構成】 被洗浄物を収容したバケット１と、バケット
１を吊持して、バケット１を上下に移動させる垂直コン
ベア２と、これに吊持したバケット１が、第１空間２１
にて下降し、洗浄液タンク２５内の洗浄液２４に浸漬
し、ここから上昇し、第１空間２１から第１開き戸１８
を経て、第２空間２２に入り、さらにここから第２開き
戸１９を経て、第１空間２１に戻るように垂直コンベア
２を内部に収容し、被洗浄物の洗浄，液切り，乾燥を行
わせる洗浄塔３と、垂直コンベア２に対してバケット１
の受渡しを行う搬送装置４とを備えている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば、半導体，磁気ディスク，電気・電子部品，光学部品，複写 機用部品、および軸受部品等の精密部品の洗浄に好適な立体式洗浄装置に関する ものである。

【０００２】

【従来の技術】

上記の各種精密機器部品の表面は、最終製品に至る迄の間に、加工工程におい て各種の切削材，研磨材，ごみ，エッチング剤等が、一般的には機械油とともに 付着して、汚される。そして従来は、この汚れを落とすのに、フッ化炭化水素系 溶剤，塩化メチレン，トリクレン、およびパークレンを代表とする有機塩素系炭 化水素が主に使用されるとともに、この他さらにアルコール系，ケトン系の溶剤 、および水系洗浄剤も使用されてきた。 なかでもフッ化炭化水素系溶剤は、抜群の洗浄力とともに不燃性，低沸点，化 学的安定性、および金属，プラスチック，セラミック等の被洗浄物を侵さないと いう優れた特性から、代表的な洗浄剤として重宝されてきた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記従来の洗浄剤の内、フッ化炭化水素系溶剤を含む有機塩素系炭化水素は、 地球オゾン層破壊の元凶として、さらに人体に対する発癌性物質である疑いもあ り、早晩使用出来ない状況に追い込まれつつある。このため、界面活性剤を用い た水系洗浄剤，アルコールを中心とした混合溶剤の面から代替洗浄剤が盛んに検 討されているが、いずれもなお問題が多いのが現状である。例えば、以下の如き 点が指摘できる。

【０００４】 （１）水系洗浄剤 不燃性で排ガス処理が不要であるという利点があるが、関連設備のための 所要面積は、従来の溶剤洗浄による場合に比して広くする必要がある。 被洗浄物の材質によっては、適用できない場合がある。 ワンパス洗浄であるため、排水量が多く、また排水処理設備も必要となる 。 水切り・乾燥について、様々な方法が提案されているが、被洗浄物の種類 ，形状によっては、決め手となる方法が未だない。採用する方法によっては、被 洗浄物表面に、しみ、スポット状の斑点即ち、或は錆が発生したり、使用溶剤の 回収，再生が必要になる等の問題が生じる。 全般的に、洗浄剤管理の方法が確立しておらず、１週間程度で洗浄剤の全 量交換を要する場合がある。

