JPH0593586U - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】被洗浄物を超音波洗浄槽、すすぎ槽から順に乾
燥槽へ順次差し代えを行うに際し搬送装置と昇降装置と
各処理槽との間の摺接部分を避け、切粉等の汚染物が生
じて各処理槽内に侵入しないようにスムースな移し替え
を行えるようにする。 【構成】洗浄槽10、すすぎ槽11、乾燥槽17を順次配列
し、その側部のレール上を、搬送装置をスライドさせ、
搬送装置のアーム38、38' 上に容器 2を載置し、搬送装
置が処理槽の直上にきて洗浄物を収納した容器を待機す
るトレイ22に載置し、昇降装置が下降して容器を洗浄槽
内に浸漬させて超音波洗浄を行い、所定時間後に上昇し
たトレイ22から、アームにて容器をバトンタッチし、搬
送装置によりすすぎ槽に移し替え、以下同様にして各槽
々洗浄物を収納した容器2 を移し変えする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

開示技術は、ＩＣウエハ等の電子部品やレンズ等の超精密部品の洗浄を行う装 置の構造の技術分野に属する。

【０００２】 而して、この考案は電子部品やレンズ等を超精密洗浄するに際し、複数の処理 槽が内装され、装置内で該処理槽に被洗浄物を収容したバスケット等の容器を浸 漬させるようにした昇降装置と、該容器を槽間に亘って搬送するようにした搬送 装置とが設けられ、該昇降装置と搬送装置での容器の移載が自動的に制御裡に行 われるようにされている洗浄装置に関する考案であり、特に、処理槽の脇部位を 走行自在に設けた搬送装置に水平姿勢でシャフトが延設され、該シャフトには相 互に対峙して同じく水平姿勢のアームが固設され、而して、該容器の移載のプロ セスでアームが容器の底部で進退動し、該容器に対する当接離反を介して該容器 の昇降装置と搬送装置間の移載がスムースに行われるようにした洗浄装置に係る 考案である。

【０００３】

【従来の技術】

当業者に周知の如く、ＬＳＩやＩＣ等の電子部品やレンズ等の超精密部品の洗 浄には超音波洗浄が効果的であることから超音波洗浄技術が方法や装置について 種々案出されているが、例えば、洗浄、すすぎ、乾燥等の各処理工程を専用の複 段の処理槽ごとに分担させ、各々の処理槽で所定の浴洗処理を完遂させるバッヂ 式の洗浄装置にあっては、処理槽の配設方向にて槽間に亘るレールを架設して搬 送装置を走行自在に設け、テーブル上で被洗浄物を収納したバスケット等の容器 の移動が自在にされて処理槽間の受け渡しが行われるようにし、その際、該容器 の槽内で洗浄液に対する被洗浄物の浸漬を自在に制御して昇降する装置を設けて 所定の洗浄が行われるようにされ、単一サイクル動作を規制される昇降装置と搬 送装置との間に、例えば、エアシリンダに連結されたプッシャ等の移載装置を介 在させてスライド動作等する移し替え等のプロセスを介して容器の受け渡しが行 われ、全体として洗浄処理が連続的、且つ、自動的に行われるようにされている 。

【０００４】 又、超精密洗浄装置にあっては被洗浄物が不測の衝撃を避ける必要のある部品 の洗浄を行う態様である場合が多く、上述装置間の受け渡しに伴ってスムースな 動作が望まれる移載装置でありながら、設計上、防振対策が難しく、安定した作 動が行われない状態で実使用されている場合もある。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、被洗浄物の精密さに則して精巧に制御が行われる態様であって も、槽間の被洗浄物の移送に際してはレールと容器との間に不可避的に摺動を伴 い、その限り、極く微細な切粉や摺擦粉やオイルミストが発生する虞があり、当 然に被処理物の表面や処理槽内にこれらの切粉等が付着したり混入した場合には 、被洗浄物が汚れ、又、洗浄液が汚染され、被洗浄物の表面に該切粉等が付着し た汚れ分が除去されず、再付着を招く等して洗浄効果が期待出来ないという欠点 があった。

