JPH0429903Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 開示技術はICウエハ等の電子部品やレンズ等
の超精密部品の洗浄を行う装置の構造の技術分野
に属する。

＜要旨の概要＞ 而して、この出願の考案は電子部品やレンズ等
を超精密洗浄するに際し、複数の処理槽を内装さ
れた装置内で処理槽に被洗浄物を収容したバスケ
ツトを浸漬させるようにして設けた昇降装置と、
バスケツトを槽間に亘つて搬送するようにした搬
送装置とが設けられ、昇降装置と搬送装置でのバ
スケツトの移載が自動的に制御されて行われるよ
うにされている洗浄装置に関する考案であり、特
に、処理槽の脇部位を走行自在に設けた搬送装置
に槽上方に臨ませて一対のシヤフトが枢支され、
該シヤフトには相互に対峙して一対のアームが軸
支され、而して、バスケツトの移載のプロセスで
シヤフトの回動制御によつてアームが揺動し、ア
ームの先端の当接離反を介してバスケツトの昇降
装置と搬送装置との移載が行われるようにした洗
浄装置に係る考案である。

＜従来技術＞ 周知の如く、LSIやIC等の電子部品やレンズ等
の超精密部品の洗浄には超音波を利用した浴洗が
効果も著しく良好であつて、かかる技術を用いた
洗浄技術が様々に案出されているが、例えば、洗
浄、すすぎ、乾燥等の各処理工程を専用の処理槽
ごとに分担させ、各々の処理槽で所定の処理を完
遂させるバツヂ式の洗浄装置にあつては、処理槽
の配設方向に於いて、槽間に亘るレールを架設し
て走行自在に搬送装置を設け、テーブル上で被洗
浄物を収納したバスケツト等の容器の移動が自在
にされて処理槽間の連絡が行われるようにし、併
せて、バスケツトの槽内での浸漬を自在に制御し
て昇降する装置を設けて所定の洗浄が行われるよ
うにされており、単一動作で規制される昇降装置
と搬送装置との間にエアシリンダ連結のプツシヤ
等の移載装置を介在させて摺擦を伴う等する移し
替え等の不可欠なプロセスを介してバスケツトの
連絡が行われ、処理が自動的に行われるようにさ
れている。

又、超精密洗浄装置にあつて、被洗浄物が衝撃
を避ける必要のある精密部品である場合が多く、
上述装置間の連絡に伴つてスムースな動作が望ま
れる移載装置において、防振対策が難しく安定し
た作動が行われない状態で使用されている場合も
ある。

＜考案が解決しようとする課題＞ しかしながら、被洗浄物の精度に則して精巧に
制御が行われる場合でも、槽間の移送の際にはレ
ールとバスケツトとの間に不可避的に摺擦を伴
い、極微細な切粉やオイルミストの発生となる虞
があり、当然に処理槽内に切粉が混入した場合に
は、洗浄液が汚染され被洗浄物の表面で汚れ分が
除去されず、再付着を招く等して洗浄効果が期待
出来ないという欠点があつた。

更に、移載装置の連絡のプロセスで摺動による
部分的な抵抗が生じ、バスケツトに対するプツシ
ヤの当接部位が一定せず、載置姿勢が不安定にな
るために、移送がスムースに行えず、バスケツト
が不安定な姿勢の状態で以降の処理プロセスに投
入されると槽に接触する等して昇降装置や搬送装
置の作動不良等を招き、槽内でバスケツトの脱落
が生じたり、搬送中にバスケツトが脱落した場合
等には、洗浄装置の使用を中断する結果となつた
り、復帰作業が煩瑣であるうえに、バスケツト内
の被洗浄物が損傷する等の不都合さがある。

そして、洗浄装置の使用中には稼動状態を監視
する必要がある等の作業上の不利点もあつて、充
分な自動化が行い難いという難点があつた。

＜考案の目的＞ この出願の考案の目的は上述従来技術に基づく
洗浄装置のバツヂ式処理プロセスにおいて、昇降
装置と搬送装置との間での移送のプロセスで生じ
る被洗浄物の搬送処理上の問題点を解決すべき技
術的課題とし、移送時のバスケツトの姿勢を安定
させて洗浄装置により行われる洗浄処理がスムー
スに行われるようにして洗浄装置の信頼性を高め
ると共に、摺動部位を極力可及的になくし、接触
部位を最小限に止どめるようにし、摺動による切
粉の発生を防ぎながら槽内への切粉の混入を防止
し、洗浄液の汚染を防ぐようにし、併せて、被洗
浄物の損傷や洗浄不良を防止し、被洗浄物が所定
に洗浄されるようにして各種精密部品製造産業に
おける保安化技術利用分野に益する優れた洗浄装
置を提供せんとするものである。