【０００５】 （２）アルコール系，テトン系洗浄剤 高級アルコール系、ケトン系洗浄剤では、洗浄後の水リンスを必要とする ものがあり、この後の水切り，乾燥が必要となる。なお、レンズ，感光体ドラム の洗浄では、しみの問題が未だ解決されていない。 水と混合使用した場合には、使用液、およびリンス液の排水処理が必要に なる。 軽度の汚れ洗浄には、使用できても機械油を含む汚れには、洗浄力が不足 して、十分な洗浄はできない。 本考案は、斯る従来の問題点を課題としてなされたもので、ミクロンオーダの 異物の付着も許されない精密機器部品、なかでも油付着した精密機器部品に対し て、上述した問題を生じることなく、相次いで洗浄可能とし、かつ占有面積の小 さい立体式洗浄装置を提供しようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために、本考案は、被吊持部を設けた被洗浄物収容用バケ ットと、上記被吊持部とは、この被吊持部の下方から係合し、この被吊持部に対 して相対的に下方に移動することにより、上記係合状態を解く吊持手段を、一定 の間隔で設けたチェーンを、上方に位置する第１スプロケット、および下方に位 置する第２スプロケットに、巻き掛け、上記第１，第２スプロケットのいずれか 一方の軸を駆動部に結合して形成したコンベアと、上方に開く第１開き戸、およ び下方に開く第２開き戸を設けて形成した隔壁により仕切って下方に第１空間、 上方に第２空間を内部に形成し、上記チェーンのうち、作動方向が上向きの部分 が上記第１開き戸を通過し、作動方向が下向きの部分が上記第２開き戸を通過す るように、上記第１，第２空間の双方にまたがって配置した上記コンベアを収容 し、上記第１開き戸、および第２開き戸を、作動時に、上記チェーンと干渉しな い形状に形成し、上記第２空間に、この第２空間を上記第１空間よりも高温に保 持する加熱手段を設け、上記第１空間の底部に、塩素を一構成成分とする有機ハ ロゲン系溶剤を使用することなく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素からなる洗 浄液を収容し、かつ上記吊持手段に吊持させた上記バケット全体を上記洗浄液に 浸漬させる洗浄液タンクを設け、上記隔壁と上記洗浄液タンクとの間の高さに、 上記バケットに対して通過可能に形成した閉鎖体を設けた開口部を形成し、少な くとも上記開口部、および上記第２空間から排気可能に形成した排気装置を設け た洗浄塔と、上記バケットを、上記開口部を介して上記第１空間内に搬入し、上 記吊持手段に吊持させる一方、上記チェーンにより吊持され、降下してきた上記 バケットを上記チェーンから外し、上記開口部を介して上記第１空間外に搬出す る搬送手段とから形成した。

【０００７】

【作用】

上記考案のように構成することにより、従来の有機塩素系炭化水素等を使用し た場合における、環境破壊等の問題を生じることなく、炭化水素のみを用いた場 合、過熱水蒸気のみを噴射した場合にはできなかった、精密機器部品、特に油付 着した精密機器部品のミクロンオーダーの異物を除去する洗浄が、続けて行われ るようになり、しかも装置の占有面積も小さくなる。

【０００８】

【実施例】

次に、本考案の一実施例を図面にしたがって説明する。 図１〜図６は、本考案に係る立体式洗浄装置を示し、バケット１，垂直コンベ ア２，洗浄塔３、および搬送装置４とを備えている。 バケット１は、図３において左右の上縁部にフック手段１１を有し、各面１２ は液体を自由に通す、メッシュ状、或は多数の孔を設けた構造にしてあり、内部 は図示しない、例えば精密部品等の被洗浄物が収容可能となっている。また、両 側のフック手段１１は、上方に向かって、互いに離れるように開いた形状をして いる。さらに、例えば図４に示すように、実線で示す状態と二点鎖線で示す状態 との間で回転可能で、かつ外力が作用しなければ、実線で示す状態に復帰するよ うになっている。

【０００９】 垂直コンベア２は、フック手段１１とは、このフック手段１１の下方から係合 し、このフック手段１１に対して相対的に下方に移動することにより、上記係合 状態を解く突出部１３を、一定の間隔で設けたチェーン１４を、上方に位置する 第１スプロケット１５、および下方に位置する第２スプロケット１６に、巻き掛 け、本実施例では、第１スプロケット１５の軸１７を図示しない駆動部に結合し て形成してある。なお、本実施例では、突出部１３は、チェーン１４のピンを延 長して形成してある。

【００１０】 洗浄塔３は、上方に開く第１開き戸１８、および下方に開く第２開き戸１９を 設けて形成した隔壁２０により内部空間を、下方の第１空間２１、および上方の 第２空間２２の上下に２分されている。この洗浄塔３内には、チェーン１４のう ち、作動方向が上向きの部分、図１において右側の部分が第１開き戸１８を通過 し、作動方向が下向きの部分、図１において左側の部分が第２開き戸１９を通過 するように、第１，第２空間２１，２２の双方にまたがって垂直コンベア２を配 置するとともに、第１開き戸１８、および第２開き戸１９を、作動時にチェーン １４と干渉しない形状に形成してある。

