JPH066089A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JPH066089A JPH066089A JP4186339A JP18633992A JPH066089A JP H066089 A JPH066089 A JP H066089A JP 4186339 A JP4186339 A JP 4186339A JP 18633992 A JP18633992 A JP 18633992A JP H066089 A JPH066089 A JP H066089A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- conveyor mechanism
- side guide
- substrate
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Framework For Endless Conveyors (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 幅寸法が異なる基板を対象とした段取り替え
を迅速に行なえて作業効率の向上を図ることができる基
板搬送装置を提供する。 【構成】 前段側コンベア機構３の従動側ガイド8aの変
位を検出するガイド変位検出手段14を設けると共に、後
段側コンベア機構４の従動側ガイド8bを駆動するモータ
９を制御して従動側ガイド8bをガイド変位検出手段14の
検出信号に応じた位置に設定する制御手段20を設けた。
従動側ガイド8aを対象となる基板１の幅寸法に応じて変
位すると、制御手段20がモータ９を制御して従動側ガイ
ド8bを、ガイド変位検出手段14による検出信号の内容に
応じた位置に変位させる。このため、前段側コンベア機
構３の従動側ガイド8aの変位に追従して後段側コンベア
機構４の従動側ガイド8bが対象となる基板１の幅寸法に
なるように位置設定されるので、段取り替えがスムーズ
に行なわれて作業効率を向上できる。
を迅速に行なえて作業効率の向上を図ることができる基
板搬送装置を提供する。 【構成】 前段側コンベア機構３の従動側ガイド8aの変
位を検出するガイド変位検出手段14を設けると共に、後
段側コンベア機構４の従動側ガイド8bを駆動するモータ
９を制御して従動側ガイド8bをガイド変位検出手段14の
検出信号に応じた位置に設定する制御手段20を設けた。
従動側ガイド8aを対象となる基板１の幅寸法に応じて変
位すると、制御手段20がモータ９を制御して従動側ガイ
ド8bを、ガイド変位検出手段14による検出信号の内容に
応じた位置に変位させる。このため、前段側コンベア機
構３の従動側ガイド8aの変位に追従して後段側コンベア
機構４の従動側ガイド8bが対象となる基板１の幅寸法に
なるように位置設定されるので、段取り替えがスムーズ
に行なわれて作業効率を向上できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、幅寸法の異なる複数種
類の基板を対象にした基板搬送装置に関する。
類の基板を対象にした基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板搬送装置の一例として、独立
した制御盤（パネル）を有する複数のコンベア機構を、
基板搬送路の前段側及び後段側に位置させて直線的に配
置し、基板を前段側コンベア機構から後段側コンベア機
構へ移し替えて搬送するようにしたものがある。この基
板搬送装置では、幅寸法が異なる基板を対象とする場合
には、制御盤に設けたスイッチを操作することにより、
コンベア機構に基板の幅方向で間隔をおいて対向して設
けられている一対の基板ガイド部材の間隔を対象基板の
幅寸法に設定して段取り替えを行なうようにしていた。
した制御盤（パネル）を有する複数のコンベア機構を、
基板搬送路の前段側及び後段側に位置させて直線的に配
置し、基板を前段側コンベア機構から後段側コンベア機
構へ移し替えて搬送するようにしたものがある。この基
板搬送装置では、幅寸法が異なる基板を対象とする場合
には、制御盤に設けたスイッチを操作することにより、
コンベア機構に基板の幅方向で間隔をおいて対向して設
けられている一対の基板ガイド部材の間隔を対象基板の
幅寸法に設定して段取り替えを行なうようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した基
板搬送装置では、幅寸法が異なる基板を対象として段取
り替えを行なう際、コンベア機構毎にそれぞれの制御盤
に対して対象基板の幅寸法等のデータを設定しなければ
ならず作業の効率が悪いという問題点があった。
板搬送装置では、幅寸法が異なる基板を対象として段取
り替えを行なう際、コンベア機構毎にそれぞれの制御盤
に対して対象基板の幅寸法等のデータを設定しなければ
ならず作業の効率が悪いという問題点があった。
【０００４】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、幅寸法が異なる基板を対象とした段取り替えを迅速