＜課題を解決するための手段・作用＞ 上述目的に沿い先述実用新案登録請求の範囲を
要旨とするこの出願の考案の構成は前述課題を解
決するために、装置本体に槽ホルダを介して複数
の処理槽が内装され、槽は超音波洗浄、すすぎ、
及び、乾燥等の処理が行われるようにされて複数
セツトが設けられ、各々の槽の連なる脇には昇降
装置が槽ごとに設けられる等して槽内を嵌脱自在
にトレイを作動させるようにされ、更に、槽の配
位の脇には搬送装置が槽を連ねレールを敷設され
て槽の側方で往来自在にされ、而して、搬送装置
には槽上方を進行方向に対し直角方向へ水平にさ
れて一対のシヤフトがバスケツトの幅分相当で離
隔して枢支され、シヤフトの各々には同方向に対
峙してアームが離隔して軸止され、更に、アーム
先端にはローラ、パツト等の当接体が枢設される
等して各々の当接体はトレイの奥行幅相当で離隔
される等してバスケツトを支持しトレイとの接触
を回避されながら、而して、搬送装置に設けられ
る複数の揺動端が相互に同時に連動して水平位置
から垂吊位置までの角度範囲で内向きの揺動変位
が自在にされて、搬送装置の昇降装置の近傍での
停止制御に伴つてバスケツトに対する当接、離反
がスムースに行われるようにした技術的手段を講
じたものである。

＜実施例＞ 次に、この出願の考案の１実施例を図面に基づ
いて説明すれば以下の通りである。

１は洗浄装置であつてこの出願の考案の要旨を
成すものであり、処理の都合上バスケツト２に収
容される、例えば、レンズ、IC部分、ウエハ等
の被洗浄物に対し所謂浴洗を行う態様であつて、
洗浄処理、及び、乾燥処理が連続的ながらバツヂ
式に自動的に行われるようにされている。

而して、洗浄装置１には処理槽に対する槽ホル
ダ３が介設されており、装置内でブース４を隔壁
５を介して固定されている。

そして、該槽ホルダ３は、折り込み状の開口部
６，６′が連なつて形成され、更に、仕切り７を
介して該開口部６，６′の周辺に臨ませて開放さ
れる排気筒８が形成されて、第３図に示す様に、
槽ホルダ３の下部に設けたダクト取付口９に連通
にされている。

そして、槽ホルダ３の底部にはフランジが内向
きに設けられて該槽ホルダ３の筐体内に箱型の洗
浄槽１０とすすぎ槽１１とを収容して保持するよ
うにされている。

そして、洗浄槽１０の底部外側には超音波振動
子１２が付設されており、発振器１３の作動が制
御装置１４により所定に行われるようにされて超
音波洗浄が行われるようにされ、更に、洗浄槽１
０の底部近傍の側の両側にはプラグが設けられて
装置内に設けたフイルタ、ポンプ等循環装置１５
の吸排口に導電ケーブルが各々接続されて槽内の
洗浄液の循環が行われるようにされている。

そして、洗浄槽１０に連設されているすすぎ槽
１１の底部にはヒータ１６が付設されて制御装置
１４による制御によつて被洗浄物のレンズに対す
る洗浄後の所定のすすぎが行われるようにされて
いる。

更に、洗浄槽１０、及び、すすぎ槽１１を保持
する槽ホルダ３に隣接して仕上げ用の乾燥槽１７
が隔壁５に支持されて固定されており、該乾燥槽
１７の上部開口部１８の端面は槽ホルダ３の開口
部６，６′の端面に対して面一に設置されている。

尚、乾燥槽１７には内側の底部寄りにヒータ１
９が付設されて制御装置１４による制御によつて
所定の仕上げ乾燥が行われるようにされている。

而して、上述の処理槽の配置に臨ませて第３図
に示す様に、各槽の脇には昇降装置２０が設けら
れ、一方、槽を挟んで対位する脇部位には搬送装
置２１が設けられている。

そして、昇降装置２０は各々の処理槽ごとに設
けられており、槽内に挿入自在に所定の載置面を
有する格子状のトレイ２２を水平姿勢に維持した
桿２３と隔壁５に支持されているコラム２４上を
摺動自在にして設けられたスライダ２５とがロツ
ド２６に連結され、該ロツド２６は隔壁５に設け
たスリツト２７を介して昇降通過するようにされ
ている。