【００１１】 また、第２空間２２は、この内部に設けた加熱手段２３により、第１空間２１ よりも高温に保持されている。なお、この加熱手段２３とともにファンを設けて もよい。さらに、このファンに代えて、第２空間２２の壁部にダクト開口部を設 けて、ここから送風機からの気体を送り出し、洗浄液の気化、排気を促進するよ うにしてもよく、好ましくは高温気体を送り出すようにするのがよい。第１空間 ２１の底部には、チェーン１４の突出部１３に吊持されたバケット１全体が、チ ェーン１４の作動とともに洗浄液２４に浸漬する洗浄液タンク２５が設けてある 。この洗浄液タンク２５の底部には、洗浄作用を高めるために、超音波発振器２ ６が設けてある。これと同様の目的で、液撹拌手段，液加熱手段を設けてもよい 。さらに、柔軟な複数の細長片からなるカーテン２７を吊持した開口部２８を隔 壁２０と洗浄液タンク２５との間の高さに形成するとともに、この開口部２８、 および第２空間２２から排気可能に排気装置２９が設けてある。

【００１２】 なお、洗浄塔３は防爆構造にするのが好ましく、特に第２空間２２の部分の外 壁部は断熱材で覆って保温性を高めるのが好ましい。また、洗浄液タンク２５内 の洗浄液２４は、図示しない装置に送られ、浄化された後、戻され、さらに、タ ンク内に新たな洗浄液の補給も可能となっている。 洗浄液２４としては、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素からなる洗浄液、例え ばガソリン，リグロイン，軽油，灯油，ベンゼン，トルエン，キシレン，或はこ れらのうちの２種以上の混合液、なかでも灯油が好ましい。

【００１３】 搬送装置４は、本実施例では、開口部２８の外側を横切るように、水平に設け たバケット搬送用駆動式ローラコンベア３１ａ，３１ｂ，３１ｃと、開口部２８ の外側にて、ローラコンベア３１ｂを横切るように設けたフォーク３２とからな っている。ローラコンベア３１ｂの作動中は、フォーク３２はローラコンベア３ １ｂのローラ間にて、ローラ面よりも低位置で待機し、ローラコンベア３１ｂが 停止している間のみ、作動して、第１空間２１の内外にバケット１を搬出入する ようになっている。

【００１４】 具体的には、図１に示すのと同じ方向から見て、バケット１を、チェーン１４ から外して、第１空間２１内から搬出して、ローラコンベア３１ｂ上に載置する 場合は、図５に示すように、フォーク３２は図１に示す状態から、Ａ点を基点と して、前進，上昇，後退，下降の順番で作動する。同様に、ローラコンベア３１ ｂ上のバケット１を、第１空間２１内に搬入して、チェーン１４に吊持させる場 合は、図６に示すように、Ａ点を基点として、上昇，前進，下降，後退の順番で 作動する。 なお、ローラコンベア３１ａ，３１ｂ，３１ｃに代えて、駆動式チェーンコン ベアを用いてもよい。

【００１５】 次に、上記構成からなる装置の作動を、一つのバケット１に着目して説明する 。 被洗浄物を収容したバケット１が、定ピッチずつの間欠運転をする駆動ローラ コンベア３１ａ，３１ｂ，３１ｃにより、例えば図２において左側から右側に向 かう方向に搬送される。バケット１が開口部２８の前に達すると、フォーク３２ が上昇して、ローラコンベア３１ｂからバケット１を浮かせた状態にし、第１空 間２１内まで前進して、停止する。

【００１６】 一方、チェーン１４は、フォーク３２の第１空間２１内への侵入時には停止し ており、フォーク３２の停止後に、図１において、反時計回りの方向に、定ピッ チずつ間欠的に回転を開始する。そして、突出部１３をフック手段１１に当てな がら下降させて停止するようになっている。突出部１３に当たったフック手段１ １は、一旦図４において、二点鎖線で示す状態に退避し、突出部１３がフック手 段１１の先端部を通過したときに、図４において実線で示す状態に戻る。 そして、チェーン１４が停止すると、フォーク３２は、下降して、チェーン１ ４にバケット１を吊持させた後、ローラコンベア３１ｂの場所まで戻って停止す る。以上でバケット１の搬入工程は終了する。