【０００６】 特に、被洗浄物の上部からの汚れの落下が生ずる態様ではこれらの問題は極め て深刻である。

【０００７】 又、移載装置による受け渡しのプロセスでレールと容器間の摺動による部分的 な抵抗が生じ、該容器に対するプッシャの係合部位が一定せず、載置姿勢が不安 定になるために、移送がスムースに行えず、容器が不安定な姿勢の状態で以降の 処理プロセスに移送されると、槽壁に接触する等して昇降装置や搬送装置の作動 不良等を招き、槽内で容器の脱落が生じたりし、搬送中に該容器が脱落した場合 等には、洗浄装置の使用を中断する結果となり、復帰作業が煩瑣となるうえに、 容器内の被洗浄物が損傷する等のトラブルが発生する不都合さがある。

【０００８】 そして、洗浄装置の使用中には稼動状態を監視する必要がある等の余計な作業 も必要となる不利点もあって、充分な自動化が行い難いという難点があった。

【０００９】

【考案の目的】

この考案の目的は上述従来技術に基づく洗浄装置のバッヂ式処理プロセスにお ける昇降装置と搬送装置との間での移送で生じる被洗浄物に対する汚れ付着等の 搬送処理上の問題点を解決すべき技術的課題とし、移送時のバスケット等の容器 の姿勢を安定支持させて被洗浄物の洗浄槽への移送がスムースに行われて洗浄装 置の信頼性を高めると共に、被洗浄物の搬送中の被洗浄物の上位での摺動発生を 極力なくし、接触部位を最少限に制限するようにし、摺動による切粉等の発生を 防ぎ、被洗浄物への付着や槽内への混入を防止し、洗浄液の汚染を防ぐようにし 、併せて、被洗浄物の損傷や洗浄不良を阻止し、被洗浄物が設計通りに所定に洗 浄されるようにして各種精密部品製造産業における処理技術利用分野に益する優 れた洗浄装置を提供せんとするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段・作用】

上述目的に沿い先述実用新案登録請求の範囲を要旨とするこの考案の構成は前 述課題を解決するために、装置本体に槽ホルダを介して複数の処理槽が内装され 、該処理槽では超音波洗浄、すすぎ、及び、乾燥等の処理が順に行われるように されて複数セットが設けられ、各々の槽の連なる脇には昇降装置が槽ごとに設け られる等して槽内に対し挿脱自在に被処理物を収納した容器を載置したトレイを 移動させるようにされ、更に、槽の配位の脇には搬送装置が槽を連ねレールを敷 設されて槽の側方で往来自在にされ、而して、搬送装置には槽上方を進行方向に 対し直角方向へ水平に延設されたシャフトが容器の幅分相当で離隔され、該シャ フトの各々にはその直角方向に対峙して水平姿勢のアームが離隔して軸止され、 更に、各アームはトレイの奥行幅相当で離隔される等して容器を支持し、トレイ との接触を回避しながら同時に連動して水平姿勢のままで進退変位自在にされて 、搬送装置の昇降装置の近傍での進退停止制御に伴って容器に対する当接、離反 がスムースに行われるようにした技術的手段を講じたものである。

【００１１】

【実施例】

次に、この考案の１実施例を図面に基づいて説明すれば以下の通りである。

【００１２】 1は洗浄装置であって、この考案の要旨を成すものであり、処理の都合上、容 器としてのバスケット 2に収容される、例えば、レンズ、ＩＣ部分、ウエハ等の 図示しない被洗浄物に対し所謂浴洗を行う態様であって、洗浄処理、すすぎ処理 、及び、乾燥処理が連続的ながらバッヂ式に自動的に行われるようにされている 。