そして、スライダ２５については、第３図に示
す様に、装置内にて架設されたシヤフト２８にプ
ーリ２９が枢支されて該プーリ２９に導引される
ベルト３０の中途でスライダ２５が結合されて駆
動装置３１により駆動されるようにされている。。

尚、昇降装置２０は上述した如く同タイプのも
のが処理槽ごとに設けられて各々の処理槽に付設
されるプーリ２９がシヤフト２８に枢支され、
各々の昇降装置２０は制御装置１４に電気的に接
続されて各々独立に駆動されるようにされ、した
がつて、制御的には同時の駆動が自在にされてい
る。

一方、搬送装置２１は第１、第２に示す様に、
装置本体に架設されたフレーム３２にレール３３
が敷設されてライナ３４を係合して処理槽の脇部
位を進退動するようにされており、搬送装置２１
の走行駆動についてはレール３３の下方に付設さ
れたテーブル３５にローラ３６が当接するように
されて搬送装置２１の内部に設けた図示しない駆
動装置が制御装置１４に電気的に連絡され、所定
の走行を行うようにされている。

そして、搬送装置２１には走行方向に直角に方
位して第３図に示す様に、内向きに回動自在な２
本のシヤフト３７，３７′が枢支側延されており、
該シヤフト３７，３７′は相互にバスケツト２の
幅分相当以上に離反して各処理槽上方で水平姿勢
になるように臨ませられ、各々アーム３８，３
８′が一対２カ所に同方向に軸止されており、ア
ーム３８，３８′先端にはローラ３９，３９′が
各々枢支され、各々のラーラ３９，３９′が端面
をトレイ２２の奥行幅分相当に離隔されて対峙さ
れて一対の揺動部を形成している。

尚、シヤフト３７，３７′は互いに連動して内
向きに回動するようにされて、制御装置１４の制
御により４カ所で揺動部を水平位置から垂吊位置
までの角度範囲で変位するようにされている。

尚、洗浄装置１内の上部にはブロア４０が設置
され、エアフイルタ４１を介してクリーンエアが
導入されるようにされており、ブース４内が所定
の洗浄雰囲気に保たれるようにされている。

又、槽ホルダ３に設けた排気筒８には排気ダク
ト４２が接続されて洗浄槽１０より発生する蒸気
を吸引し、ブース４内の有害な蒸気やミストと共
に、洗浄装置１の上部に設けられた排出口４３よ
り装置外へ排出するようにされている。

そして、４４は装置フレーム上部に側設したス
ライド式の監視窓であり、４５はバスケツト２の
装填口である。

上述構成において、被洗浄物としてのレンズや
ICウエハ等をバスケツト２に収納し、装填口４
５より搬送装置２１の水平姿勢に予めセツトされ
ているアーム３８，３８……の先端のローラ３
９，３９′，３９，３９′に載置セツトする。

そして、洗浄装置１を起動させると、制御装置
１４の立ち上がりの後に搬送装置２１がレール３
３とテーブル３５に拘支されてレール３３に沿っ
て走行し、洗浄槽１０の直上に停止するように制
御されて昇降装置２０のトレイ２２上に待機され
る。

而して、搬送装置２１は所定の制御に従つてシ
ヤフト３７，３７′を内向きに回動させ、アーム
３８，３８′，３８，３８′が水平姿勢から垂吊姿
勢へ揺動変位させられる。

そして、該アーム３８，３８′，３８，３８′の
揺動に伴つてトレイ２２にバスケツト２が載置さ
れ、昇降装置２０に制御が移されると、駆動装置
３１が作動してトレイ２２を洗浄槽１０内へ挿入
させる。

そこで、超音波発振器１３が作動して所定の超
音波洗浄が行われる。

而して、所定時間の浴洗が終了すると、タイマ
ー制御により昇降装置２０が作動してトレイ２２
の引き上げが行われるが、トレイ２２の昇降スト
ロークの上端に達する手前で搬送装置２１にシヤ
フト３７，３７′の回動制御が行われてアーム３
８，３８′，３８，３８′が垂吊姿勢から水平姿勢
方向へ揺動旋回変位し、アーム３８，３８′，３
８，３８′の揺動と同時にアーム先端に設けられ
たローラ３９，３９′，３９，３９′がトレイ２２
を通過してバスケツト２の底面に当接される。

尚、アーム３８，３８′の先端に枢設されたロ
ーラ３９，３９′の端面が相互にトレイ２２の奥
行幅で離反していることによりスリツトが形成さ
れて、アーム３８の揺動に際しトレイ２２が干渉
することがなく、バスケツト２をトレイ２２から
何ら摺擦を伴わずに揺動端の４カ所で当接を介し
て離脱させることが出来る。