【００１７】 チェーン１４に吊持されたバケット１は、下降して、全体が洗浄液２４に浸か り、被洗浄物は、超音波発振器２６による洗浄促進作用を受けつつ、一定時間洗 浄される。 一定時間経過後、チェーン１４が回転して、バケット１を第１空間２１内にお いて、洗浄液タンク２５の上方まで上昇させる。ここで、洗浄後の被洗浄物の液 切りが行われる。 この液切りを促進するために、被洗浄物に送風する手段を設けてもよい。

【００１８】 次にチェーン１４が回転を始めると、第１開き戸１８が上方に開き、バケット １が第１開き戸１８と干渉することなく、下方から第２空間２２内に入り、第１ 開き戸１８が閉まり、バケット１は停止する。バケット１は、次のチェーン回転 後も、第１空間２１よりも高温状態の第２空間２２内にとどまり、ここで乾燥さ れる。第２空間２２内での洗浄液２４からの気化ガスは、排気装置２９により吸 引され安全、かつ公害を起こさない場所から放出される。

【００１９】 次にチェーン１４が回転を始めると、第２開き戸１９が下方に開き、バケット １が第２開き戸１９と干渉することなく、上方から第１空間２２内に入り、第２ 開き戸１９が閉まり、バケット１は停止する。 チェーン１４の動き合わせて作動するように制御されたフォーク３２が、バケ ット１の下で待機しており、チェーン１４の停止中に、上昇，後退、下降の順序 で作動して、バケット１をチェーン１４から外して、ローラコンベア３１ｂ上に 載置させる。 チェーン１４の停止中に、さらに、ローラコンベア３１ａ，３１ｂが１ピッチ 分だけ作動して、フォーク３２上に、次のバケット１を搬送する。 以下、上述した動作の繰り返しとなる。

【００２０】 第１空間２１内の洗浄液からの気化ガス，第１空間２１から開口部２８を介し ての漏洩ガスは、排気装置２９により吸引され上記同様に放出される。 なお、第１空間２１を縦方向に長くして、洗浄液タンク２５の上方に、上昇側 ，下降側のそれぞれに、縦方向に２個のバケット１がとどまれるようにして、か つ開口部２８、搬送装置４を上下２段に配設し、このうち上方のものを搬出専用 、下方のものを搬入専用とすれば、チェーン１４を連続的に回転させて、上記同 様にバケット１の搬出入，被洗浄物の洗浄，液切り，乾燥が可能となる。

【００２１】 本考案は、上記実施例に限定されるものでなく、以下に述べる変形例も含むも のである。 図７は、フォーク３２に代わるもので、昇降可能に形成した駆動式のチェーン コンベア４１と、駆動軸４２の回りに回転可能に形成した駆動式のチェーンコン ベア４３とからなっている。チェーンコンベア４１は、ローラコンベア３１ｂの ローラ間に配置され、ローラコンベア３１ｂの作動中は、図７に示す位置より低 い位置で待機し、上面がローラコンベア３１ｂの上面よりも低くなるようになっ ている。また、チェーンコンベア４２は、ローラコンベア３１ｂの作動中は、図 ７中実線、および二点鎖線で示すように、起立して、チェーン１４とは干渉しな い状態にある。

【００２２】 そして、チェーン１４に吊持されたバケット１を搬出する際には、ローラコン ベア３１ｂの停止時に、チェーンコンベア４１が、上面がローラコンベア３１ｂ の上面よりも高くなるまで上昇するとともに、チェーンコンベア４２が水平にな る迄回転して、図７中、実線、二点鎖線で示す状態となる。 この状態では、チェーンコンベア４２は、第１空間２１内に延びている。また、 この状態になるまで停止していたチェーン１４は、回転を開始して、上述したフ ォーク３２の場合と同様に、チェーンコンベア４２上にバケット１を載置する。