に行なえて作業効率の向上を図ることができる基板搬送
装置を提供することを目的とする。
で、幅寸法が異なる基板を対象とした段取り替えを迅速
に行なえて作業効率の向上を図ることができる基板搬送
装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、基板を案内する基準側ガイド及び従動側
ガイドを相対向させかつ従動側ガイドを基準側ガイドに
対して変位可能に設けたコンベア機構を基板搬送路の前
段側及び後段側にそれぞれ配置し、基板を前段側コンベ
ア機構から後段側コンベア機構へ移し替えて搬送する基
板搬送装置において、前段側コンベア機構の従動側ガイ
ドの変位を検出するガイド変位検出手段を設けると共
に、後段側コンベア機構の従動側ガイドを駆動する駆動
手段を制御して該後段側コンベア機構の従動側ガイドを
前記ガイド変位検出手段の検出信号に応じた位置に設定
する制御手段を設けたことを特徴とする。
成するために、基板を案内する基準側ガイド及び従動側
ガイドを相対向させかつ従動側ガイドを基準側ガイドに
対して変位可能に設けたコンベア機構を基板搬送路の前
段側及び後段側にそれぞれ配置し、基板を前段側コンベ
ア機構から後段側コンベア機構へ移し替えて搬送する基
板搬送装置において、前段側コンベア機構の従動側ガイ
ドの変位を検出するガイド変位検出手段を設けると共
に、後段側コンベア機構の従動側ガイドを駆動する駆動
手段を制御して該後段側コンベア機構の従動側ガイドを
前記ガイド変位検出手段の検出信号に応じた位置に設定
する制御手段を設けたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】このような構成とすれば、前段側コンベア機構
の従動側ガイドを対象となる基板の幅寸法に応じて変位
すると、制御手段が後段側コンベア機構の駆動手段を制
御して、後段側コンベア機構の従動側ガイドを、ガイド
変位検出手段による前段側コンベア機構の従動側ガイド
の位置を示す検出信号の内容に応じた位置に変位させ
る。
の従動側ガイドを対象となる基板の幅寸法に応じて変位
すると、制御手段が後段側コンベア機構の駆動手段を制
御して、後段側コンベア機構の従動側ガイドを、ガイド
変位検出手段による前段側コンベア機構の従動側ガイド
の位置を示す検出信号の内容に応じた位置に変位させ
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例の基板搬送装置を図
１ないし図６に基づいて説明する。図において、基板１
の搬送路２には、前段側コンベア機構３及び後段側コン
ベア機構４がこの順に並べて配置されている。前段側コ
ンベア機構３及び後段側コンベア機構４には、それぞれ
基台５，６が備えられており、各基台５，６には基板１
を搬送する図示しないコンベアが設けられていると共
に、コンベアに並べて基板１を案内する基準側ガイド7
a，7b及び従動側ガイド8a，8bがそれぞれ相対向して設
けられている。従動側ガイド8a，8bは基準側ガイド7a，
7bに対して変位可能に設定されている。
１ないし図６に基づいて説明する。図において、基板１
の搬送路２には、前段側コンベア機構３及び後段側コン
ベア機構４がこの順に並べて配置されている。前段側コ
ンベア機構３及び後段側コンベア機構４には、それぞれ
基台５，６が備えられており、各基台５，６には基板１
を搬送する図示しないコンベアが設けられていると共
に、コンベアに並べて基板１を案内する基準側ガイド7
a，7b及び従動側ガイド8a，8bがそれぞれ相対向して設
けられている。従動側ガイド8a，8bは基準側ガイド7a，
7bに対して変位可能に設定されている。
【０００８】この場合、後段側コンベア機構４の基台６
には、モータ９及びこのモータ９に回転駆動される軸10
等を有するボールねじ機構11が設けられており、モータ
９を正転または逆転させることにより従動側ガイド8bを
基準側ガイド7bから離間する方向に変位させたり、ある
いは基準側ガイド7bに近付ける方向に変位させたりする
ようになっている。
には、モータ９及びこのモータ９に回転駆動される軸10
等を有するボールねじ機構11が設けられており、モータ
９を正転または逆転させることにより従動側ガイド8bを
基準側ガイド7bから離間する方向に変位させたり、ある
いは基準側ガイド7bに近付ける方向に変位させたりする
ようになっている。
【０００９】後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bに
おける前段側コンベア機構３側の端部部分には、発光部
及び受光部（図示省略）をそれぞれ有する光ファイバ式
反射形の第１、第２の光電センサ11，12が幅方向に並べ
て設けられており、本実施例では第１、第２の光電セン
サ11，12によりガイド変位検出手段14を構成している。
第１、第２の光電センサ11，12それぞれの受光部が共
に、後述する反射光を受光していない（第１、第２の光
電センサ11，12が共にオフになっている）ことを条件に