【００１３】 而して、洗浄装置 1には処理槽に対する槽ホルダ 3が内設されており、装置内 でブース 4が隔壁 5を介して形成されている。

【００１４】 そして、該槽ホルダ 3には、縦方向に開口部 6、 6が連なって形成され、更に 、仕切り 7を介して該開口部 6、 6の周辺に臨ませて各々開口される排気筒 8が 配設されて、図１に示す様に、ブース 4の下部に設けられている。

【００１５】 そして、槽ホルダ 3の底部にはフランジ 3' が内向きに設けられて該槽ホルダ 3内に箱型の洗浄槽10とすすぎ槽11とを併設して保持するようにされている。

【００１６】 そして、洗浄槽10の底部外側には超音波振動子12が付設されており、隔壁 5外 に設けられた発振器13の作動が制御装置14により所定に行われて洗浄槽10内での 超音波洗浄が行われるようにされている。

【００１７】 又、ブース 4の一側には図１に示す様に、フイルタ、ポンプ等循環装置15が設 置されて洗浄槽10内の洗浄液の循環が行われるようにされている。

【００１８】 そして、該洗浄槽10に併設されているすすぎ槽11の底部にはヒータ16が付設さ れて制御装置14による制御によって被洗浄物に対する洗浄後の所定のすすぎが行 われるようにされている。

【００１９】 更に、洗浄槽10、及び、すすぎ槽11を保持する槽ホルダ 3には該すすぎ槽11に 隣接して仕上げ用の乾燥槽17が下部にフイルタ18を装備されて固設されている。

【００２０】 尚、該乾燥槽17には内側の底部寄りにヒータ19が付設されて制御装置14による 制御によって所定の仕上げ乾燥が行われるようにされている。

【００２１】 而して、上述の処理槽10、11、17の配置に臨ませて図３に示す様に、各処理槽 の側部には昇降装置20が設けられ、一方、該各処理槽10、11、17を挟んで対位す る脇部位には搬送装置21が設けられている。

【００２２】 そして、昇降装置20は各々の処理槽10、11、17ごとに設けられており、該処理 槽10、11、17内に上方から挿入自在にされ、又、被洗浄物に対する所定の載置面 を有する格子状のトレイ22を水平姿勢に維持した桿23と該桿23と一体で隔壁 5に 併設されているコラム24を摺動自在に設けられたスライダ25とがロッド26に連結 され、該ロッド26は隔壁 5に設けたスリット27を介して昇降、及び、通過するよ うにされている。

【００２３】 そして、スライダ25については、図３に示す様に、装置内にて架設されたシャ フト28、28…に各々プーリ29が枢支されて該各プーリ29に導引されるベルト30の 中途で結合されて駆動装置31により所定ストローク昇降自在に駆動されるように されている。

【００２４】 尚、昇降装置20は上述した如く同タイプのものが処理槽10、11、17ごとに設け られて各々の該処理槽10、11、17に付設される各プーリ29がシャフト28に枢支さ れ、各々の昇降装置20は制御装置14に電気的に接続されて各々独立に駆動される ようにされ、したがって、制御的には各々同時の駆動が選択自在にされている。

【００２５】 一方、搬送装置21は図２、図３に示す様に、断面略Ｌ字形にされ、装置本体に 架設されたフレーム32にレール33が横方向に敷設されてライナ34を介して処理槽 の脇部位を進退動するようにされており、該搬送装置21の走行駆動については図 ３に示す様に、レール33の下方に付設されたテーブル35にローラ36が当接転動す るようにされ、搬送装置21の内部に設けた図示しないモータ等の駆動装置が制御 装置14に電気的に連絡され、所定の走行を行うようにされている。