したがつて、摺擦で生じる切粉やオイルミスト
の発生は防止されるうえにスムースな転移によつ
てバスケツト２に振動が生ぜず、バスケツト２の
姿勢が変化することなく安定した移載が行われ
る。

そして、搬送装置２１に載せ替えられたバスケ
ツト２は次工程のすすぎ槽１１上方へ搬送されて
上述同様に昇降装置２０のトレイ２２に載置さ
れ、すすぎ槽１１内へ投入される。

そして、すすぎ処理終了後には乾燥槽１７へ処
理が移されて、所定に乾燥処理されるとバスケツ
ト２は搬送装置２１に移載され、装填口４５下方
の原位置へ復帰される。

尚、ブース４内ではエアフイルタ４１を通して
クリーンエアが導入される一方、洗浄装置１内で
発生する蒸気が所定に排出されて被洗浄物に対す
る塵埃の付着が防止されるようにされている。

尚、この出願の考案の実施態様は上述実施例に
限るものでないことは勿論である。

＜考案の効果＞ 以上、この出願の考案によれば、基本的に超音
波を用いて電子部品やレンズ等の超精密部品の洗
浄処理を行うようにされた洗浄装置にあつて、清
浄に保たれるブース内で超音波洗浄や乾燥等の複
数の処理が洗浄装置に内装された処理槽ごとに行
われ、各々の処理槽に対する被洗浄物の搬入、搬
出が単一作動にて規制される昇降装置や搬送装置
の連絡によつて行われる際、摺擦を伴うことなく
バスケツトに対して当接、離反を介して行われる
ことで摺動部位がなくされ切粉の発生がなく、洗
浄槽内に切粉の混入が防止され、したがつて、レ
ンズや電子部品に対する超音波洗浄効果が充分に
発揮出来るという優れた効果が奏される。

而して、処理槽の上部を避けながら、洗浄装置
に複数の処理槽に亘る走行自在な搬送装置が設け
られるようにされたことで、槽上方は摺擦の要因
とされる部材の配設が除かれ、直接的に処理槽内
への切粉の混入が防止され、更に、搬送装置に昇
降装置のトレイの昇降方向に沿つて揺動自在に揺
動アームを設けたことで搬送装置から昇降装置、
及び、昇降装置から搬送装置へのバスケツトの載
せ替えがスムースに行えてバスケツトの姿勢は安
定し、したがつて、搬送中に洗浄装置内でバスケ
ツトが脱落することがなく、バスケツト内のレン
ズ等の被洗浄物の破損が防がれ、又、処理槽内で
の脱落が防げて処理を継続させることが出来るこ
とで、洗浄装置を停止させてバスケツトをセツト
し直す等の煩瑣な作業が不要にされて効率の良い
洗浄処理が行えるという優れた効果が奏される。

加えて、搬送装置の確実な動作により自動化が
得られ、洗浄装置がコンパクト化されて装置全体
はフロア近く低位に設置出来る等によりメンテナ
ンス作業を含めて操作がし易い等のメリツトがあ
るという優れた効果も奏される。

【図面の簡単な説明】

図面はこの出願の考案の実施例の説明図であ
り、第１図は洗浄装置の内部透視正面図、第２図
は搬送装置の部分斜視図、第３図は洗浄装置の内
部透視側面図、第４図は同上面図である。 １０，１１，１７……処理槽、２２……トレ
イ、２０……昇降装置、３３……レール、２１…
…搬送装置、１……洗浄装置、２……バスケツ
ト、３７，３７′……シヤフト、３８，３８′……
アーム、３９、３９′……ローラ（当接体）。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 複数の処理槽を内装し、該処理槽内をトレイ
   が挿脱自在にする昇降装置が設けられ、而して
   上記各処理槽に亘るレールを有する搬送装置が
   上記昇降装置に近接離反自在に設けられると共
   に上記処理槽で停止制御自在にされている洗浄
   装置において、上記処理槽の脇部位を往来自在
   な搬送装置が設けられ、該搬送装置に処理槽の
   上方でバスケツトの幅長さ相当長さに軸離して
   内向きに回動自在にシヤフトが枢支され、該シ
   ヤフトに先端を同方向に対峙させて一対のアー
   ムが軸止され、而して該アームの揺動端がバス
   ケツトに当接離反自在に設けらけていることを
   特徴とする洗浄装置。 (2) 上記アームの揺動端に当接体が係設されてい
   ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
   １項記載の洗浄装置 (3) 上記当接体がローラであることを特徴とする
   実用新案登録請求の範囲第１項記載の洗浄装
   置。