して、ガイド変位検出手段14はオン信号を出力する。
おける前段側コンベア機構３側の端部部分には、発光部
及び受光部（図示省略）をそれぞれ有する光ファイバ式
反射形の第１、第２の光電センサ11，12が幅方向に並べ
て設けられており、本実施例では第１、第２の光電セン
サ11，12によりガイド変位検出手段14を構成している。
第１、第２の光電センサ11，12それぞれの受光部が共
に、後述する反射光を受光していない（第１、第２の光
電センサ11，12が共にオフになっている）ことを条件に
して、ガイド変位検出手段14はオン信号を出力する。
【００１０】前記第１、第２の光電センサ11，12に対向
するように前段側コンベア機構３の従動側ガイド8aに
は、鏡等の反射部材15を有するドグ16が設けられてい
る。反射部材15の幅の寸法はｍ、第１の光電センサ11と
第２の光電センサ12との間の距離はｎであり、ｍ＝ｎに
設定されている。
するように前段側コンベア機構３の従動側ガイド8aに
は、鏡等の反射部材15を有するドグ16が設けられてい
る。反射部材15の幅の寸法はｍ、第１の光電センサ11と
第２の光電センサ12との間の距離はｎであり、ｍ＝ｎに
設定されている。
【００１１】後段側コンベア機構４の従動側ガイド8b
は、上述したように後段側コンベア機構４の基準側ガイ
ド7bに対し離間する方向及び近付く方向に変位するよう
になっているが、基準側ガイド7bに対して最も離間した
位置（原位置）に対応して前記基台６には開リミットス
イッチ17が設けられ、かつ、基準側ガイド7bに対して最
も近付いた位置に対応して閉リミットスイッチ18が設け
られている。従動側ガイド8bが原位置に設定されている
場合に、開リミットスイッチ17がそのことを示す開信号
を出力し、また、従動側ガイド8bが最も基準側ガイド7b
に近付いた位置にあるときに、閉リミットスイッチ18が
そのことを示す閉信号を出力するようになっている。さ
らに、後段側コンベア機構４の基台６には、同後段側コ
ンベア機構４のコンベア上に基板１があるか否かを検出
する基板検出器19が設けられている。
は、上述したように後段側コンベア機構４の基準側ガイ
ド7bに対し離間する方向及び近付く方向に変位するよう
になっているが、基準側ガイド7bに対して最も離間した
位置（原位置）に対応して前記基台６には開リミットス
イッチ17が設けられ、かつ、基準側ガイド7bに対して最
も近付いた位置に対応して閉リミットスイッチ18が設け
られている。従動側ガイド8bが原位置に設定されている
場合に、開リミットスイッチ17がそのことを示す開信号
を出力し、また、従動側ガイド8bが最も基準側ガイド7b
に近付いた位置にあるときに、閉リミットスイッチ18が
そのことを示す閉信号を出力するようになっている。さ
らに、後段側コンベア機構４の基台６には、同後段側コ
ンベア機構４のコンベア上に基板１があるか否かを検出
する基板検出器19が設けられている。
【００１２】第１、第２の光電センサ11，12、モータ
９、開リミットスイッチ17、閉リミットスイッチ18及び
基板検出器19等に接続してマイコンで構成された制御手
段20が設けられている。制御手段20は、あらかじめ設定
されたプログラムを実行して第１、第２の光電センサ1
1，12の検出信号等に応じて演算処理を行ないモータ９
等を制御して後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bの
位置を設定するようになっている。この制御手段20の演
算制御内容を図６のフローチャートに基づいて説明す
る。なお、図６に示す段取り替え処理においては、第
１、第２の光電センサ11，12それぞれの発光部から光が
投光された状態になっている。
９、開リミットスイッチ17、閉リミットスイッチ18及び
基板検出器19等に接続してマイコンで構成された制御手
段20が設けられている。制御手段20は、あらかじめ設定
されたプログラムを実行して第１、第２の光電センサ1
1，12の検出信号等に応じて演算処理を行ないモータ９
等を制御して後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bの
位置を設定するようになっている。この制御手段20の演
算制御内容を図６のフローチャートに基づいて説明す
る。なお、図６に示す段取り替え処理においては、第
１、第２の光電センサ11，12それぞれの発光部から光が
投光された状態になっている。
【００１３】搬送対象にする基板１の変更等に伴って前
段側コンベア機構３の従動側ガイド8aが変位されて段取
り替えされる（ステップS1）と、第１、第２の光電セン
サ11，12の受光部は反射部材15からの反射光を受光しな
くなり（ステップS2）、かつこの段階で後段側コンベア
機構４のコンベア上に基板１が存在するか否かの判定を
行なう（ステップS3）。
段側コンベア機構３の従動側ガイド8aが変位されて段取
り替えされる（ステップS1）と、第１、第２の光電セン
サ11，12の受光部は反射部材15からの反射光を受光しな
くなり（ステップS2）、かつこの段階で後段側コンベア