【００２６】 そして、該搬送装置21には走行方向に直角に方位して図２、図３に示す様に、 内向きに２本のシャフト37、37' がその直角方向に進退動自在であると共にレー ル33に沿って進退動自在に枢支側延されており、該シャフト37、37' は相互に容 器 2の幅分設定距離に離反して各処理槽上方で水平姿勢になるように臨ませられ 、各シャフト37、37' には各々アーム38、38' が一対２カ所に直角方向に方向設 定距離離隔してレール33に沿って延設固定されており、アーム38、38' がトレイ 22の奥行幅分相当に離隔されて対峙されて容器 2の底部に当接して横方向に進退 して該容器 2に対し支持離反自在にされ、一対の揺動部を形成している。

【００２７】 尚、シャフト37、37' は相互の間隔が調整可能にされている。

【００２８】 又、洗浄装置 1内の上部にはブロア40が設置され、エアフィルタ41を介してク リーンエアが導入されるようにされており、ブース 4内が所定の洗浄雰囲気に保 たれるようにされている。

【００２９】 そして、槽ホルダ 3の下部に設けた排気筒 8には排気ダクト42が接続されて洗 浄槽10より発生する蒸気を吸引し、ブース 4内の有害な蒸気やミストと共に、洗 浄装置 1の上部に設けられた排出口43より装置外へ排出するようにされている。

【００３０】 そして、44は装置フレーム上部に側設した複連式のスライド式の監視窓であり 、45は容器 2の装填口であり、46は操作パネルである。

【００３１】 上述構成において、被洗浄物としての図示しないレンズやＩＣウエハ等の被洗 浄物を容器 2に収納し、該容器 2を装填口45より搬送装置21の水平姿勢に予めセ ットされているアーム38、38' …の先端部に載置セットする。

【００３２】 そして、洗浄装置 1を起動させると、制御装置14の立ち上がりの後に搬送装置 21がレール33とテーブル35に支持されてレール33に沿って内装する駆動装置によ り走行し、洗浄槽10の直上に停止するように制御されて昇降装置20の桿23先端に セットされたトレイ22上に対して待機状態にされる。

【００３３】 この間、シャフト37、37' はその直角方向に進退して桿23と干渉しないように 制御される。

【００３４】 而して、この間搬送装置21のシャフト37、37' を内向きに水平姿勢にされ、ア ーム38、38' 、38、38' も水平姿勢に終始維持される。

【００３５】 そして、トレイ22上に被洗浄物を収納した容器 2が移し替えられて載置され、 昇降装置20に制御信号が入力されると、駆動装置31が作動してスラスダ25がベル ト30を介してコラム24に沿って下降してトレイ22を洗浄槽10内の洗浄液へ侵入さ せる。

【００３６】 そして、この間アーム38、38' はシャフト37、37' と共に相互に搬送装置21に 内蔵されている駆動装置により退行してトレイ22の昇降に干渉することがないよ うにされる。

【００３７】 そこで、超音波発振器13が作動し、振動子12が作動して所定の超音波洗浄が行 われる。

【００３８】 而して、所定時間の超音波洗浄が終了すると、タイマー制御により昇降装置20 が作動してトレイ22ごと容器 2の引き上げが行われるが、該トレイ22の昇降スト ロークの間でシャフト37、37' 、アーム38、38' が干渉しないことは上述の通り である。

【００３９】 そして、上昇端ではリミットスイッチ等の作動により駆動装置31が停止し、搬 送装置21のシャフト37、37' が再び容器 2の底部に当接して支持し、次のすすぎ 槽11上へと移送する。

【００４０】 したがって、該容器 2にアーム38、38' が当接し、移送されることから摺擦で 生じる切粉やオイルミストの発生は防止されるうえにスムースな転移によって容 器 2に振動が生ぜず、該容器 2の姿勢が変化することなく水平状態で安定した移 載が行われる。

【００４１】 そして、搬送装置21に載せ替えられた容器 2は次工程のすすぎ槽11上方へ搬送 されて上述同様に昇降装置20のトレイ22に載置され、すすぎ槽11内へ侵入される 。

