JPH0671063B2 - 大電力半導体装置 - Google Patents
大電力半導体装置Info
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Description
r)、MOSFETなどの大電力高速スイッチング半導体装置
の端子配列に関するものであり、特に大電力容量のモジ
ュール型半導体装置に使用されるものである。
やインバータ回路が多く採用されている。そのうえ、上
記回路のQ1〜Q4として使用される半導体装置は、より高
速なスイッチング性能を有するとともに大電力のスイッ
チが可能になってきた。第8図(a),(b)は、これ
ら高速大電力スイッチング素子の代表例であるIGBTのモ
ジュール外形図であり、第8図(c)はその等価回路で
ある。第8図(a),(b)モジュールにおいて、主電
流端子であるコレクタCとエミッタE、それに駆動信号
の入力端子であるゲートGとエミッタEsが、第8図
(c)の従来バイポーラトランジスタでの主電流端子で
あるコレクタCとエミッタE、信号入力端子であるベー
スBとエミッタEsに対応して用いられる。当該モジュ
ール外囲器内には複数個、一般的には4個のIGBTチップ
が並列動作するように組み込まれており、もって大電流
の半導体スイッチングモジュールが実現されている。
Q4それぞれを、前記第8図に示したモジュール複数個を
並列に接続することによって、構成する場合が少なくな
い。この場合に複数モジュールを接続するのではなく、
第8図のモジュール数個分を1つのモジュール外器内に
封止した超大型の半導体装置を供給することも考えられ
るが、下記理由で好ましくない。
である。第二にモジュール半導体装置内でのIGBTチップ
の並列数が増え過ぎ半導体装置の生産性が低下するこ
と、第三には単一のモジュールが扱う電流値の増大に伴
ない、モジュール半導体装置内部での配線に対する制約
が増加することである。従って、第8図に示した4個の
IGBTチップを接続した程度のモジュール半導体装置を並
列使用して大容量用途に用いることが、経済的な手法で
ある。
半導体装置を並列に接続したハーフブリッジ構成(第7
図のQ1とQ2の端子接続を示した平面図)、第9図(b)
はその正面図である。
それらと同等の特性をもつモジュール33と34が並列に接
続されてQ1を構成する。従って、バスバー35でモジュー
ル31と32のエミッタ主電流端子間を接続し、バスバー37
でモジュール33と34のコレクタ主電流端子間を接続す
る。さらにバスバー36でモジュール31と32のコクレクタ
主電流端子間の接続、モジュール33と34のエミッタ主電
流端子間の接続及び31,32と33,34の両者間の接続をする
形態となる。しかし、バスバー36には、モジュール33,3
4の信号入力端子Es及びGの上に開孔部36a,36bを設け
て、信号端子への配線接続を可能にする必要がある。
用い、第9図のような従来型のバスバー配線を行った場
合に下記のような問題が生じてきた。
かつ高速スイッチング化されるにつれ、転流回路のイン
ダクタンス分が無視できなくなり、サージ電圧が高くな
り、素子耐圧のディレーティングを大きくとる必要が生
じてきたのである。
について説明する。第7図の回路は、直流電源1からの
P母線とN母線との間に、IGBTQ1,Q2を直列に接続し、
また同様にIGBTQ3,Q4を直列に接続して、それぞれの中
点の間にリアクトル2,抵抗3の負荷に接続した、いわゆ
るブリッジ回路である。
路に流れているものとする。次に、IGBTQ1をオフさせる
と、負荷電流は破線矢印の回路に転流する。この時回路
のインダクタンスLと電流の変化率di/dtによって、−
L(di/dt)なる逆起電力分がサージ電圧として発生
し、ターンオフするIGBTQ1に印加される。
クタンス分、h→iのN母線インダクタンス分、b→c,
d→eの配線インダクタンス分、e→f,g→hの配線イン
ダクタンス分が関係する。
Aの電流を0.3μsの時間でターンオフすると V=L(di/dt) =0.2×10-6×400÷(0.3×10-6)270V のサージ電圧が発生することになる。第7図の回路で50
0VのIGBTの素子を使用するには、電源1の電圧を230V以
下で使用する必要がありIGBTの利用率が悪化する。
おいても、配線インダクタンス分を出来るだけ減少させ
るためQ1を構成するモジュールのコレクタCとQ2を構成
するモジュールのエミッタE間を銅板で接続し、G,Es
端子の部分のみ打ち抜いて使用してはいたが、配線が長
くまた表面積が狭く、やはり転流インダクタンスが増加
してしまう。従ってモジュール半導体装置が高速化する
に伴って、さらに転流インダクタンスの減少が求められ
ている。
転流回路の配線を短く、表面積を広く、しかも転電流に
より発生する磁束が打消せるようなブリッジ接続構成を