機構４のコンベア上に基板１が存在するか否かの判定を
行なう（ステップS3）。
【００１４】後段側コンベア機構４のコンベア上に基板
１があるとステップS3でYES と判定し、この判定により
後段側コンベア機構４のコンベアを作動して基板１を次
工程に送って（ステップS4）基板１の搬出を完了する
（ステップS5）。
１があるとステップS3でYES と判定し、この判定により
後段側コンベア機構４のコンベアを作動して基板１を次
工程に送って（ステップS4）基板１の搬出を完了する
（ステップS5）。
【００１５】ステップS5に続いて、モータ９を正転して
後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bが基準側ガイド
に対して離間する方向（開方向）に変位し（図５
（ａ））、この開方向への変位を開リミットスイッチ17
が開信号を出力するまで行ない、開信号が出力した段階
でモータ９の正転を停止し原点出しを行なう（ステップ
S6）。
後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bが基準側ガイド
に対して離間する方向（開方向）に変位し（図５
（ａ））、この開方向への変位を開リミットスイッチ17
が開信号を出力するまで行ない、開信号が出力した段階
でモータ９の正転を停止し原点出しを行なう（ステップ
S6）。
【００１６】この状態から、モータ９を逆転して図５
（ｂ）に示すように後段側コンベア機構４の従動側ガイ
ド8bを基準側ガイド7bに対して近付く方向（閉方向）に
変位させる（ステップS7）。続いて、第１の光電センサ
11の受光部が反射部材15から反射光を受けた（オンし
た）か否かの判定（ステップS8）及び第２の光電センサ
12の受光部が反射部材15から反射光を受けた（オンし
た）か否かの判定（ステップS9）を順次実行する。
（ｂ）に示すように後段側コンベア機構４の従動側ガイ
ド8bを基準側ガイド7bに対して近付く方向（閉方向）に
変位させる（ステップS7）。続いて、第１の光電センサ
11の受光部が反射部材15から反射光を受けた（オンし
た）か否かの判定（ステップS8）及び第２の光電センサ
12の受光部が反射部材15から反射光を受けた（オンし
た）か否かの判定（ステップS9）を順次実行する。
【００１７】ここで第１、第２の光電センサ11，12が共
にオンする、即ちこのことは図５（ｃ）に示すように後
段側コンベア機構４の従動側ガイド8bが前段側コンベア
機構３の従動側ガイド8aに対応した位置になったことに
相当し、この状態で基板１を前段側コンベア機構３から
後段側コンベア機構４に搬送することができることにな
り、後段側コンベア機構４の段取り替えが完了すること
になって基板搬送の通常運転が行なわれることになる
（ステップS 10）。
にオンする、即ちこのことは図５（ｃ）に示すように後
段側コンベア機構４の従動側ガイド8bが前段側コンベア
機構３の従動側ガイド8aに対応した位置になったことに
相当し、この状態で基板１を前段側コンベア機構３から
後段側コンベア機構４に搬送することができることにな
り、後段側コンベア機構４の段取り替えが完了すること
になって基板搬送の通常運転が行なわれることになる
（ステップS 10）。
【００１８】ステップS8又はステップS9でNOと判定し
て、後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bが基準側ガ
イド7bに近くなって閉リミットスイッチ18がオンすると
モータ９の運転を停止して（ステップS 11）、装置がエ
ラー状態になったと判定しエラーリセットを条件にして
（ステップS12 ）動作をステップS6に戻って実施する。
て、後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bが基準側ガ
イド7bに近くなって閉リミットスイッチ18がオンすると
モータ９の運転を停止して（ステップS 11）、装置がエ
ラー状態になったと判定しエラーリセットを条件にして
（ステップS12 ）動作をステップS6に戻って実施する。
【００１９】以上のように構成された基板搬送装置で
は、異なる幅寸法の基板１を搬送対象にする場合には、
前段側コンベア機構３の従動側ガイド8aが対象となる基
板１の幅寸法に応じて変位されるが、その際、ガイド変
位検出手段14が上述したステップS8及びステップS9に示
すようにして従動側ガイド8aの変位を検出し、制御手段
20がこの検出結果に基づく位置になるようにモータ９を
制御して後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bを変位
させる。従来の基板搬送装置では、前段側コンベア機構
及び後段側コンベア機構をそれぞれ別個に制御する必要
があり、作業効率が劣ったものであったが、上述したよ
うに前段側コンベア機構３の従動側ガイド8aの変位に追
従して後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bを変位さ