【００２３】 ついで、チェーンコンベア４１，４２は、図７において反時計回り方向に回転し て、バケット１をローラコンベア３１ｂの位置まで搬送し、チェーンコンベア４ １が下降して、バケット１をローラコンベア３１ｂ上に載置する。このバケット １は、ローラコンベア３１ｂ，３１ｃにより、図２において右方に搬送されると ともに、新しいバケット１がチェーンコンベア４１の上方に搬送されて来て、ロ ーラコンベア３１ａ，３１ｂは停止する。その後、チェーンコンベア４１が上昇 して、バケット１をローラコンベア３１ｂからすくい上げ、チェーンコンベア４ １，４２が時計回り方向に回転して、バケット１を第１空間２１まで搬送して、 停止する。

【００２４】 この停止後に、一旦チェーン１４は時計回り方向に回転して、バケット１を吊 持するとともに、回転するチェーンコンベア４２とバケット１が干渉しないよう に、バケット１を上方に退避させる。そして、チェーンコンベア４２が回転して 起立状態になるとともに、チェーンコンベア４１は下降し、チェーンコンベア４ ２は、反時計回り方向に定ピッチだけ回転する。 以後、上記動作の繰り返しとなる。

【００２５】 なお、チェーンコンベア４１，４２に代えて、駆動式のローラコンベアとして もよい。 さらに別の変形例として、図１，図２に示す装置において、フォーク３２を設 ける代わりに、ローラコンベア３１ｂを、図２において、紙面垂直方向に進退可 能に形成するとともに、上下動可能に形成して、ローラコンベア３１ｂ自体に図 ５，６に示す運動をさせるように形成してもよい。この場合も、ローラコンベア ３１ａ，３１ｂ，３１ｃに代えて、チェーンコンベアを用いてもよい。 この他、搬送装置４として、フォークリフトを採用することも可能で、本考案 は、搬送装置４を上述したものに限定するものではない。

【００２６】 図８は、フック手段１１，突出部１３に代わるもので、チェーン１４に上面が 平らな突出部１１ａを設け、バケット１の両側の上縁部に張り出し部１３ａを設 けてもよい。 開口部２８には、カーテン２７に代えて、例えば昇降式の扉を設けてもよい。 また、上述した各駆動部の起動，停止のタイミングは、必ずしも上述した通り にする必要はなく、各駆動部と、これに続く構成各部との間の干渉が生じない限 りにおいて、多少タイミングをずらして、バケットの搬出入の所要時間を短縮す るようにしてもよい。

【００２７】

【考案の効果】

以上の説明より明らかなように、本考案によれば、被吊持部を設けた被洗浄物 収容用バケットと、上記被吊持部とは、この被吊持部の下方から係合し、この被 吊持部に対して相対的に下方に移動することにより、上記係合状態を解く吊持手 段を、一定の間隔で設けたチェーンを、上方に位置する第１スプロケット、およ び下方に位置する第２スプロケットに、巻き掛け、上記第１，第２スプロケット のいずれか一方の軸を駆動部に結合して形成したコンベアと、上方に開く第１開 き戸、および下方に開く第２開き戸を設けて形成した隔壁により仕切って下方に 第１空間、上方に第２空間を内部に形成し、上記チェーンのうち、作動方向が上 向きの部分が上記第１開き戸を通過し、作動方向が下向きの部分が上記第２開き 戸を通過するように、上記第１，第２空間の双方にまたがって配置した上記コン ベアを収容し、上記第１開き戸、および第２開き戸を、作動時に、上記チェーン と干渉しない形状に形成し、上記第２空間に、この第２空間を上記第１空間より も高温に保持する加熱手段を設け、上記第１空間の底部に、塩素を一構成成分と する有機ハロゲン系溶剤を使用することなく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素 からなる洗浄液を収容し、かつ上記吊持手段に吊持させた上記バケット全体を上 記洗浄液に浸漬させる洗浄液タンクを設け、上記隔壁と上記洗浄液タンクとの間 の高さに、上記バケットに対して通過可能に形成した閉鎖体を設けた開口部を形 成し、少なくとも上記開口部、および上記第２空間から排気可能に形成した排気 装置を設けた洗浄塔と、上記バケットを、上記開口部を介して上記第１空間内に 搬入し、上記吊持手段に吊持させる一方、上記チェーンにより吊持され、降下し てきた上記バケットを上記チェーンから外し、上記開口部を介して上記第１空間 外に搬出する搬送手段とから形成してある。