可能にするモジュール型半導体装置を提供することにあ
る。
れば、コレクタ主電流端子、エミッタ主電流端子の配列
の一方の側に信号入力端子を備えるモジュール半導体装
置と、上記配列の他方の側に信号入力端子を備えるモジ
ュール半導体装置とにより構成されるモジュール半導体
装置対であって、2種類のコンプリメンタリモジュール
半導体装置はたがいに同等の電気的特性を有するもので
ある。
子、エミッタ主電流端子の配列の両側に2組の全く等価
な信号入力端子を備えるモジュール半導体装置であっ
て、1種類のモジュール半導体装置によって第一発明と
同様半導体装置対を構成できるものである。
明は、等価な電気的特性を有するモジュール半導体装置
の1対によって構成されるが、第2図は個々のモジュー
ル半導体装置の内部構成を示した斜視図である。第2図
において、放熱用基板41の絶縁基板42が半田付けされて
いる。本例では全く同一の2枚の絶縁基板を用い、それ
ぞれの絶縁基板42上には金属板43が接着されるととも
に、各金属板43上にはそれぞれ2個の半導体チップ46が
搭載されている。半導体チップ46の電極、本本例ではエ
ミッタ、ゲートが絶縁基板42上に接着された中継金属板
44,45にそれぞれ金属細線47によって接続される。しか
る後に、それぞれ2つある中継金属板44と43に対し一対
の外部端子金属リードを半田付け接続して、それぞれエ
ミッタ、コレクタの主電流外部端子を形成し、それぞれ
2つある中継金属板44,45に接続させて、それぞれエミ
ッタ、ゲートの信号入力外部端子を形成する。
あたり、外部端子金属リードを2種類用意し、半導体装
置外に導出されるコレクタ、エミッタの主電流端子の配
列がたがいに逆となる2種類とした点に特徴がある。な
お、中継金属板に外部端子を接続せずに中継金属板その
ものを外部端子リードとして導出してもよい。
プの組の1種類は、第3図のような外部端子配置のモジ
ュール半導体装置61に構成され、他の種類のものは第4
図のような外部端子配置のモジュール半導体装置62に構
成される。
面図)のモジュール半導体装置61においては、従来の第
8図に示した外部端子の配列と同一であるが、第4図
(a),(b)のモジュール半導体装置62は、61とコン
プリメンタリーな端子配列、すなわち主電流外部端子で
あるコレクタCとエミッタEの順番が信号入力端子
Es,Gに対して逆になっている。なお、第3図および第
4図において、48は金属放熱基板41に接着した樹脂ケー
シングで、ケーシング48内部は樹脂封止されている。
図に示す第一実施例のようなハーフブリッジ回路を構成
することができる。第1図の実装例では、モジュール半
導体装置対61(61a)と62(62a)を、61のコレクタ端子
Cと62のエミッタ端子E間を導体64で接続して出力電極
を引き出す。直流電源の正(P)電極は導体65に接続さ
れ、負(N)電極は導体63に接続される。それぞれの導
体65,63は導体64と極力平行にかつ近接して配置され、
それぞれモジュール半導体装置62のコレクタ端子C、61
のエミッタ端子Eに接続される。
導体装置対を構成する一方の半導体装置が、電流入力端
子(上記実施例でコレクタ端子Cに相当)に対し、電流
出力端子(上記実施例でエミッタ端子Eに相当)と反対
の側に信号入力端子(上記実施例でEs,Gに相当)が配
置され、他方の半導体装置は、電流出力端子に対し電流
入力端子と反対の側に信号入力端子が配置されているこ
とを特徴とするから、下記の作用・効果を有する。
用意するだけで他の部材を全く共通に用いて容易に半導
体装置対を形成することができる。また一対の半導体装
置の電気的特性は両者間で変らない。
き、かつ信号入力端子がバスバー(導体63,64,65)の外
側に配置できるので、第9図のようにバスバーに開孔部
36a,36bを空ける必要がなく、広い面積とすることがで
きる。
と65とを、第一実施例のように、素子間接電極となるバ
スバー64と平行して立上げることが可能になり、それに
よりそれぞれのバスバーから通電時に発生する磁束を打
消すことが可能となる。これによって転流インダクタン
スは極小にすることができる。
Q4がオンし電流が実線矢印に流れている状態からIGBTQ1
がオフし電流が破線矢印に転流する場合、a,b間とh,i間
の導体バスを密着して配線すれば、この間の磁束は打消
されているのでインダクタンスは極小になる。一方、IG
BTQ1のb−c間とd−e間を密着し、第1図のように電
流方向が逆になるように配線することにより、この間の
インダクタンスも極小になる。またIGBTQ2のe−f間と
g−h間を密着して磁束を打消すようにすればこの間の
インダクタンスも極小になる。
7図のごときブリッジ回路は、たとえQ1〜Q4がそれぞれ
複数個のモジュール半導体装置によって並列に接続され