せて対象となる基板１の幅寸法になるように従動側ガイ
ド8bの位置を設定するので、段取り替えがスムーズに行
なわれて作業効率を向上できることになる。
は、異なる幅寸法の基板１を搬送対象にする場合には、
前段側コンベア機構３の従動側ガイド8aが対象となる基
板１の幅寸法に応じて変位されるが、その際、ガイド変
位検出手段14が上述したステップS8及びステップS9に示
すようにして従動側ガイド8aの変位を検出し、制御手段
20がこの検出結果に基づく位置になるようにモータ９を
制御して後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bを変位
させる。従来の基板搬送装置では、前段側コンベア機構
及び後段側コンベア機構をそれぞれ別個に制御する必要
があり、作業効率が劣ったものであったが、上述したよ
うに前段側コンベア機構３の従動側ガイド8aの変位に追
従して後段側コンベア機構４の従動側ガイド8bを変位さ
せて対象となる基板１の幅寸法になるように従動側ガイ
ド8bの位置を設定するので、段取り替えがスムーズに行
なわれて作業効率を向上できることになる。
【００２０】本実施例では、ガイド変位検出手段14を後
段側コンベア機構４に設けて同後段側コンベア機構４に
設けた制御手段20に検出信号を入力して従動側ガイド8b
の位置を設定する場合を例にしたが、ガイド変位検出手
段14の設置場所は必ずしも後段側コンベア機構４に限定
されず、例えば前段側コンベア機構３に設けて基板搬送
装置を構成してもよい。
段側コンベア機構４に設けて同後段側コンベア機構４に
設けた制御手段20に検出信号を入力して従動側ガイド8b
の位置を設定する場合を例にしたが、ガイド変位検出手
段14の設置場所は必ずしも後段側コンベア機構４に限定
されず、例えば前段側コンベア機構３に設けて基板搬送
装置を構成してもよい。
【００２１】本実施例では、前段側コンベア機構３及び
後段側コンベア機構４を直線的に並べて配置した場合を
例にしたが、具備するコンベア等の形状を湾曲したもの
としておき、前段側コンベア機構３及び後段側コンベア
機構４を所定の角度を持って配置してもよい。
後段側コンベア機構４を直線的に並べて配置した場合を
例にしたが、具備するコンベア等の形状を湾曲したもの
としておき、前段側コンベア機構３及び後段側コンベア
機構４を所定の角度を持って配置してもよい。
【００２２】本実施例では、後段側コンベア機構４が一
つのコンベア機構である場合を例にしたが、２以上のコ
ンベア機構で後段側コンベア機構４を構成してもよい。
この場合、ガイド変位検出手段14の検出信号に応じた位
置になるように制御手段20が各駆動手段を制御して２以
上のコンベア機構の従動側ガイドの位置設定を行なえる
こととなり、段取り替えの簡略化が図れることになる。
つのコンベア機構である場合を例にしたが、２以上のコ
ンベア機構で後段側コンベア機構４を構成してもよい。
この場合、ガイド変位検出手段14の検出信号に応じた位
置になるように制御手段20が各駆動手段を制御して２以
上のコンベア機構の従動側ガイドの位置設定を行なえる
こととなり、段取り替えの簡略化が図れることになる。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
た基板搬送装置であるから、前段側コンベア機構の従動
側ガイドを対象となる基板の幅寸法に応じて変位した場
合、制御手段が後段側コンベア機構の従動側ガイドを、
ガイド変位検出手段による検出信号の内容に応じた位置
に変位させるので、前段側コンベア機構の従動側ガイド
の変位に追従して後段側コンベア機構の従動側ガイドが
対象となる基板の幅寸法になるように位置設定され、段
取り替えをスムーズに行なえて作業効率を向上できる。
た基板搬送装置であるから、前段側コンベア機構の従動
側ガイドを対象となる基板の幅寸法に応じて変位した場
合、制御手段が後段側コンベア機構の従動側ガイドを、
ガイド変位検出手段による検出信号の内容に応じた位置
に変位させるので、前段側コンベア機構の従動側ガイド
の変位に追従して後段側コンベア機構の従動側ガイドが
対象となる基板の幅寸法になるように位置設定され、段
取り替えをスムーズに行なえて作業効率を向上できる。
【図１】本発明の一実施例の基板搬送装置を模式的に示
す平面図である。
す平面図である。
【図２】同基板搬送装置の光電センサとドグとの位置関
係を示す平面図である。
係を示す平面図である。
【図３】同光電センサとドグとの長さ関係を示す平面図
である。
である。
【図４】図２のＡ矢視の図である。
【図５】同基板搬送装置の動作例を示す図である。
【図６】同基板搬送装置の制御手段の制御内容を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
１ 基板 ２ 搬送路 ３ 前段側コンベア機構 ４ 後段側コンベア機構 7a，7b 基準側ガイド 8a，8b 従動側ガイド ９ モータ 14 ガイド変位検出手段 20 制御手段
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｈ 9/04 Ａ 8922−3Ｆ