【００２８】 このため、有機塩素系炭化水素のみを用いた場合、過熱水蒸気のみを噴射した 場合にはできなかった、ミクロンオーダの異物の付着も許されない精密機器部品 、なかでも油付着した精密機器部品の洗浄が、環境破壊等の問題を生じることな く、続けて行われるようになり、かつ空間の有効利用により、装置の占有面積も 小さくすることが可能となる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案に係る立体式洗浄装置の内部の概略を
示す側面図である。

【図２】 本考案に係る立体式洗浄装置の正面図であ
る。

【図３】 図１に示す装置におけるバケットとチェーン
との係合状態を示す部分正面図である。

【図４】 図１に示す装置におけるバケットのフック手
段を示す部分側面図である。

【図５】 図１に示す装置におけるフォークのバケット
搬出時の作動態様を示す図である。

【図６】 図１に示す装置におけるフォークのバケット
搬入時の作動態様を示す図である。

【図７】 図１に示す装置におけるフォークに代わるチ
ェーンコンベアの概略を示す側面図である。

【図８】 図３に示すバケット，チェーンコンベアのフ
ック手段，突出部に代わる張り出し部，突出部を示す部
分正面図である。

【符号の説明】

１ バケット ２ 垂直コンベア ３ 洗浄塔 ４ 搬送装置 １１ フック手段 １４ チェーン １５ 第１スプロケット １６ 第２スプロケット １８ 第１開き戸 １９ 第２開き戸 ２０ 隔壁 ２１ 第１空間 ２２ 第２空間 ２３ 加熱手段 ２４ 洗浄液 ２５ 洗浄液タンク ２７ カーテン ２８ 開口部 ２９ 排気装置 ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ
ローラコンベア ３２ フォーク

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被吊持部を設けた被洗浄物収容用バケッ
   トと、 上記被吊持部とは、この被吊持部の下方から係合し、こ
   の被吊持部に対して相対的に下方に移動することによ
   り、上記係合状態を解く吊持手段を、一定の間隔で設け
   たチェーンを、上方に位置する第１スプロケット、およ
   び下方に位置する第２スプロケットに、巻き掛け、上記
   第１，第２スプロケットのいずれか一方の軸を駆動部に
   結合して形成したコンベアと、 上方に開く第１開き戸、および下方に開く第２開き戸を
   設けて形成した隔壁により仕切って下方に第１空間、上
   方に第２空間を内部に形成し、 上記チェーンのうち、作動方向が上向きの部分が上記第
   １開き戸を通過し、作動方向が下向きの部分が上記第２
   開き戸を通過するように、上記第１，第２空間の双方に
   またがって配置した上記コンベアを収容し、 上記第１開き戸、および第２開き戸を、作動時に、上記
   チェーンと干渉しない形状に形成し、 上記第２空間に、この第２空間を上記第１空間よりも高
   温に保持する加熱手段を設け、 上記第１空間の底部に、塩素を一構成成分とする有機ハ
   ロゲン系溶剤を使用することなく、沸点６０〜３５０°
   Ｃの炭化水素からなる洗浄液を収容し、かつ上記吊持手
   段に吊持させた上記バケット全体を上記洗浄液に浸漬さ
   せる洗浄液タンクを設け、 上記隔壁と上記洗浄液タンクとの間の高さに、上記バケ
   ットに対して通過可能に形成した閉鎖体を設けた開口部
   を形成し、 少なくとも上記開口部、および上記第２空間から排気可
   能に形成した排気装置を設けた洗浄塔と、 上記バケットを、上記開口部を介して上記第１空間内に
   搬入し、上記吊持手段に吊持させる一方、上記チェーン
   により吊持され、降下してきた上記バケットを上記チェ
   ーンから外し、上記開口部を介して上記第１空間外に搬
   出する搬送手段とから形成したことを特徴とする立体式
   洗浄装置。