【００４２】 そして、すすぎ処理終了後には乾燥槽17へ処理が移されて、所定に乾燥処理さ れると、容器 2は搬送装置21に移載され、装填口45下方の原位置へ復帰される。

【００４３】 尚、ブース 4内ではエアフィルタ41を通してクリーンエアが導入される一方、 洗浄装置 1内で発生する蒸気が所定に排出されて被洗浄物に対する塵埃の付着が 防止されるようにされている。

【００４４】 尚、この考案の実施態様は上述実施例に限るものでないことは勿論である。

【００４５】

【考案の効果】

以上、この考案によれば、基本的に超音波を用いて被洗浄物の電子部品やレン ズ等の超精密部品の洗浄処理を行うようにされた洗浄装置にあって、清浄に保た れるブース内で超音波洗浄や乾燥等の複数の処理が洗浄装置に内装された処理槽 ごとに順に行われ、各々の処理槽に対する被洗浄物の搬入、搬出移送がサイクル 作動にて規制される昇降装置や搬送装置の受け渡しによって行われる際、摺擦を 伴うことなく容器に対して当接、離反を介して行われることで移送プロセスでの 切粉等の発生がなく、洗浄槽内に該切粉の混入が防止され、したがって、洗浄処 理等のプロセスでの汚染が防止され、レンズや電子部品に対する洗浄効果が充分 に発揮出来るという優れた効果が奏される。

【００４６】 而して、処理槽の上部との干渉を避けながら、洗浄装置に複数の処理槽に亘る 走行自在な搬送装置が設けられるようにされたことで、槽上方は切粉の発生につ ながる摺擦の要因とされる部材の配設が除かれ、直接的に処理槽内への切粉の混 入が防止され、更に、搬送装置に昇降装置のトレイの昇降方向に交叉しながらも 干渉することなく進退自在に支持アームを設けたことで搬送装置から昇降装置、 及び、昇降装置から搬送装置へのバスケット等の容器の載せ替えがスムースに行 えて該容器の姿勢は水平状態を維持されて安定し、したがって、搬送中に洗浄装 置内で該容器が脱落することがなく、容器内のレンズ等の被洗浄物の破損も防が れ、又、処理槽内での脱落が防げて処理を継続させることが出来ることで、洗浄 装置を停止させて容器をセットし直す等の煩瑣な作業が不要にされて効率の良い 洗浄処理が行えるという優れた効果が奏される。

【００４７】 そして、容器のアームによる移載が被洗浄物の下側で行われることから該被洗 浄物に対し上側から汚染物が落下することなく洗浄に極めて有利な効果がある。

【００４８】 加えて、搬送装置、昇降装置の確実な動作により自動化が得られ、洗浄装置が コンパクト化されて装置全体はフロアに近く低位に設置出来る等によりメンテナ ンス作業を含めて操作がし易い等のメリットがあるという優れた効果も奏される 。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の１実施例の内部透視正面図である。

【図２】搬送装置の部分拡大斜視図である。

【図３】全体概略内部透視側面図である。

【図４】装置全体平面図である。

【符号の説明】

10、11、17 処理槽 22 トレイ 20 昇降装置 33 レール 21 搬送装置 1 洗浄装置 2 容器 37、37' シャフト 38、38' アーム

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の処理槽を内装し、該処理槽内に被処
   理物収納用の容器を載置するトレイを挿脱自在にする昇
   降装置が設けられ、而して各処理槽に亘るレールを該各
   処理槽の側部に有する搬送装置が上記昇降装置のトレイ
   に近接離反停止自在に設けられている洗浄装置におい
   て、上記処理槽の脇部位を上記レールに沿って移動自在
   な搬送装置が設けられ、該搬送装置に処理槽の上方で容
   器の幅長さ相当長さに離隔して内向きに水平姿勢にされ
   たシャフトが進退自在に延設され、該シャフトにはアー
   ムが水平姿勢で軸止されていることを特徴とする洗浄装
   置。