Claims (1)
- 【請求項１】 基板を案内する基準側ガイド及び従動側
ガイドを相対向させかつ従動側ガイドを基準側ガイドに
対して変位可能に設けたコンベア機構を基板搬送路の前
段側及び後段側にそれぞれ配置し、基板を前段側コンベ
ア機構から後段側コンベア機構へ移し替えて搬送する基
板搬送装置において、前段側コンベア機構の従動側ガイ
ドの変位を検出するガイド変位検出手段を設けると共
に、後段側コンベア機構の従動側ガイドを駆動する駆動
手段を制御して該後段側コンベア機構の従動側ガイドを
前記ガイド変位検出手段の検出信号に応じた位置に設定
する制御手段を設けたことを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4186339A JPH066089A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4186339A JPH066089A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH066089A true JPH066089A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=16186626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4186339A Pending JPH066089A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH066089A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5628112A (en) * | 1995-03-03 | 1997-05-13 | Ford Motor Company | Circuit board assembly system and method |
| JP2002158499A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-31 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品組立ライン |
| US7225917B2 (en) | 2002-06-15 | 2007-06-05 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Conveyor system having width adjustment unit |
| US9289953B2 (en) | 2012-04-16 | 2016-03-22 | The Yokohama Rubber Co., Ltd. | Tire repair device and tire repair method using the same |
| CN108237090A (zh) * | 2016-12-23 | 2018-07-03 | 惠州市德赛自动化技术有限公司 | 一种电芯模组自动分选机 |
-
1992
- 1992-06-19 JP JP4186339A patent/JPH066089A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5628112A (en) * | 1995-03-03 | 1997-05-13 | Ford Motor Company | Circuit board assembly system and method |
| JP2002158499A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-31 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品組立ライン |
| US7225917B2 (en) | 2002-06-15 | 2007-06-05 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Conveyor system having width adjustment unit |
| US9289953B2 (en) | 2012-04-16 | 2016-03-22 | The Yokohama Rubber Co., Ltd. | Tire repair device and tire repair method using the same |
| CN108237090A (zh) * | 2016-12-23 | 2018-07-03 | 惠州市德赛自动化技术有限公司 | 一种电芯模组自动分选机 |
| CN108237090B (zh) * | 2016-12-23 | 2024-05-03 | 惠州市德赛自动化技术有限公司 | 一种电芯模组自动分选机 |
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