る場合においても、その並列数にかかわらず第1図のご
ときバスバー配線が可能になり、転流回路のインダクタ
ンスを極小にすることができ、結果として、IGBTをオン
・オフした場合に生じる転流時におけるサージ電圧は非
常に小さくできるものである。
類のコンプリメタリな半導体装置対を、1種類の半導体
装置で達成する新規な外囲器形状を有するものであっ
て、第二発明の実施例である。そして第6図に、第二実
施例の半導体装置を対にしたハーーフブリッジ回路の第
二実施例を示す。
クタC、エミッタEの両側に、信号入力端子Es,Gが2
組配置されており、各組のEsもしくはGどうしはモジ
ュール内部で接続されている。従って、いずれか一方の
組の信号入力端子だけを用いて信号入力を行うことがで
きる。また信号入力端子Es,Gが位置する平面は主電流
端子E,Cの位置する平面より低くなっている。
て、第6図の実装例のようにバスバー配線73,74,75をす
る。71,72のそれぞれのEs,Gを信号入力端子とし、E
s′,G′を使用しないから、第一実施例の第1図の場合
と全く同様に転流回路のインダクタンスを極小にするこ
とが可能である。
の場合の導体バス64よりやや長くなるものの、導体バス
73,75と平行しかつ密着させて配置できるのでインダク
タンスの増加は無視できる程である。
Es′,G′が主電流端子E,Cよりも低い平面に形成され
ているので、第6図のように導体バス74で半導体装置71
のC端子と判導体装置72のE端子間を直線的に接続して
も、使用しない信号入力端子G′,Es′の存在は何ら障
害にならない。
ミナルの例で述べたがファストン型等の端子形状でもか
まわない。モジュール型半導体装置としてIGBTを例とし
て述べたが、一般のMOSFET、バイポーラトランジスタ等
にも適用できる。ただし、大電流容量でかつ高速スイッ
チング性能を有するIGBT素子において本発明の効果が最
も著しいのは言うまでもない。
装例を示す正面図、第1図(b)は第1図(a)実装装
置の平面図、第2図は本発明の半導体装置の内部構成を
説明する斜視図、第3図(a)および(b)は第一実施
例の一方の半導体装置の外形を示すそれぞれ平面図と正
面図、第4図(a)および(b)は第一実施例の他方の
半導体装置の外形を示すそれぞれ平面図と正面図、第5
図(a)および(b)は第二実施例の外形を示すそれぞ
れ平面図と正面図、第6図は対にした第二実施例半導体
装置とその第二実装例を示す正面図、第7図は本発明が
関連する応用回路の回路図、第8図(a)および(b)
は従来の半導体装置にかかる外形を示すそれぞれ平面図
と正面図、第8図(c)は本発明の半導体装置が関連す
る等価回路図、第9図(a)は実装された従来の半導体
装置を示す平面図、第9図(b)は第9図(a)実装装
置の正面図である。 1……直流電源、2……リアクトル、3……抵抗、41…
…放熱金属板、42……絶縁基板、43,44,45……金属板、
46……半導体片、48……樹脂ケーシング61(61a),62
(62a)……半導体装置対(第一発明)、63,64,65,73,7
4,75……導体、71,72……半導体装置(第二発明)、C
……コレクタ端子、E……エミッタ端子、Es,G……信
号入力端子。
Claims (2)
- 【請求項1】互いに実質的に等価な電気的特性を有する
一対の半導体片の組を、それぞれ実質的に同型の樹脂ケ
ーシング内に封止するとともに、それぞれケーシングの
上面において封止樹脂外へ導出された、電気入力端子、
電流出力端子及び信号入力端子を有する一対の半導体装
置からなる半導体装置対において、該半導装置対を構成
する一方の半導体装置は、電流入力端子に対し、電流出
力端子と反対の側に信号入力端子が配置され、他方の半
導体装置は、電流出力端子に対して電流入力端子と反対
の側に信号入力端子が配置されていることを特徴とする
半導体装置対。 - 【請求項2】少なくとも1つの半導体片を樹脂ケーシン
グ内に封止するとともに、ケーシングの上面において封
止樹脂外へ導出された、電流入力端子、電流出力端子及
び信号入力端子を有する半導体装置において、該電流入
力端子と該電流出力端子とを挾んで対向する位置であっ
て、該電流入力端子と該電流出力端子が位置する平面よ
りも低い平面に、互いにケーシング内部で接続された等
価な2組の信号入力端子が配置されていることを特徴と
する半導体装置。
Priority Applications (5)
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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Country Status (4)
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